リモートプラズマ・イオンビームスパッタリング装置　

PRヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印…

ヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印加により高品質かつフレキシブルな成膜をする装置です。 イオン源、ターゲット、基盤それぞれに対して独立した電流制御を行います。 複数のターゲットを搭載し、切り替えての多層成膜も簡単に行えます。同時にターゲット付近、基盤付近に独立したガス供給も行えるため、酸化膜・窒化膜をはじめとした様々な多層光学薄膜も成膜可能。新たな素材探索や成膜...

メーカー・取り扱い企業： ティー・ケイ・エス株式会社

超音波複合振動接合機『Ellinker 20k-HP/20k』

PR狭いところに手が届く接合を実現。楕円形の軌跡により、高強度・低ダメージ…

『Ellinker 20k-HP/20k』は、振動拡大ホーンと 楕円形の軌跡を描く複合振動を生み出すスリット入りホーンを備えた超音波複合振動接合機です。 加圧・加振のムラや減衰が少なく、ワークへのダメージやバリの発生を抑えた高品質な接合が可能。 ロングホーンチップを使用でき、円筒型LiBの底部など様々な形状・接合位置のニーズに対応可能です。 はんだなどの介在物を使用せず、母材の変質リスクも少な...

メーカー・取り扱い企業： 千代田交易株式会社

【使用事例】NMI-300

スキャナ加工ヘッドの保護ガラス汚れを検知した事例をご紹介

スキャナ加工ヘッド用保護ガラス汚れ検知ユニット『NMI-300』の 使用事例をご紹介いたします。 スパッタにレーザ照射された箇所のみ数値が上昇するため、 実際の照射領域の汚染状態を検知することが可能です。 また、ヒュームの蓄積度に応じて数値が上昇、波形の平均値に 任意の閾値を設けることで検知...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社NISHIHARA

クラスター真空成膜・評価装置紹介

測定・研究したい要素をそのまま！お客様のニーズに合致させることが可能な…

『クラスター真空成膜システム』は、試料自動搬送システム、サンプル交換室、 サンプルストッカー室、スパッタ室に加え誘電率・磁性測定、ホール測定装置 などの分析機を備えた評価室から構成されます。 また、中央の試料自動搬送チャンバーは、各成膜室ならびに分析室と接続。 試料を真空中でロボット搬送し...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社パスカル

コーティング　光学フィルター『高性能光学薄膜フィルター』

デジタルカメラ、各種検査装置などに最適な高性能光学薄膜フィルター

【特徴】 ○紫外域～遠赤外域の幅広い波長帯域に対応可能 ○外観欠陥10 µmに対応 ○イオンアシスト蒸着、イオンビームスパッタによる 　高品位多層膜の成膜 【光学特性】 ○ノッチフィルター →通常の設計では出てしまう透過帯のRippleをなくした ○バンドパスフィルター →狭いバンドパスで広帯域をカット ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ニデック コート事業部

光学式エンドポイントモニター【Verity社製】

超高性能エンドポイント検出システム 検出困難だったイオンミリングプロ…

お問い合わせください 型番・ブランド名 SD1024GH (Verity Instruments社) 用途／実績例 プラズマエッチング MEMsエッチング イオンミリング 反応性スパッタコントロール...

メーカー・取り扱い企業： アールエムテック株式会社

レーザ走査表面形状検査機『CSM＆CSYSシリーズ』

広い範囲の微小な高さの変化を測定可能な表面形状検査機！極めて振動に強く…

超高感度で速く測定が可能な レーザ走査表面形状検査機です。特許技術の「レーザ表面形状検査機」で、半導体ウエハ（Si,SiC,GaN,etc.）、MEMS、ハードディスク、FPD用機能性フイルム、スパッタ薄膜などの「表面形状」「粗さ」「うねり」「パーティクル」「キズ欠陥」を高感度で、早く、広い範囲を検査して「デジタルデータ」と「3D画像データ」を表示します。 【特長】 ■レーザ走査式非接触...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社コアシステム

着磁電源装置　ES型 6000V

時代のニーズに応える超高圧6000V着磁電源装置

は、充電電圧が最大6,000V、高保磁力磁石の着磁用として最新の制御回路を搭載し、安全性とハイパワーを両立させました。 大型希土類磁石（ＳｍＣｏ、ＮｄＦｅＢ）の内／外極着磁、ＥＶ自動車モータ用、スパッタ用、ＮＭＲ用磁石、大型サーボモータ用、リニアサーボモータ、ＩＰＭ用等に適しています。 【特徴】 ○充電電圧は最大6,000V ○高保磁力磁石の着磁用として最新の制御回路を搭載し、安全性と...

メーカー・取り扱い企業： 電子磁気工業株式会社

着磁電源装置　ES型 3000V～4500V

最新の制御回路を搭載し、高エネルギー磁石に余裕をもって対応します

圧の充放電電圧を安全・確実にコントロールする最新の制御回路を搭載し、高エネルギー磁石に余裕をもって対応します。 大型希土類（ＳｍＣｏ・ＮｄＦｅＢ）磁石の着磁、EV自動車モータ、大型サーボモータ、スパッタ用、リニアサーボモータ、IPM用等に適しています。 【特徴】 ○超高圧の充放電電圧を安全・確実にコントロールする最新の制御回路を搭載 ○高エネルギー磁石に余裕をもって対応 ○サマリウム...

メーカー・取り扱い企業： 電子磁気工業株式会社