• オーダーメイド型スパッタリング成膜装置 製品画像

    オーダーメイド型スパッタリング成膜装置

    PR難しい材料、様々な基板形状、用途にも!非常に幅広い基板サイズに対応可能

    当社では、研究・試作から量産まで対応可能な「オーダーメイド型 スパッタリング成膜装置(PVD)」を取り扱っております。 フレキシブルエレクトロニクス、光通信技術、薄膜太陽電池や バッテリー等の薄膜デバイスの研究開発から量産まで装飾や 表面保護のためのコーティングにも対応。 サンプルサイズ、成膜対象マテリアル、バッチプロセス等、お客様の 用途に応じて組み立てることが可能です。 ...

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    メーカー・取り扱い企業: プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

  • リモートプラズマ・イオンビームスパッタリング装置  製品画像

    リモートプラズマ・イオンビームスパッタリング装置 

    PRヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印…

    ヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印加により高品質かつフレキシブルな成膜をする装置です。 イオン源、ターゲット、基盤それぞれに対して独立した電流制御を行います。 複数のターゲットを搭載し、切り替えての多層成膜も簡単に行えます。同時にターゲット付近、基盤付近に独立したガス供給も行えるため、酸化膜・窒化膜をはじめとした様々な多層光学薄膜も成膜可能。新たな素材探索や成膜...

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    メーカー・取り扱い企業: ティー・ケイ・エス株式会社

  • MEMSテストハンドラ『ULTRA P』 製品画像

    MEMSテストハンドラ『ULTRA P』

    MEMSデバイスの測定に好適!温度環境下測定にも対応

    『ULTRA P』は、加速度センサー、ジャイロセンサー等MEMSデバイスの ファイナルテスト用に開発されたハンドラーです・ 独自の搬送方式を用いることで最大96サイトの同時測定数を実現し、低温・ 高温測定、6DOF(3ポジション、3軸ジャイロ)の測定...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社テセック

  • 三明MEMS【露光装置/マスクアライナー/ローコスト】シリーズ 製品画像

    三明MEMS【露光装置/マスクアライナー/ローコスト】シリーズ

    研究開発から、小LOT多品種、量産まで対応する「手動・半自動・全自動」…

     株式会社三明では、コンパクトな微細露光のスタンダード機「LAシリーズ片面マスクアライナー」や、 両面プロセスのローコストアシストモデル「BAシリーズ正面マスクアライナー」、両面・多面プロセスの スタンダード量産機である「BSシリーズ両面同時露光マスクアライナー」といった手動型の露光機をはじめ、 小ロット多品種から量産まで対応した半自動の「セミオートマスクアライナー」や全自動の「フルオートマ...

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    メーカー・取り扱い企業: 株式会社三明 本社、東京支店、大阪支店、神奈川営業所、山形営業所、浜松営業所、名古屋営業所、長野営業所、八戸営業所

  • 超ファインピッチに対応する検査用プローブ!『MEMSプローブ』 製品画像

    超ファインピッチに対応する検査用プローブ!『MEMSプローブ』

    ≪超ファインピッチに対応する検査用プローブ≫微細加工から検査までの自動…

    MEMSプローブ』は、マイクロプロセッサや、アプリケーションプロ セッサ等の、半導体ウエハ検査に最適なMEMSプローブです。 本製品は、独自構造により低抵抗・低インダクタンスを実現します。 また...

    メーカー・取り扱い企業: ニデックアドバンステクノロジー株式会社

  • MEMS・半導体パッケージ用塗布装置 製品画像

    MEMS・半導体パッケージ用塗布装置

    最先端のMEMS・半導体パッケージプロセスをはじめ、各種実装プロセスに…

    ウエハレベルCSP用/ TAB用/COF用など、広範な生産技術に対応。 ・面内均一性に優れ、50nm ~ 100μmレベルの薄膜・厚膜形成が可能 ・塗布事例:薄膜・厚膜・凹凸・貫通穴への精密コーティング ・装置の販売及び実験、受託テストも行えますのでお客様の用途、環境に合わせてご提案致します。 【スピンレス塗布装置】 ウエハ・ディスクなどの円形基材に塗工液を無駄にせず非接触で一括塗工...

    メーカー・取り扱い企業: ブルーオーシャンテクノロジー株式会社

  • PVAテプラ社マイクロ波プラズマ処理装置(前工程向け)  製品画像

    PVAテプラ社マイクロ波プラズマ処理装置(前工程向け)

    ユニークなウエハー移載機搭載のバッチ処理装置から枚葉処理装置まで、世界…

    5GHzのマイクロ波で励起された高密度のプラズマと、イオンの運動エネルギーを抑制することで、ダメージレスのプロセス結果を得ることができます。 ウエハープロセスにおけるアッシング、レジスト剥離、MEMSなどのSU-8レジストアッシング、デスカム処理、基板の表面クリーニングや表面活性化など、幅広いアプリケーションに対応できるよう設計されております。...

    メーカー・取り扱い企業: 伯東株式会社 本社

  • 【技術者必見!!】MEMS関連 フォトエッチング技術資料集 製品画像

    【技術者必見!!】MEMS関連 フォトエッチング技術資料集

    技術開発が進むMEMS関連の研究開発に役立つ情報を集約した技術資料集を…

    さまざまな応用分野での活躍を期待されるフォトファブリケーションやマイクロマシーン技術を中心とするMEMS。 その加工技術や、応用技術を多数掲載した『技術資料集』を一挙公開いたします。 MEMSや表示デバイス基板等における要素技術である『フォトエッチング』、Siウエハー上に形成された回路を正確...

    メーカー・取り扱い企業: 豊和産業株式会社

  • Druck 半導体製品の圧力校正試験の自動化に 製品画像

    Druck 半導体製品の圧力校正試験の自動化に

    半導体製造装置やMEMS圧力センサの計測試験/ライン検査に圧力コントロ…

    MEMS圧力センサの校正検査工程の自動化に】 現在高需要の車載圧力センサ。ドラックの圧力コントローラPACEでエンド・ライン検査を効率化しませんか?試験を自動化することで生産コストが各段に削減できます。...

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    メーカー・取り扱い企業: 日本ベーカーヒューズ株式会社&ベーカーヒューズ・エナジージャパン株式会社  (旧)GEセンシング&インスペクション・テクノロジーズ株式会社 & GEエナジー・ジャパン株式会社

  • スパッタリング装置FHR.Star100-Tetra-Co 製品画像

    スパッタリング装置FHR.Star100-Tetra-Co

    FHR Star.100-Tetra CoはMEMSや高機能光学製品向…

    制御することで成膜コントロールすることが可能です。また、ソースと基板の距離も制御が可能です。これらの制御はプログラムによりオートコントロールされることで最適な成膜を実現しています。 主用途:MEMS製品や高機能光学製品製造 寸法 (L×W×H): 2.3 m× 1.3 m × 2.1 m 重量(ロードロック付の場合) :1,700 - 2,000 kg 最大基板サイズ: 直径150...

    メーカー・取り扱い企業: ティー・ケイ・エス株式会社

  • スプレーコーター 立体レジスト塗布装置 DC110/DC210 製品画像

    スプレーコーター 立体レジスト塗布装置 DC110/DC210

    MEMSデバイス及び各種半導体研究用に開発されたスプレーコー夕ー!

    スプレーコーター 立体レジスト塗布装置 DC110/DC210は、はMEMSデバイス、及び各種半導体研究用に開発されたスプレーコー夕ーです。微細粒子化が可能なスプレーノズルにより、サブストレート上の傾斜面、台形や直角頂点部といった従来のスピンナーで塗布が困難であった部分に...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社ナノテック

  • 株式会社ナノテック 『会社案内』 製品画像

    株式会社ナノテック 『会社案内』

    “ナノテクの世界を創造する技術開発型企業”株式会社ナノテック

    株式会社ナノテックは、半導体製造装置(マスクアライナー、スピンナー、デベロッパー、洗浄機)、MEMS(マイクロマシン)の研究開発、各種ツールの開発・製造などをおこなっております。専門分野は、光学関連精密機械(開発設計、機械加工、組立製作、販売)、産業分野は半導体製造装置、精密機械、光学器械MEM...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社ナノテック

  • ALD装置(原子層堆積装置)『P-300B』 製品画像

    ALD装置(原子層堆積装置)『P-300B』

    高品質のALD膜を作り出す!MEMS機器の生産や3Dオブジェクトの成膜…

    『P-300B』は、プリントヘッド、センサー、マイクなどのMEMS機器の生産やレンズ、光学部品、機械部品、ジュエリー、コイン、医療用インプラントといった3Dオブジェクトの成膜に適した装置です。 当社が特許取得済みの高温壁設計と完全に分離した投入口を組み合わ...

    メーカー・取り扱い企業: PICOSUN JAPAN株式会社

  • 株式会社ジャステム 事業紹介 製品画像

    株式会社ジャステム 事業紹介

    測定機・加工機・専用機・自動化設備の製造販売の株式会社ジャステム

    を独自技術開発により設計・製作・販売を行い、多くのお客様に提供させていただいております。 シリコンウェーハ製造産業向けのノウハウを応用しSiCウェーハ、LED基板用サファイアウェーハ、太陽電池、MEMS等の分野・産業へ市場を拡大しています。 各種材料の厚さ測定等のデモ測定も承ります。 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジャステム

  • 高精度低荷重フリップチップボンダーCB-600 アスリートFA製 製品画像

    高精度低荷重フリップチップボンダーCB-600 アスリートFA製

    搭載精度±1[μm]、超低荷重0.049[N]を実現!極低荷重対応の高…

    。 ヘッド交換で超音波接合にも対応します。(お客様で交換可) また、汎用性の高い装置コンセプトにより、各種パッケージ(※1)、 各種接合プロセス(※2)に対応しています。 ※1MEMS、5G、データ通信、ミリ波センサ、フォトニクス、 AR分野など ※2ACF、ACP、NCF、NCP、はんだ、超音波など 【特長】 ■極低荷重対応 ■高精度ボンディング ■高精度Z軸制...

    メーカー・取り扱い企業: 日精株式会社 本社

  • マニュアル式フリップチップボンダーCB-505 アスリートFA製 製品画像

    マニュアル式フリップチップボンダーCB-505 アスリートFA製

    少量生産、各種実験に適したマニュアル式フリップチップボンダー

    『CB-505』は、汎用性の高い装置コンセプトにより、各種パッケージ(※1)、各種接合プロセス(※2)に対応しています。 ※1 MEMS、5G、データ通信、ミリ波センサ、フォトニクス、 AR分野など ※2 ACF、ACP、NCF、NCP、超音波など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

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    メーカー・取り扱い企業: 日精株式会社 本社

  • 卓上型フリップチップボンダーCB-200 アスリートFA製 製品画像

    卓上型フリップチップボンダーCB-200 アスリートFA製

    超省スペース、100[V]電源対応のセミオートFCボンダー

    『CB-200』は、少量生産及び多品種生産に適応します。 汎用性の高い装置コンセプトにより、各種パッケージ(※1)、各種接合プロセス(※2)に対応しています。 ※1 MEMS、5G、データ通信、ミリ波センサ、フォトニクス、 AR分野など ※2 ACF、ACP、NCF、NCP、超音波など...

    メーカー・取り扱い企業: 日精株式会社 本社

  • 受託サービス:デバイスの質量ガス分析 製品画像

    受託サービス:デバイスの質量ガス分析

    高精度の四重極型質量分析システムによる受託分析サービス。封止デバイス内…

    。 半導体デバイスの不良解析、品質改善、品質管理に貢献します。 【測定例】 ■半導体チップの各積層間の残留・放出ガス測定 ■半導体ウェハー基板からのガス放出測定 ■接合ウェハー界面のガス分析 ■MEMSデバイスチップ内の残留ガス測定 ■封止デバイスの極微小リークチェック ※「PDFダウンロード」より本サービスの紹介に加え、  分析システムに関する解説を掲載した資料をご覧いただけます。  お問い...

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    メーカー・取り扱い企業: 東京電子株式会社

  • 研究開発用小型実験装置 Mini-Lab 製品画像

    研究開発用小型実験装置 Mini-Lab

    IC・MEMSの実験に適した安価で超小型!即稼働の実験装置をご提案!

    『Mini-Lab』は、当社とリソグラフィー研究開発の実績を持つ リソテックジャパン株式会社が共同で立ち上げたサービスです。 IC・MEMSの実験に適した超小型の実験装置を安価で即稼働できるよう ご提案。全工程の小型装置を取り扱っております。 大型実験装置レベルの機能を有し、コンパクトで高性能な小型装置を取り 揃え、安価・小...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社アシストナビ

  • 「フォトマスク」とは? 製品画像

    「フォトマスク」とは?

    今さら聞けない!フォトマスクとは?から、用途や製造工程をご紹介!長年の…

    『フォトマスク』は、「電子デバイス(半導体)」、「ディスプレイ」、 「プリント基板」、「マイクロマシン/MEMS」などを製造するときに 使用されるツールで、パターニングの原版になるものです。 写真で例えると、「ネガフィルム」の役目に当たり、「電子回路」などを 形成する基板が「印画紙」にあたります。...

    メーカー・取り扱い企業: 日本フイルコン株式会社

  • MWC6000 製品画像

    MWC6000

    MWC6000

    た。また位置決め精度も400nmで 高精度化と高速化を両立しています。この装置のアプリケーションはWaferレベルの高精度部品実装とWaferレベルで光学部品を製造したり、検査・切断用のステージやMEMS等のWafer上への高精度実装のアプリケーションを展開します。...

    メーカー・取り扱い企業: AJI株式会社

  • PVAテプラ社マイクロ波プラズマ処理装置(後工程向け)  製品画像

    PVAテプラ社マイクロ波プラズマ処理装置(後工程向け)

    世界中のOSATのお客様向けに多くの実績があり、信頼性のあるパフォーマ…

    PVA Metrology & Plasma Solutions (PVA MPS / ドイツ) のプラズマ装置は、半導体、MEMS、光デバイス等、多くのアプリケーションにおいて、世界中で広く使用されており、最大限のプロセス再現性, 歩留まり向上を提供致します。 マイクロ波(2.45GHz) プラズマ装置は非常に高い電子密度...

    メーカー・取り扱い企業: 伯東株式会社 本社

  • ダイボンダー/フリップチップボンダー FALCONシリーズ 製品画像

    ダイボンダー/フリップチップボンダー FALCONシリーズ

    マルチな高精度部品搭載に対応!高度な荷重制御が要求されるアプリケーショ…

    ウェハ突き上げ機構/カスタマイズ基板ホルダー/チップトレイホルダー/マガジン搬送等、要求仕様に合わせた様々なオプションに対応 【対応アプリケーション例】 ダイアタッチ、フリップチップ、3D実装、MEMS、MOEMS、光デバイス、VCSEL、ペースト接合、 共晶接合(AuAu)各種高精度部品搭載、等 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

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    メーカー・取り扱い企業: テクノアルファ株式会社

  • 半導体の検査工程 プローブカード用クリーニングシート     製品画像

    半導体の検査工程 プローブカード用クリーニングシート

    半導体のウェハー検査工程に!プローブカード用クリーニングシート

    半導体のウェハー検査工程に! プローブカード用クリーニングシート ■□■特徴■□■ ■摩耗が少ないクリーニングが可能 ■カンチレバー、バーチカルタイプ、MEMSタイプ その他カードの 種類を選ばず、様々なタイプの針先のクリーニングに対応 ■高温使用に対応したタイプもラインアップ ■ウェハー、研磨板への貼付け可能 ■□■ラインナップ■□■ ...

    メーカー・取り扱い企業: Mipox株式会社

  • 基板接合(直接接合・陽極接合・真空封止) 製品画像

    基板接合(直接接合・陽極接合・真空封止)

    基板接合(直接接合・陽極接合・真空封止)

    に任意対応 ■ウェハーレベルからチップレベル接合に任意対応 ■加熱エリア・温度:φ6cm・Max1,000℃ ■加圧:Max1,000kg/cm2 ■雰囲気圧力:真空〜加圧雰囲気 ■各種MEMSセンサー・マイクロチップ・次世代デバイス ■表面改質ユニット任意取り付け対応可能 ■半導体製造装置や理化学機器及び付属品のオーダーメイド品なら   お任せください。詳細は、お問い合わせ下...

    メーカー・取り扱い企業: ケニックス株式会社

  • 【開発者目線を徹底】各種装置のオーダーメイド製造承ります 製品画像

    【開発者目線を徹底】各種装置のオーダーメイド製造承ります

    相談だけでも歓迎!設計から製作、組立まで自社で一貫して対応!各種装置製…

    ださい。 品質管理やフォロー体制にも自信がございます。 また、デモ機にてサンプル処理を実施しておりので、 ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。 【製作実績(抜粋)】 ■薄膜MEMS用超高温スパッタリング装置 ■薄膜MEMS用バッチ式スパッタリング装置 ■多元複合スパッタリング装置 ■有機EL用GB付きスパッタリング装置 ■ロードロック式二元スパッタリング装置 ...

    メーカー・取り扱い企業: ジャパンクリエイト株式会社

  • 【国産】ペン型大気圧プラズマ装置 製品画像

    【国産】ペン型大気圧プラズマ装置

    表面改質・洗浄・親水処理・接着強化に優れた低温電荷ダメージ無し!ペン型…

    膜の除去  ガラスの洗浄 ・フィルムの接着強化   電子部品の洗浄  薄膜の密着強化 ・各種塗工の濡れ性UP  など・・・  【大学・研究機関実用例】 ・PDMSとガラスの貼り合せ ・MEMSの接着強化 ・歯科医療 ・医療用チューブの洗浄   ・細胞培養の前処理 など・・・ 無償デモ処理実施中! ...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社魁半導体

  • 秩父電子株式会社 事業紹介 製品画像

    秩父電子株式会社 事業紹介

    半導体研磨加工の匠集団

    秩父電子株式会社は、半導体フォトマスク基板用合成石英ガラス、 GaP・GaAs等の化合物半導体、MEMS、SiC(シリコンカーバイド) サファイア、GaN(窒化ガリウム)、Siウェハーの研磨加工を軸に エピ成長、金属膜蒸着等半導体材料の加工を幅広く行っている技術集団です。 屈指の研磨技術で...

    メーカー・取り扱い企業: 秩父電子株式会社

  • 実装ソリューションサービス 製品画像

    実装ソリューションサービス

    実装ソリューションサービス

    ウェルでは、フリップチップ実装工法開発用TEGチップをコアビジネスとして、フリップチップ用バンプ・再配線加工3D実装用ウェハMEMS加工(キャビティ、貫通ビア加工)、各種工法による実装試作までのターンキー・ソリューションをご提供いたします。...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社ウェル

  • フォトレジスト薄膜コーティング試作(薄膜試作・開発支援) 製品画像

    フォトレジスト薄膜コーティング試作(薄膜試作・開発支援)

    コーティング困難な凹凸デバイスへ、フォトレジストの薄膜塗布を可能とした…

    凹凸立体形状のMEMSデバイスへ、フォトレジスト薄膜のコーティング試作をしています。数枚から大ロットまでフォトレジスト薄膜形成の試作をご提案しております。 凹凸・立体(3D)形状に対してのレジスト塗布方法に問題を抱え...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社エーシングテクノロジーズ 湘南藤沢研究所 

  • SUSS MicroTec 両面位置精度測定器 DSM8Gen2 製品画像

    SUSS MicroTec 両面位置精度測定器 DSM8Gen2

    ウェハ表面/裏面のパターンの位置ズレを高精度で測定

    DSM8/200 Gen2は2~8インチウェハに対応した両面位置測定装置です。 TIS(装置起因誤差)を除去する機能を備えており、MEMS、パワーデバイス、光デバイスといった分野の両面パターニング基盤において、高精度な測定を実現しています。...

    メーカー・取り扱い企業: 兼松PWS株式会社

  • セントロサーム 超高温バルクアニール炉 製品画像

    セントロサーム 超高温バルクアニール炉

    超高温熱処理と優れた温度均一性の実現により、ブール・インゴット、ウエハ…

    を取り揃えており、太陽電池や半導体分野の熱処理工程に貢献しています。 日本国内では、2006年から伯東株式会社が総代理店として同社製品の販売と保守サービスを担ってきました。SiCパワーデバイスやMEMSセンサーをはじめとした大手デバイスメーカーの量産シーンで多数実績があります。...

    メーカー・取り扱い企業: 伯東株式会社 本社

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