cvd | イプロスものづくり

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応しコンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCのグ...

メーカー・取り扱い企業：プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

Enovasense Field Sensor

PR高速な不透明膜の厚みマッピング、内部欠陥のエリア検出が可能なレーザーフ…

フランスのEnovasense社のセンサは、レーザフォトサーマル技術を使用した高性能なセンサで、非接触で不透明体の厚みを測定できます。本新製品は、従来のシングルポイントセンサと異なり、約１１万点を同時に測定できるエリアセンサです。不透明体の厚みマッピングだけでなく、表面層下の欠陥、欠け、剥がれの有無を検知できます。 ■特長　・非接触で下記が測定できます。　　　☆不透明体の厚みマッピング...

メーカー・取り扱い企業：プレシテック・ジャパン株式会社

ロータリーキルン式連続CVD装置

粉体の連続熱／CVD処理、連続CNT合成などに

反応管の傾斜と回転機構により、粉末試料の連続フィード／回収機構を有する連続CVD処理装置です。　粉末試料表面へのカーボコート、熱処理、CVD処理、ドープ処理などの大量生産が可能。大面積の配向CNT基板や、多収量の粉末タイプCNTの大量生成に適します。...【特　徴：・炉心管の傾斜角度および回転速度の調整により、粉末試料の素性に合わせた導入速度の調整が可能・試料導入用回転機構と、CVD処...

メーカー・取り扱い企業：株式会社マイクロフェーズ

管状炉CVD装置

長尺粉体CNTの生成、基板への垂直配向CNTの成長、粉体試料表面へのカ…

オプションで、アンモニアガスや、その他のCVDガスの導入ユニット、CVD反応用の固体や液体前駆体の導入ユニットを追加することにより、窒化処理、カルコゲナイド層状物質の成膜も可能です。...【特徴】 ○ 真空CVDモードおよび大気圧CVDモードを実施できます。 ○ マスフローガス導入システム標準装備 ○ ナノカーボン生成向けCVDプロセスレシピを開示 ●その他機能や詳細はお問い合わせくだ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社マイクロフェーズ

回転CVD炉

リチウムイオン電池用Si系や黒鉛系負極材表面への均一なCVDカーボンコ…

炉心管を回転させ、粉体試料を攪拌させながら、CVDプロセスを可能にした装置。攪拌作用により、均一なCVD処理が可能になる。...【特徴】 ○　炉心管をモータ駆動で可変の速度で回転可能 ○　真空CVDモードにおいても回転可能 ○ 　粉体試料の各種CVD処理に最適。 ●その他機能や詳細はお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社マイクロフェーズ

ホットフィラメントCVD成膜装置 MPHF

ホットフィラメント（ホットワイヤー）を搭載したコンパクトな卓上型CVD…

試料近くに設けたWフィラメントを最大2000℃に加熱でき、各種反応ガスの分解を促進します。ガス分解により生成された活性種（ラジカル）が試料表面に堆積して膜を形成します。...【特徴】 ○メタンなどの炭化水素ガスの高温フィラメント分解により、導電性と耐食性が両立するダイヤモンドライクカーボン（DLC）膜が作製可能。 ○窒素前駆体をフィラメント加熱機構により加熱分解させることによって、アンモニ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社マイクロフェーズ

簡単大気圧でSiO2コーティング！プラズマコートUL-Colat

弊社にてデモ可能！市場初投入の新技術。大気圧プラズマでＣＶＤ。 …

今まで減圧下で行っていたプラズマCVDによるＳｉＯ２製膜を大気圧下で行えます。厚みは処理条件によりコントロール可能。（速度、液量、距離など）今までの大型CVD装置では対応しきれない少量生産や、細かな条件変更を可能にし、製膜コストを安く抑える事が可能です。操作はタッチパネルでの簡単操作。条件設定を記憶させる事で次回以降も同じ条件で製膜をする事が可能です。プラズマ処理装置を用い...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ケー・ブラッシュ商会本社

資料進呈『表面処理薄膜コーティングに関する技術資料』

素材に新たな機能を吹き込む薄膜加工技術を解説した技術資料を進呈中！各種…

東邦化研株式会社では、イオンプレーティング、真空蒸着、スパッタリング、プラズマCVDによる機能性薄膜の受託加工（コーティングサービス）を行っております。金属膜や、酸化膜・炭化膜・窒化膜等の反応膜、合金膜、また、それらの積層膜等、様々な膜種に対応し、試作・開発・研究などの少量案件から、中小ロットの生産案件まで、幅広いご要望にお応えするべく体制を整えて参りました。機能性薄膜をご検討の際は、...

メーカー・取り扱い企業：東邦化研株式会社

Nd:YAGレーザパルス蒸着システム

AOVでは、多種多様なお客様のご要望にお応えするために、カスタマイズされた様々な真空製膜装置を取り扱いしております。AOVの取り扱う真空装置は物理気相蒸着（PVD）法と化学気相蒸着（CVD）法に大きく分かれています。 PVD法による装置は、 * PLD（パルスレーザ蒸着）装置 * マグネトロンスパッタ装置 * EB電子ビーム蒸着装置 * イオンビームア...

メーカー・取り扱い企業： AOV株式会社

PLAD-221-Y PLDシステム

AOVでは、多種多様なお客様のご要望にお応えするために、カスタマイズされた様々な真空製膜装置を取り扱いしております。AOVの取り扱う真空装置は物理気相蒸着（PVD）法と化学気相蒸着（CVD）法に大きく分かれています。 PVD法による装置は、 * PLD（パルスレーザ蒸着）装置 * マグネトロンスパッタ装置 * EB電子ビーム蒸着装置 * イオンビームア...

メーカー・取り扱い企業： AOV株式会社

超薄膜成膜技術　Atomic Layer Deposition

R＆D活動および工業規模での量産用に設計！カスタムメイドのリアクターツ…

原子層堆積（ALD）はCVDの中でも特別なコーティング方法になります。 ALDプロセスにおける補完的で自己制限的な表面反応は、ナノメートルスケールまで制御された厚さの均一なフィルムと、複雑な3D表面形状への優れたステップカバレッジを備えたコンフォーマルフィルムを提供。 ALD処理のために、FHR AnlagenbauGmbHは、R＆D活動および工業規模での量産用に設計され...

メーカー・取り扱い企業：ティー・ケイ・エス株式会社

耐酸化・焦付き対策に…スクリューヘッドチタンコーティング

新品の時は付着が無かったのに最近では・・・でお困りの成型機部品に一押し…

メンテナンスでできた細かい無数の傷は放置しておくと原材料の膜が部品の表面できあがってしまいます。放置しておくと膜が成長し流動部を狭くし計量時間に影響を与えます。この表面処理は硬質クロムメッキよりはるかに硬く新品状態の表面を長期間維持することを約束します。...プラスチック成形材料に含まれる金属粉やガラス繊維、難燃材やマグネット、ファインセラミックなど、複雑化、多様化するプラスチックの射出・...

メーカー・取り扱い企業：株式会社マーテック

アークフィラメント式イオンプレーティング装置　

緻密な酸化膜厚膜（～１０μｍ）を高速形成。新開発イオン化機構搭載　Ｃ…

緻密で耐プラズマ性の高いイットリア膜やＳｉＣ膜を高速形成。高密度プラズマによる反応性プロセスによりCVDより低温で溶射法より緻密な膜質を実現。半導体関連部品にも応用可能なクリーンな成膜プロセスを実現。 PVD法のため装置のメンテナンスも容易で低コスト。絶縁膜（酸化膜・炭化膜）を高速形成。緻密な厚膜を高速形成。従来型のイオンプレーティング法の弱点を克服。新たな表面機能を生み出す用途...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

レーザーマイクロジェット加工機「MCS シリーズ」

水ジェットとレーザーのメリットを融合した高精細なレーザー加工機です！

「MCS シリーズ」は牧野フライス製作所によりLMJ 加工のために新たに開発されたレーザー加工機です。高精度のX, Y, Z 軸と回転軸により金属、セラミックスの切断、穴あけ、溝掘りなどの高精細加工が可能です。直感的に操作できるタッチスクリーンからすべての制御ができます。加工に必要なレーザー発振器、水ポンプはすべて本体に内蔵された構造になっています。【特長】 ■1...

メーカー・取り扱い企業： SYNOVA JAPAN株式会社

コゲ、焼付き防止の温度管理に…シリンダー冷却パイプ交換

シリンダー内径補修時に、水冷却パイプの交換サービスも行っております！

射出成形機は24 時間連続運転が当たり前であり、通常は機械をランニングさせながらの保守管理となります。必然的に設計時から、メンテナンスフリーに近い状態で機械は作られていることから、作動油の管理をしっかりやっていくことが故障トラブルの回避につながっていきます。その中でも油温管理は非常に重要なポイントです。成形機は構造上、速度と圧力を制御する使われ方をする機械であり、熱の発生が他の機械と比較して多い。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社マーテック

窒化・バイメタリック可能…射出成型機用シリンダー

窒化・バイメタリック可能お客様の求める仕様・条件に合わせて…

プラスチック成形材料に含まれる金属粉やガラス繊維、難燃材やマグネット、ファインセラミックなど、複雑化、多様化するプラスチックの射出・押出成形機用シリンダには、耐摩耗性や耐腐食性などの性能が求められています。当社が培ってきた材料技術、加工技術で多くの納入実績を持ち、各ユーザー様から好評を頂いています。設備担当者様のあらゆる「困った」に技術の高度化、製品の高品質化をテーマに、対応します。....

メーカー・取り扱い企業：株式会社マーテック

卓上CNT／グラフェン成膜装置

長尺粉体CNTや垂直配向CNTやグラフェン膜を簡単に合成できる卓上型C…

有機液体原料はもちろん、アセチレンガスやメタンガスなどの炭化水素原料ガスと、H2還元ガスの導入ポートも標準装備し、各種CNTの合成を簡単に実現できます。また、基板ヒーターの急冷が可能で、グラフェン膜も簡単に成膜できます。...【特徴】 ○触媒前駆体のフィラメント加熱機構を追加 ○配向CNTだけでなく、粉末タイプCNTの大量合成も可能〇基板や粉体表面へのグラフェンの成膜が可能 ●そ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社マイクロフェーズ

豆知識「めっきと塗装って何が違うの？」

めっきと塗装では材料も施工方法も全く違います。簡単に硬質クロムめっきを…

○めっき（＝Plating）素材表面に薄い金属の膜を形成させる技術で、素材が錆びるのを防いだり、外観を良くしたり、機能を付与したりするために行います。めっきは大きく分けると湿式めっきと乾式めっきに分けられ硬質クロムめっきは湿式めっきに分類されます。湿式めっきは金属の溶けた溶液中で成膜するのですが電源を用いて処理する電解めっきと用いない無電解めっきにさらに分類されます。乾式めっきは真空中...

メーカー・取り扱い企業：オテック株式会社

レーザ加工機　レーザーラインプレシジョン

【エワーグ社】コンパクトなダイヤモンド工具向けレーザープロダクションセ…

『レーザーラインプレシジョン（Laser Line Precision）』は、PCD、CVD-Dなどの超硬合金材の研削、放電加工といったレーザーによる従来の処理手順を置き換えるレーザー精密加工機です。最大工具径200mm、最大工具長250mmの回転工具および最低内径3mm、最大外径50mmのスローアウェイチップに対応することができます。切断、空洞部加工、チップブレーカー...

メーカー・取り扱い企業：ワルターエワーグジャパン株式会社

コーティング装置　圧粉成形離型DLCコーティング　

特殊イオン源を使用した装置で高耐久性ICFを成膜させ、高面圧下で使用し…

圧粉成形離型コーティングとは、従来面圧が高いと剥離していたDLC膜と比較して、高面圧下で使用しても剥離せず、高寿命化を達成した新機能被膜です。圧粉成形加工時に上下杵への粉付着を防止し、鏡面性を維持します。この被膜は高面圧化での摩擦係数が低く、バインダーを含む粉末が杵へ付着することを防ぎます。高い荷重が加わっても、剥離しににく、耐久性と耐摩耗性に優れており、密着力も高く安定した性能を...

メーカー・取り扱い企業：ナノテック株式会社

消耗したフライトトップ…スクリュー摩耗状態

写真で分かりますでしょうか？　　　摩耗部に筋がつき、焼入れ層は取れてし…

プラスチック成形材料に含まれる金属粉やガラス繊維、難燃材やマグネット、ファインセラミックなど、複雑化、多様化するプラスチックの射出・押出成形機用シリンダーには、耐摩耗性や耐腐食性などの性能が求められています。　　当社が培ってきた材料技術、加工技術で多くの納入実績を持ち、各ユーザー様から好評を頂いています。　　設備担当者様のあらゆる「困った」に技術の高度化、製品の高品質化をテーマに、新作・...

メーカー・取り扱い企業：株式会社マーテック

CVD装置用MFCパネル

弊社の業務内容としては、半導体、液晶、太陽電池等製造装置用ガス供給装置の設置・製造や特殊材料ガス配管工事などです。【製品事例】・高純度ガス供給ユニット製作・シリンダーキャビネット製作・排気ユニット製作・除害ユニット製作・クリーン自動溶接配管製作・真空配管製作など様々な製造・制作も行っております。 ※詳細は【資料請求】もしくは、会社案内を【カタロ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社湘南テクノ

PLAD-250R PLDシステム

AOVでは、多種多様なお客様のご要望にお応えするために、カスタマイズされた様々な真空製膜装置を取り扱いしております。AOVの取り扱う真空装置は物理気相蒸着（PVD）法と化学気相蒸着（CVD）法に大きく分かれています。 PVD法による装置は、 * PLD（パルスレーザ蒸着）装置 * マグネトロンスパッタ装置 * EB電子ビーム蒸着装置 * イオンビームア...

メーカー・取り扱い企業： AOV株式会社

PLAD-261PG PLDシステム

AOVでは、多種多様なお客様のご要望にお応えするために、カスタマイズされた様々な真空製膜装置を取り扱いしております。AOVの取り扱う真空装置は物理気相蒸着（PVD）法と化学気相蒸着（CVD）法に大きく分かれています。 PVD法による装置は、 * PLD（パルスレーザ蒸着）装置 * マグネトロンスパッタ装置 * EB電子ビーム蒸着装置 * イオンビームア...

メーカー・取り扱い企業： AOV株式会社

エキシマレーザパルス蒸着システム

AOVでは、多種多様なお客様のご要望にお応えするために、カスタマイズされた様々な真空製膜装置を取り扱いしております。AOVの取り扱う真空装置は物理気相蒸着（PVD）法と化学気相蒸着（CVD）法に大きく分かれています。 PVD法による装置は、 * PLD（パルスレーザ蒸着）装置 * マグネトロンスパッタ装置 * EB電子ビーム蒸着装置 * イオンビームア...

メーカー・取り扱い企業： AOV株式会社

PLAD-271PE PLDシステム

AOVでは、多種多様なお客様のご要望にお応えするために、カスタマイズされた様々な真空製膜装置を取り扱いしております。AOVの取り扱う真空装置は物理気相蒸着（PVD）法と化学気相蒸着（CVD）法に大きく分かれています。 PVD法による装置は、 * PLD（パルスレーザ蒸着）装置 * マグネトロンスパッタ装置 * EB電子ビーム蒸着装置 * イオンビームア...

メーカー・取り扱い企業： AOV株式会社

PLAD-150Y PLDシステム

AOVでは、多種多様なお客様のご要望にお応えするために、カスタマイズされた様々な真空製膜装置を取り扱いしております。AOVの取り扱う真空装置は物理気相蒸着（PVD）法と化学気相蒸着（CVD）法に大きく分かれています。 PVD法による装置は、 * PLD（パルスレーザ蒸着）装置 * マグネトロンスパッタ装置 * EB電子ビーム蒸着装置 * イオンビームア...

メーカー・取り扱い企業： AOV株式会社

PLAD-161 PLDシステム

AOVでは、多種多様なお客様のご要望にお応えするために、カスタマイズされた様々な真空製膜装置を取り扱いしております。AOVの取り扱う真空装置は物理気相蒸着（PVD）法と化学気相蒸着（CVD）法に大きく分かれています。 PVD法による装置は、 * PLD（パルスレーザ蒸着）装置 * マグネトロンスパッタ装置 * EB電子ビーム蒸着装置 * イオンビームア...

メーカー・取り扱い企業： AOV株式会社

PLAD-250E PLDシステム

AOVでは、多種多様なお客様のご要望にお応えするために、カスタマイズされた様々な真空製膜装置を取り扱いしております。AOVの取り扱う真空装置は物理気相蒸着（PVD）法と化学気相蒸着（CVD）法に大きく分かれています。 PVD法による装置は、 * PLD（パルスレーザ蒸着）装置 * マグネトロンスパッタ装置 * EB電子ビーム蒸着装置 * イオンビームア...

メーカー・取り扱い企業： AOV株式会社

耐酸化・焦付き対策に…チタンコートスクリュー

数μの非常に硬い被膜で新品時の表面状態を維持します！

プラスチック成形材料に含まれる金属粉やガラス繊維、難燃材やマグネット、ファインセラミックなど、複雑化、多様化するプラスチックの射出・押出成形機用シリンダには、耐摩耗性や耐腐食性などの性能が求められています。当社が培ってきた材料技術、加工技術で多くの納入実績を持ち、各ユーザー様から好評を頂いています。設備担当者様のあらゆる「困った」に技術の高度化、製品の高品質化をテーマに、対応します。 .....

メーカー・取り扱い企業：株式会社マーテック

コゲ、分解・劣化、オーバーヒート対策に…シリンダー強制冷却増設

コゲ・分解・劣化対策としてどうしてもオーバーヒートしやすい場合は冷却ユ…

射出成形機は24 時間連続運転が当たり前であり、通常は機械をランニングさせながらの保守管理となります。必然的に設計時から、メンテナンスフリーに近い状態で機械は作られていることから、作動油の管理をしっかりやっていくことが故障トラブルの回避につながっていきます。その中でも油温管理は非常に重要なポイントです。成形機は構造上、速度と圧力を制御する使われ方をする機械であり、熱の発生が他の機械と比較して多い。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社マーテック