【ドライアイス】角ドライアイス・ビーズドライアイス・ペレット

PR多種多様に利用可能！高い冷却能力により蓄冷剤よりも低温冷却が可能。長時…

当社では、炭酸ガスのスペシャリストとして優れた冷却物性のあるドライアイスに着目！ 冷却能力－78.9℃の個体ドライアイスは、今やコールドチェーンには欠かせない存在です。製造・流通・保存・研究等、様々な用途に幅広く利用され、今後ますます需要の拡大が見込まれている分野です。 【ラインアップ/特長】 ■ビーズドライアイス ◎直径3～9ｍｍ、長さ10～25ｍｍビーズ状にカットしたイワタニ独自開...

メーカー・取り扱い企業： 東日本イワタニガス株式会社 開発本部

超低湿度用防湿庫『ドライ・キャビ HYP2シリーズ』

PR新型デジコンと高精度湿度センサー採用！ドライユニット内の特殊乾燥剤は半…

『ドライ・キャビ HYP2シリーズ』は、新型デジコンにより庫内の湿度を 正確にコントロールできる超低湿度用防湿庫です。 高精度湿度センサーの採用により正確に表示することが難しかった5％RH以下の 湿度を正確に表示。超高速除湿のHYP・DUSに湿度設定と自動省エネの機能が 付いて高性能化しました。 使い易い全面ワイドドア（マグネットパッキン式）で、中央支柱がないので、 横長のもの...

メーカー・取り扱い企業： トーリ・ハン株式会社

ドライエッチング装置

MRAM用ドライエッチング装置！

反応性イオンエッチング装置(RIE)、誘導結合プラズマ (ICP)エッチング装置、イオンビームエッチング装置(IBE)等のドライエッチング装置など各種取り揃えております。...

メーカー・取り扱い企業： 日星産業株式会社

ドライソルベントHS供給機　C27A

ドライソルベントＨＳ供給

本装置は供試品の特性試験のためドライソルベントＨＳを一定圧力､一定温度で安定的に供給し循環使用するためのものである。 ※製品の詳細は、下記の「PDFダウンロード」ボタンよりご覧いただけます。 ※お問い合わせもお気軽にどう...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノメイト

高耐久性ドライ真空ポンプ　SDEシリーズ

高耐久性ドライ真空ポンプ　SDEシリーズ

耐久性と省エネを実現し、ランニングコストを低減 あらゆるプロセスに対応する高耐久性ドライ真空ポンプ 【特徴】 ○独自のスクリュー圧縮技術により 　ハードなプロセスでの安定稼動を実現 ○ポンプ構造材は耐食材料を使用。腐食性ガスの排気にも対応 ○スクリュー形状、及び駆動系...

メーカー・取り扱い企業： 樫山工業株式会社

ドライ洗浄装置アストロジェット1000シリーズ

除去不能だったゴミ等を効果的に除去。無料洗浄テスト実施中！

〜完全ドライ洗浄！基板の洗浄に必要な液体・薬品・廃液管理が必要ありません〜 液化炭酸ガスから極小のスノー（ドライアイス粒子）を生成しアシストエアに乗せ 被洗浄物へ噴射。今まで除去不能だったゴミ等を効果...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ディップス・エイチシー

キズがつかない！精密洗浄システム『スノーガンII』※デモ試用可能

廃液処理が不要！超微細ドライアイスパウダーでパーティクル・オイルを徹底…

精密洗浄システム『スノーガンII』は、純度99.99％以上の液化炭酸ガスで ノズルから、サブミクロンの超微細ドライアイスパウダーを噴射。 対象物にキズをつけず、パーティクル・オイル等の汚れを引きはがします。 また、ドライクリーニングのため、洗浄液の洗浄度管理・廃液処理が不要！ 「ハンドヘルドタイ...

メーカー・取り扱い企業： オーテックス株式会社

熱はく離シート 「リバアルファ」

加熱することで用意にはく離が可能になる粘着シート。しっかり固定しても熱…

に大きく貢献します。また、はがす手間がかからず省人化を推進します。 ・ワックスや接着剤を使用した場合、はく離作業後、溶剤などでこれらを除去する洗浄工程が必要ですが、リバアルファは洗浄工程が不要なドライ方式です。ドライ環境で、不純物混入や外部汚染を最小限に抑えます。 ・力をかけずに自然はく離が可能なため、ワークを傷つけることがなく、歩留り向上に貢献します。 ※品番の選定等、詳細につきまし...

メーカー・取り扱い企業： 日東エルマテリアル株式会社

ドライアウト全自動ポリッシュ装置『6EZ』

Revasum社の枚葉処理装置！SiC基板とデバイスの歩留まり向上を提…

『6EZ』はSiC基板とデバイスの歩留まり向上を提供できる ドライアウト全自動ポリッシュ装置です。 Revasum社の7AF-HMGグラインダー装置と6ZEポリッシュ装置を同時に 使用することでプロセスの簡素化を提供。 当社は半導体製造装置や装置用...

メーカー・取り扱い企業： ファーストゲート株式会社 本社、大阪オフィス、笹目倉庫

ドライエッチング装置・リアクティブイオンエッチング装置・コンパクトエッチャー・アッシング装置・クリーナー(クリーニング装置)

ドライエッチング装置・リアクティブイオンエッチング装置・コンパクトエッ…

FA-1は、ICチップ上の各種不良解析のためのパッシベ-ション膜の剥離や各種シリコン薄膜のエッチング、フォトレジストのアッシングなどを効率よく、かつ低損傷で行うドライエッチング装置です。操作方法は簡単で、試料をセットしてボタンを押すだけで使用できます。また、省スペースで場所を選ばず、床置型、卓上型のどちらにも対応が可能です。...

メーカー・取り扱い企業： サムコ株式会社

洗浄装置・UV/O3洗浄装置・ドライ洗浄装置・クリーナー(クリーニング装置)・ストリッパー(ストリッピング装置)

洗浄装置・UV/O3洗浄装置・ドライ洗浄装置・クリーナー(クリーニング…

UV-1は、フォトレジストアッシング、シリコンウエハークリーニング、クロムマスククリーニングなど各種半導体プロセスの完全ドライ処理を高濃度オゾンと紫外線照射の相互作用で効率よく行うことを目的として開発された研究開発用の洗浄装置です。...

メーカー・取り扱い企業： サムコ株式会社

フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

プラズマ装置 プラズマクリーナー プラズマ洗浄装置カタログ

ドライ洗浄のプラズマ技術で環境を守り、半導体デバイスの生産性を大幅に向…

置を掲載したカタログです。 デモ機や、プラズマ装置のラインアップの他、「RIE プラズマ処理のしくみ」や、 「DP プラズマ処置のしくみ」などもご紹介しています。 当社では、プラズマドライクリーナー、エッチャー（エッチング）、アッシャー（アッシング）の処理目的に合った プラズマ装置を、標準品以外にもカスタムメイドで対応。 企画から提案まで一環してお引き受けしています。 ...

メーカー・取り扱い企業： ヤマトマテリアル株式会社

プラズマドライクリーナー 　プラズマクリーナー　プラズマ洗浄装置

ご要望に合わせてカスタマイズ出来るプラズマクリーナー

ドライ洗浄のプラズマ技術で環境を守り、半導体　電子デバイス製造工程のアッシング、エッチングをはじめ、レンズ、医療処置具、チューブ、粉体洗浄、表面改質による印刷やコーティング材の密着(親水)性の改善により 生産性や品質を大幅に向上させることを目的とした装置です。 ...

メーカー・取り扱い企業： ヤマトマテリアル株式会社

固体ソースECRプラズマ成膜装置『AFTEX-8000シリーズ』

均一性に優れた多層膜を形成できる！全自動多層膜形成装置

ール: < 3×10-5Pa トランスファー室: < 3×10-4Pa ロードロック室: < 3×10-4Pa ■真空排気系 プロセスモジュール: ターボ分子ポンプ 1300L/sec ドライポンプ: 600L/min トランスファー室: TMP 820L/sec ドライポンプ: 500L/min ロードロック室: TMP 350L/sec ドライポンプ: 250L/min ...

メーカー・取り扱い企業： JSWアフティ株式会社

マクミラン　マスフローセンサ　Ｍｏｄｅｌ　５０シリーズ

０～２０　ｓｃｃｍ/ｍｉｎの微小から０～５００ｓｌｍ/ｍｉｎの大流量レ…

マクミラン社のマスフローメータ５０シリーズは、クリーンでドライな気体を０～２０ｓｃｃｍ/ｍｉｎのような小さい流量から０～５００ｓＬｍ/ｍｉｎのような大きな流量まで、計測精度±１．５％ＦＳで１４種類の計測レンジでカバーしています。流量検知センサは、サーマルマス...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

真空排気装置（真空ポンプユニット）

実績と信頼の排気系ユニット。単一のポンプでは困難な用途に対応。目的に合…

業界でトップクラスの真空ポンプの組合せユニット。 長年に渡り多数の納入台数を誇る水封式真空ポンプ/油回転式真空ポンプ/ドライポンプとメカニカルブースタの組合せにより新たな性能と価値を実現。 乾燥・蒸留・脱気などのケミカルプロセス、脱ガスなどの冶金用途、硬質膜コーティング装置やＣＶＤ装置、樹脂成型などの一般工業用途など...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

レーザーIC開封装置　PL101

レーザーIC開封装置　PL101

配線されたIC等の開封に 　薬液の影響を極力少なくすることができる ○チップの表面に薬液を滴下するだけで開封でる 　開封装置を使用しても勿論開封可能であり、薬液使用量は極めてわずか ○ドライ開封の前処理としても開封時間の短縮に有効 ○短時間で除去処理 　10ｍｍ×10ｍｍの面積の処理時間は、約2分 ○パソコン画面から処理範囲を設定でき 　あとはスイッチをONにするだけの簡...

メーカー・取り扱い企業： 日本サイエンティフィック株式会社

スパッタリング装置『nanoPVD-S10A』

高機能 コストパフォーマンスに優れた研究開発用RF/DCマグネトロン式…

x 570(D) x 600(H)mm ・重量：約70kg ・電源：200VAC 50.60Hz 15A ・チャンバーサイズ：Φ225（内径）x 250mm ・真空系：TMP + RP（ドライポンプ オプション） ・ペルチェ冷却機構...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

半導体製造用ウルトラフローSC クイック・カップリング

半導体製造工程で使用される液冷システムに特化し開発されたステンレス・ス…

コストを低減 ■液だれ防止 液だれによるクリーン環境汚濁を防止 高い地球温暖化係数を持つ液体冷媒の漏出を防止 ■バルブ作動不全の漏れリスク低減 長期接続後の分離の際に、Oリングがドライ状態になり潤滑性を失ったことによる、バルブが閉じず液漏れが発生するリスクを低減 ■エア混入量低減 接続時に混入するエアによる気泡やエア溜まりが原因となる流量・圧力の低減防止 ■SUS...

メーカー・取り扱い企業： セインジャパン株式会社

スピンドライヤー　SFシリーズ

【デモ機貸し出し可能！】シリコン又は化合物半導体ウエハーの少量処理用。…

合物半導体ウエハーの少量処理用として、コンパクトな卓上型の乾燥用に広く使用されています。 操作は極めて簡単で、ウエハーを回転盤上にセット後、上蓋を降ろし、スタートボタンを押すだけで、安全なスピンドライ仕上げを行います。 詳しくはお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

高田工業所社製IPA蒸気洗浄装置『TIDシリーズ』

IPA蒸気による洗浄乾燥装置！デバイス・ウエハー・ガラス・部品などのク…

、万一の際の自動消火システムや緊急注水システム等万全の安全対策 ・材質や形状を問わず、高純度IPAを用いたクリーン乾燥が可能 ・オールステンレスにより破損の危険性を排除 ・ペーパーゾーン、ドライゾーンに分け、持ち出しIPA を削減 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： JFE商事エレクトロニクス株式会社 プロセスソリューション営業部 実装プロセス営業室

IPA 蒸気洗浄装置

デバイス・ウエハ・ガラス・部品等、材質や形状を問わず 、高純度のIPA…

特徴 ●材質や形状を問わず、高純度IPA を用いたクリーン乾燥が可能です。 ●実績が示す万全の安全対策 ●オールステンレスにより破損の危険性を排除 ●べーパーゾーン、ドライゾーンに分け持ち出しIPA を削減 ●お客様のワークに応じた仕様変更も可能です。...

メーカー・取り扱い企業： 日精株式会社 本社

精密洗浄用ブラシガン

精密洗浄用ドライクリーニングガン！　パルスエアーとブラシ振動のダブル効…

【基板のドライ洗浄】 ●パルスエアーの噴射とブラシ振動の剥離の効果で 　強力に除塵します...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ガリュー

枚葉式プラズマリフロー装置（フラックスレスリフロー）テスト受付中

フラックスレスウェハバンプリフロー装置。微細バンプのリフローをウェット…

ダメージフリーのダウンフロー型表面波プラズマの強還元性Ｈ２ラジカル雰囲気でフラックスレスリフロー　フラックス塗布、洗浄工程　塗布装置、洗浄装置を削減。完全ドライＣｔｏＣシステム。ファインピッチバンプの短タクトリフロープロセスを実現。 ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

レーザークリーニング装置”IMT100P”のご紹介

母材にメカニカルなダメージを与えることなく 異物除去又はクリーニン…

アブレーションプロセスを起こさせて、 母材の表面に付着している炭化物等のコンタミを除去します <仕様用途> オーブンにこびりついた炭化物(焦げ)、オイル残渣の除去 酸化膜の除去など ＜経済的＞ ドライクリーニングで環境に配慮し経済的 ＝＞クリーニング後の水洗浄等不要 ...

メーカー・取り扱い企業： サマック株式会社

ＣＶＤ装置用真空排気装置（塩素系ガス対応真空ポンプユニット）

熱ＣＶＤ装置の排気に実績多数。Ｃｌ系ガスの排気に特に有効、大量排気と塩…

タなど柔軟な対応が特徴。 ポンプの特性と材質によってパーティクルや塩素系ガスの排気に実績豊富なシステム。 豊富なポンプの組み合わせによって幅広い要求に対応。 成膜前の粗引排気にラフプロセス用ドライ真空ポンプ（SSHシリーズ）を使用する事でさらに信頼性の高いシステムにグレードアップ。圧力調整機構を含めた排気システムとして提案可能。...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

シングルチャンバー型「ウェハ用多目的スピン・スクラブ洗浄装置」

1チャンバーで異物・金属汚染を取り除く省スペースな洗浄装置！洗浄方法の…

物 　・　化合物等 ＜　対応ウエハ口径　＞ 　・　φ2”～φ4” 　・　φ6”～φ8”　 ＜　その他　＞　　　　　　 　単機能のスクラブ洗浄装置、薬液の使用、 　ドライ・ウェットのローダー・アンローダー付タイプ、 　複数チャンバータイプなど、ご予算・ご要望に応じて対応致します。 　洗浄方法についてのご相談など、お気軽にご相談ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ゼビオス（XEVIOS CORP.,）

簡易型マスク洗浄装置｜簡易洗浄ユニット

簡易洗浄ユニットは、最大7インチマスクサイズまで対応できる簡易洗浄ユニ…

各ユニットは『ケミカルユニット』『スクラブユニット』『ドライユニット』があります。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノビジョン 本社

IPA蒸気乾燥装置

IPAの蒸気によって水分を置換し被対象物を乾燥、4～8インチウェハ用、…

ます。 ●装置サイズ(スタンドアローン型)(mm): 800mm(W) x 900mm(D) x 950mm(H) ●ユーティリティ: 三相AC200V、単相AC100V1、有機排気、クリーンドライエアー,N2、冷却水 ●主要安全設備: CO2消火装置、IPAガス濃度計 ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧下さい。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社渡辺商行

多軸ラミネーター

タッチパネル製造にカスタマイズされたラミネーター

タッチセンサーの製造工程においてＯＣＡとＩＴＯフィルムの貼り合わせ、およびドライフィルムとＩＴＯフィルムの貼り合わせなどフィルムの 貼り合せの製造に最適化されロールtoロールラミネーター製造装置です。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エム・シー・ケー 東京 電子事業本部

原子層堆積装置『AFALD-8』

優れた段差被覆性と精密な膜厚制御！高品質な成膜が可能

、13.4MHz 最大1000w ■前駆体（金属プリカーサ）搭載数：最大4基 ■反応ガス搭載数：最大3系統（マスフローコントローラ） ■最高基板加熱温度：400℃（設定値） ■真空ポンプ：ドライポンプ（ケミカル対応型） ■ホットウォール：標準搭載 ■配管加熱：標準搭載 ※個別制御可 ■圧力コントロール：自動調圧バルブ ※各室個別制御可 ■プロセスガストラップ：標準搭載 ■ユーザ...

メーカー・取り扱い企業： JSWアフティ株式会社

イオンプレーティング装置 「SIP-1600」

装飾・塗装のドライ化や増産をご検討中のお客様向け

イオンプレーティング装置 「SIP-1600」は樹脂基板へ金属膜を成膜する装置です。 同一バッチで2種類の材料が成膜可能です。 内部治具及び台車が2式付属しており高い生産性を有します。 イオンプレーティング機構により、付き回りよく成膜できます。 【特徴】 ○ワークの大きさにより、6軸もしくは8軸の自公転治具が搭載可能 ○抵抗加熱蒸発源は切替電極（2式）を搭載している ○イオンプレ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社昭和真空

卓上プラズマエッチング装置『TP-50B』

独自のスポットプラズマ技術で局所加工が可能な卓上プラズマエッチング装置

【仕様（抜粋）】 ■装置寸法：240mm(W)×390mm(D)×350mm(H) ■重量：20kg ■真空ポンプ：ドライポンプ（15L） ■加工範囲：28mm×28mm(オプションステージ使用時) 0.5~4mm ■対応可能ガス：CF4、N2、D.A、Ar、O2等 ※詳しくはPDFをダウンロードいただくか...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社三友製作所 テクノセンタ

自公転式真空撹拌脱泡ミキサー　V-mini300

小さなボディに「撹拌」「脱泡」「充填」の３機能

空撹拌脱泡ミキサー １．高粘度や高チクソなど、撹拌が難しい材料も短時間で均一に撹拌 ２．サブミクロン以下の泡も完全脱泡 ３．泡が再混入しないシリンジへの充填 更に メインテナンスフリー(ドライポンプの採用によりOILの補充及び交換が不要)...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社EME

スピン洗浄装置　フルオートスピンナー JASC-150型

現像液温度精度±1℃。φ4"φ5"φ6"を治具交換にて対応！

　W1100×D1000×H1440mm ○レシピ設定：タッチ画面による簡易レシピ設定 ○重量：300kg ○電源：AC100V　1.5KVa 50/60Hz±10％以内 ○付帯設備 →ドライエアー：5kgf/cm²以上　φ6mmワンタッチ継ぎ手 →薬液、純水：2kgf/cm²以上　φ6mmスウェージロック →N2：5kgf/cm²以上　φ6mmスウェージロック ○オプション：ブ...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

Inception 枚葉式スピンプロセッサー

R＆Dからパイロット生産への移行に適切なInception

搭載可能 ■ 200mm ウェハまで対応 ■ 個別の薬液系統に対し可動式スプレーアームを2式まで搭載 ■ 純水とN2にそれぞれボトムスプレーノズルを準備 ■ 外部から機体後部に各種薬液を供給スピンドライを用いた高速冷却エッチングでパーティクルを制御 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社インターテック販売 東京本社（拠点－関西営業所、熊本営業所）

活性炭ガス精製器

高清浄度活性炭を内蔵

(株)ピュアロンジャパン製ガス精製器です。 超精密なガスフィルターエレメントと高清浄度活性炭を内蔵しており、ユースポイントにおいてドライエアー及び不活性ガス中の微粒子、ガス状有機物、酸系不純物を高効率で除去します。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ピー・ジェイ

真空装置受託製造

真空装置の受託開発承ります！

【受託製造事例】 ◆300Φメタライゼーション装置 ◆凍結真空乾燥装置 ◆有機ELディスプレイ製造装置 ◆銅配管スパッタ装置 ◆ドライエッチャー ◆有機薄膜形成装置 ◆真空排気装置 ※詳細はお問い合わせください。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社コスモ・サイエンス

ロール to ロール片面露光装置

フレキシブルプリント基板(FPC)用の高精度片面露光装置

FPCの回路形成を行うための露光装置です｡ ロール to ロールでピッチ送りし､上面からドライフィルム上にパターンを焼きつけます｡ 装置は､ロール巻出機→クリーンローラ装置→エッジコントローラ装置→露光部→ロール送り部→ロール巻取機によって構成されます｡ 【主な特長】 平行光光源によ...

メーカー・取り扱い企業： ウシオライティング株式会社

両面アライメント付きロール to ロール露光装置

フレキシブルプリント基板(FPC)用の高精度両面露光装置

FPC両面回路形成用露光機で､ロール状両面FCCLに､ドライフィルムをラミネートしたものに対し､両面回路を高精度で露光可能です｡ 両面同時アライメントを行い露光するため､FPCの裏表露光精度を高めることができます｡ また､両面同時露光を行うので､高い生...

メーカー・取り扱い企業： ウシオライティング株式会社

シングルチャンバー型「ウェハ用多目的スピン・スクラブ洗浄装置」

1チャンバーで異物・金属汚染を取り除く省スペースな洗浄装置！洗浄方法の…

　・　化合物等 ＜　対応ウエハ口径　＞ 　・　φ2”～φ4” 　・　φ6”～φ8”　 ＜　その他　＞　　　　　　 　単機能のスクラブ洗浄装置、薬液の使用、 　ドライ・ウェットのローダー・アンローダー付タイプ、 　複数チャンバータイプなど、ご予算・ご要望に応じて対応致します。 　洗浄方法についてのご相談など、お気軽にご相談ください。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクニカルフィット

バキューム付き小型スチーム洗浄機

スチームの力で汚れを落とし、バキュームするスチーム洗浄機

●高い洗浄・除菌効果 　160℃のスチームと洗剤を同時に噴射します ●バキューム機構付き 　排水設備のない現場や、ドライ管理したい現場に最適です ●飛び散らず乾燥が速い 　高温スチームを低圧噴射するため、水の飛び散りがありません ●無臭・無煙 　電気式なので臭いや煙は出ません ●連続運転 　清水の補充が...

メーカー・取り扱い企業： 蔵王産業株式会社

マニュアルスピンコーター

シンプルデザインのマニュアルスピンコーター

定…液晶タッチパネル 薬液ノズル…2系統（エアーシリンダー駆動式） レシピ設定…10プログラム ×50 パターン オプション…試料台、真空ポンプ、加圧タンク ユーティリティー…電源、真空、ドライエアー ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社トービ

自動リフトオフ装置（メタル・レジスト剥離）Lift-off

高圧ジェットで驚きの剝離能力！当社独自の特殊ノズルで、枚葉による高速処…

化学的な力で剥離 また、枚葉による高速処理・高剥離力・高安定性を実現し、さらに薬液の使用量も削減できます。 この他にレジスト、ポリマー、 マスクの洗浄装置としても使用でき、熱処理後やドライエッチング後の頑固なレジストも剥離可能です。 また、DIP処理で問題となるバリやメタルの再付着がありません。 厚膜のメタル、酸化膜など、エッチングで困難な厚膜のパターニングに好適な高圧...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ