旋削加工に代わる「拡管加工」真円の精度を極限まで高めることに成功

PR加工後に発生する、内径の歪みを抑えて真円の精度にこだわった拡管加工とは…

CNC旋盤を使用して旋削加工していると様々な問題が発生します。 長いフレームの旋削は、フレームの共振と不安定な固定により、内径、垂直度や平行度に影響を及ぼします。 イングスの拡管加工では、アルミ押し出し材の表面を保持しますので、表面粗さも満足いただけます。また、拡管加工で内径を加工する場合、製造コストを抑えることもできます。 【拡管加工使用例】 ■ACモーターフレーム ■DCモー...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社イングス

小型真空蒸着装置『HVE-100』【クリーンな成膜を実現！】

PRクリーンな成膜が可能な小型真空蒸着装置！シャッタを具備しているので安定…

『HVE-100』は省スペースな小型蒸着装置です。基板成膜面は下向きで 設置、抵抗加熱源からの蒸発で上向きに成膜する配置（デポアップ）です。 シャッタを具備しているので安定した状態で蒸着が可能です。 【特長】 ■高真空排気系：<10^-4Paの到達真空度でクリーンな成膜が可能 ■チャンバはメンテナンスしやすいようにSUS製で内部に防着板を配置 ■省スペース/小型化：W500×D39...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイブリッジ 東京営業所

『機械設備一覧』

ダイカスト鋳造部門、金型鋳造部門などの機械設備！充実のラインアップ！

ダイカスト鋳造部門 ・ダイカストマシン670t　宇部興産機械製 1台 ・ダイカストマシン650t　東洋機械製 2台 ■金型鋳造部門 ・金型鋳造機(傾斜式) 520×700 4台 ・連続溶解保持炉　メイチュー 1基 ■機械加工部門 ・マシニングセンター＃40　エンシュウ EV450 2台 ・マシニングセンター＃40　日立精機 VM40III 4台 ■品質保証部 ・ロックウェル硬度...

メーカー・取り扱い企業： 栗田アルミ工業株式会社

プロトスキャリア用　ウエハ非接触ピンセット

プロトスキャリア用のウエハを傷を付けずに移載する非接触ピンセット

とによりワークとの距離に応じてその内部をエゼクタ効果およびベルヌーイ効果により負圧にし、また圧力室型エアクッション効果および空気流のクッション効果により正圧にすることにより、基板を非接触状態にて懸垂保持する機能を有しております。 ハンドルの先端の非接触搬送装置「フロートチャック」をハンドルを持つ手の操作により空気供給のＯＮ−ＯＦＦを行い、ウエハを非接触にて吸着し、脱着を行います。 ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

『塩化第二鉄溶液電解再生システム』

安全でクリーンな塩化第二鉄エッチング液電解再生装置

【主な機能】 ■エッチング液中の残存物質をゼロに ■エッチング液Cl濃度コントロール ■エッチング液比重調整 ■安全な作業環境保持 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社長井製薬所

キャリアー用非接触ロボットハンド

ウエハをキャリアーへ非接触にて挿入・取り出しをするロボットハンド

「非接触キャリヤー用ロボットハンド」は、ウエハを空中に浮遊した非接触の状態にて懸垂保持します。このハンドは薄く製作されていますので、キャリアーへのウエハのローダ、アンローダに最適です。このハンドには排気回収装置が装着されていますので、クリーンルーム内にて使用可能です。また位置決め機構...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

フィルム表面改質装置（ロールtoロール式）

高機能フィルム・有機EL向けロールtoロールプラズマ装置

・全面樹脂カバーとHEPAユニットでクリーン度を保持 ・改質時に放出されるオゾン、N2ガスを封じ込め、オ 　ゾン吸着フィルターを通して一括排気 ・サーボモーターと自動式ピンチローラーによる定速度搬送 ・ピンチローラーの表面接触は端面10mm ...

メーカー・取り扱い企業： ブルーオーシャンテクノロジー株式会社

超薄反り板状体非接触チャック

超薄反りウエハを触らずにつかむ非接触搬送装置

ＧａＡｓウエハ、超薄ウエハなどの反りのあるウエハを非接触にて搬送します。「超薄反り板状体非接触チャック」は、気体を噴出することによりウエハを非接触にて懸垂保持します。本装置は、新しく開発した気体噴出ノズル、排出部（Pat.Pend．）を採用し反りにあるウエハに非接触搬送を可能にしました。 ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

ポーラスチャック

反りのあるウェーハなど吸着チャックでリークするウェーハの搬送に適してい…

材質 高純度アルミナセラミックス 吸着面材質 多孔質セラミックス（ポーラスセラミックス） ウェーハ保持方式 吸着 厚み 3mm メッシュ粒径 44～74μm（グレード#220） 平均細孔径 20μm（グレード#220）...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

ベルヌーイピンセット

空気供給on-offマニュアル操作によるウエハ非接触ピンセット

とによりワークとの距離に応じてその内部をエゼクタ効果およびベルヌーイ効果により負圧にし、また圧力室型エアクッション効果および空気流のクッション効果により正圧にすることにより、基板を無接触状態にて懸垂保持する機能を有しております。...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

ウェーハ厚さ測定機（TMEシリーズ）

大人気のTMEシリーズ

□TME-02A型/TME-02B型□ シリコンウェーハを専用カセットからエッジハンドリングで取り出し、設定されたパターンの厚さ測定を行う装置です。 シリコンウェーハの外周3点を保持しθテーブルを回転させて、任意の場所の厚さを測定します。 当社独自の「非接触アース」方式により、安全非接触での取り扱いが可能です。 バーコードリーダを装備し、読み取ったバーコードナンバーをEx...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム

バッチ式ウェーハ移し換え機『D-Trans』

発塵防止しウェーハを確実に保護！一括移載も可能！

移し換え機です。 ハンドリング時にモータを加減速制御し、ショックを最小として 発塵を防止します。 【特長】 ■全ウェーハを一度に持ち上げ、キャリアからキャリアへ一括移載 ■ウェーハ保持部はV溝形状としウェーハの端面だけをハンドリング ■最適速度制御により、短時間での移載が可能 ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダイナミックス

石英製ウエハ非接触ハンド

石英製非接触ロボットハンド。ベルヌーイチャックともいう。気体を噴出する…

ンド。ベルヌーイチャックともいう。気体を噴出することによりエゼクタ効果及びベルヌーイ効果による負圧発生と圧力式エアクッション効果による正圧発生により、ウエハを空中に浮遊した無接触・非接触状態にて懸垂保持し、搬送、反転、傾斜する。排気回収機構により超クリーンルーム内での使用も可能。...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

三菱電線工業の耐熱ふっ素ゴムシール「サンエラストＫ」

長期耐久性に優れたふっ素ゴム！！従来のふっ素ゴムに比べ高温（200〜2…

■高温における長期圧縮永久歪みが小さい ■高温での質量減少が従来材料に比べ少ない ■真空保持性能に優れる ■パーフロロエラストマーより低価格です...

メーカー・取り扱い企業： 三菱電線工業株式会社

中低真空用LMガイド

大気圧〜真空の環境下で安定した転がり抵抗を実現

● 大気圧〜真空の幅広い環境で使用可能。 ● ベーキング温度、最高200℃※まで対応可能。 ● 新開発の中低真空専用ラビリンスエンドシールは、グリース保持性を向上させ、長期真空中の使用が可能。 ● 新開発の中低真空用グリースの採用により、安定した転がり抵抗を実現。 ※ベーキング温度が100℃を超える場合は、基本定格荷重に温度係数を乗じてく...

メーカー・取り扱い企業： ＴＨＫ株式会社

落とし込みチャック

反りのあるウェーハなど吸着チャックでリークするウェーハの搬送に適してい…

ャックでリークするウェーハの搬送に適しています。 外周裏面及びエッジ部が接触可能なウェーハ等の搬送用チャックです。 ウェーハの自重によってテーパ状のガイドを利用し、一定範囲にウェーハを落とし込み保持します。 外周から接触制限のあるウェーハをお求めやすい価格で搬送 オプションで基板有無センサを付ける事によってウェーハの有無を確認（大気使用時）...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

SiCウェーハ厚さ測定機　(TME-05型)

ガラス板に貼り付けられたSiCウェーハの厚みと接着剤の厚み測定及び、S…

・厚さは、光学式プローブ/センサにて非接触測定します。 ・ポーラスチャック式ウェーハステージを採用し、薄いウェーハを均一に保持します。 ・測定データは、付属パソコンのモニタ表示の他、CSV形式で保存します。またグラフィカル表示も可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム

ウェーハ厚さ測定機（TMR）

シリコンウェーハを専用カセットからエッジハンドリングで取り出し、設定さ…

シリコンウェーハの外周3点を保持しθテーブルを回転させて、任意の場所の厚さを測定します。 当社独自の「非接触アース」方式により、安全非接触での取り扱いが可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム

マスク検査ステージ（QIS-0１型）

石英マスクの表裏面目視検査を行うための治具です

作業者がワークをセットします。樹脂ピンによりワークを保持します。 手動にて傾斜・旋回操作ができ、ワークの表裏面の検査が容易に行えます。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム

SSY-11000

450mmウェーハ搬送システム

アーム (R軸) 旋回角度 (θ軸) 上下ストローク (Z軸) スライダストローク (X軸) 1600mm/sec 550度/sec 500mm/sec 2500mm/sec ウェーハ保持方式 真空吸着, 落とし込み, エッジグリップチャック, ベルヌーイチャック クリーン度 ISOクラス2（ISO14644） (駆動部排気時搬送レベル) 質量 ロボット本体 約60kg シス...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

SWCR3160CS (防水対応）

3軸円筒座標型クリーンロボット

Z軸部防水構造にジャバラ使用 動作モニター装備 制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O 全軸2相ステッピングモータ使用 S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送 ウェーハ保持:真空吸着、落し込み、エッジグリップチャック 被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

耐熱仕様：非接触搬送装置「フロートチャックSAH型」

高温ワークを非接触にて移載するベルヌーイチャック

ます。気体垂直噴流方式はクッション室にノズルより噴出する気体流を垂直気体噴流させることり、クッション室内の気体流の摩擦損失を減少させ、負圧発生の効果を増し、従来型より大幅に懸垂能力を増加せることで、保持安定元力が増し、衝撃に強く、気体消費量をほぼ半減させ ました。 高効率で気体消費量の少ない非接触搬送装置のベルヌーイチャックです ◎特徴 １．耐熱1000℃可能 ２．使用温度環境に応じた...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

ボールリテーナ入り高速ボールねじ SBN形 小型サイズ

ボールリテーナ入りボールねじSBN形に軸径16〜32mm登場

ボールリテーナ入り高速ボールねじSBN形はボール同士の衝突や相互摩擦をなくし、また潤滑剤の保持性を向上 させる為、ボール間にボールリテーナを装着しました。これにより低騒音化や優れたトルク特性及び長期メンテナンスフリーを実現します。 リターンピ−スにより接線方向へボールをすくい上げる理想的...

メーカー・取り扱い企業： ＴＨＫ株式会社

TSVCR3060N（2インチウェーハ搬送）

真空トランスファーチャンバーの小型化に寄与します。

ロボット仕様 ロボット型式 TSVCR3060N-020-PM 被搬送物 2インチシリコンウェーハ ウェーハ保持方式 落とし込みによるラフガイド方式 機械構造形式 円筒座標型 制御軸 3軸 モータタイプ エンコーダ付き2相パルスモータ 動作範囲 アーム(R軸) 旋回角度(θ軸) 上下ストローク(Z軸) ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

SAL2041（エッジグリップ仕様）

ウェーハ用アライナ

無し） 位置決め時間 オリフラサーチ 5秒以内（持ち直し無の場合） 位置決め精度 センタリング：±0.2mm以内 オリフラロケート：±0.3度以内 センサ 赤色LED透過式センサ ウェーハ保持方式 ウェーハグリップアームによるエッジグリップ方式 クリーン度 0.1µm/cf クラス1（駆動部排気時） 駆動方式 小型ステッピングモータを各軸に使用(モータドライバは内蔵しております) ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

フィルム研磨機でのテーパー面研磨事例【工具保持具】

砥石研磨に代わる！SCM415のマシニング用ツールホルダーを加工した事…

「フィルム研磨」は、優れた仕上表面を短時間で実現し、研磨ムラや、 キズの発生を極力抑える事が可能です。 工具保持具メーカー様より、表面粗さの向上を目的としたテーパー面 研磨のご依頼がありました。 ワークはマシニング用ツールホルダー、材質はSCM415。 マイクロフィルム15μを使用し、25秒加工...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社松田精機

【加工事例】ねじ山部 断面顕微鏡観察試料の作製

株式会社マルトーのステンレス、焼入れねじ加工事例をご紹介。

の作製を 行った事例をご紹介いたします。 【概要】 ■樹脂包埋 　・包埋モールドの底部と平行に試料を置き、テクノビット4004で包埋 ■切断 　・樹脂モールドをフリークランプバイスで保持し、金属用ラボカッター 　　及びCBNブレードを使用して切断 ■鏡面研磨 　・切断後の樹脂モールドをモールドケンビに装着し、ドクターラップで鏡面研磨 ※詳しくは外部リンクページをご覧いた...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マルトー 本社

ベルヌーイチャック（接触タイプ）

反りのあるウェーハ、薄物ウェーハに対応したベルヌーイチャック。

を行い、お客様の任意の形状で各種サイズ、反り量、ウェーハ厚みに対応した設計を行います。 基板に対してベルヌーイの力でワークを吸引します。 搬送時のズレを防止する為にフリクションゴムの摩擦力で保持します。 チャック側の面は接触をしますが、ウェーハサイズが異なる場合に兼用（※組合せにより、できない場合があります）することができ、非接触タイプと比較してチャックの厚みを薄く作ることが可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

立体形状への成膜加工

平面モノだけでなく、立体モノへの成膜もできます！ご希望の成膜箇所をお聞…

ス板やフィルムといった平板形状のものだけでなく、セラミック加工品や金属材等の立体形状の製品への成膜も可能です！ 装置の中で回転させながら成膜することで、ご指定の部位へ成膜が行えます。 また、保持方法等の工夫により段差部や溝・穴の内部への成膜が可能な場合もあります。 φ1ｍｍ以下の 小さなもの から、φ500ｍｍ×L500ｍｍの立体物、800ｍｍ×1000ｍｍの平板など、サイズや形状に...

メーカー・取り扱い企業： 東邦化研株式会社

精密研磨装置『MA-400e』

主軸に高精度アンギュラベアリングを採用！基準テーブル上で±10μm以内…

高い精度で研削仕上げした上定盤に直接主軸が 取り付けられている精密研磨装置です。 ブラシレス直流モーターは負荷変動による回転数の変化が無いため 高精度の研磨が可能。 自動研磨機構コロ保持ユニット、コロ式揺動保持ユニットと各種試料ホルダーの 組み合わせによって電子材料、電子部品、セラミック、金属材料や、TEM、 SEM、SIMS試料の前処理、X線による方位出し等、高精密の自動研磨...

メーカー・取り扱い企業： ムサシノ電子株式会社

ダイヤモンド工具研磨盤『DTP-3A型』

単結晶ダイヤモンドバイトのすくい面や逃げ面の面加工及び刃付けに使用しま…

型』は、単結晶ダイヤモンド工具の専用機です。 主軸はエアーベリングを使用。高速、長時間の連続運転に対しても高速で 安定した運転を保つことができます。 また、お客様ご要望にあわせたワーク保持具を設計製作した 専用揺動式研磨治具装置が搭載できます。 【特長】 ■主軸はエアーベリングを使用 ■高速で安定した運転を保つことができる ■作業テーブル上には研磨治具装置用ベースが4基...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社イマハシ製作所 東京営業所

STWHR4156 (防水対応）

防水対応4軸円筒座標型ロボットのSTWHR4156シリーズです。

用によりウェーハ交換時間の短縮 動作モニター装備 制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O 全軸2相ステッピングモータ使用 S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送 ウェーハ保持:真空吸着、落し込み、エッジグリップチャック 被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

TSCR3060N（2インチウェーハ搬送）

搬送部の小型化に寄与します。

ロボット仕様 ロボット型式 TSCR3060N-135-PM 被搬送物 2インチシリコンウェーハ ウェーハ保持方式 真空吸着保持方式 機械構造形式 円筒座標型 制御軸 3軸 モータタイプ エンコーダ付き2相パルスモータ 動作範囲 アーム(R軸) 旋回角度(θ軸) 上下ストローク(Z軸) ±119mm...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

SAL1021（2インチウェーハ搬送）

搬送部、真空トランスファーチャンバーの小型化に寄与します。

ンチシリコンウェーハ 位置決め精度 センタリング：±0.3mm以内 オリフラロケート：±0.3度以内 位置決め時間 センタリング～オリフラ 約10秒 センサ オリフラサーチセンサ ウェーハ保持方式 アライメント時：エアシリンダ駆動のエッジグリップ機構にて位置決め オリフラサーチ時：スピンドル上のウェーハは真空吸着により保持 クリーン度 ISOクラス2（駆動部排気時） 駆動方式 2相...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

ロードロック式周波数調整装置 「SFE-B03-II」

コンパクト設計・高精度・低価格・高安定・高再現性

ます。 FLモード (負荷容量自動演算モード) を搭載しています。 イオンガン本体、コンタクト機構のメンテナンス性が大幅向上しました。 ２室ロードロック方式を採用することで、処理室は常時真空に保持されているので、タクトタイムが真空排気及び大気開放の時間に依存しません。 オプションユニットとしてオーバードライブ機構付ローダー・アンローダー装置装着により、連続運転が可能となりました。 【...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社昭和真空

ホローカソード方式 イオンプレーティング装置　SIH-400T

ドロップレットを減少させるための蒸発源高速回転機構付です。

【仕様】 ○真空槽　Φ400 × H500mm ○蒸発源　HCD/Gun　水冷ハース　電源 ○ワーク保持機構 　自公転治具 or 公転治具 ○ワーク加熱ヒーター　シースヒーター ○測定系　ピラニー真空計　ペニング真空計 ○排気系　複合分子ポンプ　油回転ポンプ ○バイアス電源　100V-10A ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社昭和真空

【ロータリー研磨実績】薄物研磨

0.8～0.7ミリなど薄物研磨も可能！ロータリー研磨の実績をご紹介

株式会社KANO PRECISIONの、ロータリー研磨による薄物研磨を行った 実績をご紹介いたします。 材質はSK5、サイズは外径90ミリ、研磨目が指定されているため 特別な保持方法により0.8ミリから0.7ミリに研磨しました。 他にも、常磐上に置いた時少しでも浮いていると不良になる為、歪が 出ないように加工した事例もございます。 【研磨実績（材質：SK5）】...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社KANO PRECISION 本社

SCR3160CSN (クローズドループ制御)

●クローズドループ制御●アブソリュートエンコーダ搭載●バッテリレスを実…

○ロボット型式 SCR3160CSN-300-CM ○被搬送物 2, 3インチ, 100～300mmウェーハ （その他特殊なワーク、形状、材質へも柔軟にカスタマイズ対応致します） ○ウェーハ保持方式 チャックによる真空吸着 ○機械構造形式 円筒座標型 制御軸 3軸 ○モータタイプ 全軸2相パルスモータ ○動作範囲 ワーク中心到達距離 旋回角度(θ軸) 上下ストローク(Z軸) 552...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

STCR4160SN(クローズドループ制御)

●クローズドループ制御●アブソリュートエンコーダ搭載●バッテリレスを実…

○ロボット型式 STCR4160SN-300-CM ○被搬送物 2, 3インチ, 100～300mmウェーハ （その他特殊なワーク、形状、材質へも柔軟にカスタマイズ対応致します） ○ウェーハ保持方式 チャックによる真空吸着 ○機械構造形式 円筒座標型 制御軸 4軸 ○モータタイプ 全軸2相パルスモータ ○動作範囲 ワーク中心到達距離 旋回角度(θ軸) 上下ストローク(Z軸) 575...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル