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177件 - メーカー・取り扱い企業
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PR防爆仕様の撹拌脱泡機なら共立精機にお任せください！
撹拌・脱泡を行う環境に可燃性ガスや可燃性液体の蒸気が発生するような ことはないでしょうか？ 共立精機は撹拌脱泡機『Hi-Merger(ハイマージャ)』のメーカーです。 お客様のニーズに応じて撹拌脱泡機の防爆仕様に対応できます。 可燃性ガスや可燃性液体の蒸気が存在する場所、もしくは存在する恐れが ある場所で使用する場合の安全性向上のため、防爆構造が必要です。 ぜひご覧ください。 ...
メーカー・取り扱い企業： 共立精機株式会社
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PR【御社に合わせたリーマを設計します】
竹沢精機は、御社のワーク、取り代、要求精度によって理想的な工具、工程を設計します。 ワンパスホーニング加工のプロ集団である竹沢精機は、さまざまな条件に適したダイヤモンドリーマの製造実績を持っています。 お客様の加工環境、条件、悩みなどを、十分に理解・共有したうえで、好適なダイヤモンドリーマをご提案します。...【ダイヤモンドリーマとは】 ダイヤモンド（DIA）または CBN の砥粒を電着させ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社竹沢精機
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好適なコストと品質を両立した装置をご提案！生産用コータやマイクログラビ…
当カタログは、株式会社康井精機が取り扱う製品をご紹介しています。 性能と低コストを両立するオーダーメイドマシン「生産用コータ」をはじめ、 様々な用途で長く使える設計の「開発用テストコータ」、既存設備を活用しながら マイ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社康井精機
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精密機械加工、自動省力化機器・各種治具の製造・組立等を行っています。
共進精機株式会社は、京都府 京都市にある精密機械加工、印刷・製版装置、半導体製造装置、自動省力化機器・各種治具等の製造・組立を行っている会社です。 さらに高い技術に挑戦[品質 Quality]、生産方式の...
メーカー・取り扱い企業： 共進精機株式会社
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こんなふうに磨きたい。外径研磨や内径研磨、端面研磨などお気軽にご相談く…
松田精機は『フィルム研磨機のフィルム式超仕上げ 無償テスト加工』を 承っております。 "研磨工程において、狙い通りの面粗度が出ない""対象ワークの品質を もう一段階上げたい"などのお悩みをお持ちの...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社松田精機
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ご期待を上回る最善のソリューションをご提案いたします！
大隆精機株式会社は、機械設計、制御設計、加工、検査、組立・調整などを 行っている会社です。 当社では、お客様からの様々なニーズに柔軟かつ適確に対応するため、 メカトロニクス製造過程における優れた専...
メーカー・取り扱い企業： 大隆精機株式会社
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内外金型材料販売から加工まで、確かな技術でサポートします
株式会社鈴精機型設は、モールドベース・ダイセット加工において、 前身である金型メーカーからのノウハウを活かし、高精度で美麗な加工を 行っています。 特に専用研磨機による割型ダイセットを得意としております...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社鈴精機 型設 八潮工場
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一貫生産により高いコストパフォーマンスを実現します！
株式会社いわき精機は、主にFA機器の設計・製作、各種機械部品製造・製作 を行っている会社です。 大型製品の一貫製作によるコスト低減と、高い技術力を裏づける徹底した 品質管理が当社の特長です。 大型の試...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社いわき精機 FAセンター
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お客様の生産を支える製造装置、精密部品を提供しています
葵精機株式会社は、神奈川県川崎市でお客様の生産を支える製造装置や 精密部品を提供しています。 菓子・食品産業をはじめ、電子・通信産業や医薬品産業など、お客様にご満足していただける質の高い製造装置を...
メーカー・取り扱い企業： 葵精機株式会社 本社
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板厚はご相談ください！小ロットからも対応可能なエッチング加工
小ロットの時は厳しい要求のご相談に対応！エッチング加工
『エッチング加工』は、主に金属の表面や形状を、 化学的あるいは 電気化学的に溶解除去し、金属表面を任意の形状に加工するものです。 クロダ精機では、寸法公差は一般的に板厚±10～15％が標準ですが、 小ロットの時は厳しい要求のご相談に応じます。 【当社のエッチング加工の特長】 ■加工板厚～t：0.005～2.0(その他の板厚はご...
メーカー・取り扱い企業： クロダ精機株式会社
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バックアップローラーの直径・幅がφ58×50mmのフィルム超仕上げ装置…
『SP-50型』は、目的の表面粗度が標準作業で得られるフィルム超仕上げ 装置です。 砥粒を塗布したロールフィルムを巻取りながら研磨する方式。 常に安定した表面仕上研磨が、被研磨物の寸法精度に影響を与えず行えます。 フィルムの揺動（オシレーション）機構によりクロスハッチ状に研磨、 方向性のない均一な表面仕上げが得られます。 【特長】 ■常に安定した表面仕上が熟練不要の簡単操...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社松田精機
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自社技術と世界の技術を応用展開！お客様の新製品の開発や生産性の向上に貢…
株式会社上野精機長野では、国内外のお客様毎の異なる様々な仕様に沿って 電子部品の電気特性試験、リードの形状・寸法・捺印状態や外観チェック等 信頼性試験を行う高度な機能を持つ装置を開発・製造しています。 当...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社上野精機長野
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【小型で高精度】卓上型テストコーター 『Mini-Labo』
超小型のロールtoロール コーターで膜厚均一性±2%以下！家庭用電源で…
『ミニラボ（Mini-Labo）』は、国内のみならず国外の開発現場でも 100台以上の販売実績を持つ、卓上サイズの超小型テストコータ―です。 低粘度塗料の薄膜塗工に適した「マイクログラビア方式」を標準採用。 オプションで中～高粘度向けのスロットダイ方式の増設も可能となります。 ■現在、手塗りしているのでステップアップしたい ■Wetコーティングを始めてみたい など、ロールtoロ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社康井精機
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インターナルユニットにより困難だった円筒内面や端面の超仕上げ研磨の世界…
株式会社松田精機が取り扱う『内面超仕上げユニット』をご紹介します。 小径ワークをフィルムに巻き込むようにして研磨する挟み込みタイプや、 低圧でフィルムを当てるスラックタイプをご用意。 センタレスのワー...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社松田精機
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砥石研磨に代わる！汎用ゴムのゴムロールを加工した事例をご紹介します
「フィルム研磨」は、優れた仕上表面を短時間で実現し、研磨ムラや、 キズの発生を極力抑える事が可能です。 OA部品メーカー様より、表面粗さの向上を目的とした ゴムロール研磨のご依頼がありました。 加工前はRa1.43μm、要求値はRa0.6μm以下。 ミラーフィルム9μを使用し、15秒加工を行ったところ、 加工後の測定結果は、Ra0.395μmとなりました。 【加工事例...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社松田精機
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フィルム研磨は常に新しいフィルムを送り込む方式！多様なロール素材へも柔…
『SF200型』は、研磨時間の短縮が図れる超仕上研磨装置です。 「製紙用スーパーカレンダーロール」「プレスロール」 「コーターロール」「バッキングロール」「製鉄用圧延ロール」 など、各種大型ロールに対応。 決まったサイクルで交換用フィルムに替えるだけでよく、 メンテナンス調整が簡単(ドレッサー不要)で、大幅にダウンタイムの 発生を短縮します。 【特長】 ■研磨時間の短...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社松田精機
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研究開発から量産までサポート！
信頼性の高い標準型のハードウェアと豊富な実績に支えられ、神港精機は1967年に1号機を世に送り出して以来、多くの分野で活躍しています。柔軟で先進的なソフトウェアにより常に最先端を切り開く最新型の装置の装置を提供しています。...
メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店
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微細ウェハバンプのフラックスレスリフロー装置 サンプルテスト対応 省…
高密度プラズマ（SWP）による強還元性H2ラジカルによりフラックスフリーのバンプリフローを実現。 フラックスの塗布・洗浄工程を削減。リフロー前後のウェット工程を削減。ウェット装置のスペース・処理・ユーティリティーを削減する省エネ・省スペース・クリーンプロセス。 ３００ｍｍウェハ対応の処理ステージによる最先端量産プロセスをバッチタイプのハードで小径基板のニッチデバイスに対応 短タクトのバッチ処...
メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店
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神港精機の真空半田付装置に新型登場 優れた均熱性・昇降温特性と雰囲気制…
パワーデバイスモジュールの生産を支える神港精機の真空半田付装置がアップグレード。昇降温特性と均熱性能を向上させ処理寸法も拡大。従来通りの雰囲気制御性能と処理温度の高温化によって金属ペーストの焼結接合に対応。 低酸素濃度の実現と１００％水素雰囲...
メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店
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Al系やCrなどの金属膜の微細パターンのエッチングに対応！デモ機常設！…
『ICPメタルエッチング装置』は、先端薄膜プロセスに対応した 金属膜対応の高密度プラズマエッチング装置です。 半導体、MEMSなどの汎用デバイスだけでなく露光用マスクや金属基板の 表面処理などの特殊プロセスにも積極対応いたします。 独自のチャンバ内構造により抵パーティクルのメタルエッチング (nmレベル)を実現しており、高い歩留りと稼働率が特長です。 【特長】 ■nmレベ...
メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店
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専用アームと小径のコンタクトホイールにより、曲面、曲線や凹面内の研削に…
『BM』は、多彩な用途にフレキシブルに対応するベーシック機です。 平面から曲面、普通鋼・特殊鋼からメッキ部品、プラスチック部品など 多様な被研磨物に柔軟に対応。 被研磨物サイズに応じてゴムコンタクトホイールの取替ができ、 普通サイズの各種部品などの研削・研磨・仕上げにおすすめします。 【特長】 ■被研磨物サイズに応じてゴムコンタクトホイールの取替可能 ■普通サイズの各種部...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社松田精機
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持ち運びが簡単な小型・軽量機のサイドベルト研磨機『SBD-4S』
車輪タイプ！キズ取り・プライマリー除去・溶接ビート研削などに対応可能で…
『SBD-4S』は、幅400×高さ1050×奥行730mmで、圧延鋼やH型鋼制作時の 研磨・研削作業に的を絞った車輪タイプです。 キズ取り・プライマリー除去・溶接ビート研削などに対応している 持ち運びが簡単な小型・軽量機のサイドベルト機。 圧延鋼制作時・H型鋼制作時・大口径鋼管の内外面ビード、 キズ取り橋梁/造船/建築などの用途にご利用いただけます。 【特長】 ■圧延鋼や...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社松田精機
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軽量・簡単操作で複雑な形状もラクラク研磨！高速研磨で作業効率もアップ
『BP-K（エアモーター型）』は、手作業でしか行えない箇所や複雑な形状の なめらかな仕上げに適したポータブルベルト研磨機です。 ハンドグラインダーで研磨できない隅部分の研磨も可能。 作業者に負担をかけない軽量・簡単操作のハンディタイプです。 タンク類内面・ステンレス流し台・浴槽・ステンレス塗装品・木工製品 などの用途にご利用いただけます。 【特長】 ■手作業でしか行えない...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社松田精機
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パワフルモーター採用で湯口研削など重研削作業も簡単・スピーディです！
『SBA-1』は、機能を絞り高効率化を図ったハイパワー機です。 同一形状のパーツなどの大量・高速度研磨に威力を発揮。 パワフルモーター採用で湯口研削など重研削作業も簡単・スピーディです。 熟練不要で安定した研磨精度が得られ、しかも高速研磨で作業効率の 大幅アップに貢献します。 【特長】 ■ロール旋盤にも搭載可能 ■ロールシャフトなどの研削・研磨仕上げにおすすめ ■同一形...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社松田精機
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今までリアルタイムで測定できなかった半導体の加速度試験が測定できます。
半導体デバイスの品質管理において、動作状況での加速度を印加し半導体デバイスの特性を測定する方法として、衝撃試験機の単独試験や振動試験機を用いた方法で行われてきました。しかし、これらの方法では印加加速度に限界があり、しかも連続的な高加速度を印加することができませんでした。 動的遠心加速度試験装置 Ｍｏｄｅｌ DAT-1は、これまでの培ってきた遠心式加速度試験装置の技術を応用し、高加速度の遠心力によ...
メーカー・取り扱い企業： 三井電気精機株式会社
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普通旋盤にも搭載可能！小型部品などの研削・研磨・仕上げにおすすめします
『BH-2』は、小さな部品・部材の研磨・研削に適した卓上機です。 キズ取り・バリ取り・溶接ビート研削・湯口研削・黒皮除去・ 表面仕上げに対応。 普通旋盤にも搭載可能で、小型部品などの研削・研磨・仕上げに おすすめします。 【特長】 ■研磨内容 ・キズ取り・バリ取り・溶接ビート研削・湯口研削・黒皮除去・表面仕上げ ■普通旋盤にも搭載可能 ■小型部品などの研削・研磨・仕上...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社松田精機
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パイプ・丸棒・円筒の高速研磨・研削に『BC（防塵カバー装備）』
作業時間の短縮・省力化、作業の標準化！防塵カバー標準装備の受注生産機
『BC（防塵カバー装備）』は、パイプ・丸棒・円筒の高速研磨・研削に 適したベルト研磨機です。 外形寸法は、幅2015×高さ1600×奥行580mm。重量は229kgです。 高効率研磨・研削による作業時間の短縮・省力化、作業の標準化などに 幅広くご活用ください。 【特長】 ■受注生産機 ■丸棒・パイプなどのセンターレス表面仕上げに便利 ■パイプ・丸棒・円筒の高速研磨・研削...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社松田精機
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コンパクトな筐体で自動車外装品など大型樹脂成形品の全面成膜に対応 高速…
『高速バッチ型樹脂用蒸着装置』は、自動車部品（外装品）など 樹脂成形品の蒸着加工に特化した専用蒸着装置です。 大口径の排気系とコンパクトなチャンバによる高速バッチ処理を実現。 シンプルな装置構成と高速バッチ処理で量産ラインの生産性の向上を図ります。 オールドライ排気系の採用と前扉型の装置形状によって 排気系のメンテフリー化とシステムのメンテナンス性にも優れており 高い稼働率を実...
メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店
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マイクログラビア方式により薄膜が簡単に成形可能！多彩なオプションで自由…
『ミニラボ（Mini-Labo）』は、海外で多数実績のある 卓上型テストコーターです。 マイクログラビア方式により薄膜が簡単に成形が可能。 手塗のステップアップ、エントリーモデルとして手軽に導入でき、 家庭用電源に対応しております。 【特長】 ■海外で多数実績あり ■マイクログラビア方式により薄膜が簡単に成形可能 ■手塗のステップアップ、エントリーモデルとして手軽に導入...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社康井精機
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20年以上の歴史を誇る実績のラインナップ。R&Dから量産までハイエンド…
標準仕様では対応の困難な各種用途・基板に積極対応。 Ｒ＆Ｄ・ディスクリート・化合物・ＭＥＭＳ・パッケージ・実装工程・マスク・小型ＦＰＤ 多くの基板に専用機構を用意。 基板のトレイ搬送も標準対応、大気側の基板ハンドリングで異種基板の同一装置での成膜・処理を実現。 各用途専用カソード（ワイドエロージョン・強磁性体・酸化物・リアクティブ用）に加え特殊基板機構（高温加熱・磁場印加・冷却等）で幅広い用...
メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店
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自動化量産ラインに対応。インラインタイプ、枚葉タイプ、柔軟なハード構成…
先端薄膜デバイスで実績豊富なチャンバ構成をクリーニング用途に展開。 高いクリーニング効果を各種基板で実現。 基板と生産量に合わせて柔軟なハード構成と高いプロセス能力 クリーニング・ディスカム・アッシング・親水処理、撥水膜処理、各種用途に対応。 基板実装から素材表面処理まで実績豊富な大型プラズマ装置...平行平板型高周波真空プラズマによる各種基板のクリーニング・親水化に実績 プリント基板、...
メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店
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大気圧水素雰囲気中で均一加熱、。薄膜・ウェハ・化合物・セラミック基板、…
水素の還元力を最大限に活用し従来に無い薄膜・基板表面の高品位化を実現 デリケートな化合物デバイスや誘電体基板の熱処理（べーく・アニール）に最適。 実績と経験に支えられた信頼性の高いハード構成で安全性も確保 電極・配線膜の高品質化に、高融点金属膜の抵抗値・応力制御に研磨後のウェハの終端処理に、特殊用途の熱処理に多くの実績を元に初期段階からテストを含めて対応...６インチウェハ対応の石英管の横型...
メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店
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高真空でも大気圧でも均一加熱、安定加熱 乾燥・脱ガス・ベーキング・ア…
8００ｍｍ□×8００ｍｍＨ／バッチの大量処理が可能な多用途対応の真空オーブン。 高真空処理・真空置換後の不活性大気圧処理、低真空ガスフロー処理、複数の処理モードを１台で実現。 高真空中の均一加熱で脱ガス・ベーキング。 低真空・ガスフロー雰囲気で脱泡・脱脂・真空乾燥。 真空置換後の不活性雰囲気で部品・成形品 高速加熱アニール 実績豊富な標準タイプから各種カスタマイズで個別対応 目的に合わ...
メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店
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SDR型巻取式スパッタリング装置（RｔｏＲタイプスパッタ装置）
サンプルテスト対応中 フィルム・金属箔に成膜、フレキシブルデバイスや先…
ＦＰＣに代表されるフレキシブル電子デバイスの量産に実績対応。社内デモ機によるプロセスサポートにより各種の個別要求に確実に対応。 一般的な樹脂フィルムだけでなく金属箔を含む幅広い基板に実績 独自開発による高使用率カソードと実績豊富な搬送機構により安定した稼動を実現。 プラズマ前処理電極や磁性材用カソード、基板加熱用メインロールなど豊富なオプション機構を揃えており多目的なフィルム連続処理装置とし...
メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店
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コンパクト・ローコスト・充実機能、研究開発用ローコストスパッタリング装…
少量生産対応可能な上位機種の能力を手動操作型の簡易実験機で実現 ８インチ対応の多元高周波スパッタリング装置。高速排気と高いプロセス性能によりＭＥＭＳ・化合物半導体・電子デバイスの基礎研究に対応 電子部品の量産対応実績を持つバッチタイプスパッタリング装置シリーズ...標準仕様 ４インチカソード３元装備による多層成膜 ターボ分子ポンプ＋油回転ポンプの高速排気 逆スパッタと基板加熱機構の標準装...
メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店
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確かな測定とQCデバイスを実現
作業時間短縮のため、軽荷重プレスアプリケーションはアセンブリ作業やセル生産の要望に応えてきました。この新型マニュアルプレスは最もコストパフォーマンスの良いアセンブリソリューションです ...【特長】 ●ロードセルとストロークセンサによる制御を実現 ●全行程の推力／ストロークを測定 ●コントロールPCソフト対応 USBインターフェイス付 ●外部センサー取付によりポカよけが可能 ●電子...
メーカー・取り扱い企業： 仲精機株式会社
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シンプル コンパクト 高機能 実験、基礎研究に最適 ユーザーニーズに応…
基礎研究に求められる性能・コスト・技術サポートを全てカバー 個別要求に応じてカスタマイズに対応。...標準２元の抵抗加熱蒸発源を装備した全手動型蒸着装置。 Φ２～３インチウェハから特殊基板まで柔軟に対応。 蒸発源追加、同時蒸着、基板冷却・高温加熱機構等豊富なオプション 社内デモ機にてサンプルテスト対応...
メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店
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高い赤外線透過率をもつＤＬＣ膜をハイレートで基板両面に形成。 安定の…
硬質膜・表面処理用途で実績豊富なＰＩＧ式ＤＬＣ膜形成装置を赤外線光学用途に展開。９０％以上の高い透過率を持つＤＬＣ膜を基板両面に一括形成 硬質・高い透過率のＤＬＣ膜を高い生産性で実現。 ...独自開発高密度プラズマ源（ＰＩＧプラズマ源）を装備 自公転機構によるハイレート全面成膜機構 各種赤外線光学素子の対応した充実のソフトウェア...
メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店
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スーパーフィニッシャー『DOUBLE CROSS HEAD』
3次元的動作のWクロスガイド方式でワーク内の奥まったところの外径超仕上…
当社が取り扱うスーパーフィニッシャー『DOUBLE CROSS HEAD』を ご紹介します。 従来のフィルム方式超仕上げに3次元的なフィルム送り機構とヘッド構成 により、従来フィルム方式超仕上げでは困難だった、円筒形ワークの内面の 奥まった箇所の外径研磨を可能にした、当社独自のフィルムガイド方式を 採用しています。 また、フィルム方式超仕上げならではの立体交差方式により、無理の...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社松田精機
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円筒形の多段・多様・高効率研磨が自在！フィルム円筒超仕上げ盤・リフト＆…
『SFFシリーズ』は、多頭タイプ、搬送装置付のフィルム方式 円筒超仕上げ盤です。 例えば3つの研磨ユニットで3頭のワークの異なる箇所を同時研磨して、 サイクルタイムを短縮する高効率研磨をはじめ、それぞれのワークの 異なる箇所で仕上げ程度を変えての処理が可能。 ワーク投入・ 排出ロボットを本機と組み合せることで、今まで難しい とされていた研磨工程のインライン化、全自動無人研磨ライ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社松田精機
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枚葉式プラズマリフロー装置（フラックスレスリフロー）テスト受付中
フラックスレスウェハバンプリフロー装置。微細バンプのリフローをウェット…
ダメージフリーのダウンフロー型表面波プラズマの強還元性Ｈ２ラジカル雰囲気でフラックスレスリフロー フラックス塗布、洗浄工程 塗布装置、洗浄装置を削減。完全ドライＣｔｏＣシステム。ファインピッチバンプの短タクトリフロープロセスを実現。 ...チャージアップダメージフリープロセス。 信頼性の高い安定した搬送機構 均一な温度分布による３００ｍｍウェハ面内のリフロー温度プロファイル ３００ｍｍウェ...
メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店
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コンパクト化する汎用マシンへの搭載に威力を発揮！ユニットタイプのスーパ…
『SM-25型』は、ユニットタイプのスーパーフィニッシャーです。 コンパクト化する汎用マシンへの搭載に威力を発揮。 スーパーフィニッシャー本体、操作盤、バックアップゴムローラー、 フィルム巻き取り用コア、本体取り付けベース、工具を標準仕様 としています。 研磨フィルムの振動回数は300～1,600cpm、揺動量は2mmの性能を 有しています。 【特長】 ■ユニットタ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社松田精機
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ボイドレス半田付のスタンダード装置。車載用パワーデバイスモジュールを支…
豊富な実績を誇るバッチ式真空半田付装置を本格量産用に展開。 従来のＨ２雰囲気プロセスに加え蟻酸対応をプラス。より高い信頼性を持つボイドレス半田付を量産ラインで実現。 車載用パワーデバイスモジュールの半田付の標準装置。 社内デモ機によるプロセスサポートと柔軟なハード対応で要求に対応。...急速昇降温機構と厳密な雰囲気制御機構を装備、半導体ウェハプロセスで実績のガス供給機構で安定した蟻酸野供給と...
メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店
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X-Y-Z-θx-θy-θzの全方向において、高精度アライメント(ター…
従来の「RSTアライナー」の駆動ユニットにダブルクサビ方式を使用したパラレルリンク機構を採用したことで、昇降、チルト駆動も1台で実現。 【特長】 ■6軸駆動でも低床を維持。 ■駆動ユニットを、バランスのとれた正三角形に配置することで高い追従性を実現。 ■高剛性クロスローラガイド搭載により、高耐荷重仕様。（貼り合わせ時の加圧も問題なし） ■駆動モーターを選択可能。各社サーボモーター、ステッ...
メーカー・取り扱い企業： 神津精機株式会社
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水素フリーDLCコーティング装置（高密度スパッタＡＤＭＳ装置）
独自技術で従来に無い水素フリーDLC膜を形成（水素含有量１％以下）優…
従来に無い水素フリーDLC膜（膜中水素含有量１％以下）を量産装置で実現 成膜プロセスに水素を使用しない高密度プラズマスパッタ技術を採用、新方式PVD装置（ADMS＝アーク放電式マグネトロンスパッタリング装置） 水素フリーの緻密なDLC膜は従来の水素含有DLC膜に比べＭｏ添加の潤滑油中の摺動特性を１／１５以下に低減（１⇒０．０６） 最新成膜プロセスで導電性カーボン薄膜の形成にも対応。バイオ用途...
メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店
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目的・コストに合わせて柔軟に対応！大学・公的研究機関や基礎実験用に。
『研究開発用真空蒸着装置』は、 大学・公的研究機関や基礎実験用に適した小型蒸着装置シリーズです。 コンパクトな筐体に電子蒸発源を標準装備した前扉型と全手動で抵抗加熱源を 基本構成とした簡易実験型の2機種をラインアップしています。 両機種（前扉型・簡易実験型）とも目的・コストに合わせて柔軟な 仕様対応が可能。デモ機を常設し、サンプルテスト対応いたします。 【特長】 ■実績豊富なハードと柔軟なコ...
メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店
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平滑なエッチング面と高い加工精度を実現！サンプルテスト対応いたします！
『SERIO』は、Si深掘り、石英の垂直加工、有機膜のエッチングなど 幅広い用途に対応する高密度プラズマエッチング装置です。 実績豊富なICPプラズマ電極を搭載し、平滑なエッチング面と高い 加工精度を実現。スキャロップの無い平滑なエッチングが可能で、 ナノインプリントモールドの作成に適しています。 平滑なエッチング側面、加工面の垂直性、開口部の角度制御などナノイン プリントモールドに必要な多く...
メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店
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手動バッチ型と簡易ロードロック型の2機種 簡易ロードロックタイプで化合…
当製品は、基礎研究から先端プロセスの開発までカバーする シンプルでコストパフォーマンスの高いスパッタリング装置です。 全手動化し低コスト化したバッチタイプと手動搬送機構を装備した 簡易ロードロックタイプの2機種をラインアップ。両機種とも上位機種の プロセス性能を維持した上で、大きなコスト低減を実現しています。 サンプルテスト・仕様対応・納入後のフォローまで一貫して丁寧な対応を ...
メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店
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ウェハやガラス・大型基板のエッチング・アッシングに実績豊富なバッチタイ…
実績豊富なバッチタイププラズマエッチング装置「ＥＸＡＭ」をベースとし最大Φ６００ｍｍもしくは５００ｍｍ□までステージを拡大。 大型ステージでファインピッチのエッチング・各種有機物のアッシング・表面改質・クリーニングなど幅広いプロセスに対応 「従来機種ＥＸＡＭ」同様にウェハ・ガラス・セラミック基板のエッチングを行なうと共に大型実装基板・カット済みのフィルム基板のエッチング・クリーニング・表面処理...
メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店
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H2（水素プラズマの還元力で各種基板表面クリーニング。表面酸化層除去効…
多用途に実績豊富なプラズマクリーニング装置に新タイプ登場。 従来のプラズマによる表面洗浄機能に加え、水素プラズマによる還元洗浄機能を実現。 今まで以上に表面酸化層の除去能力が向上し、クリーニング後の基板の親水性も大きく向上。 従来と同じプラズマクリーニングにも当然対応。さらに従来のＡｒプラズマクリーニングとの複合クリーニングやＯ２（酸素）クリーニングとの2段階ステップクリーニングなど新たなク...
メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店
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インターネプコンにも出展！大型製品にも対応した新製品のご紹介 ＜サン…
真空はんだ付け装置は真空中ではんだを溶融させることにより、 はんだ中のボイドを除去します。 予備加熱を水素雰囲気または蟻酸雰囲気で行うことにより、 フラックスレスはんだ付けを実現します。 パワーデバイス製造工程のスタンダード機として国内実績No.1クラスを 誇ります。 上部ランプヒータ仕様採用により、重量物を含む大型製品/異形基板にも対応しています。 【展示会出展情報】 イ...
メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店
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ＣＶＤ装置用真空排気装置（塩素系ガス対応真空ポンプユニット）
熱ＣＶＤ装置の排気に実績多数。Ｃｌ系ガスの排気に特に有効、大量排気と塩…
ケミカルプロセスに多大な実績を持つ真空ポンプ（水封式真空ポンプとメカニカルブースタ）をユニット化。 ＣＶＤ装置のプロセス特性・ガス種・排気量に合わせてポンプ材質と周辺機器を最適化。 主排気ポンプの水封式真空ポンプを封液循環式とし、循環式封液にアルカリ性溶液を使用し、塩素系ガスの排気と中和を両立。後段のガス処理装置の負荷を大きく削減。 特に表面処理用の熱ＣＶＤ装置の塩素系ガスの排気系に有効で工...
メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店
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先端光デバイスに最適な専用蒸着装置。低温・低ダメージ成膜で平滑な膜表面…
従来型よりコンパクトなチャンバに大口径クライオポンプを採用、チャンバ各機構部に超高真空対応を採用し、クリーンな高真空環境を可能にしました。 蒸発源には水冷式反射電子トラップ付きの電子銃を使用しており、基板への電子の乳を防いだ低ダメージ成膜を実現しています。 実績豊富な６連式電子銃は高融点金属を含む多層膜電極形成に対応しています。また安定した蒸着が特徴でマイクロアークによる基板ダメージやドロップ...
メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店
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粗研削、微粉砕、粗研磨と研磨プロセスに対応！左右の研磨用ホイールは独立…
『OSK 97XJ 4S』は、高精度、研磨用ホイール台2基を 搭載した自動試料研磨装置です。 マイクロプロセッサ制御により、研磨用ホイール及び 自動研磨装置の速度、圧力、時間設定などを無段階調整可能。 先端技術を使い国際規格に従った高精度な作業が可能です。 【特長】 ■自動研磨装置の試料ホルダーはシングルフォースとセンターフォース両方対応 ■左右の研磨用ホイールは独立制御...
メーカー・取り扱い企業： オガワ精機株式会社
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試料研磨機『OSK 997SM2020/2025⁻A3/A5』
研磨用ホイールが2台搭載！複数の研磨設定を保存・呼び出し可能
『OSK 997SM1020/1025⁻A3/A5』は、優れた操作性と安定した 回転台の高コストパフォーマンスな試料研磨機です。 オートヘッド(自動研磨装置)付属なので自動で精度の高い研磨が可能。 テーブルトップで振動が少なく安定したデザインです。 極細の水栓で微妙な水量調整ができ、研磨面は高精度の平面なので 綺麗に仕上がります。ご用命の際は当社へお気軽にご相談ください。 ...
メーカー・取り扱い企業： オガワ精機株式会社
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【Ｚステージ特集】半導体製造・検査装置に適した高精度Ｚステージ
お客様のニーズに応える多種多様な機構・サイズ・ストロークをラインアップ…
半導体製造装置等様々な生産現場で活躍する神津精機の精密位置決めステージの中からＺステージを特集。 直立型Ｚステージや３タイプの水平面Ｚステージをご紹介。 それぞれにテーブルサイズと型式、他にもＺステージの選定に必要なストローク、全高、...
メーカー・取り扱い企業： 神津精機株式会社
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化合物半導体の電極膜の合金化・低抵抗化に多用されている石英管タイプのア…
Ｓｉプロセスに実績豊富なアニール装置を化合物半導体プロセス用にカスタマイズ。 ＧａＡｓ用のホットプレートタイプに比べ高温（９００～１０００℃）まで対応。 窒化膜半導体の電極の合金化に実績。 急速昇降温型の加熱炉を装備し、均一な加熱と最適な温度プロファイルで電極膜のアニールを制御。 生産量・プロセスにあわせて最適な装置構成を提案可能な実績豊富なウェハプロセス用熱処理装置。 ...横型石英管...
メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店
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高周波・通信デバイスに多用されるリフトプロセスに対応した専用蒸着装置で…
『リフトオフプロセス対応真空蒸着装置』は、 化合物半導体やSAWデバイスなど光デバイスや高周波・通信デバイスに 多用されるリフトプロセスに対応した専用蒸着装置です。 蒸発源に電子銃と抵抗加熱電極を装備しており、高融電極膜や貴金属を含む 厚膜の形成が可能。 基板への蒸発粒子の入射角の垂直性に優れており、成膜時の基板の温度上昇を 防ぐ各種機構（基板水冷機構、電子銃用反射電子トラップ...
メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店
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ダメージレス・ハイスループット・多用途対応 ハイエンドデバイス・化合物…
チャージアップダメージを排除したダウンフロープラズマによるダメージレスアッシングを実現。表面波プラズマ（ＳＷＰ）によるハイレートアッシングと２室装備されたアッシング室によりハイスループットを実現。 アッシングだけでなくＲＩＥ室の装備により特殊レジスト・有機膜野除去にもまたイオン注入後の硬化レジスト除去に対応。表面部の硬化レジストの除去とレジスト下層のダメージレスアッシングの両立を実現。 コンパ...
メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店
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新プラズマ源ＨＣＤ（ホローカソード放電）電極搭載、各種メタルやＣｕ薄膜…
新開発プラズマ源HCｄ（ホローカソード放電）型電極搭載。無磁場・無アンテナのシンプルなk構造で従来型電極より一桁高いプラズマを密度を実現。 独自開発高密度プラズマと独自プロセスで各種メタルだけでなくＣｕ薄膜などの難エッチング材のエッチングに対応。 新開発HCD型ヘッドはスケールアップが容易で矩形基板や大型基板の高精度エッチングが可能。 ３００ｍｍウェハや積層基板、最大１ｍ□までの基板のメ...
メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店
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MAZAK INTEGREX i-200H 新規導入
【複合加工・自動化に好適】
株式会社竹沢精機 -
タクボ・プレート熱交換器 HET/HEKシリーズ ※省エネルギー
気体対気体の排熱回収に優れ、各種乾燥機などから排出される“熱”…
株式会社タクボ精機製作所 -
最小0.1mm！北京ワールドダイヤ 微細加工PCDマイクロドリル
直径０.1mm～２mmで半導体検査治具、拡散板、シャワーヘッド…
株式会社京二 本社、名阪営業所、南関東営業所、千葉営業所、北関東営業所、東北営業所、京二上海