リアルタイムで作業環境をデジタルに反映！土木作業シミュレーション

PR掘削、放土といった土砂の挙動を高い精度で再現！作業の流れ、建機の動き、…

土壌シミュレーションツール『AGX Dynamics』は、建機作業、土木施工の様々な作業を バーチャル空間で再現することを可能にする技術です。 建機作業や、掘削・放土といった土砂の挙動を高い精度で再現することが可能となっており、 作業の流れ、建機の動き、土壌の変化などを事前にシミュレーションすることができます。 作業者の人数や規模感が大きな土木作業領域において、 必要な建機数や作...

メーカー・取り扱い企業： VMC Motion Technologies株式会社

アセトン/トルエン　代替溶剤

PR金属の脱脂洗浄や、インキや接着剤・プライマー等の希釈用途に！環境対応型…

環境対応型製品として『アセトン/トルエン代替品』での新配合製品となります。 金属の脱脂洗浄や、インキや接着剤・プライマー等の希釈用途に対応できます。 【速乾型で浸透性あり：一部製品では代替不可】 （注：使用をご検討の際は、サンプルにてテストの上でご確認願います） ※詳細は資料をダウンロードいただくか、当社までお問い合わせください。...※詳細は資料をダウンロードいただくか、当社までお問い合わせ...

メーカー・取り扱い企業： 太陽化学株式会社

FOURPロードポートN2パージ改造

現在のFOUPロードポートを8時間でN2パージ機能に改造できるキットを…

3種類のパージ 1. ロード時のパージ 2.　 開放時のパージ 3.　 アンロード時のパージ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社トリコ 東京支店

FOUPロードポート『TAS450』

ロードポートは新たなステージへ。可動部はパーティクル性能を向上させた構…

『TAS450』は、各種半導体製造装置に取り付けられ、半導体製造工程にて 使用されるFOUP（FrontOpening Unified Pod）を自動的に開閉するための 標準ロードポートです。 半導体製造装置に要求される低発塵性、高スループットについて、 最高クラスの性能を有しています。 【特長】 ■SEMI Standard E154 ■可動部はマッピン...

メーカー・取り扱い企業： TDK株式会社 テクニカルセンター

高速成膜ALD装置『FHR.STAR-400x300SALD』　

In-Situのエリプソメーターや透過型分光器に対応！独FHR社製高速…

が可能でIn-Situのエリプソメーターや透過型分光器に対応する 設計となっていますのでより精度の高いプロセスコントロールができます。 クラスター対応設計により必要に応じて搬送チャンバー、ロードロック、 その他プロセスチャンバーをインテグレーションができ、この設備の 他小口径ウェハ対応の設備も用意しておりますのでお問い合わせ下さい。 【特長】 ■10mm厚迄の3次元形状への均...

メーカー・取り扱い企業： ティー・ケイ・エス株式会社

固体ソースECRプラズマ成膜装置『AFTEX-8000シリーズ』

均一性に優れた多層膜を形成できる！全自動多層膜形成装置

【真空排気系仕様】 ■到達圧力 プロセスモジュール: < 3×10-5Pa トランスファー室: < 3×10-4Pa ロードロック室: < 3×10-4Pa ■真空排気系 プロセスモジュール: ターボ分子ポンプ 1300L/sec ドライポンプ: 600L/min トランスファー室: TMP 820L/sec ...

メーカー・取り扱い企業： JSWアフティ株式会社

固体ソースECRプラズマ成膜装置『AFTEX-2300』

低温で高い結晶性薄膜を得ることが可能！価格を抑えたプラズマ成膜装置

『AFTEX-2300』は低価格ながらマイクロ波分岐結合型ECRイオン源 を搭載するとともに、ロードロック機構、ターボ分子ポンプを装備した 高性能な固体ソースECRプラズマ成膜装置です。 10-30eVの低エネルギーに制御された高密度イオンの照射下で 薄膜が成長するため、原子レベルの平...

メーカー・取り扱い企業： JSWアフティ株式会社

サーマルALD装置『Phoenix G2』

量産に必要な多くの安全対策仕様！コンパクトな装置サイズで成膜温度50～…

は、中規模量産に適したサーマル式のALD装置です。 優れたプロセスフレキシビリティーで実証されたリアクターデザインで、 多用途に対し容易に使用可能。 また、セミオートローダー又は真空ロードロックに対応しており、 適切なチャンバーサイズ(＜370mm×470mm)となっております。 【特長】 ■優れたプロセスフレキシビリティーで実証されたリアクターデザイン ■多用途に対し...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイテック・システムズ

ECRプラズマ成膜装置『AFTEX-6000シリーズ』

複数材料の多層膜が成膜可能！高品質・高結晶性の薄膜形成ができる成膜装置…

【主な仕様】 ■到達圧力 ・処理室：3x10-5Pa以下 ・ロードロック室：3x10-4Pa以下 ■真空排気系 ・成膜室：ターボ分子ポンプ 1000l/sec ・ロードロック室：ターボ分子ポンプ ■成膜室 ・スパッタ源：ECR 2式、マグネトロン 2式...

メーカー・取り扱い企業： JSWアフティ株式会社

コンタクトアニール用ランプアニール装置『RLA-3100-V』

GaN基板の処理も可能！コンタクトアニール用ランプアニール(RTP)装…

0-V』は、6インチまでの幅広いウェーハサイズに対応可能な コンタクトアニール用ランプアニール(RTP)装置です。 耐真空設計された石英チューブの採用でクリーンな真空(LP)環境、 N2ロードロック雰囲気での処理が可能です。 また、自動ウェーハ載せ替え機構を装備し、C to C搬送を実現します。 【特長】 ■～6インチまでの幅広いウェーハサイズに対応 ■自動ウェーハ載せ...

メーカー・取り扱い企業： 光洋サーモシステム株式会社 営業管理部

RP3500SA　N2パージシステムスタンドアロン

RP3500SA　N2パージシステムスタンドアロン

全てのFOUPに対応した SEMI準拠のN2パージロードポート 【特徴】 ○FOUPの種類によらず、全てのFOUPに対応 ○FOUPドアが開いた状態でドア側からガスを封入 　フロントパージ方式を採用（最大200LPM噴射） ○多量のガスを...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ライト製作所 本社

ウェーハ取出・収納機（WLU-01型）

3種類の動作が行える装置

φ6、8インチウェーハのカセットから取出しを行う【ロードモード】、カセットへ収納する【アンロードモード】、ロードモードとアンロードモードを交互に行う【出し入れモード】の3種類の動作が行える装置です。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム

Parker 計装用ボールバルブ

パーカー製 2 方 B シリーズのボール・バルブ

確認可 • 小さなトルクで操作可能 • ハンドルの停止位置が一目で分かります。 • ハンドルはカラー・コードで分類 • 空圧/ 電動式アクチュエーターが供給可能 • PTFE 製ライブ・ロード式ステム・シールが供給可能 • 調整不可能、O リングのステム・シールが供給可能 • 上流圧、下流圧逃しオプション有り • ステンレス鋼製のステム延長オプション有り...

メーカー・取り扱い企業： アマノ機工株式会社 パーカーストア豊田店 パーカーストア事業部

EFEMシステム 全ユニット自社製作 PLP向け実績多数有り

【低コスト】構成品全て独自製作で、柔軟にカスタマイズが出来ます。 ソ…

１．基本構成：EFEM本体、Loader Port、Transfer Robot、Controller System ２．通信仕様：Ethernet （オプション：SECS／GEM） ３．ロードポート数：最大 4個 ４．基板(標準)：５１０X５１５（Th 0.5～2.0ｍｍ）、 ６００X６００（Th 0.2～5.0ｍｍ） ５．...

メーカー・取り扱い企業： アジアファインテック株式会社 韓国本社

マスクレスアライナー『MLA300』

プロダクション向け高性能マスクレスアライナー

00は、生産工場で期待される高スループットと高可用性を維持しながら、2 µmのラインアンドスペースの高解像度を実現します。 ワークフローを簡素化するための自動化に対応するために、ウェーハロボットとロードポート、および生産環境用に特別に設計されたソフトウェアを備えています。 ...

メーカー・取り扱い企業： ハイデルベルグ・インストルメンツ株式会社

プラズマ/サーマルALD装置『Fiji G2』

500℃ウエハステージ！プラズマダメージの無いリモートICPソース採用

『Fiji G2』は、サーマル式とプラズマ式の研究開発用ALD装置です。 プラズマ源にICPリモートプラズマを採用し、基板搬送に 真空ロードロックを搭載し、高品質の酸化膜、窒化膜、メタル膜の ALD膜が成膜できる設計。 また、簡易除害ユニットALD Shield Vapor Trapを標準搭載しており、 プラズマガスラインは...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイテック・システムズ

枚葉自動マルチスピンプロセッサー

リンス、乾燥を専用のチャンバーで行うことにより、精密洗浄が可能

T) ■ワークサイズ 　ウェハー　φ4″～φ8″（300CBTはMAXφ12″) 　マスク　　 □4″～□6″（　　　同　　MAX□9″) ■オプション 　ワーク反転機構 FOUPロードポート対応 レチクルケース対応 SMIF　POD対応 オリフラ／ノッチ合わせ機構 イオナイザー オゾン水供給ユニット 高圧ポンプユニット 薬液供給ユニット 機能水供給ユニット エ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社カナメックス 厚木工場

クラスター装置『Morpher』

デバイス量産へ、優れたプロセス品質、信頼性、高スループットを提供！

ZnO、TiO2、ZrO2、メタル 〇バッチ1％未満の1σ不均一性（Al2O3、WIW、WTW、B2B、49 pts、5mm EE） ＜基板ローディング＞ 〇真空クラスタツールによる完全自動ロード 〇カセットからバッチへのローディング 〇オプションSMIFステーション ＜主なソフトウェア機能＞ 〇レシピエディター：プロセスの実行中にレシピの作成と変更が可能 〇1つの通信プロトコル...

メーカー・取り扱い企業： PICOSUN JAPAN株式会社

プラズマドライクリーナー 　プラズマクリーナー　プラズマ洗浄装置

ご要望に合わせてカスタマイズ出来るプラズマクリーナー

標準機を基にお客様のご要求に合わせて、カスタマイズもいたします。弊社では小型バッチ式から中型、大型バッチ式さらに各種自動機まで幅広くラインナップしております。チャンバー構造は石英バレル、平行平板、ロードロックタイプと多種に対応しております。大気圧プラズマについても取り揃えております。...

メーカー・取り扱い企業： ヤマトマテリアル株式会社

フルオートブレーク装置『TEC-1228AL』

6インチウェハに対応したブレーク装置をご紹介します！

』は、6インチウェハ対応のフルオートブレーク装置です。 ブレークブレードとワークテーブルを交換することで、2インチから 4インチウェハにも対応可能。 ダブルアーム搬送により、ウェハのロード時間を短縮します。 また、視認性の向上により、画像認識時のマッチングエラーを減少させます。 【特長】 ■6インチウェハに標準対応 ■ブレーク認識機能搭載 ■リング搬送機能向上によるス...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社くまさんメディクス MPSD事業部　大津第1工場

ウェーハハンドリング装置（CHI-02型）

シリコンウェーハのP/N判定・外観検査を行うためにハンドリングする装置…

約45°) が可能です。 自動動作・パルスジェネレーターによる手動操作も可能です。 ・FOSBステージは上下段それぞれ5ステージ、計10ステージあります。 タッチパネルでの設定により、 ロードステージを1～8ステージ アンロードステージを1～8ステージ の範囲で任意に設定することが可能です。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム

サファイアウェーハ厚さ仕分け機（WTS-05型）

サファイアウェーハの厚さ測定を行い、その厚さに応じたソーティングを行う…

たデータは付属パソコンのExcelファイルに保存されます。保存のフォーマットは様々なご要望に応じることが可能です。 ・Load/Unloadステージ数は様々なご要望に応じることが可能です。(例：ロードステージ3個、アンロードステージ6個）...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム

反転移載機（WRM-02型）

シリコンウェーハを反転移載する装置です。

を外周ハンギング方式を取り扱うため、極薄ウェーハの移載が可能です。 ・ロボットのハンドにはセラミックを、反転部のクランプにはテフロンを使用しています。 ・キャリアポートは3箇所あり、2箇所をロード及びアンロードとして使用し、残り1個をバッファとして使用します。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム

SSY-10020

ロード/アンロードシステム

LED用をはじめとする新しい搬送方式のウェーハ用搬送システムで、複数枚処理用のサセプタ・トレイへのウェーハの自動供給、自動回収が可能です。 ウェーハ用、サセプタ用にそれぞれアライナを搭載し、ウェーハのオリフラ位置やサセプタのセンタリング及びインデキシングを行います。...ワークサイズ、カセット数、アライナなど各種対応致します。 仕様につきましてはお問合せ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

FOUPロードポート『TAS300』

長時間のドア開閉繰返し動作でも安定した高性能を発揮！優れた耐久性のロー…

『TAS300』は、各種半導体製造装置に取り付けられ、半導体製造工程にて 使用されるFOUP（FrontOpening Unified Pod）を自動的に開閉するための 標準ロードポートです。 半導体製造装置に要求される低発塵性、高スループット、及び 繰り返し動作の耐久性について、最高クラスの性能を有しています。 可動部は、マッピングユニットを含め全てウエハ面...

メーカー・取り扱い企業： TDK株式会社 テクニカルセンター

ロードロック式周波数調整装置 「SFE-B03-II」

コンパクト設計・高精度・低価格・高安定・高再現性

ロードロック式周波数調整装置 「SFE-B03-II」は、省スペース・高精度・低価格、タクトタイム0.4 s/pcs以下を実現しました。（※SMD3.2 × 2.5, 24 MHz, H1000 ppm/s, L50 ppm/s の場合） 新型イオンガン (ビーム幅: 100 mm) 搭載で、標準24～32個同時処理が可能となりました。 高精度・高安定・高再現性の搬送機構により、2.0 × 1.6以...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社昭和真空

枚葉自動マルチスピンプロセッサー

リンス、乾燥を専用のチャンバーで行うことにより、精密洗浄が可能

クサイズ 　 ウェハー　φ4″～φ8″（300WCBTはMAXφ12″) 　マスク　　 □4″～□6″（　　　同　　　MAX□9″) ■オプション 　 ワーク反転機構 　 　 FOUPロードポート対応 　レチクルケース対応 　 SMIF　POD対応 　オリフラ／ノッチ合わせ機構 　 イオナイザー 　オゾン水供給ユニット 　 高圧ポンプユニット 　薬液供給ユニット...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社カナメックス 厚木工場

Ø300mm対応露光装置

Ø200mm Ø300mm対応露光装置（マスクアライナ）

方式や裏面方式にも対応 ・独自の光学式ギャップセンサにより、マスクと基板間のプロキシミティギャップを非接触で高速・高精度に設定 ・マスクチェンジャを搭載。最大20枚のフォトマスクを自動交換 ロードポートを最大３基搭載可能...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大日本科研

FoPLP向け EFEM System

構成品全て独自製作で、柔軟にカスタマイズが出来ます。 ソフト対応も含…

１．基本構成：EFEM本体、Loader Port、Transfer Robot、Controller System ２．通信仕様：Ethernet （オプション：SECS／GEM） ３．ロードポート数：最大 4個 ４．基板(標準)：５１０X５１５（Th 0.5～2.0ｍｍ）、 ６００X６００（Th 0.2～5.0ｍｍ） ５．...

メーカー・取り扱い企業： アジアファインテック株式会社 韓国本社

フルオートブレーク装置『TEC-1018AR』

チップ分離、パッケージ分離他、広範囲で活用できる全自動ブレーク装置！

『TEC-1018AR』は、4インチウェハ対応のフルオートブレーク装置です。 フルオートブレーク装置に不可欠なオートアライメント機能付き。 ウェハのロードから画像認識を行い、加工後のアンロードまで 全て自動で処理します。 ブレーク出来たか否かの検知をすることで、ダブルチップの発生の 低減を実現しました。 【特長】 ■画像認識搭載の...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社くまさんメディクス MPSD事業部　大津第1工場