【NEW】カスタムクランパーAUW08＜M-Tech名古屋出展＞

PRエアを供給するとシャフトをアンクランプ、遮断するとシャフトをクランプ！…

新製品！カスタムクランパー エアを供給するとシャフトをアンクランプ、遮断するとシャフトをクランプ。 両端に追加されたリニアブッシュにより、スラスト荷重を受けることが出来ます。 カスタムクランパーをならいユニットに使用すれば、素子の配置パターン替えも容易になります。 高さ調整や位置決め、Z軸の落下防止用途、治具、ロボットハンドなど、様々な用途にご利用いただけます。 【使用例】 ■ワー...

メーカー・取り扱い企業： トークシステム株式会社

【ドライアイス】角ドライアイス・ビーズドライアイス・ペレット

PR多種多様に利用可能！高い冷却能力により蓄冷剤よりも低温冷却が可能。長時…

当社では、炭酸ガスのスペシャリストとして優れた冷却物性のあるドライアイスに着目！ 冷却能力－78.9℃の個体ドライアイスは、今やコールドチェーンには欠かせない存在です。製造・流通・保存・研究等、様々な用途に幅広く利用され、今後ますます需要の拡大が見込まれている分野です。 【ラインアップ/特長】 ■ビーズドライアイス ◎直径3～9ｍｍ、長さ10～25ｍｍビーズ状にカットしたイワタニ独自開...

メーカー・取り扱い企業： 東日本イワタニガス株式会社 開発本部

ELID搭載　研削盤『ヒカリオン(R)・ラップ研削盤III型』

ELID（電解インプロセスドレッシング）搭載型のラップ研削盤。片面／両…

グ）搭載型　ラップ研削盤 ■□■特徴■□■ ■片面ラップ、両面ラップ研削が可能 ■一定圧での研削が可能（圧力転写型加工） ■強制切込みによる研削が可能（運転転写型加工） ■ワークの保持に真空チャックを採用、ワークの着脱が簡便 【ヒカリオンラップ研削盤の研削加工形態】 　１）高能率研削 　　　粗粒メタルボンド砥石を用いた強制研削 　２）鏡面研削 　　　微細砥粒メタルボ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マルトー 本社

超高速回転スピンコーター『ACT-200SM-S』

スピード重視ならMAX6万rpmの超高速回転！スピンコート機ACT-2…

視、粘性が高めでより強いスピンが必要、さっと広げてごく薄い膜を得たい・・・そのような課題をお持ちであれば是非超高速回転による遠心力をご検討ください。 基板サイズΦ3～Φ50mmに対応し、基板の保持方法は両面テープやピン保持となりますので、真空ポンプは必要ありません。 スピンコーターACT-AIIシリーズとは異なり、こちらの機種はカップサイズがφ200mmの1機種のみで、プログラムステッ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アクティブ

サファイア基板ウエハ用非接触搬送装置「フロートチャックWAS」型

排気を回収機構を具え、クリーンルームへの排気を減少させ、 位置決機構…

1.排気回収機構：クリ-ンルーム対応ベルヌーイチャック「フロートチャックWAS型」は、保持するウエハに対向する作動面と、作動面の中央部に設けられたクッション室と、クッション室中央部に設けられたノズルおよび作動面の外周にフードを設けて構成されています。 ノズルより噴出した高速空気流はクッ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

はんだペースト印刷機【多彩な印刷形態を実現！】

圧入方式だからできる多彩な印刷形態を実現した、はんだペースト印刷機！ …

ます。 ●カートリッジ内のローラーシャフトの回転圧力ではんだペーストをマスク 開口内に確実に充填します。 ●はんだペースト自動補給機能によりカートリッジ内のはんだペースト量を 一定に保持します。 ●自動撹拌機構によりカートリッジ内のはんだペースト粘度を一定に保持し ます。 ●スキージング後に毎回はんだペーストを自動回収するためマスク上にはん だペーストを残しません。...

メーカー・取り扱い企業： 谷電機工業株式会社

油膜保持性能向上型DLC DP-DLC

DとDのコラボレーション

【製品の特長】 ○油膜保持性能向上型DLC ○ピーニングによるディンプル＋DLCの相乗効果＝油膜保持性能向上 ○アルミボールとの摩擦試験で2倍以上の耐久性 ●その他機能や特長については、カタログを...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社オンワード技研 本社

ウエハチップ・マイクロレンズ･高温ウエハ・微小物の非接触搬送装置

ウエハチップ・高温ウエハ・レンズ・微小物を非接触にて搬送するベルヌーイ…

　　気体垂直噴流方式はクッション室にノズルより噴出する気体流を垂直気体噴流させることり、クッション室内の気体流の摩擦損失を減少させ、負圧発生の効果を増し、従来型より大幅に懸垂能力を増加させることで、保持安定元力が増し、衝撃に強く、気体消費量をほぼ半減させました。 「微小物の非接触搬送装置」は、空気を基板に向かって噴出することにより、ワークを空中に浮遊した非接触の状態にて懸垂保持し搬送します。 ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

通電検査機『TY-CHECKER DS202/203（AT）』

シート基板向け通電検査システム！（導通検査・絶縁検査・四端子検査・マイ…

『TY-CHECKER DS series』は、FPC（フレキシブルプリント配線板）に代表されるシート基板に最適化された通電検査システムです。 テンションをかけない独自の専用プレート保持方式（特許取得済み）を採用し、極薄FPCや型抜き後のフレキでも安定した搬送を実現しています。 検査部は高精度チェッカーを搭載し、導通検査・絶縁検査・四端子検査、マイクロショート検出まで対応しま...

メーカー・取り扱い企業： 太洋テクノレックス株式会社 　和歌山

段取替え不要！基板自動サポートピンシステム『Quik-tool』

どのメーカーのマウンターや印刷機にも対応し、片面基板だけでなく両面基板…

置を自動化したとしてもやはり待ち時間という段取替え時間が必要。 　・ 　・ 　・ その工数、ゼロにしませんか？ - トリガー信号（手動モードあり）によりエアを使用してピンが上昇、高速で基板全体を保持 - 基板の凹凸に合わせてそれぞれのサポートピンの高さが変わるため両面基板であっても段取り替えが不要 - 保持する部品にかかる上向きの力は１ピンあたり ２.５ｇ Quik-toolを使用して...

メーカー・取り扱い企業： アルファエレクトロニクス株式会社

発光解析のための半導体の裏面研磨

様々な形態の半導体で裏面研磨が可能！素子、不具合の様子の観察が出来ます

裏面OBIRCH/発光解析や裏面発光解析の前処理として各種形態のサンプルの 裏面研磨を行います。 これは、裏面から解析を行うため不可欠な前処理です。 裏面から解析することで、不良を保持したまま発光を検出できるだけでなく、 形状異常の有無も観察できます。 また、パッケージ、開封済みチップ、ウエハー等様々な形態の半導体で 裏面研磨ができ、さらにリード端子を生かした状態の裏面...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイテス

ソーラーリサーチ研究所の非接触搬送装置：フロートチャックSAC型

オーダメイドの垂直気体噴流方式非接触搬送装置「フロートチャックSAC型…

　非接触搬送装置「フロートチャックSA-C(SAN)型」は、ワークに向かって噴出することにより、非接触の状態にて懸垂保持し、搬送することができます。 　作動面とワークとの間隙が大きい場合、気体噴出部ノズル、クッション室および作動面とワークとの間隙はそれぞれエゼクターのノズル、真空室およびデフューザの機能をはたします...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

気体垂直気体噴流方式のベルヌーイチャック

空気噴流によりワークを非接触にて懸垂搬送! ベルヌーイチャック

。、気体垂直噴流方式はクッション室にノズルより噴出する気体流を垂直気体噴流させることり、クッション室内の気体流の摩擦損失を減少させ、負圧発生の効果を増し、従来型より大幅に懸垂能力を増加させることで、保持安定元が増し、衝撃に強く、気体消費量をほぼ半減させました。「フロートチャック」は、気体を噴出することによりエゼクタ効果及びベルヌーイ効果による負圧と圧力式エアクッション効果による正圧を生じ、ワークを...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

超細1.4ｍｍｘ長55ｍｍの極細・長尺ワーク用ベルヌーイチャック

幅1.4ｍｍｘ長さ55ｍｍの極細・長尺ワークを 非接触にて搬送するベ…

気体垂直噴流方式はクッション室にノズルより噴出する気体流を垂直気体噴流させることにより、クッション室内の気体流の摩擦損失を減少させ、負圧発生の効果を増し、従来型より大幅に懸垂能力を増加させることで、保持安定元力が増し、衝撃に強く、気体消費量をほぼ半減させました。...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

『フォトマスク・有機EL用　基板搬送ケースの製作サービス』

クラス100以下の清浄度を保持するタイプや、大型ガラス基板対応など品揃…

基板搬送用のケースを製作する 『フォトマスク・有機EL用　基板搬送ケースの製作サービス』を提供しています。 基板を効率良く収納できる「アルポリケース」をはじめ、 クラス100以下の清浄度を保持する「クリーンケース」、 ガラス基板を非接触で搬送できる「第6世代からの大型基板非接触搬送ケース」など、 用途に合わせて多数のラインアップから選べるほか、オーダーメイドにも対応。 さらにケ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ディー・アール・エス（DRS)

NEXGENグローブボックスシステム（新時代のガス精製装置付）

再生ガス・再生工程不要の新時代のガス精製装置付きグローブボックスシステ…

・再生ガス、再生工程不要の新時代のガス精製装置付グローブボックス。 ・酸素濃度、水分濃度１ppm以下を保持、NEXGENシステムによるオートバキ 　ューム・オートパージ・全自動圧力コントロール。 ・全世界に２万台以上の導入実績、63年の歴史を誇る世界基準のグローブボ 　ックスメーカーVAC社製 ...

メーカー・取り扱い企業： 山八物産株式会社 YAMAHACHI&CO.,LTD

6in・8inウエハ両用非接触ピンセット

６ｉｎと８ｉｎウエハを同じ非接触ピンセットにて掴むことができる

　　気体垂直噴流方式はクッション室にノズルより噴出する気体流を垂直気体噴流させることり、クッション室内の気体流の摩擦損失を減少させ、負圧発生の効果を増し、従来型より大幅に懸垂能力を増加させることで、保持安定元力が増し、衝撃に強く、気体消費量をほぼ半減させました。 「6in・8inウエハ両用非接触ピンセット」のハンドルの先端の非接触搬送装置「フロートチャック」（特許）をハンドルを持つ手の操作によ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

□2.0mmウエハチップ非接触チャック

微小□2.0mmＩＣウエハチップを非接触にて掴みます。

ルが形成されている。 ◎特徴 １．□2.0mmチップを非接触にてチャック可能 ２．ダイシングしたウエハチップを非接触にて搬送する。 ３．トレーのチップを非接触にて取り出し可能。 ４．非接触保持しているチップの反転、傾斜が可能。 ◎適応 １．タグ埋め込みＩＣチップ ２．イベント人員管理タグＩＣチップ ３．微細ウエハチップ ４．微小レンズ ５．微小光学機器 ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

凹・凸レンズ共用ベルヌーイチャックW型

凸レンズでも凹レンズでも、1台の同じベルヌーイチャックW型にて非接触に…

　非接触搬送装置「凸・凹レンズ共用ベルヌーイチャックW型」は、気体をレンズに向かって噴出することにより、非接触の状態にて懸垂保持し、搬送することができます。 　これはレンズと対じする作動面に凹・凸レンズの2種の曲率面を形成することにより可能になりました（特許Pend.）。 　作動面とレンズとの間隙が大きい場合、気体噴出部...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

SSY-21000カセット搬送システム

カセット搬送システム

下ストローク (Z軸) スライダストローク (X軸) カセットチルト角度 (チルト軸) 590mm −350mm 200mm 980mm 90度 搬送速度 アーム (R軸)※カセット未保持状態 上下ストローク (Z軸) スライダストローク (X軸) カセットチルト角度 (チルト軸) 290mm/sec 80mm/sec 130mm/sec 40度/sec カセット保持 エア...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

反転ユニット

両面処理等が必要な装置に適しています。

pを実現(300mmウェーハ比) (小型ウェーハの場合速度50%upを実現) 低振動:新開発のモータドライバと制御方式により、低振動化を実現 真空吸着、エッジクリップ、ベルヌーイ等各種ウェーハ保持方式に対応...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

極薄ウエハ非接触搬送装置

厚さ２０μm極薄いウエハを曲げ、反り、損傷せずにに非接触にて搬送 す…

TAIKOウエハ、20μm厚さ超薄ウエハ、化合物半導体ウエハを損傷無く非接触にて懸垂保持搬送が可能。ウエハにストレスを生じさせない。 反りのあるウエハも損傷無く非接触にて懸垂保持搬送が可能。空気消費量が非常に少ないく、経済的である。...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

精密研磨装置『MA-300e』

インターロックカバーもご用意！研磨作業の更なる効率化を実現しました

『MA-300e』は、3インチや4インチ等、大きな試料を研磨する際に 好適な精密研磨装置です。 自動試料保持ユニットを3ヶ所に取り付けることにより、研磨作業の 更なる効率化を実現。 また、搖動装置を装着することにより、研磨精度の向上および研磨盤の 平坦度の維持が見込め、シーケンス制御のプログラム...

メーカー・取り扱い企業： ムサシノ電子株式会社

ＮＥＷ温度可変レーザ三次元測定機

リフロー時における熱変形を高精度測定　半導体パッケージ・プリント基板・…

能 　窒化アルミ製加熱ヒータ採用により最大で10℃/secでの加熱が可能となり、リフロー時の温度プロファイルを忠実に再現できます。 幅広い温度範囲　正確な温度制御 　試料の加熱・冷却・温度保持をおこなう恒温チャンバは、液体窒素流量制御とヒータ出力制御によりマイナス７０℃から３５０℃までの温度範囲で正確な温度制御をおこないます。 充実した測定機能　各種解析サポート機能　多彩な解析と機...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社日立テクノロジーアンドサービス

サンドブラスト用マスク治具「MJ-2025型」

カスタマイズ対応致します！複雑な作業前準備は不要です。

。 マスクを固定してありますので圧縮空気の風圧により浮きあがることはございません。 【特徴】 ○マスクでICチップを挟み込み、取っ手付きボルトで固定するので工具不要 ○あらかじめフレーム保持用ピンを配置しているので、はめ込むだけで実装可能 ○片面のみでバリが取りきれなかった場合、裏面も開口があるので 　反転して使用可能 ○1～4方向・マトリックスタイプ等の全てのICチップに対応 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社MSAファクトリー

高純度ライン用チェックバルブ（逆止弁）『CMWシリーズ』

半導体製造装置の要求するクリーン度で対応。ステンレス316L製、高純度…

CMWはシリーズは、高純度アプリケーション用に開発された溶接型コンパクトチェックバルブ（逆止弁）です。完全溶接設計の為、流体を外部リーク無く確実に保持します。電解研磨品もご用意しております。 ＜特長＞ ・半導体製造装置の要求するクリーン度で対応 ・流体をリークなく確実に保持する完全溶接設計 ・最大許容使用圧力： 20MPa ・最大許...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハムレット・モトヤマ・ジャパン

協調動作型 似顔絵作画ロボット

2台のロボットが協調しながら似顔絵を作画！輪郭などの線を画像から抽出し…

『協調動作型 似顔絵作画ロボット』は、2台のロボットがカメラで 撮影したお客様の顔写真を用いて協調しながら似顔絵を描きます。 作画を行う「6軸ロボット」は、ハンドに保持したペンを用いて似顔絵を描き、 2本の腕を用いた「双腕スカラロボット」は、色紙を取出し、移載、保持、 及びお客様へのお渡しなどを行います。 似顔絵を描く際には顔写真を画像処理し、輪郭などの...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウチゲン

SSY-10010　EFEM

EFEM

吸着搬送時 アーム 旋回角度 (θ軸) 上下ストローク (Z軸) 1800mm/sec 540度/sec 500mm/sec 繰り返し精度 ±0.1mm以内 <システム> ワーク保持方式 吸着による保持 クリーン度 ISO Class2(ISO14644) フットプリント 640mm×835mm(タッチパネルを除く) 重量 約350kg ユーティリティ 電源：単相 AC...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

ガラス基板非接触搬送システム

ガラス基板を非接触にて搬送システム

ラス基板（2200mmｘ2200mm）およびＰＤＰ大型ガラス基板 (2000mmx2000mm)の非接触搬送用に採用が検討されている。また排出気体が減少するためクリーンルームでの使用も可能である。、保持安定性に優れ、衝撃に強く、ガラス基板にストレスをかけることがない。薄い半導体ウエハの非接触搬送にも多く採用されている。...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

VGFS非接触搬送装置「フロートチャックSAC型」

気体垂直噴流方式（VGFS）を採用し、気体流の摩擦損失を減少させたベル…

す。気体垂直噴流方式はクッション室にノズルより噴出する気体流を垂直気体噴流させることり、クッション室内の気体流の摩擦損失を減少させ、負圧発生の効果を増し、従来型より大幅に懸垂能力を増加させることで、保持安定元力が増し、衝撃に強く、気体消費量をほぼ半減させました。...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

『ムサシノ電子株式会社　総合カタログ』

高精度・高効率性を追求した研磨技術！精密研磨装置の総合カタログをプレゼ…

は、その構造的特長から回転基準盤における 高い面振れ精度を有しており、土5μm以下を保証しております。 バリエーションに富んだ研磨装置のほか、多様化する用途に応える多彩な 「自動研磨（試料保持）ユニット」や「平面度修正用品」などもご紹介しています。 【掲載製品】 ■超精密研磨装置 ■自動研磨(試料保持)ユニット ■平面度修正用品、各種補助装置 ■各種試料ホルダー ■研磨盤...

メーカー・取り扱い企業： ムサシノ電子株式会社

保有技術『バフ研磨』

高い研削力が必要な加工から光沢・鏡面仕上げまで幅広い対応が可能！

『バフ研磨』は、表面に砥粒を保持させた布、皮、ゴムなどの柔軟性のある素材で できた研磨輪(バフ)を高速で回転させ、そこにワークを押し当てることで ワーク表面を磨く加工です。 一般的には仕上研磨として使用されることが多いで...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社シズテック

アモルファス太陽電池搬送装置

アモルファス太陽電池搬送装置

空気を噴出することによりアモルファス太陽電池・シリコン太陽電池・偏向板・ＦＰＣ・フィルムを空中に浮遊した非接触状態にて懸垂する非接触搬送装置「フロートチャック」（特許）にて構成される保持装置と「非接触支持走行装置」にて構成しております。 アモルファス太陽電池・　偏光板、フィルム、シート、ウエハ、ガラス、紙等のシートを非接触搬送装置「フロートチャック」（特許）により積層したシートを１...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

ウェハー拡張装置｜ウェハーエキスパンダー EX-300

モーター駆動方式を採用した12インチ対応のウェハーエキスパンダー。8イ…

のモーター駆動型エキスパンダー、オートカット機能付きエキスパンダー等、要件に応じた選択が可能。 拡張後は、グリップリング（インナーリングとアウターリングの自動挟み込み）によりテープの拡張状態を保持します。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノビジョン 本社

１０Gガラス基板非接触搬送装置

１０Gガラス基板非接触搬送装置

気体を噴出することによりワークを非接触にて懸垂保持し搬送する非接触搬送装置。気体噴出機構に新機構を採用しており、空気噴出口は噴出角度をワークに対して小さな角度を持たせている。気流の壁面接触による摩擦損失により生じる気流速度の減速が無い。負圧発生量は...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

【Q&A】イオン注入・分析のよくあるご質問

イオン注入・分析のよくあるご質問をQ&A形式でご紹介しています

オン注入サービスを行っております。 資料では、イオン注入・分析のよくあるご質問をQ&A形式でご紹介。 「イオン注入とは？」をはじめ、「アモルファスとは？」や 「サンプルなどの情報の機密保持は？」等、様々なご質問にお答えしています。 【掲載内容（抜粋）】 ■Q.イオン注入とは？ ■Q.イオン注入できるサンプル、ウェハの大きさや種類を教えてください。 ■Q.イオン注入を立ち合...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社イオンテクノセンター

高温ウエハ用非接触ピンセット

高温のサセプターからウエハを非接触にて取り出す耐熱仕様のピンセット

ＣＶＤ装置による半導体ウエハのエピタキシャル成膜後のサセプター上の高温ウエハを、気体を噴出することにより非接触によりウエハを懸垂保持し搬送する「フロートチャック」に手動バルブの付いた取っ手を装着し、ピンセットのようにハンドルを持つ手によるバルブ操作により気体供給のＯＮ−ＯＦＦを行い、高温のサセプターからウエハを非接触にて取り出す...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

ベルヌーイチャック（非接触タイプ）

反りのあるウェーハ、薄物ウェーハに対応したベルヌーイチャックです。

材質 アルミ 表面処理 黒アルマイト ウェーハ保持方式 サイクロンパッドによる吸引とガイド（PEEK）によるエッジ保持 （接触部材質は各種製作可能) ユーティリティ 30～80L/min（ワークサイズ、厚みにより異なります）...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

非接触エンドエフェクター

ウエハカセットローダ・アンローダ非接触ロボットハンド

　「非接触エンドエフェクター」は、気体を噴出することによりベルヌーイ効果により負圧を発生し、ウエハを空中に浮遊した非接触の状態にて懸垂保持します。 　このハンドは薄く製作されていますので、キャリアーへのウエハの　 ローダ・アンローダに最適です。 　このハンドには排気回収装置(特許）が装着されていますので、クリーンルーム内にて使用...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

非接触ロボットハンド

非接触ロボットハンド

気体を噴出することによりエゼクタ効果及びベルヌーイ効果による負圧発生と圧力式エアクッション効果による正圧発生により、ワークを空中に浮遊した無接触・非接触状態にて懸垂保持し、搬送、反転、傾斜する。ベルヌーイチャックともいう。排気回収機構により超クリーンルーム内での使用も可能。半導体ウエハ、ＬＣＤ・ＰＤＰガラス基板、プリント基板、セラミック基板、フィルム、紙、不織布、...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

ウェハー拡張装置｜ウェハーエキスパンダー TEX-21シリーズ

拡張ステージの駆動にエアシリンダーを採用。シンプル構成により、メンテナ…

のモーター駆動型エキスパンダー、オートカット機能付きエキスパンダー等、要件に応じた選択が可能。 拡張後は、グリップリング（インナーリングとアウターリングの自動挟み込み）によりテープの拡張状態を保持します。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノビジョン 本社

非接触チャック「フロートチャックSA型」

空気消費量が従来の1/3のベルヌーイチャック

非接触にてワークを搬送する。 空気消費量が従来の１／３である。 保持力が強力である。 保持安定性に優れている。...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

高耐熱樹脂　『PEEK』　【短納期　小ロット　対応可能】

半導体、航空宇宙、食品、医療などでマルチに活躍する高性能樹脂！ 切削…

性の連続使用温度は約240∼250℃。 　融点は334℃で熱可塑性、プラスチックでは最高ランクに入る。 ■耐放射線性に優れる 　放射線による劣化が起こりにくく1000Mradまで絶縁性を保持することが出来る。 ■比較的不燃性に優れる(発煙しにくい) 　燃焼時、刺激性のガスが発生しない。煙も非常に少ない。 ※詳細はカタログ請求して頂くかダウンロードからPDFデータをご覧...

メーカー・取り扱い企業： ナラサキ産業株式会社 メカトロソリューション部　機能材料課

エッジグリップチャック

裏面処理済みの接触不可のウェーハ等搬送用チャックです。

搬送時にウェーハのセンタリングが可能なため、落とし込みのステージなどへの搬送に適しています。 ウェーハの前後方向をエアシリンダによりガイドを前後させ保持します。 ウェーハの裏面を接触する事なく、ウェーハの外周を挟み保持 外周を挟む事により、ウェーハのセンタリングが可能 高速搬送が可能 ガイドの動作量によってウェーハの有無を確認...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

3D-01661吸着チャック

Y型の真空吸着チャックです。

ウェーハサイズ300mmの搬送に適しています。（ランダムアクセス対応） 大気環境用ロボットに多く使用され、ワークの裏面を真空吸着（負圧）により保持します。 チャック表面に導電性テフロンコーティングを施すことにより、搬送ワークを帯電による損傷および傷から防止します。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

ウェハー拡張装置｜ウェハーエキスパンダー TEX-220

オペレータの作業を低減、生産効率を向上することができる、オートカット機…

のモーター駆動型エキスパンダー、オートカット機能付きエキスパンダー等、要件に応じた選択が可能。 拡張後は、グリップリング（インナーリングとアウターリングの自動挟み込み）によりテープの拡張状態を保持します。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノビジョン 本社

小型真空蒸着装置『HVE-100』【クリーンな成膜を実現！】

クリーンな成膜が可能な小型真空蒸着装置！シャッタを具備しているので安定…

【その他の特長】 ■抵抗加熱蒸発源 ・Niメッキされた銅電極により酸化抑制工具不要で蒸着ボートの交換作業容易 ・ボート以外にフィラメントの装着も可能 ■基板保持機構 ・Φ70の試料ステージは上蓋をハッチ式のチャンバ上蓋に設置してある為、試料交換作業が容易 ・オプションで加熱/冷却機構の実装可能 ■蒸着シャッタ ・手動式直線型シャッター機構により任意...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイブリッジ 東京営業所