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ウェーハ交換時間の短縮！ツインアームを採用した4軸円筒座標型防水ロボット
『STWCR4000シリーズ』は、300mmウェーハ対応反転+エッジグリップ機能付き 4軸円筒座標型ツインアーム防水ロボットです。 アーム部は、テフロンコーティングにより耐蝕性を確保しており、…
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ワークの高さを自動で認識できるプロトスキャリア対応自動移載システム
『SSY-20010』は、プロトスキャリア内の薄物ウェーハを安全、確実に搬送する 自動移載システムです。 プロトスキャリア、カセット間をダメージなく自動移載でき、ベルヌーイチャックを 搭載し…
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半導体製造装置内、検査装置などのウエハ搬送に適したクリーンロボット！
『STCR4000Sシリーズ』は、スーパークリーンルーム用4軸円筒座標型 クリーンロボットです。 2本のアームにより短時間でウエハの交換が可能。使用用途は半導体製造 装置内、検査装置などのウ…
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・クローズドループ制御 ・アブソリュートエンコーダ搭載 ・バッテリレスを実現
低価格、高速搬送、脱調レスを実現した2インチ～300mmウェーハ対応のスーパークリーンルーム用4軸水平多関節型クリーンロボットです。 並列配置されたカセットに対して走行軸なしで搬送可能です。 チャ…
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反りのあるウェーハなど吸着チャックでリークするウェーハの搬送に適しています。
反りのあるウェーハなど吸着チャックでリークするウェーハの搬送に適しています。 外周裏面及びエッジ部が接触可能なウェーハ等の搬送用チャックです。 ウェーハの自重によってテーパ状のガイドを利用し、一定…
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反りのあるウェーハなど吸着チャックでリークするウェーハの搬送に適しています
反りのあるウェーハなど吸着チャックでリークするウェーハや薄物ウェーハの搬送に適しています。 チャック本体は高純度アルミナセラミックスを使用し、ワーク吸着面のみに多孔質セラミックスを使用しています…
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反りのあるウェーハ、薄物ウェーハに対応したベルヌーイチャックです。
反りのあるウェーハ、薄物ウェーハに対応し、コストパフォーマンスに優れたベルヌーイチャックです。 弊社の大気環境用搬送ロボットであればどのタイプのロボットにも搭載可能です。 サンプルウェーハによる検…
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反りのあるウェーハ、薄物ウェーハに対応したベルヌーイチャック。
反りのあるウェーハ、薄物ウェーハに対応し、コストパフォーマンスに優れたベルヌーイチャックです。 弊社の大気環境用搬送ロボットであればどのタイプのロボットにも搭載可能です。 サンプルウェーハによる検…
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裏面処理済みの接触不可のウェーハ等搬送用チャックです。
搬送時にウェーハのセンタリングが可能なため、落とし込みのステージなどへの搬送に適しています。 ウェーハの前後方向をエアシリンダによりガイドを前後させ保持します。 ウェーハの裏面を接触する事なく…
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3軸円筒座標型クリーンロボット
防水対応3軸円筒座標型ロボットのSWCRシリーズです（300mmウェーハ対応反転+エッジグリップ機能付）。 水がかかる環境やぬれたウェーハを搬送することができます。 薬液などのため人が入れずウェー…
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防水対応4軸円筒座標型ロボットのSTWHR4156シリーズです。
水がかかる環境やぬれたウェーハを搬送することができます。 薬液などのため人が入れずウェーハを触ることができない環境でのウェーハ搬送ができます。 LSI製造プロセスにおける酸、アルカリのミスト雰囲気…
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450mmウェーハ搬送システム
450mmウェーハの高速搬送に使用できます。 走行軸使用により、カセットのポート数に応じたストロークでご提案します。 ACサーボモータを採用し、動作軌跡最適化により高速、高精度に搬送します。 …
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ロード/アンロードシステム
LED用をはじめとする新しい搬送方式のウェーハ用搬送システムで、複数枚処理用のサセプタ・トレイへのウェーハの自動供給、自動回収が可能です。 ウェーハ用、サセプタ用にそれぞれアライナを搭載し、ウェー…
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EFEM
300mmウェーハをFOUPカセットより取出し、振り分けを行います。 振り分けのパターンは任意に設定でき、お客様の仕様に対応した振り分けが可能です。 振り分け以外にも装置のローダ/アンローダとして…
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ウェーハ用アライナ
半導体製造装置内、検査装置等のウェーハの位置決めを必要とする搬送に対応 小径ウェーハ対応で省フットプリント化を実現 小径ウェーハのセンタリングとオリフラ・ノッチを高速、高精度に位置決めします
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ロボットの教示作業時に使用し、エラーコードなどの読み取りが可能です。
3ポジション デッドマンスイッチを搭載 ティーチング操作しやすい、片手持ちデザイン。軽量500g（ケーブル除く） 内部ソフトによる、押しボタンの自己診断機能搭載
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両面処理等が必要な装置に適しています。
小型、軽量化:従来製品に対して容積50%downを実現 高速反転:従来品に対して速度20%upを実現(300mmウェーハ比) (小型ウェーハの場合速度50%upを実現) 低振動:新開発のモータド…
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半導体用・液晶用の制御開発技術を活かしたコントローラを単体にてご提供
コンパクト・軽量設計 ステッピングモータ:ユニポーラ・バイポーラ対応 制御インターフェイスはシリアル・パラレル IN 8Bit OUT8bit（I/O拡張も可能）の2種 動作はS字加減速制御によ…
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Y型の真空吸着チャックです。
ウェーハサイズ300mmの搬送に適しています。（ランダムアクセス対応） 大気環境用ロボットに多く使用され、ワークの裏面を真空吸着（負圧）により保持します。 チャック表面に導電性テフロンコーティング…
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搬送物破損など、エラー発生時の検証を実現しました。
トラブル発生時前後180秒の動画、通信ログ記録による不良解析に貢献 カメラ最大4台分の画像を常時録画可能 カメラは自由に設置可能 過去48時間分を記録
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医療、バイオ関連施設などの無菌室、クリーン環境下での搬送が可能
医療、バイオ関連施設などの無菌室、クリーン環境下での搬送が可能 マイクロプレート搬送も可能 チルト機構によりシャーレを傾けて、培養液などの吸引可能 当社各ロボットに搬送部を取り付け可能（本仕様は…
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真空トランスファーチャンバーの小型化に寄与します。
業界最小クラス、装置の小型化が可能 当社標準比真空ロボット：フットプリント65%（φ95mm）, 容積比75%ダウン アームの組み合わせにより任意の到達距離の設定が可能
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搬送部の小型化に寄与します。
業界最小クラス、装置の小型化が可能 当社標準比大気ロボット：フットプリント75%（□115x130mm）, 容積比80%ダウン アームの組み合わせにより任意の到達距離の設定が可能
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カセット搬送システム
チルト機構によりウェーハのズレがなくスムーズなカセット搬送が可能 様々なカセット仕様にもカスタマイズ対応 バッチや枝葉処理の装置どちらにも対応
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プロトスケース内の薄物ウェーハを安全、確実に搬送することを実現しました。
プロトス、カセット間をダメージなく自動移載 ベルヌーイチャックを搭載し、薄物ウェーハにも対応 ウェーハとプロトススペーサを自動識別 ワークの高さも自動認識 複数カセット及び各インチサイズにもカ…
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搬送部、真空トランスファーチャンバーの小型化に寄与します。
業界最小クラス、装置の小型化が可能 当社標準比大気アライナ：フットプリント80%（□85x100mm）, 容積比80%ダウン 組み合わせにより、多彩な搬送シーンに貢献 透明体、半透明体にもそれぞ…
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ガラス、サファイア、SiC、GaN、等々のウェーハ対応 卓上ローダーシステム
ウェーハ検査ステージと搬送部分が一体化したコンパクトな卓上システム X軸190mm、Y軸200mmのロングストローク設計であり、どの位置でも手元のノブでウェーハの回転操作が可能 搬送ロボットは2本…
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ノッチレスウェーハにも対応した450mm新型アライナ
450mmシリコンウェーハの外周とT7コード又はノッチを基準に高速、高精度に位置決め 独自開発のイメージセンサを使用し、モータドライバ、コントローラを本体に内蔵 スピンドル形、形状、材質の変更にも…
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●クローズドループ制御●アブソリュートエンコーダ搭載●バッテリレスを実現
スーパークリーンルーム用4軸円筒座標型クリーンロボットです。 低価格、高速搬送、脱調レスを実現した2インチ～300mmウェーハ対応の新型ツインアームロボットです。 急激な負荷変動や急加速でも…
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●クローズドループ制御●アブソリュートエンコーダ搭載●バッテリレスを実現
スーパークリーンルーム用3軸円筒座標型クリーンロボットです。 低価格、高速搬送、脱調レスを実現した2インチ～300mmウェーハ対応の新型シングルアームロボットです。 急激な負荷変動や急加速でも…
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