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102件 - メーカー・取り扱い企業
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PRヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印…
ヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印加により高品質かつフレキシブルな成膜をする装置です。 イオン源、ターゲット、基盤それぞれに対して独立した電流制御を行います。 複数のターゲットを搭載し、切り替えての多層成膜も簡単に行えます。同時にターゲット付近、基盤付近に独立したガス供給も行えるため、酸化膜・窒化膜をはじめとした様々な多層光学薄膜も成膜可能。新たな素材探索や成膜...
メーカー・取り扱い企業： ティー・ケイ・エス株式会社
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簡単導入！電子実験記録ノート『BIOVIA Notebook』
PR【使用開始にあたり特別な準備やトレーニングが不要！】シンプルな画面構成…
電子実験ノート 『 BIOVIA Notebook 』は簡単に導入・運用できるELN/電子実験ノートで、研究開発部門のDX化推進に好適なツールです。 実験業務において、研究開発のスピードUP、コスト削減、 組織間情報共有を実現することで研究開発でのイノベーションを促進します。 過去には数億円規模でのコストダウンや4,000ユーザの運用でも専任不要の実績がございます。 また BIOVIA Note...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社
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MEMSデバイスの測定に好適！温度環境下測定にも対応
『ULTRA P』は、加速度センサー、ジャイロセンサー等MEMSデバイスの ファイナルテスト用に開発されたハンドラーです・ 独自の搬送方式を用いることで最大96サイトの同時測定数を実現し、低温・ 高温測定、6DOF（3ポジション、3軸ジャイロ）の測定...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社テセック
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三明MEMS【露光装置/マスクアライナー/ローコスト】シリーズ
研究開発から、小LOT多品種、量産まで対応する「手動・半自動・全自動」…
株式会社三明では、コンパクトな微細露光のスタンダード機「LAシリーズ片面マスクアライナー」や、 両面プロセスのローコストアシストモデル「BAシリーズ正面マスクアライナー」、両面・多面プロセスの スタンダード量産機である「BSシリーズ両面同時露光マスクアライナー」といった手動型の露光機をはじめ、 小ロット多品種から量産まで対応した半自動の「セミオートマスクアライナー」や全自動の「フルオートマ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社三明 本社、東京支店、大阪支店、神奈川営業所、山形営業所、浜松営業所、名古屋営業所、長野営業所、八戸営業所
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超ファインピッチに対応する検査用プローブ！『MEMSプローブ』
≪超ファインピッチに対応する検査用プローブ≫微細加工から検査までの自動…
『MEMSプローブ』は、マイクロプロセッサや、アプリケーションプロ セッサ等の、半導体ウエハ検査に最適なMEMSプローブです。 本製品は、独自構造により低抵抗・低インダクタンスを実現します。 また...
メーカー・取り扱い企業： ニデックアドバンステクノロジー株式会社
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最先端のMEMS・半導体パッケージプロセスをはじめ、各種実装プロセスに…
ウエハレベルCSP用／ TAB用／COF用など、広範な生産技術に対応。 ・面内均一性に優れ、50nm ～ 100μmレベルの薄膜・厚膜形成が可能 ・塗布事例：薄膜・厚膜・凹凸・貫通穴への精密コーティング ・装置の販売及び実験、受託テストも行えますのでお客様の用途、環境に合わせてご提案致します。 【スピンレス塗布装置】 ウエハ・ディスクなどの円形基材に塗工液を無駄にせず非接触で一括塗工...
メーカー・取り扱い企業： ブルーオーシャンテクノロジー株式会社
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ユニークなウエハー移載機搭載のバッチ処理装置から枚葉処理装置まで、世界…
5GHzのマイクロ波で励起された高密度のプラズマと、イオンの運動エネルギーを抑制することで、ダメージレスのプロセス結果を得ることができます。 ウエハープロセスにおけるアッシング、レジスト剥離、MEMSなどのSU-8レジストアッシング、デスカム処理、基板の表面クリーニングや表面活性化など、幅広いアプリケーションに対応できるよう設計されております。...
メーカー・取り扱い企業： 伯東株式会社 本社
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技術開発が進むMEMS関連の研究開発に役立つ情報を集約した技術資料集を…
さまざまな応用分野での活躍を期待されるフォトファブリケーションやマイクロマシーン技術を中心とするMEMS。 その加工技術や、応用技術を多数掲載した『技術資料集』を一挙公開いたします。 MEMSや表示デバイス基板等における要素技術である『フォトエッチング』、Siウエハー上に形成された回路を正確...
メーカー・取り扱い企業： 豊和産業株式会社
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半導体製造装置やMEMS圧力センサの計測試験/ライン検査に圧力コントロ…
【MEMS圧力センサの校正検査工程の自動化に】 現在高需要の車載圧力センサ。ドラックの圧力コントローラPACEでエンド・ライン検査を効率化しませんか？試験を自動化することで生産コストが各段に削減できます。...
メーカー・取り扱い企業： 日本ベーカーヒューズ株式会社＆ベーカーヒューズ・エナジージャパン株式会社 （旧）GEセンシング＆インスペクション・テクノロジーズ株式会社 ＆ GEエナジー・ジャパン株式会社
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FHR Star.100-Tetra CoはMEMSや高機能光学製品向…
制御することで成膜コントロールすることが可能です。また、ソースと基板の距離も制御が可能です。これらの制御はプログラムによりオートコントロールされることで最適な成膜を実現しています。 主用途：MEMS製品や高機能光学製品製造 寸法 (L×W×H)： 2.3 m× 1.3 m × 2.1 m 重量(ロードロック付の場合) ：1,700 - 2,000 kg 最大基板サイズ： 直径150...
メーカー・取り扱い企業： ティー・ケイ・エス株式会社
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スプレーコーター 立体レジスト塗布装置 DC110/DC210
MEMSデバイス及び各種半導体研究用に開発されたスプレーコー夕ー！
スプレーコーター 立体レジスト塗布装置 DC110/DC210は、はMEMSデバイス、及び各種半導体研究用に開発されたスプレーコー夕ーです。微細粒子化が可能なスプレーノズルにより、サブストレート上の傾斜面、台形や直角頂点部といった従来のスピンナーで塗布が困難であった部分に...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ナノテック
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“ナノテクの世界を創造する技術開発型企業”株式会社ナノテック
株式会社ナノテックは、半導体製造装置（マスクアライナー、スピンナー、デベロッパー、洗浄機）、MEMS（マイクロマシン）の研究開発、各種ツールの開発・製造などをおこなっております。専門分野は、光学関連精密機械（開発設計、機械加工、組立製作、販売）、産業分野は半導体製造装置、精密機械、光学器械MEM...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ナノテック
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高品質のALD膜を作り出す！MEMS機器の生産や3Dオブジェクトの成膜…
『P-300B』は、プリントヘッド、センサー、マイクなどのMEMS機器の生産やレンズ、光学部品、機械部品、ジュエリー、コイン、医療用インプラントといった3Dオブジェクトの成膜に適した装置です。 当社が特許取得済みの高温壁設計と完全に分離した投入口を組み合わ...
メーカー・取り扱い企業： PICOSUN JAPAN株式会社
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測定機・加工機・専用機・自動化設備の製造販売の株式会社ジャステム
を独自技術開発により設計・製作・販売を行い、多くのお客様に提供させていただいております。 シリコンウェーハ製造産業向けのノウハウを応用しSiCウェーハ、LED基板用サファイアウェーハ、太陽電池、MEMS等の分野・産業へ市場を拡大しています。 各種材料の厚さ測定等のデモ測定も承ります。 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム
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高精度低荷重フリップチップボンダーCB-600 アスリートFA製
搭載精度±1[μm]、超低荷重0.049[N]を実現！極低荷重対応の高…
。 ヘッド交換で超音波接合にも対応します。（お客様で交換可） また、汎用性の高い装置コンセプトにより、各種パッケージ(※１)、 各種接合プロセス(※２)に対応しています。 ※１MEMS、５G、データ通信、ミリ波センサ、フォトニクス、 AR分野など ※２ACF、ACP、NCF、NCP、はんだ、超音波など 【特長】 ■極低荷重対応 ■高精度ボンディング ■高精度Z軸制...
メーカー・取り扱い企業： 日精株式会社 本社
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マニュアル式フリップチップボンダーCB-505 アスリートFA製
少量生産、各種実験に適したマニュアル式フリップチップボンダー
『CB-505』は、汎用性の高い装置コンセプトにより、各種パッケージ(※１)、各種接合プロセス(※２)に対応しています。 ※１ MEMS、５G、データ通信、ミリ波センサ、フォトニクス、 AR分野など ※２ ACF、ACP、NCF、NCP、超音波など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業： 日精株式会社 本社
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超省スペース、100[V]電源対応のセミオートFCボンダー
『CB-200』は、少量生産及び多品種生産に適応します。 汎用性の高い装置コンセプトにより、各種パッケージ(※１)、各種接合プロセス(※２)に対応しています。 ※１ MEMS、５G、データ通信、ミリ波センサ、フォトニクス、 AR分野など ※２ ACF、ACP、NCF、NCP、超音波など...
メーカー・取り扱い企業： 日精株式会社 本社
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高精度の四重極型質量分析システムによる受託分析サービス。封止デバイス内…
。 半導体デバイスの不良解析、品質改善、品質管理に貢献します。 【測定例】 ■半導体チップの各積層間の残留・放出ガス測定 ■半導体ウェハー基板からのガス放出測定 ■接合ウェハー界面のガス分析 ■MEMSデバイスチップ内の残留ガス測定 ■封止デバイスの極微小リークチェック ※「PDFダウンロード」より本サービスの紹介に加え、 分析システムに関する解説を掲載した資料をご覧いただけます。 お問い...
メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社
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IC・MEMSの実験に適した安価で超小型！即稼働の実験装置をご提案！
『Mini-Lab』は、当社とリソグラフィー研究開発の実績を持つ リソテックジャパン株式会社が共同で立ち上げたサービスです。 IC・MEMSの実験に適した超小型の実験装置を安価で即稼働できるよう ご提案。全工程の小型装置を取り扱っております。 大型実験装置レベルの機能を有し、コンパクトで高性能な小型装置を取り 揃え、安価・小...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社アシストナビ
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今さら聞けない！フォトマスクとは？から、用途や製造工程をご紹介！長年の…
『フォトマスク』は、「電子デバイス（半導体）」、「ディスプレイ」、 「プリント基板」、「マイクロマシン/MEMS」などを製造するときに 使用されるツールで、パターニングの原版になるものです。 写真で例えると、「ネガフィルム」の役目に当たり、「電子回路」などを 形成する基板が「印画紙」にあたります。...
メーカー・取り扱い企業： 日本フイルコン株式会社
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世界中のOSATのお客様向けに多くの実績があり、信頼性のあるパフォーマ…
PVA Metrology & Plasma Solutions (PVA MPS / ドイツ) のプラズマ装置は、半導体、MEMS、光デバイス等、多くのアプリケーションにおいて、世界中で広く使用されており、最大限のプロセス再現性, 歩留まり向上を提供致します。 マイクロ波(2.45GHz) プラズマ装置は非常に高い電子密度...
メーカー・取り扱い企業： 伯東株式会社 本社
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マルチな高精度部品搭載に対応！高度な荷重制御が要求されるアプリケーショ…
ウェハ突き上げ機構／カスタマイズ基板ホルダー／チップトレイホルダー／マガジン搬送等、要求仕様に合わせた様々なオプションに対応 【対応アプリケーション例】 ダイアタッチ、フリップチップ、３D実装、MEMS、MOEMS、光デバイス、VCSEL、ペースト接合、 共晶接合（AuAu）各種高精度部品搭載、等 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業： テクノアルファ株式会社
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半導体のウェハー検査工程に！プローブカード用クリーニングシート
半導体のウェハー検査工程に！ プローブカード用クリーニングシート ■□■特徴■□■ ■摩耗が少ないクリーニングが可能 ■カンチレバー、バーチカルタイプ、MEMSタイプ その他カードの 種類を選ばず、様々なタイプの針先のクリーニングに対応 ■高温使用に対応したタイプもラインアップ ■ウェハー、研磨板への貼付け可能 ■□■ラインナップ■□■ ...
メーカー・取り扱い企業： Mipox株式会社
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基板接合（直接接合・陽極接合・真空封止）
に任意対応 ■ウェハーレベルからチップレベル接合に任意対応 ■加熱エリア・温度：φ6cm・Max1,000℃ ■加圧：Max1,000kg/cm2 ■雰囲気圧力：真空〜加圧雰囲気 ■各種MEMSセンサー・マイクロチップ・次世代デバイス ■表面改質ユニット任意取り付け対応可能 ■半導体製造装置や理化学機器及び付属品のオーダーメイド品なら お任せください。詳細は、お問い合わせ下...
メーカー・取り扱い企業： ケニックス株式会社
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相談だけでも歓迎！設計から製作、組立まで自社で一貫して対応！各種装置製…
ださい。 品質管理やフォロー体制にも自信がございます。 また、デモ機にてサンプル処理を実施しておりので、 ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。 【製作実績（抜粋）】 ■薄膜MEMS用超高温スパッタリング装置 ■薄膜MEMS用バッチ式スパッタリング装置 ■多元複合スパッタリング装置 ■有機EL用GB付きスパッタリング装置 ■ロードロック式二元スパッタリング装置 ...
メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社
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表面改質・洗浄・親水処理・接着強化に優れた低温電荷ダメージ無し！ペン型…
膜の除去 ガラスの洗浄 ・フィルムの接着強化 電子部品の洗浄 薄膜の密着強化 ・各種塗工の濡れ性UP など・・・ 【大学・研究機関実用例】 ・PDMSとガラスの貼り合せ ・MEMSの接着強化 ・歯科医療 ・医療用チューブの洗浄 ・細胞培養の前処理 など・・・ 無償デモ処理実施中！ ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社魁半導体
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半導体研磨加工の匠集団
秩父電子株式会社は、半導体フォトマスク基板用合成石英ガラス、 GaP・GaAs等の化合物半導体、MEMS、SiC（シリコンカーバイド） サファイア、GaN(窒化ガリウム）、Siウェハーの研磨加工を軸に エピ成長、金属膜蒸着等半導体材料の加工を幅広く行っている技術集団です。 屈指の研磨技術で...
メーカー・取り扱い企業： 秩父電子株式会社
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実装ソリューションサービス
ウェルでは、フリップチップ実装工法開発用TEGチップをコアビジネスとして、フリップチップ用バンプ・再配線加工3D実装用ウェハMEMS加工（キャビティ、貫通ビア加工）、各種工法による実装試作までのターンキー・ソリューションをご提供いたします。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェル
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コーティング困難な凹凸デバイスへ、フォトレジストの薄膜塗布を可能とした…
凹凸立体形状のMEMSデバイスへ、フォトレジスト薄膜のコーティング試作をしています。数枚から大ロットまでフォトレジスト薄膜形成の試作をご提案しております。 凹凸・立体（３D）形状に対してのレジスト塗布方法に問題を抱え...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社エーシングテクノロジーズ 湘南藤沢研究所
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SUSS MicroTec 両面位置精度測定器 DSM8Gen2
ウェハ表面/裏面のパターンの位置ズレを高精度で測定
DSM8/200 Gen2は2～8インチウェハに対応した両面位置測定装置です。 TIS（装置起因誤差）を除去する機能を備えており、MEMS、パワーデバイス、光デバイスといった分野の両面パターニング基盤において、高精度な測定を実現しています。...
メーカー・取り扱い企業： 兼松ＰＷＳ株式会社
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超高温熱処理と優れた温度均一性の実現により、ブール・インゴット、ウエハ…
を取り揃えており、太陽電池や半導体分野の熱処理工程に貢献しています。 日本国内では、2006年から伯東株式会社が総代理店として同社製品の販売と保守サービスを担ってきました。SiCパワーデバイスやMEMSセンサーをはじめとした大手デバイスメーカーの量産シーンで多数実績があります。...
メーカー・取り扱い企業： 伯東株式会社 本社
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Al系やCrなどの金属膜の微細パターンのエッチングに対応！デモ機常設！…
『ICPメタルエッチング装置』は、先端薄膜プロセスに対応した 金属膜対応の高密度プラズマエッチング装置です。 半導体、MEMSなどの汎用デバイスだけでなく露光用マスクや金属基板の 表面処理などの特殊プロセスにも積極対応いたします。 独自のチャンバ内構造により抵パーティクルのメタルエッチング (nmレベル)を実現...
メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店
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Nova plusは､高速にダイをウエハ/サブストレート/ダイへのボン…
・アライメント精度：±2.5μm＠3σ ・アライメント技術（特許） ・ボンディング時の接合方法 ・デュアルボンドヘッド搭載 ・光通信関係やシリコンフォトニクス関連での豊富な導入実績 ・MEMSセンサー、LiDAR、VCSEL etc 豊富な導入実績あり ・R&D向けや量産工場での導入経験豊富 【装置主要仕様】 ・アライメント精度：±2.5μm＠3σ ・サイクルタイム：1.5...
メーカー・取り扱い企業： 兼松ＰＷＳ株式会社
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質量は200gと軽量でサイズもコンパクト！外部環境から受ける影響を最小…
した圧力測定、 最小限のゼロ点調整頻度を実現した隔膜真空計です。 質量は200g、サイズはW46mm×H49mm×L106mmと軽量でコンパクト。 圧力センサ部に新開発の小型シリコンMEMSチップを採用し温度や振動、 気圧変動などの外部環境から受ける影響を最小限に抑えました。 【特長】 ■高精度で安定した圧力測定 ■優れたゼロ点安定性 ■温度依存性が低く、優れた安定...
メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社
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ウエハサイズ 後工程 投影露光装置 MRS
■ ８インチ以下は「一括露光方式」、 12インチは「ステップ＆リピート露光方式」の選択が可能 ■ 露光エリアが広い為、高生産性を実現 ■ 焦点深度が深い為、MEMS、RFフィルター業界に多数の 実績あり ■ TAIKOウエハにも対応 ■ グローバルアライメント方式 ■ 高剛性フレームにより、高精度アライメント露光が実現 ■ フォーカスマップ機構...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社サーマプレシジョン
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高精度ダイボンダー・フリップチップボンダー『lambda2』
【技術資料進呈中】サブミクロン対応高精度ダイボンダー。小型卓上型、試作…
lambda2（ラムダ２）は、0.5ミクロンの搭載精度を実現！ 最新の電子部品、光学部品(VCSEL、PD、MEMS、MOEMS、 マイクロLED、センサー等)の実装に適しています。 熱共晶、超音波、接着剤方式、UVキュアリングなどに柔軟に対応、 繊細な材質の実装や幅広いボンディングプロセスを実現致し...
メーカー・取り扱い企業： ファインテック日本株式会社
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FINEPLACER sigma は高精度・高機能を網羅したセミオート…
a（シグマ）は、300mmのワーキング領域に於いてサブミクロンレベルの実装精度と1000Nまでのボンディング荷重を実現しました。 多様なダイボンディング方法と、高精度フリップチップ技術に適応し、MEMS/MOEMS実装、イメージセンサーのボンディングとチップパッケージングなどを、ウェーハレベルで対応致します。 FINEPLACER sigmaは将来を見据えたアセンブリ技術に対応した開発用途向け...
メーカー・取り扱い企業： ファインテック日本株式会社
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自動化・省力化、製造工程便利アイテムをご紹介！【資料一斉公開中】
新しい発想で自動化・省力化に貢献！特殊工法により、様々な製造現場で活躍…
I(ポリイミド)貼付け ■貼り合わせ加工(貼合) ■ノイズ対策／シールド材の貼り付け ■カバーレイ貼り付け ■フレキシブルアンテナ反射材アッセンブリー ■FPC多層化アッセンブリー ■MEMSマイクやセンサへの水密通気フィルム貼り付け ■筐体および接触部へのクッション材の貼り付け ■機構部品／防水シール貼り付け ■光学ユニットのアッセンブリー(導光体、拡散フィルムなど） ■実装...
メーカー・取り扱い企業： 三井金属計測機工株式会社 FAソリューション関連事業
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高速高解像度レーザー露光装置
レンズやブレーズド回折格子のようなスロープパターンをレジスト上に再現する技術です。 『DWL 2000 GS』シリーズは最大描画エリアが200x200mm²もしくは400x400mm²あり、MEMS、BioMEMS、Micro-Optics、ASIC、Micro Fluidics、センサー、ホログラム、および微細構造を必要とするその他すべてのアプリケーション用途でのマスクやウェーハへの高速高...
メーカー・取り扱い企業： ハイデルベルグ・インストルメンツ株式会社
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チップ持ち帰り不良の多さの原因がわからない方などにオススメ！
ルテコーポレーションが取り扱う「ゴムコレット」が、 お悩みを解決します。お気軽にご相談ください。 【以下のようなお困りごとを解決】 ■コレットのアイデアはあるが製作する業者がいない ■MEMS用のコレットはないだろうか ■0.1ミリ以下の吸引孔のコレットを探している ■デバイス損傷による不良が多く、歩留まりが悪い ■半田ボールやバンプチップのピックアップで悩んでいる ■特殊形状...
メーカー・取り扱い企業： 有限会社オルテコーポレーション 本社
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パワー半導体製造会社様での改善事例をご紹介します。
こんなことでお困りではありませんか？ ■チップ持ち帰りエラーが多発しているが原因がわからない ■コレットのアイデアはあるが製作する業者がいない ■MEMS 用のコレットはないだろうか ■フィルム状、薄膜デバイスが安定的に移送できない、また破損が発生し困っている ■0.1 ミリ以下の吸引孔のコレットを探している ■最適なコレットのサイズや材質で...
メーカー・取り扱い企業： 有限会社オルテコーポレーション 本社
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1 辺最小150μm から対応！金型を新たに作ることなく希望サイズのゴ…
こんなことでお困りではありませんか？ ■チップ持ち帰りエラーが多発しているが原因がわからない ■コレットのアイデアはあるが製作する業者がいない ■MEMS 用のコレットはないだろうか ■フィルム状、薄膜デバイスが安定的に移送できない、また破損が発生し困っている ■0.1 ミリ以下の吸引孔のコレットを探している ■最適なコレットのサイズや材質で...
メーカー・取り扱い企業： 有限会社オルテコーポレーション 本社
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SUSS MicroTec 手動マスクアライナMA/BAGen4
最大8インチ対応角基板まで対応可能 セミオートアライメント対応露光…
ズースマイクロテック MA/BA GEN4 は最大８インチ角基板まで対応可能なセミオートアライメント対応の露光機です。MEMS、光学部品の製造、化合物半導体などのR&D、少量生産用途に対して最適な装備を備えています。最適化されたアライメントマーク観察光学系と画像処理機能によりバラツキの少ないアライメントが行えます。...
メーカー・取り扱い企業： 兼松ＰＷＳ株式会社
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半導体チップの持ち帰りをゼロにし、歩留まりを向上！
こんなことでお困りではありませんか？ ■チップ持ち帰りエラーが多発しているが原因がわからない ■コレットのアイデアはあるが製作する業者がいない ■MEMS 用のコレットはないだろうか ■フィルム状、薄膜デバイスが安定的に移送できない、また破損が発生し困っている ■0.1 ミリ以下の吸引孔のコレットを探している ■最適なコレットのサイズや材質で...
メーカー・取り扱い企業： 有限会社オルテコーポレーション 本社
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膜厚均一性に優れた成膜機構と高速排気を実現！高品質の電極膜を安定して形…
『ウェハプロセス用真空蒸着装置』は、6インチまでのウェハへの 電極膜形成に対応したバッチタイプ蒸着装置です。 ディスクリートIC、化合物IC、MEMSデバイスの量産用途に 豊富な実績を持っています。膜厚均一性に優れた成膜機構と高速排気を 実現するオイルフリー排気系により高品質の電極膜を安定して形成が可能。 量産用途の蒸着装置として高い...
メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店
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研究開発向け高性能レーザーリソグラフィ装置
やマスクレス露光に適した、高解像度のレーザー直接描画装置です。 マイクロストラクチャの製作と分析に必要な機能を、標準システムとして 装備。 処理能力が高く、また、対応範囲も広いため、MEMSやマイクロ光学など マイクロストラクチャ製作が必要なアプリケーションの研究開発に貢献します。 【特長】 ■マスクレス露光やマスク作成用 ■2.5Dグレースケール露光モード（標準128階...
メーカー・取り扱い企業： ハイデルベルグ・インストルメンツ株式会社
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受託サービス：質量ガス分析＜分析システムの解説付き資料進呈＞
高精度の四重極型質量分析システムによる受託分析サービス。極微小リークも…
小リークの検出が可能。 半導体デバイスの不良解析、品質改善、品質管理に貢献します。 【測定例】 ■半導体チップの各積層間の残留・放出ガス測定 ■半導体ウェハ基板からのガス放出測定 ■MEMSデバイスチップ内の残留ガス測定 ■封止デバイスの極微小リークチェック ※「PDFダウンロード」より本サービスの紹介に加え、 分析システムに関する解説を掲載した資料をご覧いただけます。 ...
メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社
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R&Dやニッチプロセスへの対応に特化 量産用装置では困難な少量生産や試…
対応したフレキシブル対応が特徴。小径ウェハや不定形基板には専用搬送トレイで基板搬送や成膜が可能。 メタル成膜においてはウェハプロセスの配線・電極膜・薄膜磁気デバイスのセンサー膜・保護膜などに加えMEMSセンサーの圧電膜などR&Dを含め量産までを細やかにサポートいたします。...
メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店
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高速パターン・ジェネレータ
『VPG＋シリーズ』は、高速な露光速度により、大型マスク製造、レジストマスター作成、さらには様々な平面基板にも直接描画に対応できる高速露光システムです。 半導体、ディスプレー、センサー、MEMS、先端パッケージング、LED生産、ライフサイエンス、および微細加工を必要とするの分野にお役立て頂けます。 【特長】 ■高分解能 ■高画質 ■高速なスループット ■高速フォトマスク生産...
メーカー・取り扱い企業： ハイデルベルグ・インストルメンツ株式会社
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パワーデバイス、LED、MEMS等の量産で多数の実績がある装置です。
膜質の制御範囲が非常に広く、様々なお客様の求める膜質に対応します。また、化合物ウエハや特殊ウエハなど、従来の装置では問題があった安定した自動搬送を実現し、歩留まり向上に貢献します。当社では、お客様のご要望を出来るだけ装置に反映するため、装置毎のカスタマイズを積極的に行います。社内にデモ機を常設していますので、お気軽にご相談ください。...当社の装置は1回の処理で複数枚のウエハに成膜を実施する、バッ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社日本生産技術研究所
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マスクレスアライナー『uMLA』（マイクロ・エム・エル・エー）
テーブルトップサイズのオートフォーカス付きマスクレスアライナー
先端のマスクレステクノロジーを特徴としており、微細構造を必要とする全ての研究開発領域に適したエントリーレベルの描画装置です。典型的な用途は、マイクロフルイディクス、マイクロオプティクス、センサー、MEMS、および材料科学です。 µMLA（マイクロ・エム・エル・エー）はこれまでの卓上型直描装置よりも経済的でカスタマイズ可能な柔軟性に優れた最新式のマスクレス露光装置です。...
メーカー・取り扱い企業： ハイデルベルグ・インストルメンツ株式会社
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ICA1205は､マルチビーム構造を採用したマルチレーザーダイシング装…
ーザー構造により、以下を実現 ・より細く切断が可能 ・切断時の温度を抑える ・基盤にかかる衝撃を抑える アプリケーション：RFIC、ディスクリート、Thin Wafer、LED、MEMS、 メモリー、パワーデバイス 〇その他ASM製取扱い装置 ・ワイヤーボンダー装置 ・２次元、３次元パッケージ外観検査装置 ・その他ダイボンダー装置（アライメント精度...
メーカー・取り扱い企業： 兼松ＰＷＳ株式会社
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マイクロ・ナノサイズの試料の把持が可能な高性能ピンセットです。真空環境…
アオイ電子製ナノピンセット（Nano Tweezers）は、MEMS（Micro Electro Mechanical System）技術を用いてシリコンウェハより作製されたピンセットです。 専用コントローラを用いて電圧を印加することによって、先端が滑らかに開閉...
メーカー・取り扱い企業： アオイ電子株式会社
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【国産】真空プラズマ装置(49万)大気圧プラズマ装置(34万)
表面改質・洗浄に優れた低温電荷ダメージ無し！真空・大気圧プラズマを安価…
膜の除去 ガラスの洗浄 ・フィルムの接着強化 電子部品の洗浄 薄膜の密着強化 ・各種塗工の濡れ性UP など・・・ 【大学・研究機関実用例】 ・PDMSとガラスの貼り合せ ・MEMSの接着強化 ・歯科医療 ・医療用チューブの洗浄 ・細胞培養の前処理 など・・・ 【粉体の表面改質】 ・カーボンナノチューブ・炭素粉体・セラミック・シリカなど μ～nm粒径まで親水...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社魁半導体
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スパッタ・蒸着源複合型 薄膜装置 【nanoPVD-ST15A】
真空蒸着（金属・有機蒸着源）、スパッタリングカソードの混在設置が可能な…
タリングカソードを同時に設置可能な複合型薄膜実験装置。ベンチトップサイズ・省スペース、限られたラボスペースを有効活用いただけます。 顕微鏡用試料作成用コーターではありません、電子回路基板、電池、MEMS、新素材開発などの研究開発用途で求められる高品質な薄膜を作成することができます。 ガス系統最大3系統（プロセス圧力APC自動制御）、連続自動製膜（最大20層）、2源同時成膜など豊富な機能を備え、...
メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社
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キズがつかない！精密洗浄システム『スノーガンII』※デモ試用可能
廃液処理が不要！超微細ドライアイスパウダーでパーティクル・オイルを徹底…
！ 「ハンドヘルドタイプ」と「電磁弁タイプ」をご用意しています。 【アプリケーション例】 ■レンズ・ミラー ■基板・光学部品 ■シリコンウェハー ■半導体回路等のPCB ■MEMS等の精密機器 ■光ファイバー製品 ■通信機器 ■医療機器 ■航空宇宙関連機器 ■プリンター ■ディスクドライブヘッド等のメカ機構 （各場面に適したアタッチメントを...
メーカー・取り扱い企業： オーテックス株式会社
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ナノピンセットの用途実例のご紹介です。アイシャドウの粒子や酵母菌等の把…
アオイ電子株式会社の「ナノピンセット」は、ナノ・マイクロサイズの試料把持を行うためのグリップツールです。MEMS（Micro Electro Mechanical System)技術により把持力を精密制御でき、TEM試料をはじめとする分析用試料や、細胞などのバイオ試料まで、硬軟様々な試料の把持に対応できます...
メーカー・取り扱い企業： アオイ電子株式会社
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ナノ・マイクロサイズの試料把持用 ロングアームナノピンセット
アームの長さが従来の５倍長くなり、今まで届かなかった液中深くにあるサン…
「ロングアームナノピンセット（Long Arm Nano tweezers)」は、ナノ・マイクロサイズの試料把持を行うためのグリッピングツールです。MEMS技術により把持力を精密制御でき、TEM試料をはじめとする分析用試料や、細胞などのバイオ試料まで様々な試料の把持に対応できます。 アームの長さが従来の５倍（3mm）で、今まで届かなかった液中深くに...
メーカー・取り扱い企業： アオイ電子株式会社
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卓上機で高精度、高い剛性のフレーム構造！高精密研磨試料の作成を実現しま…
『ALP-250型』は、半導体デバイス、MEMSデバイス・自動車部品、金属、 塗装、樹脂、セラミックス等、様々な分析・解析等で観察面を作成する為に 設計・作成された研磨装置です。 卓上機で高精度、高い剛性のフレーム構造により、高精密研...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社イマハシ製作所 東京営業所
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塗布材料が最大１／３０に削減可能！成膜を効率よく、最小限のコストで行え…
＜装置の使用例＞ ・自動車：ランプ、フロントガラス、バンパー等 ・レンズ：ハードコート、反射防止膜、防曇膜等 ・太陽電池：Ti02、保護膜、着色膜等 ・化合物半導体：高輝度LED等 ・MEMS：レジス卜等 ・液晶：レジス卜、ブラックマトリックス、Mgo等 ・有機 EL：高分子等 ・プリント基板：銅膜形成、レジス卜、埋め込み、平坦化等 ※詳しくは「ダウンロード」より製品カタロ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ヒットコーポレーション
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基板加熱温度最高1000℃！基板表面加熱プロセス特有の元素抜けを軽減！
PaG）まで対応 することができる製品です。 加熱源はハロゲンランプ、昇温レートは最大150℃/secとなっており、 優れた基板温度分布およびガスフロー方式を実現します。 半導体、MEMS、電子部品といった用途に使用できる装置で、基板表面の 高速熱酸化、結晶化、アニーリング処理等が可能です。 【特長】 ■加熱プロセス特有の元素抜けを軽減 ■減圧プロセスから加圧プロセス（...
メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社
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オーダーメイド型スパッタリング成膜装置
難しい材料、様々な基板形状、用途にも！非常に幅広い基板サイズに…
プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社