トルク制限クラッチの正しい選び方　※選定マニュアル無料進呈中

PRどのトルク制限クラッチがどの用途に適しているのか？トルク制限クラッチ選…

「過負荷クラッチ」「トルクリミッター」とも呼ばれるトルク制限クラッチは、 費用のかかる過負荷損傷から機械やシステムを保護し、資材を守り出費を防ぎ、生産性向上に役立ちます。 しかし、どのトルク制限クラッチがどの用途に適合するのか、迷われる方も多いのではないでしょうか？ 当資料は、トルク制限クラッチの種類ごとの特長や、 駆動装置に適した構造設計の選択肢を詳しく解説しています。 【掲載内容】 ■ ト...

メーカー・取り扱い企業： Mayr Japan 合同会社

電動バランサ『ムーンリフタ』＜導入事例付きカタログ進呈＞

PR重量物の搬送・精密位置決めをサポート。手作業と同じ流れでワークを移動で…

『ムーンリフタ』は、重いワークでも“手先の感覚”を活かしたハンドリングで、 安全な作業とスムーズな位置合わせを実現する電動バランサです。 両手でワークを持ち、軽い力で動かすことができるため、 はめ込み中の引っかかり等、微妙な感触まで感じながら作業可能。 接地するまでゆっくり降下したり、手をはなすと直ぐに止まるなど機能も充実。 精密な位置決めが必要な組み付けや、ガラス等の繊細なワークの搬送に好適...

メーカー・取り扱い企業： ユニパルス株式会社

ダブルフェルールタイプ継手「BI-LOK」【高品質！低価格！】

様々な流体を低温から高温まで確実にシールする継手です！

「BI-LOK」は、ダブルフェルールタイプの継手です。 流体の漏れを防ぐフロントフェルールと、パイプ管の保持を行うバックフェルールとで、流体を確実にシールします！ 高品質なのに、低価格なのはイハラだけ！ ※詳しくは、カタログをダウンロードいただくか、お気軽にお問合せください。...

メーカー・取り扱い企業： イハラサイエンス株式会社

GCR4210SN(クローズドループ制御)

・クローズドループ制御 ・アブソリュートエンコーダ搭載 ・バッテリ…

ロボット型式 GCR4210SN-300-CM 被搬送物 ～300mm ウェーハ ウェーハ保持方式 チャックによる真空吸着で保持 機械構造形式 水平多関節型 制御軸 4軸 モータタイプ ステッピングモータ（クローズドループ） 動作範囲 ワーク中心到達距離 旋回角度(θ軸) 上下ストロー...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

SRLフロートチャックPF型

プリフォームレンズを非接触把持し、プレス金型に投入・取り出します。

空気を噴出することによりエゼクタ効果およびベルヌーイ効果による負圧発生作用と、圧力室型エアクッション効果および気流のクッション効果による正圧発生作用とにより、レンズを空中に浮遊した非接触状態にて懸垂保持し搬送します。 　このプリフォームレンズをプレス金型に非接触にて投入・取り出装置「SRLフロートチャックPF型」は、レンズ表面はもとよりレンズ端...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

SAL3481HV(マルチワークアライナ)

ウエーハ材質に影響を受けない新型アライナ

ト：±0.1度以内 ○位置決め時間 3秒(ウェーハの受渡時間は含みません) ○センサ LED照明付+イメージセンサユニットによるウェーハエッジ検出 ○位置補正範囲 半径4mm以内 ○ウェーハ保持方式 真空吸着による保持 ○クリーン度 ISOクラス2(駆動部排気時) ○質量 約10kg ○ユーティリティ 電流電圧：DC24V±10% 3A 真空：-53kPa以上...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

SSY-10000

ガラス、サファイア、SiC、GaN、等々のウェーハ対応　卓上ローダーシ…

500度/sec 200mm/sec ○搬送速度 （最高速度） アーム(R軸) 旋回角度(θ軸) 上下ストローク(Z軸) 300mm/sec 700度/sec 300mm/sec ○ウェーハ保持方式 真空吸着による保持 ○繰り返し精度 ±0.1mm以内 ○クリーン度 ISOクラス2以下（駆動部排気時） ○質量 ロボット本体 約15kg ○ユーティリティ 電源電圧：DC24V±10%...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

OTEC / ストリームフィニッシュマシンSF

完全自動化にも対応したカスタマイズ可能な高速仕上げ機械

ワークを保持したスピンドルと研磨槽の双方を同時に回転させることにより強い研削力を実現し、高精度で効率的な表面仕上げを可能にしました。 完全自動化も容易に構築でき、大規模な量産ラインに対応させることも可能です。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社シーケービー

SAL30J1HV

ノッチレスウェーハにも対応した450mm新型アライナ

±0.1mm以内 ロケート：±0.1度以内 ○位置決め時間 4秒以内 ○センサ イメージセンサユニットによるウェーハエッジ検出 ○LED照明付 ○位置補正範囲 半径8mm以内 ○ウェーハ保持方式 真空吸着による保持 ○クリーン度 ISOクラス2(駆動部排気時) ○質量 約18kg ○ユーティリティ 電流電圧：DC24V±10% 3A 真空：-53kPa以上...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

気体垂直噴流方式「非接触チャック」

空気でつかむ

●非接触にて吸引保持、搬送する。 ●きず、汚れ、パッド跡を付けない。 ●クリーンルームにて使用可能 ●通気性ワーク、穴あきワーク、極薄柔軟ワークも可能 ●手操作にても使用可能 ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

パウダーフレーム溶射装置『MK74 / MK74-PC』

溶射・フューズ皮膜に好適！ある種のプラスチックも溶射でき経済的に皮膜が…

『MK74 / MK74-PC』は、重量がわずか1.85kgs.であり、手腕保持あるいは 機械に架装して幅広い範囲のパウダ－で溶射出来るフレーム溶射装置です。 特殊なエヤ－キャップで溶射パタ－ンが狭められ皮膜を濃密にするため、 セラミックを溶射する時非常に高いデポジッ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社澤村溶射センター

マップフレーム用　レーザーマーキング装置　『MK621』

マップフレーム対応　レーザーマーキング装置

　レンジで　50μ・・( レーザー発振器の能力による ) フレームの外形を基準　又は送り穴のピンでの位置決めなどでマーク　　　位置を決定し　補正の無い装置も提供可能です。 フレームをバキュームで保持するテーブルもあります。 フレーム供給方法スタックマガジン　または　スリットマガジン 　　スタックマガジンローダー　アンローダー　　　各　１マガジン 　　スリットマガジンローダーアンローダー　...

メーカー・取り扱い企業： 綜和機電株式会社

イオンビームエッチング・ミリング（IBE）装置

高レート・高信頼性を実現した生産用イオンビームミリング装置

特長 最新設計のグリッドによる8インチ基板への均一なエッチング イオンソース冷却機構の最適化による高レートエッチングの連続運転改善 基板保持部の傾斜機構をダイレクト駆動方式より高速化 最新OSの採用と制御システムの改善による装置安定稼働 他社製プロセスモジュールをドッキングできるフレキシブルなソフトウエア構成 ...

メーカー・取り扱い企業： ティー・ケイ・エス株式会社

側面電極用イオンプレーティング装置（面実装小型部品対応）

小型電子部品（面実装タイプ）の側面電極形成をドライ化。ＰＶＤ（イオンプ…

電極の形成も密着層・接合電極も同一真空槽で一括形成。成膜前に効果的なプラズマクリーニングも同一バッチで実施。シンプルな装置構成で多層・マルチステップ処理を実現。 部品寸法・形状に合わせ治具や基板保持方法の細かく対応。信頼性の高い基本ハードとカスタマイズで多様な基板と生産ラインに対応。 ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

強化プラスチック製 グリップリング

インナーリング、アウターリングのダブルリング構造で拡張状態を保持

伸縮性のあるフィルムや布、紙類をインナーリング(白色）とアウターリング（黒色）で挟み込み（はめ合わせ）ピンと張りつめた状態をキープできるダブルリングです。 はめ合わせに方向性を持たない双方向性グリップリングです。 使用後は容易に取り外す事ができ、くり返し使用できます。 ...■主な特長 ・用済みになれば簡単に取り外す事ができ、くり返し使用可 ・はめ合わせに方向性を持たないグリップリ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノビジョン 本社

セラミックス製ウエハー搬送ハンド PeriZac（ペリザック）

パーティクル発生リスクを極限に抑えた、大気用セラミックス製搬送ハンドの…

ティクルの混入リスクがない当社の空洞一体技術でつくられたセラミックス吸着搬送ハンドは業界標準となっています。PeriZacはウエハの接触面積、接触位置を工夫し、回路の作り込まれない外周部分をやさしく保持することで更にパーティクルの低減を図りました。歩留まりの向上を目指す半導体デバイスメーカー様向けに好評をいただいております。...

メーカー・取り扱い企業： アスザック株式会社 ファインセラミックス事業部

光学顕微鏡向け マイクロマニピュレータ

既存の光学顕微鏡やマイクロスコープに後付け可能（パッチクランプ法、ナノ…

クト・シンプルな設計で、既存の顕微鏡にマグネット固定で容易に後付けが出来ます。 ● 先端には市販のタングステンプローブやガラスピペットが装着されます。オプションでグリッパーなどもあり、自作ツールを保持させることも可能です。 ● プローバー（MM3A-LMP）としても利用可能です。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アド・サイエンス

精密研磨機『IS-POLISHER ISPP-1000』

小型・軽量・省スペース！試料にダメージを与えず、誰でも熟練者並みの仕上…

◎倒立型光学顕微鏡 　装置横に倒立型顕微鏡を搭載。 　パネルの操作で試料が対物レンズの上に移動し、 　資料を装置から取り外さずに研磨状態の確認ができます。 ◎研磨量調整機構 　ホルダ保持機構に研磨量を規制するストッパを装備。 　微細な構造の中の目的の位置をだしたい時の削り過ぎを防止できます。 　（最小目盛2μm） ※詳しくはカタログダウンロード、もしくはお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社池上精機

【用途事例】高精度ダイボンダーによるVCSEL及びPDの実装

0.5µmのボンディング位置精度！

素子実装アプリケーションには使用されますが、ファインテック社のダイボンダーでは、高精度なアライメントと実装位置制御を、光学部品に対して容易に実行できる為、VCSELアレーとPDアレーを完全な平衡度を保持して実装できます。 ○独自のピックアップツールを提供 サブミクロンの位置精度を確保しつつ、VCSEL、PDアレーなどを基板に対して、フェースアップの状態で実装が可能な、ファインテック社独自の...

メーカー・取り扱い企業： ファインテック日本株式会社

高電圧ハーメチックコネクタ

ハーメチック構造で最大DC20KVの通電ができる小型コネクタです。

ります。これにより非常に高い耐電圧性能を持ち、且つバイヨネットカップリングよりすばやい着脱操作を行うことが可能です。 フロントマウントレセプタクルは、密閉構造になっておりますので、装置内の気密性を保持した状態で嵌合ができます。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社グローブ・テック

工具研削盤『ヘリトロニックラプター』

振動を抑えデジタルドライブの高いダイナミクスを正確に研削に置き換えます…

ます。 【特長】 ■省フロアスペースで回転対称工具を効率的に研削および再研磨 ■振動を抑えデジタルドライブの高いダイナミクスを正確に研削に置き換える ■スピンドルは、最大6個の研削砥石を保持できる ■ボールねじ 直線軸X、Y、Z ■ウォームドライブを備えた回転軸AおよびC ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ※英語版カタログをダウンロードい...

メーカー・取り扱い企業： ワルターエワーグジャパン株式会社

FOUPロードポート『TAS450』

ロードポートは新たなステージへ。可動部はパーティクル性能を向上させた構…

ーフェース面より） ・重量：115kg（マッパー以外の各種オプションを含まず） ■ドッキングメカニズム ・FOUP クランプ：Hold Down Feature（エア駆動） ・FOUP ドア保持：真空吸着 ・ドッキング時のウエハ位置：BOLTS インターフェース面より254mm ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： TDK株式会社 テクニカルセンター

ラッピングマシーン『LJ-48-OD3』

スタンダードタイプの実用汎用ラッピングマシーン！

『LJ-48-OD3』は、安定した高精度を保持するために随所に独特な機構を 盛り込んだ実用汎用ラッピングマシーンです。 大きな部品、小さな部品、加工量の大小問わず、半自動又は全自動にて ミクロンオーダーの研磨面仕上がりを実現します。 ...

メーカー・取り扱い企業： ラップジャパン株式会社

振動研磨機『VIBROTECH 300』【※デモ機あります！】

振動頻度と振幅をリアルタイムで変更可能！305mmφの定盤が搭載可能な…

プルの表面の 結晶化と腐食を制限します。 【特長】 ■305mmφの定盤が搭載可能 ■モダンなデザインの透明フード ■サンプルの微細構造を明らかにできる振動研磨 ■サンプルの完全性を保持する防錆機能 ■振動頻度と振幅をリアルタイムで変更可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 北川グレステック株式会社 本社

ロボットシステムソリューション『MOTOMAN-GPシリーズ』

生産現場の悩みをロボットシステムがスマートに解決！高い搬送能力を実現し…

っております。 最高速度が従来機種より最大30％UPした「GP25」をはじめ、「GP7」や、 「GP8」、「GP12」をラインアップ。 機内ケーブル交換時にバッテリ接続不要で原点データ保持。 ケーブル・コネクタ数削減で作業性が向上します。 【特長】 ＜GP7、GP8＞ ■可搬質量、速度、手首軸許容モーメントで高い搬送能力を実現 ■設置スペースの縮小を実現するスリムで使い...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社TOSAMACHINE

ケメットラッピングプレート

熱を放散し、ラップ表面摩擦を軽減！高精度な平坦性と表面仕上げが要求され…

も可能。 また、燃料ポンプ歯車面や圧力リリーフバルブキャップなど、幅広いパーツの 精密なショルダーラッピング用としてもご案内致しております。 【特長】 ■ダイヤモンド粒子をしっかりと保持し、再現性のある効率的なラップが可能 ■強靭でありながらクッション性があり、ダイヤモンド粒子からワークの 　損傷を防止 ■様々な硬度で製造しており、素材に適したプレートの提案が可能 ■平坦度...

メーカー・取り扱い企業： 北川グレステック株式会社 本社

化合物半導体ウエハ用非接触ピンセット

マニュアル操作により化合物半導体ウエハ(GaAs,ＩｎＰ,ＧａＰ）を非…

ウエハとの距離に応じてその内部をエゼクタ効果およびベルヌーイ効果により負圧にし、また圧力室型エアクッション効果および気体流のクッション効果により正圧にすることにより、ＩｎＰウエハを非接触状態にて懸垂保持する機能を有しております。 ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

非接触シート・フィルム積層装置

送られてきた偏向板・フィルム・シートを非接触、高速、精度積層する

送られてきた偏向板・シート・フィルム・紙・不織布を非接触にて、精度よく揃えて集積する装置です。 　非接触搬送装置「フロートチャック」にて構成される保持装置と、ワーク進行と同調して走行する「非接触支持走行装置」を採用しております。薄いワーク、柔軟なワークを汚れの付着・損傷させることなく、高速にて確実に精度よく集積いたします。 ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

化合物半導体ウエハ用非接触搬送装置「ＳＡＧ（ＩｎＰ）型」

化合物半導体ウエハ(GaAs,ＩｎＰ,ＧａＰ）を気体供給操作を行い、ウ…

ウエハとの距離に応じてその内部をエゼクタ効果およびベルヌーイ効果により負圧にし、また圧力室型エアクッション効果および気体流のクッション効果により正圧にすることにより、ＩｎＰウエハを非接触状態にて懸垂保持する機能を有しております。 ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

フッ素樹脂の種類4　ETFE (4フッ化エチレン共重合体)

大東化成では、フッ素樹脂コーティング、フッ素樹脂ライニングを主軸に、さ…

【製品の特長】 ○代表的なFEP、PFAに匹敵する電気特性、耐薬品性を保持し、改良された機械的特性と容易な加工性を兼ね備えています。 ○フッ素樹脂独自の性質は炭素一炭素間結合の重合物を基幹として 　その周りを大きい安定性あるフッ素原子で囲んでいる構造の不活性さに起因し...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社YMM コーティング事業部

スルーホール基板・ＦＰＣ基板の移載装置

穴あきセラミック基板・ＦＰＣ基板を穴の位置に関係なく非接触にて移載可能…

板、スルーホール基板、ＦＰＣ、フィルム、セラミック基板を穴の位置、基板の大きさに関係なく１枚ずつ非接触にて搬送。基板に向かって気体を噴出することにより、ベルヌーイ効果による負圧を発生し、基板を非接触保持し搬送します。穴あき基板、フィルム基板、セラミック基板の基板の大きさ、穴の位置に関係なく吸着可能。段積み基板を１枚ずつ吸引搬送可能...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

石英ガラス製品　バーナー火加工製品

次世代装置にも対応

され、 　溶接後は、速やかに電気炉でアニール処理（焼きなまし）が行われます。 ○蔵王工場では、ウェーハの大口径化に伴い、縦型装置部品用の大型電気炉やガラス旋盤を保有し、 　各種反応管やウェーハ保持用ボート類への対応が可能です。 ○近年の微細化プロセスに対応すべく製造環境のクリーン化や、洗浄技術の向上が行われ、 　品質と信頼性でお客様に貢献します。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタ...

メーカー・取り扱い企業： テクノクオーツ株式会社

高精度ボールレンズ研磨装置 Ext-1B-0606-6P/L

ボールレンズをミクロン単位の高精度に研磨加工できます。

【主な特長】 ○上定盤からの荷重を滑車方式にて低荷重に制御することが可能 ○上定盤吊位置を下定盤面との接する位置とし上定盤回転時の 　仰角がなく盤間の平行を保持 ○定寸装置装着による加工寸法のバラツキを少なくする 　（オプション） ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ティーエスシー

真空非磁性 超音波モータ ＜US36＞

真空非磁性 超音波モータ ＜US36＞

真空非磁性対応の回転式超音波モータ（ＵＳＭ）です。 【特長】 　◇真空環境、磁場の影響が気になる環境下の駆動源として使用 　◇自己保持タイプで停電時の安全対策に適したモータ 　◇エンコーダを装着することで高精度な位置決めも可能 ⇒詳細はダウンロードからお問い合せください。 ⇒非磁性対応品に関するご相談、見積などは下記コメ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社メガトラスト MEGA-TECH Formations 豊玉事業所

プッシュ・オン式ゴムホース

様々なホース継手を選定でき、ホースの長さも自由な長さで簡単に施工できま…

的用プッシュ・オン式ゴム・ホース MPシリーズはオゾン耐性があり、コアはスムーズボア・タイプのブナN製です。内部に繊維補強材を使用することで、ホース使用圧力範囲が広がり、エンド・コネクションを確実に保持します。ブナN製カバーは、耐磨耗性があります。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社フロー・ジョイント

千住金属工業　半導体用電子材料　カッパーコアはんだ材料

半導体用電子材料製品・マイクロソルダリングソリューションを提供いたしま…

カッパーコアはんだ材料は、POPのような一定の高さ保持などパッケージクリアランスを必要とする用途に向けスペーサ―の機能を備えたはんだ材料です。...

メーカー・取り扱い企業： 千住金属工業株式会社

ウエハチップ非接触搬送装置

微小ウエハチップ、微小レンズを非接触にて搬送する。

微小ウエハチップ（１mm〜20mm角）、微小レンズを気体を噴出することにより非接触にて吸引保持し搬送するロボットハンド。...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

三建産業株式会社　事業紹介

企画からメンテナンスまで一貫システムでお客様のニーズにお応えします

ワー型急速溶解炉（集中型・機側型） 　・溶湯循環式溶湯炉（接触型・非接触型） 　・切粉リサイクル設備 　・UBCリサイクル設備 　・スクラップ溶解炉（ロータリースウェットファーネス） 　・保持炉（浸漬管式、トップヒート式） 　・付帯設備 ■アルミ熱処理・加熱設備 　・T2、T4、T5、T6､T7熱処理炉 　・板加熱炉、熱処理炉 　・ビレット調質炉 　・ビレット加熱炉 ■銅熱...

メーカー・取り扱い企業： 三建産業株式会社

【３D造形品　金型向け】流体研磨装置『eliteシリーズ』

3D金属粉末造形部品の複雑形状・R形状・螺旋形状の微細孔をも鏡面まで研…

形品の製品適用には「内面研磨」が必須条件となりつつあります。 特に金型流路の場合などは「造形後に流路内の研磨を行い、汚れやサビの付着・詰まりを低減すること」 「定期的に再研磨する事で、冷却性能を保持し、金型寿命を延ばすこと」を推奨し“生産に影響する重要課題を潰すこと”を目的として、３D造形品の金型流路研磨をお勧めします。 又、加工品質の安定化・人件費削減・利益率UPなど、多方面に貢献します。...

メーカー・取り扱い企業： アルゴヴィジョンテクノロジズ株式会社 奈良工場

GNCパターンウエハサービス等受託加工サービスのご紹介

基板の手配、マスク設計からの一貫生産の対応が可能！グローバルネット株式…

m　冷却機構付（Cooling Structure） ・ヘッド：φ930mm、30-100rpm max,1450kgf,±15°Swing Range ・特長：表面張力によって簡単に大型基板を保持 ・ワークサイズ：最大直径φ915mm（36インチ）まで対応可 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： グローバルネット株式会社

シャーレ搬送ロボット

医療、バイオ関連施設などの無菌室、クリーン環境下での搬送が可能

ロボット仕様 ロボット型式 GCR4210-300-AM 被搬送物 シャーレφ90x21mm（ガラス）（※その他サイズ、マイクロプレートも対応可） 搬送物保持 エアシリンダ駆動によるメカニカルグリップ方式 機械構造形式 水平多関節型 制御軸 4軸 モータタイプ 全軸ACサーボモータ 動作範囲 ワーク中心到達距離 旋回角度(θ軸) 上下ストローク(Z...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

樹脂製多目的スピンプロセッサ『POLOS』＊デモ機貸有り

１台あればコーティング・洗浄・エッチングなど様々なプロセスに対応ができ…

数は、最大12000rpm。高粘度の材料コートが可能 ■豊富なオプションや拡張性があるから… ・チップサイズから大型基板(□1000mm)まで対応 ・真空チャック、メカニカルチャックなど多様な保持方法など 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社協同インターナショナル

NC全自動研磨仕様 モデルライン

タッチパネルによる簡単操作！少人数による多軸管理“オートハンドローディ…

形状 外径10φ〜75φ ■NC全自動研磨装置「APM-8FO-2P-L型(2軸)」 ・加工条件3工程設定可能 ・PP(高速圧縮研磨)仕様 ■擦り洗浄装置「KW-80-L型」 ・レンズ外径保持洗浄 ・研磨完了即洗浄でヤケ防止 ■完成品収納ストッカー「XY-2X5W-L型」 ・指定洗浄籠10個、吸着パッド搬送・縦置 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社コジマエンジニアリング

隔膜式真空計（バラトロン真空計）

150℃/200℃対応！バイオ医薬品製造に最適な隔膜式真空計。

オ医薬品製造、半導体製造プロセスに最適なバラトロン真空計 バラトロン631Bは、高温制御型真空計を10年以上にわたり供給してきたMKSの最新コンパクトモデルです。 センサ内部を高温に保持し、プロセス副生成物のセンサへの堆積を防止することにより、ドリフトを低減し精確で長期安定性を持つ圧力測定を実現します。 150℃もしくは200℃の温度制御を選択できる631Bは、メタルエッチン...

メーカー・取り扱い企業： 日本エム・ケー・エス株式会社

i線ステッパー露光装置

Canon製FPA3000/Nikon製NSRのサービスを行っておりま…

パーであるFPA3000シリーズは、標準的なシリコンウェハ量産機としての実績に加え、 化合物ウェハの特長である反りや重さに対する対応力が高く、その分野でも広く支持されています。 弊社では適正在庫の保持に尽力し、現像機・顕微鏡・CDSEMを備えたデモ環境を整えております。 【装置改造】 ■ 中古装置リファービッシュ販売 ■ ウェハサイズ変更 ■ レチクルサイズ変更 ■ レチクルチェンジャータイプ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社インターテック販売 東京本社（拠点－関西営業所、熊本営業所）

排気回収機構を設けた「SiCウエハ用ベルヌーイチャック」

クリーンルームにて使用可能「SiCウエハ用ベルヌーイチャック」

　　　　　　　　　　　 1.排気回収機構：ＳｉＣウエハ・基板用　クリ-ンルーム対応ベルヌーイチャック「フロートチャックWASｉＣ型」は、保持するウエハ に対向する作動面と、作動面の中央部に設けられたクッション室と、クッション室中央部に設けられたノズルおよび作動面の外周にフードを設けて構成されています。 ノズルより噴出した高速空気流は...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

50μm厚超薄型ガラス非接触搬送装置LNAS型

50μm厚の超薄型ガラス基板を非接触にて搬送する 非接触搬送装置「5…

「５０μm厚　超薄型ガラス非接触搬送装置LNAS型」の非接触吸引機構は、空気を噴出させることにより、超薄型ガラスを非接触状態にて懸垂保持する機能を有しております。 0.05mm厚　超薄型ガラス非接触搬送装置LNAS型」は、空気噴出ノズルの直下に気体偏向器を設けております。 　気体偏向器により、ノズルより噴出した高圧空気流は直角方...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所