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22件 - メーカー・取り扱い企業
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33件 - カタログ
244件
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スピン洗浄装置 自動フォトリゾ装置 JASC-1200AD型
対象ワークは200mm□基板又はφ300mm基板に適用します!
自動フォトリゾ装置はカセットからカセットでレジストスピンコート、真空ベーク、アライナー、スプレー現像を自動で行う装置です。勿論工程の選択も出来ます。ローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1人で作業が出来ます。工程間の搬...
メーカー・取り扱い企業: ジャパンクリエイト株式会社
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メンテナンス性の向上!カセットチェンジ機構に対応した高精度コーター
当社では、特殊カップリングの採用した『高精度コーター』を 取り扱っております。 塗工液粘度範囲は1~50,000(mPas)、塗工厚み範囲は1~(μm wet)です。 カセットチェンジ機構に対応し、メンテナンス性の向上が 図れます。 【特長】 ■高精度モーターの採用 ■特殊カップリングの採用 ■高精度軸受の採用 ■カセットチェンジ機構に対応 ■メンテナ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社テクノスマート
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レジスト膜の面内均一性やウエハ間の平均膜厚の差が少ないコーターです。低…
N、LT、LN等小口径化合物基板向けにコンパクトな装置も取り扱っております。 開放・密閉兼用のカップ構造により、高粘度〜低粘度まで幅広いレジストに対応いたします。 【主な仕様例】 ■カセットステージ:2組 ■スピン塗布ユニット:2組 ■ウエハサイズ:Φ2"~Φ12" ■レジスト滴下ノズル:2組/CUP ■エッジ・バックリンス:各1組/CUP ■ベークユニット:2組(Max2...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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~10000cP程度の高粘度ポリイミドを均一に塗布する高粘度専用スピン…
【主な仕様例】 ■カセットステージ:2組 ■スピン塗布ユニット:2組 ■ウエハサイズ:Φ2"~Φ12" ■レジスト滴下ノズル:2組 ■ベークユニット:2組(Max200℃) ■クーリングユニット:1組 ■センタ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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ロール・スプレーコーターの置き換え!回転カップ式レジスト塗布装置
多彩な薬液に実績あり!低価格の理由は、設計から販売まで自社で行っている…
【主な仕様】 ■カセットステージ:2組 ■スピン塗布ユニット:2組 ■ウエハサイズ:Φ2"~Φ12" ■レジスト滴下ノズル:2組 ■ベークユニット:2組(Max200℃) ■クーリングユニット:1組 ■センタ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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自動塗布・露光・現像一貫プロセス装置(フルオートリソグラフィ)
レジスト塗布~露光~現像処理を一気通貫。自動で処理可能な装置です。フォ…
【主な仕様例】 ■カセットステージ:1組 ■スピン塗布ユニット:1組 ■スピン現像ユニット:1組 ■ウエハサイズ:Φ2"~Φ6"、□4インチも可 ■レジスト滴下ノズル:1組 ■バック・エッジリンス:1組/塗布CU...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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厚さ100um!極薄ウェーハ搬送自動レジスト塗布装置 コーター
GaAs、LT、ガラスなどの脆くて薄いウェーハでの搬送・塗布での実績(…
【主な仕様】 ■カセットステージ:2組 ■スピン塗布ユニット:2組 ■ウエハサイズ:Φ2"~Φ12" ■レジスト滴下ノズル:2組 ■ベークユニット:2組(Max200℃) ■クーリングユニット:1組 ■センタ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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2サイズ兼用自動レジストコーター・デベロッパー(塗布・現像)
段取り替え不要、2サイズのウエハ兼用装置です。 低粘度~高粘度レジス…
【主な仕様例】 ■カセットステージ:2組 ■スピン塗布ユニット:1組 ■スピン現像ユニット:1組 ■ウエハサイズ:Φ2"~Φ12" ■レジスト滴下ノズル:1組 ■バック・エッジリンス:1組/塗布CUP ■現像ノ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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段取り替えなし!複数ウエハサイズ兼用自動レジスト塗布装置コーター
現状のウエハサイズと将来的に使用したいウエハサイズを兼用した装置を作製…
【主な仕様】 ■カセットステージ:2組 ■スピン塗布ユニット:2組 ■ウエハサイズ:Φ2"~Φ12" ■レジスト滴下ノズル:2組 ■ベークユニット:2組(Max200℃) ■クーリングユニット:1組 ■センタ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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両面プロセスに最適!両面自動フォトレジスト塗布装置 コーター
ウェハ反転ユニットを使うことでウェハの両面塗布を自動で行えます!
【主な仕様】 ■カセットステージ:2組 ■スピン塗布ユニット:2組 ■ウエハサイズ:Φ2"~Φ12" ■レジスト滴下ノズル:2組 ■ベークユニット:2組(Max200℃) ■クーリングユニット:1組 ■センタ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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反りウェハも搬送!ベルト搬送式自動レジスト塗布装置(コーター)
ベルト搬送タイプのトラックシステムスピンコーターです。高スループットで…
【主な仕様】 ■カセットステージ:2組 ■スピン塗布ユニット:2組 ■ウエハサイズ:Φ2"~Φ12" ■レジスト滴下ノズル:1組/CUP ■ベークユニット:2組(Max200℃) ■クーリングユニット:2組 ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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MAX400℃!高温ベーク対応レジスト塗布装置(スピンコーター)
BARCやその他薬液をスピン塗布後、MAX400℃でベーク可能!高温ベ…
【主な仕様】 ■カセットステージ:2組 ■スピン塗布ユニット:1組 ■ウエハサイズ:Φ2"~Φ12" ■レジスト滴下ノズル:2組/CUP ■バック・エッジリンス:各1組/CUP ■高温ベークユニット:1組(Ma...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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フォトレジスト量削減!回転カップ式塗布装置(スピンコーター)
ポリイミドや高価な高粘度レジストの削減に有効!回転カップ式スピンコータ…
【主な仕様】 ■カセットステージ:2組 ■スピン塗布ユニット:2組 ■ウエハサイズ:Φ2"~Φ12" ■レジスト滴下ノズル:2組 ■ベークユニット:2組(Max200℃) ■クーリングユニット:1組 ■センタ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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全塗工工程が完全密閉状態で進む!最新鋭の技術を駆使したCEDコーター
【製品紹介】 ○クリーンブース内CEDコーター →クリーンパーテーション内に塗工ヘッドを設置し、 塗工部でのクリーン度をアップ →「発塵を極力抑えたい」というお客様に最適 ○クリーン用カセットチェンジタイプCEDコーター →薄膜から厚膜まで、幅広い塗工レンジに対応するコーターヘッドが特徴 →様々な塗工方法がかなうクリーンルーム用のCEDコーター ○ポンプユニット →CEDコータ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社テクノスマート
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フォトマスクを洗浄する「マスク洗浄装置」などを紹介します。
置し、各ユニットを放射線状に配置するタイプの「マスク洗浄装置(自動タイプ)」や、投入された基板に自動で塗布~乾燥まで行う装置「オートスピンコーター」、ウェハーの洗浄を行う装置「スピンクリーナー」、カセット内の基板受渡しを行う装置「LD/ULD」、塗布後の基板を乾燥する装置「UV照射装置」等、多数掲載しています。 【掲載製品】 ○マスク洗浄装置 ○スピンナー ○マニュアルスピンコーター ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイブルジャパン
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【デモ機貸し出し可能!】ローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1…
自動レジストスピンコーターは、カセットtoカセットの自動スピンコーターで、レジストをコートし、次にベーク工程も自動で行います。 処理工程は、U字型に配置されローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1人で作業が出来ます。 工程間...
メーカー・取り扱い企業: ジャパンクリエイト株式会社
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スピン洗浄装置 自動レジストスピンコーター JASC-200型
対象ワーク:2"□~5"□基板又はφ2"~φ5"基板に適用!
JASC-200型は、カセットtoカセットの自動スピンコーターで、レジストをコートし次にベーク工程も自動で行います。処理工程はU字型に配置されローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1人で作業が出来ます。工程間の搬送は多間...
メーカー・取り扱い企業: ジャパンクリエイト株式会社
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低粘度~高粘度レジスト対応!小口径~大口径まで、どのウェハサイズの装置…
【主な仕様例】 ■カセットステージ:2組 ■スピン塗布ユニット:1組 ■スピン現像ユニット:1組 ■ウエハサイズ:Φ2"~Φ12" ■レジスト滴下ノズル:1組 ■バック・エッジリンス:1組/塗布CUP ■現像ノ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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大型角基板用(~430mm)回転カップ式自動レジスト塗布コーター
430mm角までの大型基板を隅まで均一良く塗ることができます!正方形、…
【主な仕様】 ■カセットステージ:2組 ■スピン塗布ユニット:2組 ■ウエハサイズ:Φ2"~Φ12" ■レジスト滴下ノズル:2組 ■ベークユニット:2組(Max200℃) ■クーリングユニット:1組 ■センタ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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角基板対応自動レジスト塗布・現像装置(コーター・デベロッパー)
低粘度~高粘度レジスト対応!どのウェハサイズの装置も作製可能です!
【主な仕様例】 ■カセットステージ:2組 ■スピン塗布ユニット:1組 ■スピン現像ユニット:1組 ■ウエハサイズ:Φ2"~Φ12(角基板対応)" ■レジスト滴下ノズル:1組 ■現像ノズル:1組 ■リンスノズル:...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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10000cP!高粘度対応自動レジスト塗布装置(スピンコーター)
10000cPのポリイミドやレジストにも対応可能!ASAP(エイ・エス…
【主な仕様】 ■カセットステージ:2組 ■スピン塗布ユニット:2組 ■ウエハサイズ:Φ2"~Φ12" ■レジスト滴下ノズル:2組 ■ベークユニット:2組(Max200℃) ■クーリングユニット:1組 ■センタ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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高粘度フォトレジスト対応!密閉式自動レジスト塗布装置(コーター)
高粘度フォトレジスト塗布に自信があります!10000cPのポリイミドで…
【主な仕様】 ■カセットステージ:2組 ■スピン塗布ユニット:2組 ■ウエハサイズ:Φ2"~Φ12" ■レジスト滴下ノズル:2組 ■ベークユニット:2組(Max200℃) ■クーリングユニット:1組 ■センタ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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