ウエハ | イプロスものづくり

PR半導体チップや精密デバイスなどを振動から守り安全に保管・搬送！シロキ…

★電子機器トータルソリューション展に出展します★ JPCA Show 2024 2024/4/24(水)～26(金) 10:00-17:00 パシフィコ横浜　展示ホール小間番号：6H-10 ゲルベースは半導体チップや精密デバイスなど細かな部品の工場内、工程内搬送、海外搬送用として使用できます。搬送時は振動から精密部品を守り、また半導体等部品のデバイス固定用としても大活躍。粘...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エクシール本社

新規次世代パワー半導体の研究開発拠点を開所

PR低損失化、高耐圧化、小型化の面で優位性を持つ、GeO2半導体の製膜事業…

株式会社クオルテック(本社：大阪府堺市、以下「クオルテック」)は、「滋賀県立テクノファクトリー」内に、新規半導体材料を使用したパワー半導体の製膜における研究開発拠点を開所しました。開所式にはクオルテックが本研究開発に関して資本業務提携し、「琵琶湖半導体構想(案)」を推進する立命館大学発ベンチャー、 Patentix株式会社(本社：滋賀県草津市)も出席し、開所式を行いました。 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社クオルテック

厚み測定 - 光学センサ『CHRocodile 2ITシリーズ』

多種多様な材料の厚み測定、広い測定レンジから加工中と加工前後を1台で対…

プレシテックの2ITシリーズは、分光干渉法を利用した非接触の厚み測定用センサでです。高速・高精度な厚み測定を得意としており、ウエハ・フィルム・コーティング・エアギャップなどの厚み測定・検査などに使用されています。不純物/ドープウエハの測定も可能です。その他の特長は、幅広い測定範囲、大きな許容角度、様々な材質に対...

メーカー・取り扱い企業：プレシテック・ジャパン株式会社

光計測・検査装置『ウエハレベル光素子特性測定装置』

電気・光学特性測定をウエハレベルで解析するシステム

『ウエハレベル光素子特性測定装置』は、VCSELやLEDなどの発光素子、フォトダイオードや照度センサなどの受光素子の電気・光学特性測定をウエハ レベルで解析するシステムです。当製品は、セミオ...

メーカー・取り扱い企業：シナジーオプトシステムズ株式会社

光学式エリアスキャナFlying Spot Scanner310

12inchウエハの全面厚み測定が可能。走査ステージレスで、振動の影響…

ージ不要でステージ振動無し　　　ガルバノミラーによるエリアスキャン　■開発コスト低減、開発納期短縮　　　装置組込み用のソフト開発キット（DLLなど)あり　■用途　　　12インチウエハのウエハ全面厚み測定、貼り合わせウエハ厚み測定、ボイド検査 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。...

メーカー・取り扱い企業：プレシテック・ジャパン株式会社

CHRocodile 2 SX 光学式広範囲厚み測定センサ

光学式センサで、Si0.5~200umの広範囲の厚み測定。5kHzの高…

非接触の光学厚み測定。高精度が求められる半導体ウエハの厚み測定でも適用可能。新製品『CHRocodile 2 SX』は、ウエハやコーティングなど材料厚みを非接触測定できる装置です。最大5kHzと高速サンプリングが可能なため、インラインでも適用で...

メーカー・取り扱い企業：プレシテック・ジャパン株式会社

厚み測定 - 光学センサ『CHRocodile 2DWシリーズ』

ドープウエハに適切な光源波長を使用し、難しいドープウエハ厚み測定に対応

『CHRocodile 2DWシリーズ』は、ウエハやコーティングなど材料厚みを非接触測定できる装置です。ドープウエハ測定にも対応でき、インラインでも適用可能で、多くのお客様へ実績があります。サファイア、Si、SiC等の半導体ウェハー厚み測定をはじ...

メーカー・取り扱い企業：プレシテック・ジャパン株式会社

非接触ウエハソーティングシステム【NC-6800】

ベルト搬送による非接触ウエハソーティングシステム！

ナプソン株式会社は、半導体ウエハやFPD基板の各種測定システムを開発・製造・販売しております。抵抗率/シート抵抗に関するあらゆるニーズにお応えし、仕様設計からアフターケアまで、最新の技術と豊富な経験を活かして、高精度・高性能...

メーカー・取り扱い企業：ナプソン株式会社

高精度非接触厚さ測定器【半導体用ウエハー】

高分解能の形状測定を実現。センサプローブの種類が豊富。平坦度や厚みのイ…

サプローブの中から検査要件、材質に応じて選択可能 ■測定範囲に応じたセンサシングルポイントセンサ、ラインセンサ型、エリアスキャン型をご用意 ■用途 PCBフレキの検査、ワイヤループ検査、ウエハバンプ検査などに活用可能 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。...

メーカー・取り扱い企業：プレシテック・ジャパン株式会社

VCSEL ウエハテストシステム

簡単な位置決め操作！ウエハ上の指定エリア内を自動的に測定することができ…

福興システムの取り扱う『VCSEL ウエハテストシステム』についてご紹介します。当製品は、簡単な位置決め操作によりウエハ上の指定エリア内を自動的に測定することが可能。 I-L/I-V 測定をはじめ、Spectrum...

メーカー・取り扱い企業：福興システム株式会社

厚み測定-光学センサ『CHRocodile 2LR ver2』

非接触の光学厚み測定。高精度が求められる半導体ウエハの厚み測定でも適用…

新製品『CHRocodile 2LR ver2』は、ウエハやコーティングなど材料厚みを非接触測定できる装置です。前回の『CHRocodile 2LR』と異なる新ディテクタを採用し、約２倍の厚み測定範囲、かつより高精度に測定できるようになりました。インライ...

メーカー・取り扱い企業：プレシテック・ジャパン株式会社

抵抗率・厚み測定器【EC-80SCAN】

ナプソン株式会社は、半導体ウエハやFPD基板の各種測定システムを開発・製造・販売しております。抵抗率/シート抵抗に関するあらゆるニーズにお応えし、仕様設計からアフターケアまで、最新の技術と豊富な経験を活かして、高精度・高性能...

メーカー・取り扱い企業：ナプソン株式会社

半導体製造装置用面内温度分布測定ツール『T/C ウエハー』

温度変化・温度分布をリアルタイムにロガーに伝達！温度特性を正確に把握す…

『T/C ウエハー』は、ウエハの実温をリアルタイム測定できる半導体製造装置用の面内温度分布測定ツールです。装置側の設定温度のみではなく、実際にウエハにかかる温度分布特性を知ることでプロセス温度設定...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ミヤビインターナショナル

セミオートプローバー『AP-150／AP-200』

-60℃～+350℃の温度特性評価、微小電流測定に！マイナス温度時も結…

『AP-150／AP-200』は、それぞれ6、8インチまでのウエハサイズに対応したセミオートプローバーです。コンパクトなシールドの効果により、安定した微小電流測定が可能。ドライエアを置換できるコンパクトシールド機構により、マイナス温度時も結露...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アポロウエーブ　本社

薄ウエハー厚み測定機『Real BG300』

Y軸とθ軸にてスパイラル軌道による全面の厚み測定も可能な測定機をご紹介

軸)とθ軸(回転軸)を有し、XYθ軸にて 2本の中心ライン測定、切断されるチップ間のスクライブライン測定が可能。また、透過式変位センサーを使用している為、バックグラインドフレーム付き ウエハ・保護膜付きウエハも測定出来ます。【特長】 ■シリコン透過式変位センサーを用いてシリコンウェハー厚みを非接触で検出 ■高精度なX軸(左右軸)、Y軸(前後軸)とθ軸(回転軸)を有する ...

メーカー・取り扱い企業：土井精密ラップ株式会社

抵抗率／シート抵抗測定器【CRESBOX】

ナプソン株式会社は、半導体ウエハやFPD基板の各種測定システムを開発・製造・販売しております。抵抗率/シート抵抗に関するあらゆるニーズにお応えし、仕様設計からアフターケアまで、最新の技術と豊富な経験を活かして、高精度・高性能...

メーカー・取り扱い企業：ナプソン株式会社

ウエハー平坦度測定機『Wafercom 300』

シリコン透過式変位センサーを用いて、シリコンウエハ厚みを非接触で検出し…

『Wafercom 300』は、ベアーウエハー対応の多機能な計測装置です。シリコン透過式変位センサーを用いてシリコンウエハ厚みを非接触で検出。測定時の揺れを最小限にする為、Y 軸(前後軸)及びθ軸(回転軸)にはインド産黒...

メーカー・取り扱い企業：土井精密ラップ株式会社

渦流量計『Rosemount 8800D』

デバイス診断とメータ性能検証によりトラブルシューティングを簡素化しまし…

タ性能検証によりトラブルシューティングを簡素化した渦流量計です。全溶接構造で詰まりを防ぐ設計により、ポートやガスケットは不要なため、最高クラスの性能、信頼性、安全性を実現。 ウエハ型、フランジ型、デュアル型、クアッド型、溶接エンド型、レデューサ、および高圧設計の各種類から選択いただけます。【特長】 ■HART および FOUNDATION Fieldbus プ...

メーカー・取り扱い企業：日本エマソン株式会社メジャメントソリューションズ

ＰＮ判定器【PN-12α】

ナプソン株式会社は、半導体ウエハやFPD基板の各種測定システムを開発・製造・販売しております。抵抗率/シート抵抗に関するあらゆるニーズにお応えし、仕様設計からアフターケアまで、最新の技術と豊富な経験を活かして、高精度・高性能...

メーカー・取り扱い企業：ナプソン株式会社

抵抗率／シート抵抗測定器【NC-10】

ナプソン株式会社は、半導体ウエハやFPD基板の各種測定システムを開発・製造・販売しております。抵抗率/シート抵抗に関するあらゆるニーズにお応えし、仕様設計からアフターケアまで、最新の技術と豊富な経験を活かして、高精度・高性能...

メーカー・取り扱い企業：ナプソン株式会社

高精度高機能低抵抗率計『ロレスターGXII MCP-T710』

カラー液晶タッチパネルにより高性能・簡単操作！4端子4探針法

ータ管理をタッチで実行します。【特長】 ■測定範囲を0.001×10^-4～9,999×10^7Ωまで拡大 ■スタートボタン押すだけで自動的に測定可能 ■シリコンモードによりシリコンウエハの測定も可能 ■印加電流可変機能により電流を流し難い試料にも対応可能 ■電流の極性反転により更に安定な測定が可能 ■PCへの測定結果のリアルタイム出力可能(別売のデータロガーソフト使用) ...

メーカー・取り扱い企業：日東精工アナリテック株式会社

【放射線利用事業】イオンビーム利用サービス

加速器を保有し、イオンビームを活用したさまざまなサービスを展開！

『イオンビーム利用サービス』では、サイクロトロン、バンデグラフといった加速器を保有し、イオンビームを活用したさまざまなサービスを展開しています。【サービスメニュー】 ■半導体ウエハへのイオン照射（IIS） ■中性子ラジオグラフィ撮影（NRT） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：住重アテックス株式会社

非接触移動度測定装置『LEI-1610シリーズ』

様々な半導体キャリア輸送特性の測定が可能！マイウロウェーブ反射による非…

濃度、シート抵抗など様々な半導体キャリア輸送特性の測定が可能な非接触移動度測定装置です。 2インチから最大8インチまでのSiウェーハ、化合物半導体（GaAs、GaN、InP等） epiウエハを非接触・破壊にてキャリア移動度、シート抵抗、シートチャージ密度が測定できます。【特長】 ■マイウロウェーブ反射による非接触移動度測定 ■高周波デバイス特性のスタンダード測定装置 ...

メーカー・取り扱い企業：日本セミラボ株式会社新横浜本社

高精度表面形状測定システム『Dyvoceシリーズ』

ご用途に応じてカスタマイズ対応が可能！ウエハ・フラットパネルのそり・た…

、様々な測定が可能。ラインアップ以外のステージサイズ（測定領域）に関しては、ご用途に応じてカスタマイズ対応が可能です。ご用命の際はお気軽にお問い合わせ下さい。【特長】 ■ウエハ・フラットパネルのそり・たわみの評価に好適 ■使い易さを追求した機能、シンプルなユーザインタフェースを装備 ■ワークに合わせた専用ホルダの製作も対応 ■御客様のサンプルをお預かりして、導入前...

メーカー・取り扱い企業：神津精機株式会社

熱電対（TC）付ウェハー

ウエハーに直接埋め込まれた温度センサーにより、直接イン・シチュウエハー…

センサーは信頼性が高く、測定されるウエハーに直接配置されているため、センサーが配置された正確な場所で実際の温度を提供できます。また、ウエハーの温度プロファイルを正確に測定し、ランピングアップ、クーリングダウン、遅延期間などの過渡状態...

メーカー・取り扱い企業：株式会社インターテック販売東京本社（拠点－関西営業所、熊本営業所）

抵抗率／シート抵抗測定器【NC-80MAP】

ナプソン株式会社は、半導体ウエハやFPD基板の各種測定システムを開発・製造・販売しております。抵抗率/シート抵抗に関するあらゆるニーズにお応えし、仕様設計からアフターケアまで、最新の技術と豊富な経験を活かして、高精度・高性能...

メーカー・取り扱い企業：ナプソン株式会社

WaferSense オートティーチングシステム（ATS2)

ATS2があればウェハの受け渡し位置における確実なロボット位置調整とウ…

■カメラを使ったビジュアルな検査で、無駄なコストを掛けずにスピーディなトラブル対応が可能となります。 ■ワイヤレス、ウエハ形状で充電式 ■上下を見れる 2つのカメラを搭載 ■簡単に使えるソフトウエア、リアルタイムに状況を確認可能...

メーカー・取り扱い企業： JFE 商事エレクトロニクス株式会社

蓄電池・バッテリーの測定をサブミクロン分解能で高速高精度で測定

高温環境での平坦度測定や製造工程中の異物検査、ボタン電池のエッジ形状検…

ブの中から検査要件、材質に応じて選択可能 ■測定範囲に応じたセンサ　　シングルポイントセンサ、ラインセンサ型、エリアスキャン型をご用意 ■用途　　PCBフレキの検査、ワイヤループ検査、ウエハバンプ検査などに活用可能 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。...

メーカー・取り扱い企業：プレシテック・ジャパン株式会社

画像センサ『CHRomatic Vision Camera』

振動の影響不要！環境に依存せず簡単な操作性を実現します！ウエハ検査用途…

『CHRomatic Vision Camera』は、ラインカメラをベースとして色収差共焦点原理を応用した製品です。コンパクトで組込みシステムをコンセプト(外部光源不要)で chromatic対物レンズは用途やレンジによって交換可能。ラインセンサーのすべての利点を採用し、エリア内を高速スキャン及びインライン検査などが容易に行えます。【特長】 ■フラットでないワー...

メーカー・取り扱い企業：プレシテック・ジャパン株式会社

【ウェハ素子】レーザートリミング装置『PLT-20』

ウェハで形成された製品を電気特性検査しながら、レーザーにて特性の追い込…

程へのNG流出防止（オプション） ■様々な電子デバイス素子のウェハトリミング・計測に応用可能詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ※レーザ　マーキング　ウエハトリミング　wafer　ウェハ調整　 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ＰＦＡ

小型光学式厚み/距離測定用センサ『CHRocodile C』

コスト重視におすすめな安価なタイプ。厚み測定、距離測定用センサ。ウエハ…

『CHRocodile C』は、安価な光学式シングルポイントセンサです。高速・高精度は他のラインナップと変わらず、nm分解能の距離測定　最大4表面、3層厚みを同時測定できる厚みセンサとして使用できます。また、プローブと本体が一体の手のひらサイズとコンパクトで、組込み時に省スペースを実現し、インラインでの使用もお勧めです。粗面、鏡面、色付き材料など全ての表面に対応し、測定レンジの範囲も広いセンサーで...

メーカー・取り扱い企業：プレシテック・ジャパン株式会社

電磁流量計『WX-C』『WZ-C』

井水滅菌処理・工場排水処理・プロセス廃水の管理・中水利用システムの原水…

【仕様】 <WX-C> 口径：25・40mm 接続方式：ウエハ接続（JIS 10Kフランジによる挟み込み）保護構造：IP65（屋外に設置する場合には避雷器を設け直射日光を避けてください） <WZ-C> 口径：25・32・40・50・65・80・100・1...

メーカー・取り扱い企業：愛知時計電機株式会社

接触角計　DropMasterシリーズ

固体・液体・気体間の表面・界面挙動における問題解決に貢献する接触角計

拡張性は備えていないが、測定機能としてはほぼDMoシリーズに準じたリーズナブルな画像処理式 ○自動接触角計　DMs-301 →リーズナブルな画像処理式 ○WAシリーズ →12インチウエハ対応ステージ装着 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業：協和界面科学株式会社

レーザ走査表面形状検査機『CSM＆CSYSシリーズ』

広い範囲の微小な高さの変化を測定可能な表面形状検査機！極めて振動に強く…

『CSM＆CSYSシリーズ』は、広い測定範囲を超高感度で速く測定が可能なレーザ走査表面形状検査機です。特許技術の「レーザ表面形状検査機」で、半導体ウエハ（Si,SiC,GaN,etc.）、MEMS、ハードディスク、FPD用機能性フイルム、スパッタ薄膜などの「表面形状」「粗さ」「うねり」「パーティクル」「キズ欠陥」を高感度で、早く、広い範囲を検査し...

メーカー・取り扱い企業：株式会社コアシステム

測定機器『3次元空間磁界プロファイリング』

永久磁石や磁気センサーなど多種多様な用途で使用可能な測定機器！

【ラインナップ】 ■XY移動のベクトルステージ ■スカラ型ロボット ■ウエハタイプ ■ハンディタイプ ■ウエハー型ガウスメータ ■吊下げマルチタイプ ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社東栄科学産業名取工場　磁気応用部

非接触式シート抵抗測定機『LEI-1510シリーズ』

広い範囲で優れた測定直線性！三次元グラフィックマップとしてPCモニター…

が可能。四探針方式で起こる、探針の接触汚染や接触具合による再現性の問題を解決します。 2インチから最大8インチまでのSiウェーハ、化合物半導体(GaAs、GaN、InP等) epiウエハを非接触・破壊にてシート抵抗を測定します。【特長】 ■探針の接触汚染や接触具合による再現性の問題を解決 ■多数枚を迅速に計測処理する事が可能 ■0.035～3200ohm／sq.とい...

メーカー・取り扱い企業：日本セミラボ株式会社新横浜本社

抵抗率／シート抵抗測定器【RT-3000/RS-1300】

ナプソン株式会社は、半導体ウエハやFPD基板の各種測定システムを開発・製造・販売しております。抵抗率/シート抵抗に関するあらゆるニーズにお応えし、仕様設計からアフターケアまで、最新の技術と豊富な経験を活かして、高精度・高性能...

メーカー・取り扱い企業：ナプソン株式会社

【非接触】厚み測定・検査装置

ウエハ、パネル、フィルム、塗装、塗膜の厚み測定に！カスタマイズにより様…

キーエンスとのタイアップにより、用途にマッチングした機器の評価と選定が行えますので、高精度で御希望の計測値が得られます。選定した機器を使用し、HUMAN独自のシステム開発で、御希望のアプリケーションを提供。様々な分野・用途で利用できます。【導入検討の流れ】システムは弊社、計測機器はメーカー（株式会社キーエンス）にて性能保証。導入前に、計測機器を評価頂き、精度・性...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ヒューマン

抵抗率／シート抵抗測定器【WS-3000】

ナプソン株式会社は、半導体ウエハやFPD基板の各種測定システムを開発・製造・販売しております。抵抗率/シート抵抗に関するあらゆるニーズにお応えし、仕様設計からアフターケアまで、最新の技術と豊富な経験を活かして、高精度・高性能...

メーカー・取り扱い企業：ナプソン株式会社

自動極小接触角計　MCA

ナノテクノロジーの世界を開く！微小液滴での接触角測定、多面的解析で…

ウエハやガラス基板などに刻まれるパターンは微細化されている。マイクロマシン／MEMSの分野における次の表面評価装置として、自動極小接触角計MCAは注目されている。...

メーカー・取り扱い企業：協和界面科学株式会社

原子間力顕微鏡『ハンディAFM』

圧倒的な分解能を実現！今まで隠れていた微少な現象を測定

【測定検査例】 ■ソーラーセル ■炭化珪素薄膜 ■量子ドット ■シリコンウエハ ■プローブ痕 ■ICパターン ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：ソフトワークス株式会社

Si フォトダイオード (TOパッケージ) (Si PD)

◆逆バイアス状況下で駆動◆大口径、四角形もラインナップ◆低ダークカレン…

ソケット：Coaxial/TO-46/TO-5 飽和光パワー：0.3w/cm2 LD-PD社は、LD(半導体レーザ)とPD(フォトダイオード)、および関連ドライバ製品のサプライヤです。ウエハの製造～ファブリケーション～パッキング～試験を一貫して自社で行っており、製品群はSM,MM LD(ファイバカップル式を含む)、LDバースタック、VCSEL、SLDなど、波長400nm～2400nm...

メーカー・取り扱い企業：株式会社オプトロンサイエンス

マイクロ波式汚泥濃度/含水率計『Valmet TS』

水洗浄および、0点調整が不要！濃縮機、脱水機の運転効率改善、制御と薬品…

【仕様(抜粋)】 ■測定原理：マイクロ波伝播時間測定方式 ■測定固形物濃度範囲・フランジタイプ：0-40%(含水率60-100%) ・ウエハタイプ：0-16%(含水率84-100%) ■製品口径・標準タイプ：50,80,100,150,200,250,300A ・高圧タイプ：100,150,200A ■耐圧・標準タイプ：...

メーカー・取り扱い企業：バルメット株式会社オートメーションビジネスライン

非接触ウエハソーティングシステム【NC-3000R】

ナプソン株式会社は、半導体ウエハやFPD基板の各種測定システムを開発・製造・販売しております。抵抗率/シート抵抗に関するあらゆるニーズにお応えし、仕様設計からアフターケアまで、最新の技術と豊富な経験を活かして、高精度・高性能...

メーカー・取り扱い企業：ナプソン株式会社

ＰＮ判定器【ＰＮ-50α】

ナプソン株式会社は、半導体ウエハやFPD基板の各種測定システムを開発・製造・販売しております。抵抗率/シート抵抗に関するあらゆるニーズにお応えし、仕様設計からアフターケアまで、最新の技術と豊富な経験を活かして、高精度・高性能...

メーカー・取り扱い企業：ナプソン株式会社

ＰＮ判定器【ＰＮ-1Ｓ】

ナプソン株式会社は、半導体ウエハやFPD基板の各種測定システムを開発・製造・販売しております。抵抗率/シート抵抗に関するあらゆるニーズにお応えし、仕様設計からアフターケアまで、最新の技術と豊富な経験を活かして、高精度・高性能...

メーカー・取り扱い企業：ナプソン株式会社

抵抗率／シート抵抗測定器【WS-8800】

ナプソン株式会社は、半導体ウエハやFPD基板の各種測定システムを開発・製造・販売しております。抵抗率/シート抵抗に関するあらゆるニーズにお応えし、仕様設計からアフターケアまで、最新の技術と豊富な経験を活かして、高精度・高性能...

メーカー・取り扱い企業：ナプソン株式会社

抵抗率／シート抵抗測定器【EC-80】

ナプソン株式会社は、半導体ウエハやFPD基板の各種測定システムを開発・製造・販売しております。抵抗率/シート抵抗に関するあらゆるニーズにお応えし、仕様設計からアフターケアまで、最新の技術と豊富な経験を活かして、高精度・高性能...

メーカー・取り扱い企業：ナプソン株式会社

３次元測定 - ラインセンサ『CHRocodile CLS』

サブミクロン精度で高速・広範囲を３次元形状測定。エッジや斜面にも対応で…

『CHRocodile CLS』は、100万ポイント/秒で高速3次元形状測定を実現できます。分解能も最大XY 1um, Z 0.02umと、非常に高精度な測定が可能。レンジ幅、分解能、精度から最大6種類の測定ヘッドをご用意し、インラインへの適用も可能です。【特長】　■広範囲エリアの非接触３次元形状測定　　　最大8.3mmのライン幅　■広い許容角度　　　反射面で±45° エッ...

メーカー・取り扱い企業：プレシテック・ジャパン株式会社

エリアスキャンセンサー『Flying Spot Scanner』

XYステージ不要！分光干渉原理による厚みと距離（変位）測定が可能！ウエ…

『Flying Spot Scanner』は、分光干渉測定技術と高速スキャンシステムを結合したスキャナです。 80mm径を高速スキャンしオフライン、インライン、品質管理に対応。定義可能なスキャン形状とフィルタによる簡単な対象領域の検査ができます。また、反射面でも良好な結果を得ることが可能です。【特長】 ■超高速光学スキャン ■測定対象物と光学センサーは固定 ■X...

メーカー・取り扱い企業：プレシテック・ジャパン株式会社

電磁流量計 Water maX『WX-C』

水管理に求められる機能を搭載し、工場の見える化や使用量管理に適していま…

また、7つの項目から2つ選択して、上下に表示ができるバリエーションがあります。【特長】 ■設置環境に応じて表示向きを変更 ■バックライト液晶 ■表示のバリエーション ■ウエハ接続 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：愛知時計電機株式会社

FPD用シート抵抗測定器【NC-50/RG-1200S】

ナプソン株式会社は、半導体ウエハやFPD基板の各種測定システムを開発・製造・販売しております。抵抗率/シート抵抗に関するあらゆるニーズにお応えし、仕様設計からアフターケアまで、最新の技術と豊富な経験を活かして、高精度・高性能...

メーカー・取り扱い企業：ナプソン株式会社

抵抗率／シート抵抗測定器【RT-3000/RG-1000F】

ナプソン株式会社は、半導体ウエハやFPD基板の各種測定システムを開発・製造・販売しております。抵抗率/シート抵抗に関するあらゆるニーズにお応えし、仕様設計からアフターケアまで、最新の技術と豊富な経験を活かして、高精度・高性能...

メーカー・取り扱い企業：ナプソン株式会社

【試験事例】DLC超薄膜の強さ評価

多角アルミナ粒子1.2µmを使用した試験結果を詳しく解説

大変軟らかいSiウエハ上の硬く薄いDLC膜の強さを、基材に影響されずに評価することができた事例をご紹介します。結果、超薄膜のエロージョン率は0.002µm/gで3つの試験部位と深さ方向共に強さはほぼ一定...

メーカー・取り扱い企業：株式会社パルメソ