LED照明総合カタログ　※特殊環境向け機種などラインアップ！

PR安心の国内メーカー製品！一般向け機種から特殊環境向け機種まで多種多様な…

当カタログでは、LED照明をご紹介しております。 高天井用コンパクトLEDやライトアップ用LED投光器など 様々な製品を掲載。 それぞれの概要や仕様などについて掲載しておりますので、 ぜひご一読ください。 【総合カタログ掲載内容】 ■蛍光灯 LED照明 ■高天井・投光器 LED照明 ■街路灯 LED照明 ■ソーラーライト・防犯灯 LED照明 ■耐高温用・防爆用 LE...

メーカー・取り扱い企業： 重松テック株式会社

【資料】工業用ヒーターの基礎知識

PRカートリッジヒーターやバンドヒーターなどの基礎知識や使用例をご紹介！

工業用ヒーター/産業用ヒーターは、様々なジャンルの生産現場や製造装置 ラインにおいて欠かせない存在です。 気体・液体・固体(金属)の加熱などに使われ、熱伝導率の高い金属製の板や 容器などの被加熱対象物を電熱させ、パイプやノズル、パネル等を温めます。 当資料では、種類や用途にあわせた使用例について解説しておりますので ぜひご一読ください。 【掲載内容】 ■工業用ヒーターとは...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社加島

太陽電池セル量産用連続式常圧CVD装置 (AMAX1000S)

結晶Si太陽電池セル量産用　NSG(SiO2)/PSG/BSG膜成膜用…

AMAX1000Sは、「AMAX」シリーズの実績をもとに、太陽電池(セル)製造用に開発された連続式常圧CVD装置(APCVD装置)です。 【特徴】 　・156mm角/125mm角ウェハ対応 　・1500枚/hの高生産性 　・太陽電池用薄型ウェハ対応 【用途】 　...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社渡辺商行

Agnitron社 研究開発(R&D)～量産用 MOCVD装置

Agnitron社にて独自開発された、高性能、高スループット先端化合物…

Agnitron社のAgilisシリーズは、先端化合物半導体エピ成長を可能にする構成オプションを備えた柔軟なプラットフォームです。研究開発用(R&D用)の小型チャンバではシングル又はデュアルチャンバ構成選択可能、量産機用の大型チャンバではシングルチャンバ構成にて幅広い材料のエピ成長が可能です。...

メーカー・取り扱い企業： 伯東株式会社 本社

小規模生産・開発用常圧CVD(APCVD)装置 (D501)

試作・開発・小ロット生産向け　NSG(SiO2)/BSG/PSG/BP…

D装置(APCVD装置)です。 【特徴】 　・異形状・サイズ基板の同時処理 　・高い成膜速度 　・シンプルメンテナンス 　・省フットプリント 　・低CoO(低ランニングコスト) 【用途】 　・層間絶縁膜(NSG/PSG/BPSG) 　・拡散/インプラ用ハードマスク, 犠牲膜(NSG) 　・パッシベーション膜(保護膜・絶縁膜)(NSG) 　・太陽電池(セル)向け固相拡散用...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社渡辺商行

リターン用銅平板

パルスパワーの出力リターン線に、栗田製作所は銅平板をご提案させていただ…

・広い表面積を有し、高周波特性が良い。 ・出力ケーブルの代用で、インダクタンスを最小に抑えることができます。 ・EMC用の簡易シールドとして使用できます。 ・厚さ0.2mmなので、容易に折り曲げられます。また、金きり鋏でも切ることもできます。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社栗田製作所 本社・京都事業部

GaN半導体 MOCVD用機能部品

高温アンモニアに耐性があり、容易に高温が得られる機能部品、高温用ヒータ…

Momentiveの『超高温用ヒータ』、『窒化ホウ素製品群』および『グラファイト保護コーティング』は、高温の腐食性ガス雰囲気に耐性があり、窒化物単結晶成長やエピタキシャル装置の機能部品として多くの実績を有しております。 ■...

メーカー・取り扱い企業： モメンティブ・テクノロジーズ・ジャパン株式会社

工業用断熱材【耐熱耐食に優れたPTFEを使用】

配管ヒーター、シリンダー等の熱を逃がさない！電力削減やCO2を削減！用…

シンワバネスが作るジャケットヒーター、保温材は、ガラス繊維を用いた高度な縫製技術によって作られています。 半導体・樹脂成型・食品・医療関係で使用可能な、耐熱耐食にすぐれたPTFEを表面材質に選定し、縫製にて製作しております。 ■断熱用途例 プロセスチ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社シンワバネス

高生産性連続式常圧CVD(APCVD)装置 (AMAX800V)

量産向け　NSG(SiO2)/PSG/BPSG膜成膜用　高生産性　連続…

「AMAX」シリーズは、層間絶縁膜・パッシベーション膜(保護膜)・エピタキシャル(Epitaxial)ウェハ用バックシール等のシリコン酸化膜(SiO2膜)の成膜を目的とした、連続式常圧CVD装置(APCVD装置)です。 【特徴】 　・最大100枚/hの高生産性 (対応ウェハサイズ: ～8インチ) ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社渡辺商行

【nanoCVD-8G/8N】グラフェン/CNT合成装置

◉ 大型製造装置設備を使わず、短時間で容易にグラフェン・CNT（SWN…

◆特徴◆ ・簡単操作! 5inchタッチパネルによる操作・レシピ管理 ・最大30レシピ，30stepのプログラム作成可能 ・専用ソフトウエア標準装備，CSVファイルで出力PCでデータロギング ・USBケーブル接続，PC側でのレシピ作成→装置へアップロード可能 ・最大試料サイズ：40 x 40mm：銅（ニッケル）箔, Si...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

赤外線反射防止膜用ＤＬＣコーティング装置

高い赤外線透過率をもつＤＬＣ膜をハイレートで基板両面に形成。 安定の…

硬質膜・表面処理用途で実績豊富なＰＩＧ式ＤＬＣ膜形成装置を赤外線光学用途に展開。９０％以上の高い透過率を持つＤＬＣ膜を基板両面に一括形成 硬質・高い透過率のＤＬＣ膜を高い生産性で実現。 ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

粒子用 ALD （原子層堆積）装置 / FORGE NANO社

粒子専用のALD（原子層堆積 Atomic Layer Deposit…

研究開発向け粒子用ALD（原子層堆積）装置で様々な開発用途に活用できます。ナノスケールの粒子の成膜をミリグラムからキロまでプロセス可能です。　 ■流動床を含めた手法により膜厚を均一にコントロール ■３種類の容量の...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マツボー

MOCVD排気濾過用フィルター　（AIXTRON装置用）中国産

MOCVD、フィルター、AIXTRON、LED、中国産、高温真空粉塵濾…

主流ドイツのAIXTRON社のMOCVDの各型番の装置の排気フィルターは全部対応可能です。日本国内にも多数LEDメーカ―とパワーディバイスメーカーに2年以上の採用実績があります。品質面、価格面も高い評価を頂いております。...

メーカー・取り扱い企業： 愛鋭精密科技（大連）有限公司（AIRY TECHNOLOGY CO., LTD.) 中国大連本社

『事例集』半導体製造用バルブのヒューマンエラー対策※無料進呈中

【特に人気のある3事例をまとめて進呈中！】「バルブを変える」ことでトラ…

キッツグループの一員である当社 ＫＩＴＺＳＣＴは 半導体製造工程用のバルブ・配管部材を20年以上製造・販売しております。 今回は半導体製造工程でのヒューマンエラー事例と対策をご紹介。 特に人気のある3事例をまとめて進呈中です。 ◎概要◎ ・バルブを...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

立体物対応実験用プラズマCVD装置

対応可能膜種はDLC、アモルファスSiC等！基板加熱機構付き（最高設定…

当社で取り扱う『立体物対応実験用プラズマCVD装置』をご紹介いたします。 立体物に成膜可能で、対応可能膜種はDLC、アモルファスSiC等。 PC操作（シーケンサー制御）で、全自動、データロギングが可能です。 当社では...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社DINOVAC

立体物用プラズマCVD装置

高い汎用性を備えたシンプルな構造！独自のプラズマ制御方式を採用していま…

『立体物用プラズマCVD装置』は、豊富な蓄積データを有し、 独自のプラズマ制御方式を採用しています。 チャンバー容積は1m3。 多段式大量一括処理可能で、高い汎用性を備えたシンプルな構造です。 ...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

SiO2厚膜形成用プラズマCVD装置

厚膜形成用プラズマCVD装置。高速かつ低ストレス（特許出願中）

● 独自のセルフバイアス法の採用により高速（3000〜5000Å/min）かつ低ストレスの成膜が可能。（特許出願中） ● 室温〜350℃程度の低温成膜が可能。また、プラスチック上への成膜が可能。 ● 反応室に独自の...

メーカー・取り扱い企業： サムコ株式会社

高性能枚葉式常圧CVD(APCVD)装置 (A200V)

少量・多品種向け　NSG(SiO2)/PSG/BPSG膜成膜用　枚葉式…

ェハ反り矯正機能（特許取得済）によるSiCウェハ対応 　・低負荷・長周期メンテナンス 　・コンパクト筐体とミラータイプとの隣接設置による省スペース対応 　・低CoO(低ランニングコスト) 【用途】 　・パワー半導体用層間絶縁膜(NSG/PSG/BPSG) 　・拡散/インプラ用ハードマスク, 犠牲膜(NSG) 　・パッシベーション膜(保護膜・絶縁膜)(NSG) 　・光導波路(NSG...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社渡辺商行

【オーダーメイド製作実績】CVD装置

「金属容器用プラズマCVD装置」「ICP型MOCVD装置」などの実績を…

ジャパンクリエイト株式会社が行なった、『CVD装置』のオーダーメイド 製作実績をご紹介します。 「太陽電池用プラズマCVD装置」をはじめ、「立体物用プラズマCVD装置」や 「金属容器用プラズマCVD装置」「ICP型MOCVD装置」などの実績を保有。 デモ機にてサンプル処理を実施しております。 ご...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

高生産性連続式常圧CVD(APCVD)装置 (AMAX1200)

量産向け　NSG(SiO2)/PSG/BPSG膜成膜用　高生産性　連続…

「AMAX」シリーズは、層間絶縁膜・パッシベーション膜(保護膜)・エピタキシャル(Epitaxial)ウェハ用バックシール等のシリコン酸化膜(SiO2膜)の成膜を目的とした、連続式常圧CVD装置(APCVD装置)です。 【特徴】 　・～56枚/hの高生産性 (対応ウェハサイズ: ～12インチ) 　...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社渡辺商行

PETボトル用プラズマCVD装置

3L容器までコーティング可能！容器軽量化による物流コストの低減などに貢…

当製品は、当社が得意としているプラズマCVDプロセス技術を応用し、 樹脂容器材質として一般的に普及している「PETボトル」への DLCコーティングに特化した成膜装置です。 PETボトル内面へサブミクロンオーダーのDLC薄膜コーティングを施すことで、 ...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

単結晶高純度ダイヤモンド合成用CVD装置　DCVD-51A

コンパクトで省電力！デバイス作成向け単結晶高純度ダイヤモンド合成実験用…

ダイヤモンドの単結晶成長(ホモエピタキシャル)が可能な 高純度のダイヤモンド合成実験を行うためのプラズマCVD装置 【特徴】 ○コンパクトで省電力 ○超高真空技術を駆使しており、プラズマが室壁に接触しないため 　デバイス作成向け単結晶高純度ダイヤモンド合成実験が可能 ○球状コンパクトチャンバー＋特殊電極により、高効率な運転が可能 ○放電状態を見ながらの実験が可能 ○試料導入は...

メーカー・取り扱い企業： アリオス株式会社

MOCVD装置　VEECO K465i G2用排気フィルター

MOCVD装置　VEECO　K465i G2

中国製、世界中で実績があり、日本国内も大変実績があります。 アメリカ輸入濾過材使用、品質が保証。...

メーカー・取り扱い企業： 愛鋭精密科技（大連）有限公司（AIRY TECHNOLOGY CO., LTD.) 中国大連本社

大量生産用連続式常圧CVD装置『A6300S』

SiCトレーを採用！搬送システムで、大量生産を可能にするとともにコスト…

『A6300S』は、毎時120枚のスループットを擁する小口径ウェハ対応 大量生産用連続式常圧CVD装置です。 自動トレー交換装置、ヘッド昇降機構を備え、メンテナンス時間を短縮し 生産可能時間を延伸するとともに、お客様の大量生産のニーズとオペレータの 安全にも配慮しました...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社天谷製作所

化合物半導体ウエハ用非接触ピンセット

マニュアル操作により化合物半導体ウエハ(GaAs,ＩｎＰ,ＧａＰ）を非…

◎特徴 １．４５０℃の高温ウエハの非接触搬送が可能である。 ２．化合物半導体ウエハ(GaAs,ＩｎＰ,ＧａＰ）の下記の切り欠きウエハの非接触搬送が可能である。 ・Φ2～４ｉｎ ウエハ ・Φ２～４ｉｎｘ1/4ウエハ ・Φ２～４ｉｎｘ1/2ウエハ ...高温化合物半導体ウエハ(GaAs,ＩｎＰ,ＧａＰ）をベルヌーイチャック「フロートチャックＳＡＧ（ＩｎＰ）型」（特許）に気体供給のＯＮ－Ｏ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

実験用ドライエッチング、成膜装置

ヨーロッパ発の技術から生まれた汎用性の高い装置！実験～量産に幅広く対応…

当社は汎用性の高いエッチング装置や、低温低圧条件でも緻密に成膜できる堆積式の成膜装置を取り揃えております。 【ドライエッチング機種（一例）】 Pishowシリーズ： ■シリコン、金属、化合物半導体な...

メーカー・取り扱い企業： 日星産業株式会社

半導体用トランスデューサー

半導体用トランスデューサー

コンパクトなデザイン 防爆指令対応（ATEX Zone2） 保護等級NEMA4（IP67）を備え、ケースサイドから出来る 優れたEMC対応品、優れた温度補正...コンパクトなデザイン 防爆指令対応（ATEX Zone2） 保護等級NEMA4（IP67）を備え、ケースサイドから出来る 優れたEMC対応品、優れた温度補正...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社フロー・ジョイント

クリーンルーム対応5mm角ウエハ用小型ベルヌーイチャック

排気を上方向に排出する機構を採用。周囲のチップを噴出気体により吹き飛ば…

新機能：周囲のチップを噴出気体により吹き飛ばすことなく非接触でつかみ移載します。 　ソ－ラ－リサ－チ研究所では、□5ｍｍウエハ～の微小ワークのチップ用ベルヌーイチャック「非接触クリーンチャック」を開発しました。この装置は、気体を噴出することにより エゼクタ効果及びベルヌーイ効果による負圧と圧力式エアクッション効果による正圧を生じ、小さく裁断され...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

【HTシリーズ基板加熱ヒーターMax1900℃】Φ1〜8inch

プレート最高温度Max1900℃。HV, UHVほか過酷なプロセス環境…

*旧製品名「セラミック・トップ・ヒーター」 窒化アルミプレート表面温度Max 1600℃ 対応可能サイズ Φ1〜8inch用、及び最大150mm角まで 超高温・超高真空対応フルカスタムメイド基板加熱ステージ ◉ヒーターエレメント： ・C/Cコンポジット Max1700℃ ・SiC3（炭化珪素）コーティンググラ...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

CVD装置『ナノカーボン堆積装置』

3種類の堆積装置をラインアップ！用途に合わせてお選びください

ーボン材料を合成可能なCVD装置です。 「CND-050LP」をはじめ、大面積ナノカーボン堆積装置「LCND-200」や PNナノカーボン堆積装置「NCD-050W」をラインアップ。 用途に合わせてお選びいただけます。 【特長】 ■ナノカーボン材料を合成可能 ■3種類のラインアップ ■用途に合わせて選べる ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社片桐エンジニアリング

真空装置設計・製作からサポートまで短納期でご対応

真空装置の設計・製作から保守作業までお任せを！

各種真空成膜装置の設計・製作を行っております。装置完成後の現地搬入・立ち上げ、稼働後の保守を含めたトータルでのサービスが可能な体制となっております。各種実験補助設備の設計や真空設計の応用に豊富な経験があり、仕様検討の段階よりお手伝いさせて頂きます。また、研究･開発部門からの引合いも多く、ご要望に沿った提案が出来ますので、お気軽にご相談下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社コスモ・サイエンス

高電圧パルス放電用セラミックコンデンサ

高電圧パルス放電用セラミックコンデンサ

○静電容量： 500〜4000pF ○静電容量誤差： ±20%以内（高精度モデル有） ○許容温度範囲： -30℃〜+50℃ ○エネルギー散逸： 最大0.5% (@1kHz) ○絶縁試験： 下記DCテスト電圧にて10秒間 ○絶縁抵抗： 20,000MΩ(最小値：@100VDC) ○温度係数： N5500(±1000ppm/℃) ○端子強度： 最大トルク・・20[inch・...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社コムクラフト

RIBER社 分子線エピタキシー（MBE）装置

パッシベーション用MBE装置は、レーザーファセットパッシベーション等の…

パッシベーション用MBE装置は、表面パッシベーションまたはレーザーファセットパッシベーションのために特別に設計された各種チャンバーで構成されております。表面やファセット面を保護するために、さまざまなコーティングを使用...

メーカー・取り扱い企業： 伯東株式会社 本社

プラズマCVD装置

漏洩マイクロ波検出用も付属！試料の取付は、下部よりモーターによる上下機…

『プラズマCVD装置』は、実験用に極端に簡素化して製作されたCVD装置です。 マスフロー本体は、メーカー品を使用。表示器、設定器は当社オリジナルで 製作し価格を下げております。 また、プラズマ発生域と試料の距離を変更...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社和泉テック

ガス配管

半導体や太陽電池等製造装置用ガス供給装置の設置・製造

・ ・高純度ガス供給ユニット製作 ・シリンダーキャビネット製作 ・排気ユニット製作 ・除害ユニット製作 ・クリーン自動溶接配管製作 ・真空配管製作 半導体、液晶、太陽電池等製造装置用ガス供給装置の設置・製造 特殊材料ガス配管工事、その他 など様々な製造を行っております ※詳細は【資料請求】もしくは、会社案内を【カタログダウンロード】から 　ダウンロードしてくださ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社湘南テクノ

スーパータル　シングルウェハーリアクター

電子・半導体業界用！1枚のウェハー製造用ヒーターモジュール

従来のシリコンデバイス用途のみならず、シリコン系パワーデバイス(IGBT)の熱処理用途や化合物半導体(GaN、SiC)のアニール処理、エピ成長装置としてご検討下さい。 ...

メーカー・取り扱い企業： アレイマジャパン株式会社 カンタルカンパニー

CVD装置向けモジュールヒーター

CVDコーティング装置向けモジュールヒーター

超硬チップや金型のコーティングに使用するCVD装置向けのモジュールヒーターです。 ご希望の炉寸法、仕様に容易にカスタマイズ可能ですのでお気軽にご相談下さい。...

メーカー・取り扱い企業： アレイマジャパン株式会社 カンタルカンパニー

セトラ社　ウルトラクリーン圧力センサ　モデル２２４シリーズ

特殊ガスのモニターと制御用に開発されたウルトラクリーンセンサ

セトラ社のモデル２２４は特殊ガスのモニターと制御用に開発されたウルトラクリーンセンサです。 　モデル２２４はパージ効果の高い流線型のセンサチャンバを持ち、ガスの流れによる瞬時の温度変化の条件下でも優れた安定性を実現するように設計されています。...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

粗取り用オールメタルガスフィルター

幅広い濾過精度に対応

(株)ピュアロンジャパン製　ガスフィルターです。 定常流・脈動下において濾過精度０.１〜１０μｍまでの幅広い濾過精度に対応。フィルター構成部材で腐蝕性材料は使用しておりませんので腐蝕や二次生成物の恐れはありません。専用のベーキングヒーターの併用によりＡＰＩＭＳの測定で脱ガス(水分量)１.２ｐｐｂを達成しました。継続使用により０.１ｐｐｂレベルまで可能です。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ピー・ジェイ

ガスフィルター用ジャケットヒーター

２００℃の高温でガスフィルターをベーキングする画期的なベーキングヒータ…

【特徴】 ○最高使用温度は２００℃です。 ○電源はＡＣ１００Ｖです。 ○消費電力は６０Ｗ〜１００Ｗです。（０.６Ａ〜１Ａ） ○加熱タイマー最大使用時間は１００Ｈｒｓです。(デジタル設定) ○温度調節はＰＩＤ制御...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ピー・ジェイ

高耐圧用ＰＴＦＥガスフィルター

濾過膜はＰＴＦＥ製２層構造で経年や振動などでの伸びが殆どなく、安定した…

精度は０.００３μｍです。 ○推奨流量は４０Ｌ/ｍｉｎ、１５０Ｌ/ｍｉｎ各種です。 ○ハウジング設計圧力は２０.６８ＭＰａ(３,０００ＰＳＩＧ、２１０ｋｇｆ/ｃｍ２)ａｔ２０℃です。 ○最高使用圧力は０.９８ＭＰａ（１４２ＰＳＩＧ）ａｔ２０℃です。 ○最高使用温度は１２０℃です。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ピー・ジェイ

空圧機器用サイレンサー【焼結金属フィルター用途事例】

・標準サイズの製品が多数・Easy installation 簡単設置…

サイレンサーは、 最大20デシベルまでノイズを減らすことができます。 素　　材：ステンレス、ブロンズ プロセス：フィルター ■アプリケーション詳細 ・OEMやスペアパーツとして使用 ・標準スレッドによる取付け ・海洋などの腐食環境では、 　ステンレス材を使用 ■長所 ・標準サイズの製品が多数 ・Easy installation 簡単設置 ・精密焼結拡散接...

メーカー・取り扱い企業： ダイアエンタプライズ株式会社 本社

Aera FC-R7700シリーズ　マスフローコントローラ

経済性に優れた高精度ラバーシール

半導体、FPD、データ記憶装置、産業用真空機器、工業用コーティング等の市場では、CVD、PVD、エッチング、イオン注入、スパッタリング、熱酸化膜、光学ガラスコーティング、光ファイバー、表面処理、その他のコーティングプロセスを含め、非腐食...

メーカー・取り扱い企業： 日立Astemo＆ナガノ株式会社

高温ウエハ用非接触ピンセット

高温のサセプターからウエハを非接触にて取り出す耐熱仕様のピンセット

ＣＶＤ装置による半導体ウエハのエピタキシャル成膜後のサセプター上の高温ウエハを、気体を噴出することにより非接触によりウエハを懸垂保持し搬送する「フロートチャック」に手動バルブの付いた取っ手を装着し、ピンセットのようにハンドルを持つ手によるバルブ操作により気体供給のＯＮ−ＯＦＦを行い、高温のサセプターからウエハを非接触にて取り出す耐熱仕様の「非接触ピンセット」。...気体を噴出することにより非接触に...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

腐蝕性特殊ガス対策用ハステロイC-22ハウジング製

ハロゲン系反応性腐蝕性特殊ガスに対し、耐蝕性が非常に高く極めて優れた性…

半導体製造ガスラインなどに用いられる（株）ピュアロンジャパン製セラミックガスフィルターです。 フィルター構成部材には、フィルターハウジングにハステロイC-22を、そしてフィルターエレメントにはセラミックスを使用しております。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ピー・ジェイ

集積化ガスシステム対応圧力センサー

各種集積化ガスシステム用圧力センサー

半導体製造ガスラインなどに用いられる（株）ピュアロンジャパン製 高精度・高耐蝕性を特徴とする各種集積化ガスシステム用圧力センサーです。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ピー・ジェイ

スリットバルブシール

スリットバルブシール

●半導体、液晶をはじめ多岐の業界で使用されている真空機器のシール材に対し、総合シールメーカーとして長年にわたり培った経験、豊富な材料、独自の最適形状設計を組み合わせ、様々な御要求にお応えし、ソリューションをご提供しております。 ●...

メーカー・取り扱い企業： 三菱電線工業株式会社

真空バルブオーバーホール、アクチュエーター修理

真空装置周辺機器,バルブの修理なら　お任せ下さい！ 　　メーカーメンテ…

にも対応。 ・ベローズ内製による交換。 ・アクチュエーターシャフトの修理及び新規製作。 ・各部材のアルマイト処理等の膜厚変更等。 【　信　頼　性　】 充実したメンテナンス設備 ・動作確認用コントローラー所有。 ・アクチュエーター単品でも動作テストを実施。 ・リークチェック用各種フランジを所有。...

メーカー・取り扱い企業： 大宮工業株式会社 近畿支店

緊急除害装置(S-CDシリーズ)

毒性ガス漏洩の緊急時に無害化します。（高圧ガス保安法一般則第55条第1…

緊急除害装置「S-CDシリーズ」は、高圧ガス保安法に対応した緊急用乾式除害設備です。 （高圧ガス保安法一般則第55条第１項） ● 特殊高圧ガス（７種）の他、アンモニア、塩素など、各種ガスの仕様に合わせた安全設計 ●排気ブロワーのインバーター制御による省エネ設...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社巴商会 管理部署：企画営業部

ALD/MOCVD容器

50CCから60L容量までのALDやMOCVD用途、SUS製カスタマイ…

創業から30年以上の経験と多くの納入実績を持つ米国PFL社製。 50CCから60L容量までのALD/MOCVD用途、SUSカスタマイズ容器を承ります。材質（ステンレスや高ニッケル鋼）、バルブ位置や数、容器の高さ/幅寸法、内表面粗度、安全認証など様々な組み合わせでカスタマイズ可能です。（400以上のバリエーショ...

メーカー・取り扱い企業： 黒岩ステンレス工業株式会社

Agnitron社 MOCVD装置制御ソフトウエア

最新の制御機能とデータロギング機能を有する、WindowsベースのSC…

Agnitron Technology社（アメリカ）は、2008年に設立された中古リファブ、自社開発新品MOCVD装置（有機金属気相成長装置）、MOCVD装置制御ソフトウエア、MOCVD 装置用In-situモニターを製造、販売するサプライヤーです。Agnitron Technology社はお客様のニーズ一を詳細にお聞きし、ニーズに合致した個別装置を提案する事が可能なユニークなMOCVD装...

メーカー・取り扱い企業： 伯東株式会社 本社

Agnitron社 MOCVD装置 In-situ温度モニター

Agnitron社で開発されたAgniTemp-MOCVD In-si…

Agnitron Technology社（アメリカ）は、2008年に設立された中古リファブ、自社開発新品MOCVD装置（有機金属気相成長装置）、MOCVD装置制御ソフトウエア、MOCVD 装置用In-situモニターを製造、販売するサプライヤーです。Agnitron Technology社はお客様のニーズ一を詳細にお聞きし、ニーズに合致した個別装置を提案する事が可能なユニークなMOCVD装...

メーカー・取り扱い企業： 伯東株式会社 本社

【資料】パワーデバイス用GaNのトレンチ加工

これまでの加工実績をベースに行ったGaNのトレンチ加工をご紹介します

当社は半導体製造装置メーカーとして、GaN系発光デバイス製造における ICPエッチング装置、CVD装置及びプロセス技術を提供してきた実績があります。 また、4H-SiCパワーデバイスに対してもトレンチ加工、メサ加工等に対応で きる装置を提供。 当資料では、これまでの加工実績をベースに行ったGaNのトレンチ加工を ご紹介しています。 【掲載内容】 ■はじめに ■トレンチM...

メーカー・取り扱い企業： サムコ株式会社

真空ポンプ/メンテナンス部品

真空ポンプ用メンテナンス部品

各種海外製真空ポンプ用メンテナンスキット、構成部品など...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ミヤビインターナショナル

プラズマイオン注入成膜装置

日本発のまったく新しいガスイオン注入も可能なDLCコーティング装置です…

・栗田製作所新開発のプラズマ発生方式により三次元形状物でも全方位に均一にDLC処理が可能です ・ワーク自身がプラズマ発生用アンテナになる為、外部アンテナやイオン源が必要なく簡単にDLC処理が可能になりました ・パルス電源を使用しているため非常に低温（50℃〜）での処理も実現しました ・金属から絶縁物まで幅広い物がこ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社栗田製作所 本社・京都事業部

アルミフレーム(TFシリーズ)・アクセサリー

機能性アルミフレームと豊富なアクセサリーのコストダウン【単品はもちろん…

弊社のアルミフレーム及びアクセサリー類は、各種装置・機械の架台や 躯体、クリーンブースやフェンス(安全柵)等において、国内外問わず 数多くのお客様の生産設備に幅広く活用されております。 また最近では、飛沫感染防止用のパーテーションのニーズが高まり、 弊社製品をご愛顧頂いております。 【アルミフレーム（TFシリーズ）・アクセサリー】 ■定尺サイズから...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社タイトウトレーディング 草津本社工場

ドライエッチング装置

MRAM用ドライエッチング装置！

反応性イオンエッチング装置(RIE)、誘導結合プラズマ (ICP)エッチング装置、イオンビームエッチング装置(IBE)等のドライエッチング装置など各種取り揃えております。...RIE、IBE、PECVDチャンバーを一つの真空制御装置に統合など各種カスタマイズも対応可能。 ご要望・お見積もりなど、お気軽にご相談ください。...

メーカー・取り扱い企業： 日星産業株式会社

直流電源

熟練したリターン技術による、安定放電が可能な直流(充電）電源です。

直流(充電）電源です。 真空プロセスから、各種バイアス用電源、集塵機などにも採用されている電源です。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社栗田製作所 本社・京都事業部

【Nanofurnace】BWS-NANO 熱CVD装置

【ホットウオール式熱CVD装置】基礎研究に最適なコンパクトサイズ高性能…

【特徴】 ◉ コンパクトなシステムでハイクオリティな成膜実験が可能 ◉ ホットウオール式 反応管内を均一に加熱 ◉ 4系統（CH4, Ar, H2, バブラー用）MFC高精度流量制御：精度±1% F.S. ◉ キャパシタンスマノメータ（バラトロンゲージ）による高精度APC圧力制御 ◉ Lab Viewソフトウエア（オプション）によるリモート制御, デー...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

『流路まるごと事例集』排気ラインの副生成物対策 ※無料進呈中

除害装置前段やCVD排気ラインの副生成物対応にお困りの方必見！ 高温…

の配管部材は何故良いの？ ・CVD排気ラインの改善により、ダウンタイム削減ができる！ ・流路を高温（180℃）、かつ均一に加熱する方法とは？ 掲載されている製品・技術： #半導体製造用部材　#空圧 ボールバルブ　#手動 ボールバルブ　#アイソレーションバルブ　#Ｌ型真空バルブ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

ポーラスシリコン形成装置（陽極酸化装置）

従来の陽極酸化装置をさらに応用したポーラスシリコン形成装置。使用薬液・…

陽極酸化装置は従来、電流を流し酸化膜を形成させる装置でしたが、さらに応用したポーラスシリコン形成装置は使用薬液・電流密度を変えることで多孔質シリコンを形成する装置です。 ※詳しくはPDF（カタログ）をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

小型・大流量PTFEガスフィルター「メガフロー」

最大1,000lpmまでの流量を確保

ンガスフィルタのサイズで、大流量濾過が可能です。 高い粒子除去性能 ■0.003μm 以上の粒子を高い効率で除去致します。 ■優れた耐食性 フィルターメディアとサポート材は全てフッ素樹脂を採用し、ハウジングにはSUS316L材を使用しております。 ※半導体製造装置からＰＶ用バルクガス供給ライン等幅広い用途にご使用できます。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ピー・ジェイ