FOUP洗浄装置

PR特殊な高圧ノズルを使用し、ケミカル未使用で洗浄及び乾燥が可能な装置です

【環境負荷低減】 ・洗浄液は純水のみ使用 ・他社製品に比べ純水の使用量が少ない 【高い洗浄能力】 ・独自の洗浄処理で残渣とパーティクルの洗浄が可能 ・温風を瞬時に発生可能（常温→65℃まで3秒）　 ・FOUP BOXと蓋を別々に洗浄することが可能 ・瞬間加熱式の採用で頑固な接着剤や粒子を迅速に洗浄可能 ・高圧洗浄によりレジストなどの高い付着力を持つ汚染物の除去が可能 *Max 約10MPa（15...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

極上メッキ調塗料「 マッハ'Z 」シルバー！

PR極を凌駕！極上のメッキ感！塗料で実現！ワンランク上のメッキ調塗料！

昨年大好評の「メタラスター 極」をさらにグレードアップさせたメッキ調塗料「 マッハ'Z 」誕生！ 見れば一目瞭然、めっき感の輝き。是非見て、さわって、感じてください！ ・めっき槽に入らないサイズへの対応が可能 ・設備規模が小さくても可能 ・再塗装が可能　　などなど… 「マッハ'Z」シルバーへの上塗りとしてカラークリヤー塗装をすることで、様々なカラーバリエーションの表現が楽しめます！ ....

メーカー・取り扱い企業： ヒヨコペイント株式会社

【フッ素樹脂へのダイレクトめっきが可能！】プラズマ表面改質技術

従来、出来なかったフッ素樹脂へのダイレクト銅めっきをプラズマ処理で実現…

★技術開発の背景や、プラズマを用いた表面改質技術などを 　詳しく解説しています。 　詳細はPDFをダウンロードしてください。 【本技術の特長】 ・フッ素樹脂へダイレクト無電解めっきが可能 　⇒工程の簡素化及び低価格化が可能 ・基材表面を荒らすことなく平滑面にめっきが可能 　⇒高周波損失が軽減できる ・廃液のないドライプロセス 　⇒環境にやさしい ※詳しくはお...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社電子技研

コンパクトでアタッシュケースに格納可能！大気圧プラズマ照射装置

Heガスボンベ/AC100V電源に接続するだけで簡単に実験可能！持ち運…

ハンディタイプ 大気圧プラズマ照射装置「HAPYシリーズ」は、コンパクトで全ての機器をアタッシュケース内へ格納可能です。 Heガスボンベ / AC100V電源に接続するだけで実験ができます。 ガスリモート放電方式で、電気的ダメージを抑えたことで安全に様々な材料へプラズマ処理が行えます。 【特徴】 ○...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社電子技研

オゾンレスコロナ表面処理装置『プラズマダイン』

オレフィン系の樹脂やエラストマーなどの接着や印刷、コーティングなどの密…

率の削減に寄与 ■均一な表面処理ができる空気中放電によるショックの危険がない 　プラズマビームを生成 ■処理ヘッドは1個から必要な数まで、処理の目的と要求される能力に 　応じて組み込むことが可能 ■高周波コロナ放電なのにオゾンの発生はありません ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： ナビタスマシナリー株式会社

大気圧プラズマ処理で接着不良からの脱却に！　※サンプルテスト可能

大気圧プラズマ処理で品質と効率を同時に！表面の濡れ性の調整、接着性の向…

・表面を洗浄して接着性をよくしたい… ・ボイド・ハジキを防ぎたい… ・塗装不良をなくしたい… ・現行のプロセスがいずれ使えなくなってしまうので、他の方法をさがしている… などの課題をお持ちでしたら、大気圧プラズマ処理をぜひご検討ください。 大気圧プラズマ処理は表面特性を改善するために使用されます。 表面の濡れ性の調整、接着性の向上、塗装やコーティング、印刷の効果的な付着など、 さ...

メーカー・取り扱い企業： AETP Japan合同会社

ICP エッチング装置

ヨーロッパ 発の技術から生まれた汎用性の高い装置！

8"工程用Pishowシリーズ： ・Pishow： シリコン、金属、化合物半導体など、様々な材料に対応可能； 幅広く温度の工程に対応可能； エッチングの速度と均一性を精密制御； BOSOH工程に対応可能 ・Pishow A： HEMT工程のソリューションを提供、SiNx、TiN、pGaN、...

メーカー・取り扱い企業： 日星産業株式会社

プラズマイオン注入成膜装置

日本発のまったく新しいガスイオン注入も可能なDLCコーティング装置です…

・真空装置部の大型が容易に可能で最大長さ4m、直径1.2mの大型装置の納入実績もあります ・完全自動運転のためコスト低減が可能です ・DLC成膜のほかに簡易なイオン注入も可能で新しい材料の開発も可能です ・自転公転機構やヒ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社栗田製作所 本社・京都事業部

Diener Electronic社製『プラズマ処理装置』

幅広い材質に対応できる低圧タイプや、インライン設置が可能な大気圧タイプ…

験用の小型製品から パワフルな処理能力を備えた大型機まで幅広くラインアップ。 低圧タイプ、大気圧タイプともに豊富なモデルを揃えており、 研究開発や少量生産などお客様のニーズに合わせた選択が可能です。 【特長】 ◎低圧プラズマ装置 　■ガラス、金属、プラスチック、繊維、粉体などのプラズマ処理が可能 　■研究開発、試作用途の他、量産ラインへの導入実績も多数あり 　■ご要望に応え...

メーカー・取り扱い企業： テクノアルファ株式会社

卓上プラズマエッチング装置『TP-50B』

独自のスポットプラズマ技術で局所加工が可能な卓上プラズマエッチング装置

『TP-50B』は、電波法による設置許可申請も不要の50Ｗ型で、操作も簡単、気軽にプラズマ加工が行える卓上プラズマエッチング装置です。 独自のスポットプラズマ技術で局所加工が可能で、半導体故障解析用試料の前処理（配線の露出）から、各種プラズマ加工に幅広く対応致します。 また小型のため、スペースの限られた研究室で活躍します。 【特長】 ■卓上サイズでコンパクト ...

メーカー・取り扱い企業： ナラサキ産業株式会社 メカトロソリューション部　機能材料課

DLC成膜装置「プラズマイオン注入成膜装置」

３次元・大型・低温処理が可能！独自開発技術採用プラズマイオン注入成膜装…

「プラズマイオン注入成膜装置」は、独自開発技術を採用しており、３次元・大型・低温処理が可能なDLC成膜装置です。 栗田製作所独自開発装置で特許取得済み（特許第3555928号）です。 プラズマ生成用のバルスRF電源、イオン注入用の高圧バルス電源の出力を一つの電極から供給することにより...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社栗田製作所 本社・京都事業部

大気圧プラズマ装置 Plasma Beam

圧搾空気を用いたアーク放電式の大気圧プラズマ装置 　‐低ランニングコ…

します。 そのプラズマをエアーの気流で大気中に照射し、対象製品のクリーニングや親水性改善を行います。ガス源にはアルゴンガスやヘリウムガスを使用せず、圧搾エアーを使用するため、ランニングコストの削減も可能です。 ※製品の詳細はカタログをダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： テクノアルファ株式会社

PIG式 DLCコーティング装置

優れた膜の密着性と高面圧耐性を実現！スパッタカソードを標準装備していま…

高面圧耐性を実現しています。 自動車部品の表面処理用途に豊富な実績を持っており、多くの用途に採用。 また新開発のアーク放電式マグネトロンカソードを装備することで PVDによる硬質膜も形成が可能でき、プラズマCVD＋PVD複合成膜装置への 機能拡張が容易です。 評価をご希望の方はサンプルテストをお受けしております。 その他、仕様詳細や膜質などにつきましてはお問い合わせください。 ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

５G通信の伝送損失を低減できるプラズマ表面改質技術

低誘電率樹脂を粗面化せずに直接めっき、接着剤を使わず直接接合！※技術資…

ました。 これにより基材の表面を粗面化することなく、めっき形成が出来ます。また、界面に誘電率の高い接着剤を用いない直接接合ができることで、高周波通信時の伝送損失を低減でき、5G通信システムの実現が可能となります。 【本技術の特徴】 ・フッ素樹脂、LCPへのダイレクトめっきが可能 5G用低誘電率樹脂へのめっき形成を実現 平滑面への直接めっきにより伝送損失を低減 ・フッ素樹脂、LC...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社電子技研

ロールtoロール連続成膜装置

樹脂フイルムへのバリア性プラズマ成膜などに好適！技術資料無料進呈いたし…

『ロールtoロール連続成膜装置』は、中間層を必要としないプラズマイオン 注入成膜法により、各種フィルム素材に機能性成膜が可能な装置です。 独自のICPプラズマによる高速成膜機能フイルムの製造が可能。 樹脂フイルムへのバリア性プラズマ成膜をはじめ、金属箔への導電耐食性 プラズマ成膜、繊維素材への抗菌性プラズマ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社イトー

大気圧プラズマ装置　Plasma Beam RT

2 次元表面の高速、高効率、広範なインラインプラズマ処理に最適なソリュ…

します。 そのプラズマをエアーの気流で大気中に照射し、対象製品のクリーニングや親水性改善を行います。ガス源にはアルゴンガスやヘリウムガスを使用せず、圧搾エアーを使用するため、ランニングコストの削減も可能です。 Diener 社の革新的製品である PlasmaBeam RT は、2 次元表面の高速、高効率、広範なインラインプラズマ処理に最適な大気圧プラズマ装置です。 PlasmaBeam R...

メーカー・取り扱い企業： テクノアルファ株式会社

PlasmaMAX Hollow Cathode プラズマCVD

最高品質を保ちつつ、基板幅と成膜速度を最大化することで、大量生産プロセ…

X ホローカソード は、形状をカスタマイズすることができるため、水平型インライン式の真空成膜装置、垂直型インライン式真空成膜装置、ロールツーロールのウェブコーティングプロセスにも容易に組み込むことが可能です。簡単にカスタマイズできるデザインプラットフォームと広範囲な圧力域で安定したプロセスを実現できるため、ほとんどの既存CVD設備、PVD設備にも使用することができ、低コストでパフォーマンスの最適化...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マツボー

大気非暴露型多元スパッタ装置

硫化物対応も可　薄膜固体二次電池研究用専用成膜装置 ターゲット～成膜…

薄膜固体二次電池の研究用の専用スパッタ装置 後処理が可能。多元カソードによる負極・電解質・正極の一括形成と成膜後の大気非暴露による基板の封止が可能。 Ｌｉの専用ターゲットによる事前成膜テストも対応可能（有償） 材料（ターゲット）ソフト（成膜テスト）ハ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

コールドカソード減速イオン銃『OMI0750シリーズ』

高精度減速型多段レンズにより、高電流密度の低速イオンビームを照射可能

当製品は、超高真空において使用可能なビームエネルギー10eVから3000eVの 減速型コールドカソードイオン銃です。 効率よくイオンを引き出し、高精度減速型多段レンズにより、高電流密度の 低速イオンビームを照射可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社オメガトロン

大気圧プラズマ装置 「Preciseシリーズ」

従来比50％の性能UP！低N2消費（約45％削減）の大気圧プラズマ装置

、窒素ガスをベースとし、誘電体バリア放電を利用しワーク自体を電磁界エリアから隔離し、リアクター内で励起されたラジカル等のみを使用した装置です。 これによりワークへのダメージを与えない状態で連続処理が可能になりました。 また、ワークが帯電した状態でも除電され、処理後の気中のパーティクル付着もありません。 【特徴】 ○低温処理 ○ダメージフリー ○ESDフリー処理手前でのイオナイザー装置が不要 ○2...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社イー・スクエア

ウェブ搬送ロールのしわ・傷・粘着物による不具合防止コーティング

アメリカ生まれの高耐久コーティング！業界スタンダードとして採用実績多数…

ティング技術です。 当技術は、離型剤の種類だけでも20種以上ありますが、その離型剤と 組み合わせる硬質層との調整によって、離型（離形）性、グリップ力、耐摩耗性などさまざまな特性を与えることが可能。 お客様の多様なニーズに対応することができます。 【特長】 ■世界中で採用されているコーティング技術 ■コンバーティング分野をはじめ、幅広い産業分野で使用 ■現在使用している部品...

メーカー・取り扱い企業： カンメタエンジニアリング株式会社

CXコーティング　防水　防湿　生体適合性　無償コートも受付中

防水・防湿、絶縁、生体適合性などの性能を持ち合わせているCXコーティン…

CXコーティングは多機能高性能コーティングとして医療や電子部品の市場の製品を様々な要因から守ることが可能です。 ◆防水・防湿 弊社のラインアップのPPX単層膜とCXコート＋SiO2の積層膜はどれも防水・防湿性能に長けています。特に弊社の技術であるPPXとSiO2を積層することにより、従来のPP...

メーカー・取り扱い企業： オーエスジー株式会社グループ

大気圧プラズマ装置を用いたダイレクト接着

大気圧プラズマ装置による分子結合接着「ダウンストリーム型大気圧プラズマ…

状態をキープしながら、フッ素樹脂やその他フィルムとの異種材接着を実現している。 使用ガス種の変更により選択的に共有結合分子を選択でき、接着相手側との最適化を実現。 また、既存接着強度の向上にも適用可能です。 本資料では、「ダウンストリーム型大気圧プラズマ装置」を使った、 接合・接着の概要や必要な前処理、活用メリットについて紹介しています。 【掲載内容】 ■基本的概念 ■メリット ■プラズマ処...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社イー・スクエア

熱触媒式除害装置(TCSシリーズ)

排気ガス中の有害成分を専用触媒により除去します。

● 反応副生成ガスにも対応 　カーボンナノチューブCVDプロセスで使用される　NH3（アンモニア）の他 　副生成される可能性が　ある毒性の強いHCN（シアン化水素）にも対応。※1 ● 視認性に優れたデザイン 　集合表示灯及びタッチパネル（オプション）、シグナルタワーによりスピーディーに警報を識別可能。 ● 希釈対...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社巴商会 管理部署：企画営業部

粉末用イオン注入装置

IonPOWDERによる粉体の革新的な表面処理。 粉体へのイオン注入…

特徴 ･多種のガスが使用可能（Ar, He, N2, O2, SiH4, 混合ガス） ･装置はレシピで動作可能 ･PVD(physical vapor deposition)機構も、増設できます。 プロセスの利点 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マツボー

マグネトロンスパッタ装置ＭＳＰ－２０ＴＫ

電子顕微鏡向けタングステン薄膜のコーティング装置です。

鏡向けタングステン薄膜のコーティング装置です。 ○超高分解能ＳＥＭにおいて超高倍率の観察に活躍します。（２０万倍以上） ○試料傾斜・回転機構（オプション）を使用することにより回り込み性能の向上も可能。 ○Mo/Cr/Ni/Cuなどの金属板（オプション）をコーティングすることが可能です。 ○電圧・電流容量の変更（オプション）により、殆どの金属コーティングを可能にします。 ○空冷式マグネトロ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社真空デバイス

乾式除害装置(MAKシリーズ)

大気放出できない装置から排出される有害排気ガスを安全に除害処理します。…

各種処理剤がラインナップされており、各種プロセスの排気ガスに 　最も適した処理剤の選定ができます。 　また、弊社横浜研究所の現地分析により、 　フィールドでの排気分析結果に基づいた処理剤設計も可能です。 【低圧損】 　圧力損失の少ない処理剤充填方法を採用し、 　装置内の圧力損失を0.1KPa以内に制御。 　これにより専用排気ブロワーを不要化、ランニングコストを低減します。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社巴商会 管理部署：企画営業部

プラズマイオンボンバーダＰＩＢ－２０

あらゆる用途に対応可能な高性能装置。調整後はボタンひとつでＯＫ！

バーダ　ＰＩＢ－２０型は好評な弊社製PIB-10形親水処理装置の多機能モデル。TEM用支持膜の親水化処理、ダイアモンドナイフ等のクリーニング、有機材料のエッチング、ＰＤＭＳの貼付とあらゆる用途に対応可能な高性能装置です。フルオート機能搭載で、調整後はボタンひとつでＯＫ！RFプラズマ装置が導入困難な方、RFプラズマ装置が高価で手が出せなかった方に高性能なACプラズマ装置を低価格で！ 詳しくはお問い...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社真空デバイス

プラズマ表面処理装置『PlasmaDyne Pro』

導電性・非導電性を問わず、強力で均一な表面改質／表面洗浄を実現します

リーのプラズマビームを生成する ■空中放電によるショック、感電の危険が無く、オゾンも発生しない ■手動でも使用できる ■インライン化も容易 ■処理ヘッドは静止型、回転型から用途に合わせて選択可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： ナビタスマシナリー株式会社

ダメージレスで接着性＆濡れ性向上！大気圧広幅低温プラズマ処理機

デモ機有り！　初回は無償でサンプル作成いたします。 安価なガスで低温…

設置が容易です。 ポテンシャルフリーなため対象物をダメージレスで処理が出来、 繊細な表面を持つプラスチックの光学フィルム、金属箔への処理に効果を発揮します。 裏抜けの心配もなく均一な表面処理が可能です。 プラズマ以外の様々なデモ機がございます。 詳しくは弊社HPまで！...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ケー・ブラッシュ商会 本社

大気圧プラズマ表面処理装置【洗浄や濡れ性改善、接着性改善に】

大気圧でフィルム・基板等の高速連続処理が可能！【サンプルテスト受付中！…

エア・ウォーターの「大気圧プラズマ表面処理装置」は工業ガス会社の知見から、様々な表面改質に提案が可能です。処理対象を電極の間に挿入するダイレクト方式と、電極間で発生したプラズマを対象に吹き付けるリモート方式をラインナップしています。 【特長】 ◆工業ガス会社の知見から、様々な表面改質に提案...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター株式会社

金属粉から樹脂パウダーまで！粉体プラズマ処理機で分散性向上！

一度に大量の粉を処理可能。1バッチでおよそ10kg前後の粉を処理できま…

開発した真空プラズマ技術を用いて今まで少量でしか処理が出来なかった紛体をキロ単位で処理できるようになりました。 1バッチおよそ30分以内で処理完了。 供給装置を取り付けることで自動供給取り出しも可能になります。 最大20kgまで処理できる大型装置を現在開発中。 樹脂、金属、無機、様々なパウダーを処理して親水性、分散性アップ。 粉の濡れ性を改善して新素材開発！...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ケー・ブラッシュ商会 本社

粉体用大気圧プラズマ処理装置

改質Revolution！

・本装置は、大気圧プラズマを用いて、粉体の表面改質を行う装置です。 ・容器内の粉体にグロープラズマを当て、回転揺動による撹拌で均一な処理が可能です。 ・危険な溶媒を用いない､完全なドライプロセスでの処理を可能とし､環境に優しく生産性に優れた装置です｡ ・冷却機構を搭載しており、低融点の粉体にも対応できます。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェイ・サイエンス・ラボ 本社

簡易実験用スパッタリング装置

手動バッチ型と簡易ロードロック型の2機種　簡易ロードロックタイプで化合…

ト低減を実現しています。 サンプルテスト・仕様対応・納入後のフォローまで一貫して丁寧な対応を 行っています。 【特長】 ■リーズナブルなコストと高いプロセス性能 ■少量生産にも対応可能な高い信頼性 ■豊富な実績に支えられた豊富なオプション類と柔軟なハード対応 ■先端分野の薄膜開発にロードロック機構と事前成膜テストで 　プロセス開発をサポート ■デモ機を常設し、サンプルテス...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

プラズマ成膜及びエッチング装置『FLARIONシリーズ』

プラズマアシストリアクティブ成膜可能！インテグレーション用オプションな…

『FLARIONシリーズ』は、プラズマ成膜及びエッチング装置です。 PLUMシリーズのシームレスICPによるプラズマアシストリアクティブ成膜が可能。 また、基板回転機構、バイアス機構やプログラム制御された 軸動作機構の搭載が可能で、カスタマイズやインテグレーション用 オプションに対応しています。 【特長】 ■PLUM シリー...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイテック・システムズ

真空装置　基板用平行平板プラズマ処理装置　PC-RIEシリーズ

処理可能基板サイズ550×650ｍｍ。無廃液化・低ランニングコストを実…

設した全自動システムまでお客様のご要望に適したバージョンが選択できます。 【特長】 ○真空プラズマ技術は従来の処理に比べて良環境化 →クリーン化，無廃液化 ○低ランニングコスト ○処理可能基板サイズ550×650ｍｍ その他詳細は、カタログをダウンロード、もしくはお問合せ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社電子技研

ＨＰＣ－２０フルオートオスミウムコーター

高機能・低価格 タッチパネル式フルオートコーティング機能搭載で、あら…

しかった部分を完全自動化。より安全に、より簡単にオペレーションできる、オスミウムコーティングの新次元。 タッチパネルを搭載し、簡単で明快な操作を実現しました。誰でも簡単に、電子顕微鏡用導電膜を成膜可能。 また、多彩なオプションもご用意。安全面や機能を拡張します。 徹底的にこだわり抜いた装置ですが、驚きの低価格も実現。オスミウムコーティングにご興味のある方、オペレーションに不安のある方、是非当...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社真空デバイス

Ｃｕエッチング対応高密度プラズマエッチング装置

新プラズマ源ＨＣＤ（ホローカソード放電）電極搭載、各種メタルやＣｕ薄膜…

独自開発高密度プラズマと独自プロセスで各種メタルだけでなくＣｕ薄膜などの難エッチング材のエッチングに対応。 新開発HCD型ヘッドはスケールアップが容易で矩形基板や大型基板の高精度エッチングが可能。 ３００ｍｍウェハや積層基板、最大１ｍ□までの基板のメタルエッチングに対応。 近年ニーズが高まっている半導体周辺部材（フォトマスク、高密度実装基板）をカバーする従来のプラズマエッチングにとらわ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

大気圧プラズマ装置を用いた粒子への効率的表面改質

大気圧プラズマ装置による効率的な表面処理を実現！バグフィルターにて捕獲…

理ができる方法を開発しました。 ダウンストリーム型で幅広、長尺ワークへの有利な処理方法を生かした構造を 利用し、ラジカルをキャビティ内部に閉じ込め、ワークと撹拌することで、 より効率的な表面処理を可能にしました。 ワークに対して電気的・電磁波ダメージや、UVダメージを完全に排除しているため、 金属粒子への表面改質はもちろん、ワーク表面へのダメージは皆無。 このため、処理後ワークへの帯電は生じま...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社イー・スクエア

プラズマクリーナーＰＣＵ－３０

小型・低価格を実現。多目的簡易操作型RFプラズマクリーナー。

低エネルギープラズマで試料損傷を回避。 ○クリーン排気（TMP+SQP）・簡易操作で能率的 ○観察によるコンタミネーションを除去し、分析・分解能向上。 ○SEMホルダー・絞りのアンチコンタミが可能なハイコストパフォーマンスモデル。 【その他の特徴】 ○走査型電子顕微鏡の試料観察においてコンタミを除去し、分解能・分析性能の向上を図る装置です。 ○低出力RF13.56MHz励起プラズマ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社真空デバイス

HCD型高密度プラズマエッチング装置

シンプルな機構で高密度プラズマを実現。ウェハから１ｍ□基板まで対応。Ｓ…

従来型の容量結合型プラズマエッチング装置にくらべ一桁高い密度のプラズマを実現。高周波アンテナや磁石を使用せず、電極構造のみの工夫によって高精度エッチングが可能。従来型のエッチング装置（CCP型・ICP型）とのハード上の互換性も高く低コスト・高い信頼、稼働率の実現に寄与。 ウェハレベルの基板だけでなく大型基板のエッチングにも対応可能 基板の大型化にスム...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

ＲＦフィルタ

高性能でコンパクトなＲＦフィルタ(高周波フィルタ)です。複数チャンネル…

言えます。 また、装置設計に合わせたカスタム製品での提案が基本となっておりますので、ハイパス、ローパス、バンドリジェクションなど、いろいろな高周波フィルタを、装置開発の段階より仕様に合わせた提案が可能です。 米国内の大手半導体製造メーカーへの採用実績が多くあり、必ずご期待に応えることができます。 ・1MHz～50MHzの周波数範囲内で設計可能でコンパクトな、高インピーダンスのフィルター ・...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社グローブ・テック

超高真空スパッタリング装置（STM2323型）

先端薄膜デバイスの研究開発に最適。カスタマイズ容易な枚葉式超高真空イン…

で研究開発作業の効率化を実現いたします。 高効率強磁性体用カソードやワイドエロージョンカソードなど成膜機構も選択でき、基板や目的に合わせて個別要求にご対応いたします。 シンプルな装置構成にも対応可能、リーズナブルなコスト対応を実現いたします。 上位仕様としてクラスタタイプの搬送室も装備可能でアニールや蒸着などの異種プロセス室も搭載可能な進化型スパッタリング装置です。...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

プラズマイオン注入成膜装置　PBII-R1000

生産機としても使用でき、多くのユーザー様で採用されております。

ition:PBII&D）とは株式会社栗田製作所と産業技術総合総合研究所関西センター殿と共同で開発し、特許を取得特許第3555928号）した全く新しいプラズマイオン注入技術です。DLCコーティングも可能です。取扱いが容易な為、生産機としても使用でき、多くのユーザー様で採用されております。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社栗田製作所 本社・京都事業部

大気圧プラズマ装置による5G向けプリン基板、FCCL向け

伝送ロスを低減するダイレクト接着技術・無電解メッキ前処理に！

ているため（ダウンストリーム型）、 処理方面にダメージを与えずに、分子結合を主体に表面に官能基・水酸基を付与することで、 液晶ポリマー（LCP）やフッ素樹脂へ、滑らかな表面のまま、ダイレクトに接着が可能です。 弊社プラズマ処理における接着・接合は分子結合を主体としいるため、 表面へのダメージや、プラズマによるＵＶ光等からの科学的ダメージは全く無い処理が可能。 種々のフィルムへのダメージレスダイレ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社イー・スクエア

卓上型／スタンドアローン 大気圧プラズマ装置

シンプルな卓上型の大気圧プラズマ装置やダイレクト方式の装置など豊富に掲…

のアルゴンを使用したダイレクト方式のプラズマ装置、 アルゴンガスを使用した大気圧プラズマのヘッドユニット「MDシリーズ」 などを取り扱っております。 また、曲面・凹凸のあるワークへの照射が可能なN2を使用したバータイプの 大気圧プラズマユニットも取り扱っております。 【ラインアップ】 ■卓上型大気圧プラズマ装置「MyPLシリーズ」 ■大気圧プラズマ装置「ILPシリーズ」 ■...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社イトー

自動車製造に不可欠な表面処理：大気圧プラズマ処理技術

自動車製造業におけるOpenair-Plasma(R) (オープンエア…

自動車業界では、安定した高品質を達成するため、微調整可能で ロバストなプロセスが用いられてきました。 また、複雑な形状の部品の製造をする場合には、耐久性に優れた 接着接合技術と高機能素材の使用が主なパラメーターとなります。 Openair-P...

メーカー・取り扱い企業： 日本プラズマトリート株式会社

真空プラズマ表面処理装置『V6-G』

高性能卓上システム！簡便な操作のタッチスクリーンと判りやすい指示表示

『V6-G』は、少量量産から研究開発までの広い製造範囲をサポート可能な 真空プラズマ表面処理装置です。 装置は表面処理、高度クリーニング及び活性化に用いることが可能。 内蔵の専用制御PLCは、自由に設定を行うことの出来る各プロセスと 各パラメーターを...

メーカー・取り扱い企業： ピンク・ジャパン株式会社

実験用スパッタ装置

簡易でありながらφ3インチターゲットのマグネトロンカソードと200L/…

元カソード ●　RF300W電源、自動マッチングボックス付 ●　ガス系統：1系統(オプションにて3系統まで対応可)、 　　マスフローコントローラーによる調整 ●　酸化物など絶縁体のスパッタが可能。 ●　オプションにて基板ヒーターの取付可。 ●　余分なものを省きながら使いやすいシンプルな構造。 ●　800W×600L×900Hの省スペース ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ヤシマ

スポット型 大気圧プラズマ装置『AP-T』

ピンポイントでプラズマ照射が可能！LCD端子清掃や電子部品封止前洗浄の…

『AP-T』は、2.45GHzの超高密度プラズマで高速処理が可能な スポット型大気圧プラズマ装置です。 クリーンドライエアー（CDA）での処理もできるほか、 高速立上り→スイッチOn後1秒未満でプラズマが安定します。 電源、制御、ガスユニットを一...

メーカー・取り扱い企業： 積水化学工業株式会社 P2事業推進部

プラズマ技術～バイオ・医療への応用

a-SiC:H(堅牢膜)等のパッシベーション膜形成が可能！高密度プラズ…

当社で取り扱う『Corial D250L/Kayen HDRF』により、 プラズマ技術のバイオ・医療への応用が可能です。 人体埋め込み型センサーや医療機器のパッシベーション膜を形成。 複雑な形状のインプラント用セラミック、金属物の 表面除染も対応可能です。 【パッシベーション膜の特長】 ■...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

レーザースリット機「KJ-1000A」

金属箔複合素材等をロールtoロールで連続処理することが可能に！CADデ…

レーザースリット機「KJ-1000A」は本機は金属箔や複合素材等をロールtoロールで連続加工できるレーザー加工機です。 【特徴】 ・金属箔等をロールtoロールで連続処理することが可能 ・CADデータをベースにして自由な設計・形状で処理可能 ・抜き加工だけでなく、スリット加工も可能 ※詳細はお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。 ...

メーカー・取り扱い企業： JMT株式会社

前処理・表面改質-コロナ放電・プラズマ処理

立体形状のワークに対応可能！豊富なアプリケーション電極、周辺機器、搬送…

当社の前処理、表面改質のコロナ放電・プラズマ処理をご紹介します。 印刷・塗装前の基材表面の処理(濡れ性向上)を目的とし、フレーム処理とは 異なりガスを使用せずに表面処理を行う事が可能。 立体形状のワークに対応でき、豊富なアプリケーション電極、周辺機器、 搬送装置でプラスチック、金属の混合部品に対して処理が可能です。 【特長】 ■立体形状のワークに対応できる ■...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社第一メカテック

バッチ式装置『Flexicoerシリーズ』

いくつものプラズマ技術を1つの装置に搭載可能！

当社のバッチ式装置『Flexicoerシリーズ』は、拡張性と信頼性を高い次元で 融合したモジュールコンセプトで出来ています。 いくつものプラズマ技術を1つの装置に搭載することが可能。また、 納入済み装置を新しい技術にアップグレードさせることも可能です。 多様なカスタマイズが出来るため、お客様独自の装置をご提供します。 【特長】 ■拡張性と信頼性を高い次元で融合...

メーカー・取り扱い企業： IHIハウザーテクノコーティング 日本支店

フレーム処理機 | 三次元形状樹脂の表面改質・親水化に好適です

量産向け！印刷・塗装・ラミネート・接着の前処理としてプラスチックや金属…

【３大特長】 ■ラインスピードが速く量産向き ■対象基材、形状を選ばない ■メンテナンスがほぼ不要 ＜その他＞ 1.高速プロセスにて60〜70mN/m以上の表面エネルギー値の達成が可能。 2.裏処理が発生しません。 3.１５０ｍｍまでの高低差がある対象物に処理が可能。 4.有害物質の発生・静電気帯電がありません。 5.ランニングコストが安価。 6.フィルムや箔用の幅広バ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ケー・ブラッシュ商会 本社

表面処理・接着性の向上に貢献『大気圧プラズマのメカニズム』

大気圧下で表面処理が可能なプラズマ処理装置。樹脂/金属/ガラスなど様々…

)装置は表面の洗浄と活性化を同時に施すことができ、溶剤レス＆乾式処理のため、生産プロセスの改善やコストダウンへもつながります。また、プラズマノズルをロボットへの組込し、自動化するなどのカスタマイズが可能で、品質管理・向上にも適しています。 【目次】 ■ プラズマとは ■ プラズマのメカニズムと効果 ■ プラズマトリートシステムの構成 ※詳しくはPDFダウンロード、またはお問い合わ...

メーカー・取り扱い企業： 日本プラズマトリート株式会社

PILLAR社　大気圧プラズマ表面処理装置『Protean1』

プラスチックフィルムの濡れ性・接着性改善など多用途で活躍。コロナ処理よ…

ルなど多用途で活躍する大気圧プラズマ表面処理装置です。 窒素ベースの混合ガスにより、基材の表面に反応性の高い官能基を形成。 フィルムの濡れ性・接着性向上、不織布の親水性・通気性効果改善などが可能です。 国内にテスト機がございます。 お客様のワークに応じて適した条件・ガスをご提案致します。 【特長】 ■窒素やアルゴンガスをベースに、ワークに応じた混合ガス雰囲気化で処理すること...

メーカー・取り扱い企業： 伊藤忠マシンテクノス株式会社

プラズマ照射表面改質装置『PS-601SW/1200AW』

ロボットで自由に稼働！中空ボトルや凹凸のある成型品等の表面改質が可能

『PS-601SW/PS-1200AW』は、基材表面の親水性を高め、接着性・ コーティング性・印刷性を向上させるプラズマ照射表面改質装置です。 接着、塗装、インクジェットプリンターなどで使用可能。 高電圧プラズマ放電と空気(エアー)を用い大気中で、プラズマ放電を 発生させます。そのプラズマ放電電子を直接機材表面に商社することに より、機材表面に親水性極性基を生成し濡れ性・接着性・...

メーカー・取り扱い企業： エム・エルエンジニアリング株式会社

超高密度大気圧プラズマ　ToughPlasma　FPF20-GM

高い処理能力と安全性を両立させた大気圧プラズマ装置

種パラメータは最適化されており、余計な調整は不要です。 ボタン一つで簡単に世界最高レベルの大気圧プラズマをご利用できます。 CEマーク、METマークを取得しており、EU加盟国および北米での使用も可能です。 接着不良、塗装剥がれ、表面汚れでお困りの際はお気軽にお問い合わせください。 装置詳細：https://www.fuji.co.jp/items/plasma/fpf20...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＦＵＪＩ ロボットソリューション事業本部　新規事業部

窒化法『S.P.N.法』

処理による肌荒れが少なく鏡面仕上げ品・シボ加工面等にも安心して適用可能

、合金鋼の場合に欠点とされる 化合物層の発生を抑えることができるため、従来法に比べ「寸法変化」 「脆さ」の低減等の特徴を有します。 【特長】 ■ステンレス鋼をはじめほとんどの鋼種に窒化が可能 ■スリット加工品に対しても安定グローが維持できるため 　バラツキの発生が少ない ■処理後にそのまま溶接修正が可能 ■切削工具他、ダイスへの応用、PVD、DLC等の硬質皮膜の 　下地処理と...

メーカー・取り扱い企業： 山崎化学エイチ・ティ株式会社

大気圧プラズマ『Precise』シリーズ　※資料進呈中

【異種接合・接着剤レス直接接合】密着性・親水性などが向上！炭素繊維を高…

渣物が出来ない表面乾燥ができる ■反応性の高い酸素ラジカル粒子を高密度に生成するので、高速に処理でき、生産性の向上に寄与 ■添加ガス種の変更により、マトリックス材に見合う官能基かアミン基の選択が可能 ■液晶ポリマー(LCP)本来の有効な電機特性を失うことなく、接着性を高めることが可能 ■接着剤を用いないので、低誘電率での直接接合が可能 ■界面制御による同種・異種材料接合技術...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社イー・スクエア

原子スペクトルデータ閲覧　AtomSpectraDBViewer

NIST公開の原子スペクトルのデータを簡単にダウンロード、検索、一覧表…

NIST公開の原子スペクトルデータを原子名、波長範囲の双方向から検索可能にしました。 データはご自分のパソコンにダウンロードされますのでオフラインでご利用いただけます。 オフラインだから検索もさくさくスピーディー。 全データもしくは選択データをCSVファイルに保存...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社クレブ