オーダーメイド型スパッタリング成膜装置

PR難しい材料、様々な基板形状、用途にも！非常に幅広い基板サイズに対応可能

当社では、研究・試作から量産まで対応可能な「オーダーメイド型 スパッタリング成膜装置(PVD)」を取り扱っております。 フレキシブルエレクトロニクス、光通信技術、薄膜太陽電池や バッテリー等の薄膜デバイスの研究開発から量産まで装飾や 表面保護のためのコーティングにも対応。 サンプルサイズ、成膜対象マテリアル、バッチプロセス等、お客様の 用途に応じて組み立てることが可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

【新製品】エアリークを可視化ですぐに検知！ 産業用超音波カメラ

PR圧縮空気・ガスの漏れの「見える化」 圧縮エアー・ガスのリークを可視化す…

・圧縮空気・ガスの漏れの「見える化」 圧縮エアー・ガスのリークを可視化することで、すぐにピンポイントでガス漏れを画面上に表示することができます。高所や大きな配管の継手等、通常のガス検知器では難しい場所のリークも検知できます。ガス種は関係なく、可燃性ガス、蒸気のリークも検知できます。 ・見やすく操作しやすいディスプレイ 7インチのタッチスクリーンにより、簡単操作でリークを発見できます。周波数範...

メーカー・取り扱い企業： サニー・トレーディング株式会社 営業本部

電子グレードCVD

横の許容は+0.2/0-0mm、厚さの許容は+/-0.05mm！電子グ…

ティングな進歩を遂げ、 大面積のホモエピタキシャル成長単結晶ダイヤモンドプレート/フィルムを 提供しています。 CVDダイヤモンドが示す有望な結果により、RFダイオード、BJT、FET、MEMS、 電子産業など多くのアプリケーションがあります。 今後も継続的な技術革新と継続的な努力が、放射線治療用線量計などの 医療分野に方向性を与えていくことでしょう。 【仕様と公差】 ...

メーカー・取り扱い企業： 合同会社SUPERHARD JAPAN

研究開発用スパッタリング装置

高水準な仕様と豊富なオプションで様々な成膜用途に適した研究開発用スパッ…

0mm以内）） ■少量生産、夜間自動運転に対応した自動搬送オプションも可能 ■用途 ・有機EL, 太陽電池, 光学部品, バイオ, 半導体・電子部品, 　自動車・樹脂, 特殊膜, MEMS ■代表的な成膜材料 ・誘電体膜ほか 　SiN, SiO2, ZrO, TiO2, 重合膜 ・透明導電膜 　ITO, ZnO ・金属膜ほか 　Au, Ag, Cu, Si, Ti, ...

メーカー・取り扱い企業： 芝浦メカトロニクス株式会社

『機能水装置』

薬品量の削減、排水処理負荷の低減などに貢献！機能水装置を多数ラインアッ…

『機能水装置』は、半導体、フラットパネルディスプレイ(FPD)、太陽電池、 MEMS等の洗浄工程における薬品洗浄の代替えとして利用されています。 機能水を使用する事により薬品の使用量を削減し、環境・安全面はもちろん、 企業・製品のイメージアップにもつながります。 当...

メーカー・取り扱い企業： 日東機器ファインテック株式会社

自動テーピング装置　AT468

半導体、ダイ、パッケージソーター。チューブ、トレイ、テーピング/リール…

● チューブ、JEDECトレー、ボールフィーダー、テーピング/リール対応 ● 対応パッケージ：SOIC,QFN、TSSOP、MEMS等 ● 検査項目 　〇 銅などがむき出しになっているリード欠陥 　〇 マーキング、外観欠陥検査 　〇 2台のカメラによる５面、２D/3Dリード、パッド検査 　〇 表裏外観検査 　〇 装...

メーカー・取り扱い企業： CCTECH Japan CCTECH Japan（株）- 　日本法人

立体レジスト塗布装置「スプレーコーター　DC110/DC210」

スピンナークラスの薄膜から超厚膜まで対応。膜厚は１μｍ～６００μｍまで…

MEMSデバイス、及び各種半導体研究用に開発されたスプレーコーター ...

メーカー・取り扱い企業： 三明電子産業株式会社

イオンビームミリング装置『scia Mill 150/200』

最大150又は200mmウエハ基板対応！エッチング角度及びステージ傾斜…

【アプリケーション】 ■MRAM、GMT、TMR等エッチング ■MEMS(Au、Ru、Ta)等エッチング ■スムージング、マイクロラフネス低減 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイテック・システムズ

マスクの製作からパターニングまでの一貫製作　「パターニング」

小数枚の加工への対応可。シリコンウエーハ以外の基板投入可能。

6インチのMEMS加工を中心に展開をしておりますが、 8インチ、12インチへの部分的なパターニングの対応も可能です。 基板サイズ、パターン仕様に応じて装置を選定します。 １枚からの対応も可能です。 フォトリ...

メーカー・取り扱い企業： 大村技研株式会社

ミリング装置用アンペア級イオン源

MEMS加工装置用イオン源に！ご要望に合わせたオーダーメイドが可能です

当製品は、大面積イオンビームによる高速ミリング処理に 適用できる大型イオン源です。 耐熱/低スパッタ率電極材料の採用により、低エネルギー アンペア級イオンビームを発生。 ご要望に合わせオーダーメイドいたします。 【特長】 ■荷電粒子軌道シミュレーションによるビーム均一性の最適化 ■耐熱/低スパッタ率電極材料を採用 ■低エネルギーアンペア級イオンビームを発生 ※詳し...

メーカー・取り扱い企業： ノベリオンシステムズ株式会社

イオンビームトリミング装置『scia Trim 200』

メカニカルクランプ又は静電チャック対応！サブナノメーターエッチング機構

【アプリケーション】 ■SAW、BAWフィルター向け周波数又は膜厚制御 ■SOI、クオーツ、LT/LTや貼り合せ基板の厚さ制御 ■TFH向け段差及び膜厚制御 ■MEMS用形状補正 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイテック・システムズ

マスクレス露光装置PALET『DDB-701シリーズ』

トライ＆エラーが必要不可欠な研究・試作用途に好適なマスクレス露光装置

『DDB-701シリーズ』は、MEMS技術の代表格であるフォトリソグラフィを、 卓上で、手軽に、思いのままに行えるマスクレス露光装置です。 装置サイズを徹底的に小型化し、A3サイズの設置面積を実現。 フローティング構造を...

メーカー・取り扱い企業： ネオアーク株式会社 東京営業部

赤外線顕微鏡　「ＩＲ−1300」

傷や異物の寸法計測も可能！シリコンチップの内部観察に適しています！

MEMSに於いて赤外線でウェーハ裏面の観察を行う際に鮮明な画像が得られないケースは多々ありますが、その画像をエンハンサソフトで鮮明にする事が可能です。傷や異物の寸法計測も可能です。...

メーカー・取り扱い企業： ディスク・テック株式会社 本社

TEG(テスト)ウエハソリューションサービス

お客様のご希望に応じたカスタムTEGウエハの設計・試作！

成 　・バンプ加工 　・ウエハBG/DC 　・裏面成膜加工 ■基板製作 　・ガラエポ 　・フレキ 　・ガラス 　・セラミック ■アセンブリ&加工 　・少量アセンブリ試作 　・MEMS加工 　・レーザー加工 　・レジンウエハ ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： TEGソリューション株式会社 本社

ウエハサポートサービス

超薄化のためのウエハサポートサービス

当社は、超薄化のための『ウエハサポートサービス』を展開しており、 研磨・研削・洗浄の一貫加工とMEMS加工を強みとしております。 薄化したウエハはサポートした状態で、お客様のプロセスに流すことが可能。 また、ダイシングテープにウエハを貼った状態で出荷します。 【熱&薬品耐性】 ■耐...

メーカー・取り扱い企業： 六甲電子株式会社

マスクアライナー

セミカスタムで最適なシステム構成にできます

汎用マスクアライナーES20シリーズ以外にウェハ両面同時露光タイプや裏面観察式マスクアライナーなど各種ラインアップしております。 フォトリソグラフィ関連装置およびMEMS研究開発支援装置など、お客様の仕様に合わせたカスタム装置開発製作も承っております。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ナノテック

豊和産業株式会社 　会社案内

『想像から創造へ』オプトエレクトロニクス業界の技術開発に取組んでいます

今、何を求めているのか？”を的確に判断し、我社が誇 るヒューマンネットワーク及び技術ネットワークを駆使し、迅速に ご回答申し上げる事を使命と位置づけています。 今後益々、電子光学業界のみならず、MEMS業界、通信、バイオ、 医療など、異業種間の技術融合が盛んになる事は間違いありません。 お客様からの安心と満足、そして信頼に値する企業を目指し、日々 自己研鑽していく所存で御座います。 詳しくはお...

メーカー・取り扱い企業： 豊和産業株式会社

自動化・省力化、製造工程便利アイテムをご紹介！【資料一斉公開中】

新しい発想で自動化・省力化に貢献！特殊工法により、様々な製造現場で活躍…

I(ポリイミド)貼付け ■貼り合わせ加工(貼合) ■ノイズ対策／シールド材の貼り付け ■カバーレイ貼り付け ■フレキシブルアンテナ反射材アッセンブリー ■FPC多層化アッセンブリー ■MEMSマイクやセンサへの水密通気フィルム貼り付け ■筐体および接触部へのクッション材の貼り付け ■機構部品／防水シール貼り付け ■光学ユニットのアッセンブリー(導光体、拡散フィルムなど） ■実装...

メーカー・取り扱い企業： 三井金属計測機工株式会社 FAソリューション関連事業

「ナノピンセット」リーフレット

マイクロ・ナノサイズの試料の把持が可能な微小ピンセットのリーフレットで…

マイクロ・ナノサイズの試料の把持が可能な微小ピンセット「ナノピンセット」をご紹介するリーフレットです。 ナノピンセットとは、MEMS（Micro Electro Mechanical System）技術を用いてシリコンウェハを微細加工して作製されたピンセットです。専用コントローラを用いて電圧を印加することによって、ピンセット先...

メーカー・取り扱い企業： アオイ電子株式会社

薄膜コーティング用特殊ガンバルブ（薄膜スプレーコータ装置用）

長年の試作技術とデータベースと、用途開発の様々なノウハウで、お客様のニ…

ィング装置（スプレーコータ）はウエット式スプレー粒子を積層する薄膜形成装置であり、凹凸のあるサブストレート、立体形状（３D）デバイスに容易に塗布することが出来ます。電子デバイス、センサーデバイス、MEMS、サーマルヘッド、水晶デバイスなどに応用されています。 弊社では長年の塗布試作サービスの実績と経験があり、そのノウハウを盛込んだ薄膜コーティング装置はご好評をいただいております。独自の特殊ノズル...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エーシングテクノロジーズ 湘南藤沢研究所　

アオイ電子「ナノピンセットのご紹介」

マイクロサイズの試料の把持が可能な微小ピンセット「ナノピンセット」につ…

微小ピンセット「ナノピンセット」について、詳しくご説明しております。 「ナノピンセット」とは、マイクロサイズの試料の把持が可能な高性能ピンセットで、顕微鏡、マニピュレータに取り付けて使用します。MEMS技術を用いて作製されており、専用コントローラを用いて電圧を印加することで 先端が滑らかに開閉し、マイクロサイズの試料の把持が可能です。更に、試料に電界や振動を加える機能を有しています。 製品の...

メーカー・取り扱い企業： アオイ電子株式会社

GNCパターンウエハサービス等受託加工サービスのご紹介

基板の手配、マスク設計からの一貫生産の対応が可能！グローバルネット株式…

概要】 ■GNCの加工ファンドリー ・成膜ファンドリー ・プロセス評価 ■GNCパターンウエハサービス ・GNC微細パターンウエハ ・GNC先端CMP評価用パターンウエハ ・GNC MEMS・シリコン特殊加工サービス ■GNC 2.1D/2.5D/3Dソリューション ・バンプウエハ・再配線加工／FOWLPプロセスサービス ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い...

メーカー・取り扱い企業： グローバルネット株式会社

『High-Rate Depo. 圧電膜形成スパッタリング装置』

半導体、MEMS、電子部品等に！単結晶エピタキシャルバッファ層から圧電…

『圧電膜形成スパッタリング装置』は、単結晶エピタキシャルバッファ層から圧電膜まで連続成膜することが可能な製品です。 プラズマエミッションモニターによるプラズマ分析とフィードバック制御により、高速かつ安定したリアクティブスパッタ成膜、圧電特性低下に寄与する元素検知も可能です。 当社独自の急速昇降温基板加熱機構を搭載しており、基板温度900℃を実現します。 ※詳しくはPDF資料をご覧...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

ナノ・ソルテック株式会社　事業紹介

お客様の立場に立って、優れた製品、サービスを適正な価格で提供します。

ナノ・ソルテック株式会社は、半導体、MEMS、LED等先端エレクトロニクスの製造にかかわる皆さま方に必要な、新鮮な情報、適切な装置、安価なサービス、信頼できる修理・キャリブレーションなど、常にお客様のニーズを考え、“困った”にお応えできる企...

メーカー・取り扱い企業： ナノ・ソルテック株式会社

セミオート・マニュアル 高精度マルチダイボンダ

セミオート機能を使用しての少量・多品種生産、またはマニュアル機能を使用…

接合／ディスペンサー／スタンピングユニット／ウェハ突き上げ機構／チップ反転機能／カスタマイズワークホルダー等お客様の仕様に合わせた様々なオプションに対応し、ダイアタッチ、フリップチップ、３D実装、MEMS、MOEMS、光デバイス、VCSEL、ペースト接合、共晶接合（AuAu）、各種高精度部品搭載に対応 ...

メーカー・取り扱い企業： テクノアルファ株式会社 SKG(システム開発神奈川事業所）

シリコンウェハ用めっき実験装置セット

2～12inchシリコンウェハ用のめっき装置です。

電流密度分布とめっき液の循環を考慮した特殊な水槽と治具で構成されています。専用の治具を使用することで、半導体・MEMSの精密なめっきが行なえます。常時ろ過を行いながら水槽底部からゆるやかな対流を起こし、オーバーフローする構造で、1面オーバーフロータイプと、高速撹拌が可能になった2面オーバーフロータイプがあります。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社山本鍍金試験器

一括露光機

ミラープロジェクションマスクアライナー、コンタクトアライナーで両面露光…

マスクを傷つけることなく一括露光が可能なミラープロジェクション露光機には根強い需要があります。 本機は、コンパクトなフットプリントと低い保守コストで、トランジスタやパワー半導体等、MEMSの生産に長年貢献してきました。 経年劣化による照度低下や解像度・均一性の劣化にも、ミラーの再生など独自の技術でチャレンジを続けています。 【装置改造】 ■ 中古装置リファービッシュ販売 ■ 基盤...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社インターテック販売 東京本社（拠点－関西営業所、熊本営業所）

高荷重ウエハボンダー XB8

200mm対応，最大荷重100kNの高性能高荷重ウエハボンダー

エハボンダーで，200mmまでの各種サイズ，材質のウエハおよび基板の処理に対応します。 金属拡散接合，共晶接合/TLP接合，接着剤接合，フュージョン接合などの各種接合プロセスに柔軟に対応し，先端MEMS，LED，3Dインテグレーションなど，幅広いアプリケーションに最適なウエハボンダーです。...

メーカー・取り扱い企業： ズース・マイクロテック株式会社

ドライエッチング装置・XeF2エッチング装置

XeF2エッチング装置

VPE-4Fは、MEMSプロセスにおける自立デバイス形成時の犠牲層（Si）エッチングを主目的とするXeF2エッチング装置です。完全ドライプロセスであるため、ウエットプロセスで問題となるスティクション（張り付き）の発生を抑...

メーカー・取り扱い企業： サムコ株式会社

スプレーコーターによる機能膜形成加工サービス

機能薄膜コーティングのソリューションを提案。　　　　　　　　　　　～薄…

立体形状のデバイスの薄膜コーティングを試作を数枚から大ロットまで薄膜形成加工サービスを提案中です。 半導体からMEMS・電子デバイス・エネルギー業界まで数多くの実績があります。凹凸・立体（３D）形状に対しての塗布に問題があり、お困りでしたら是非ご相談ください。 お客様の「レンタル試作課」として日々活動をしていま...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エーシングテクノロジーズ 湘南藤沢研究所　

有機EL洗浄装置（フィルム洗浄）

各種ケミカル洗浄、超音波洗浄、フォトリソ装置の取扱

半導体デバイス・MEMS・LCD・有機EL・タッチパネルなど 電子デバイス向けケミカルウェットステーションを100台以上納入。 デモ機・評価システム完備。...

メーカー・取り扱い企業： ブルーオーシャンテクノロジー株式会社

洗浄装置　小型簡易枚葉式洗浄装置

低価格、しかも高性能なWet処理装置のことなら、弊社にお任せください。

株式会社ＭＴＫより、LED・半導体・MEMS製造用『Wet処理装置』のご案内です。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＭＴＫ