フリー | イプロスものづくり

PR世界のオイルフリーコンプレッサー産業のために！想像を超えたターボ技術の…

当資料は、世界最高レベルのエネルギー効率の「エアベアリングターボコンプレッサーWHシリーズ」を掲載しております。スマートターボコンプレッサー「WH-iシリーズ」や防爆ターボコンプレッサー「WH-exシリーズ」など様々なシリーズをご紹介。また、エネルギーコスト節約や多段圧縮、優秀さの核心などの解説も掲載しており、導入検討の際に参考にしやすい一冊となっております。【...

メーカー・取り扱い企業：コーワ商事株式会社

浮上油を高速回収！スーパーオイルスキマー

PR最大流量が48L/分で、高速回収可能！　完全メンテナンスフリーでタンク…

『スーパーオイルスキマー　WSP-15A』は、ダイアフラムポンプで高速回収します。大型タンクでも短時間で浮上油回収が可能です。さらに多層仕切り板で、消泡性能がさらにUPしました。キャスターも付いており移動も簡単に行えます。複数のタンクをこれ1台で浮上油回収できます。【解決できる課題】 ■浮上油が多くて困っている… ■タンクから泡が溢れて困っている… ■クーラン...

メーカー・取り扱い企業：田中インポートグループ株式会社

【各種自動機や工場の真空源に最適】オイルフリー真空ポンプ

真空ポンプのインバータ＆台数制御で省エネ最大84%【国内外に納入事例多…

大84%の省エネが可能 ■従来機よりも運転音を9dB低減【仕様】 ■真空度　　　0～94kPa以上 ■モータ出力　2.2～11kW ■風量　　　　0～616m3/h ※オイルフリー真空ポンプ KCEシリーズはトップランナー規制対応高効率モータを使用しています。 ※装置組込み用の小型の真空ポンプをお探しの方はオイルフリー真空ポンプベーシックモデルKCPまたはドライポンプ ...

メーカー・取り扱い企業：オリオン機械株式会社

【真空ポンプの基礎知識無料進呈中】オイルフリー真空ポンプKCM

『日本機械工業連合会会長賞受賞！』インバータ制御・台数制御で省エネ！…

オイルフリー真空ポンプモジュールマルチモデルシリーズが平成27年度（第36回）優秀省エネルギー機器「日本機械工業連合会会長賞」を受賞しました！オイルフリー真空ポンプモジュールマルチモデルKCM62...

メーカー・取り扱い企業：オリオン機械株式会社

【2015年10月新発売】オイルフリー真空ポンプKCM310

省エネ＆真空度100kPa対応！　制御盤を一体化したコンパクトなオイル…

【オイルフリー真空ポンプKCM310の特徴】 ■省エネ（インバータ制御）　　エコスピードコントロール（※）機能を搭載し、真空利用の　　負荷状況に応じてポンプ回転数をインバータで制御します。 ■コンパ...

メーカー・取り扱い企業：オリオン機械株式会社

オイルフリーコンビネーションポンプ（１ポンプ仕様）

【新製品】印刷機や製本機に最適なオイルフリーコンビネーションポンプです…

度を大幅に低減（アフタークーラ仕様）【仕様】 ■真空度　　　0～60kPa ■圧力　　　　0～70kPa ■モータ出力　5.5kW ■風量　　　　0～118m3/h ※オイルフリーコンビネーションポンプ（1ポンプ仕様）はトップランナー対応高効率モータを搭載しています。...

メーカー・取り扱い企業：オリオン機械株式会社

オイルフリースクロール圧縮機アモルファスモータ一体型 Vタイプ

コンパクト×低騒音な省エネタイプのコンプレッサ

ISO 8573-1に基づき、日立オイルフリースクロール圧縮機の吐出し圧縮空気中の油分濃度測定を実施。吐出し圧縮空気中のオイル含有量は、最高品質等級の「クラスゼロ」レベルを達成しました。 ●必要な空気量を必要な圧力で　 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社カナデン本社

オイルフリーコンビネーションポンプ（２ポンプ仕様）

ご要望に応じて真空ポンプ（バキュームポンプ）・ブロワポンプを組み合わせ…

ネを実現したインバータモデルもラインナップしています。【仕様】 ■真空度　　　0～94kPa以上 ■モータ出力　7.4～13kW ■風量　　　　0～5.1m3/min ※オイルフリーコンビネーションポンプ（2ポンプ仕様）はトップランナー規制対応高効率モータを使用しています。...

メーカー・取り扱い企業：オリオン機械株式会社

超音速フリージェットPVDの開発・製造【導入事例配布中】

薄膜の厚みを調整することができる超音速フリージェットPVDの開発と製造…

芝浦工業大学で薄膜の研究をする湯本淳史准教授。薄膜の厚みを調整することができる超音速フリージェットPVDの開発と製造をアトーテックに発注。希少な装置を使いながら実用化の方向を探る芝浦工業大学湯本准教授にアトーテックの評価をお聞きしました。【成果】 ■規格品の改良ではなく、一...

メーカー・取り扱い企業：アトーテック　株式会社

オイルフリーウィングコンプレッサ

特殊ガスの圧送等に最適！小型・軽量設計の完全なオイルフリーコンプレッサ

ッサはウイングコンプレッサと呼ばれており、従来のレシプロコンプレッサとは根本的に構造が異なります。【特長】 ■独自の揺動機構でコンパクト、低振動、高効率を実現しました。 ■完全なオイルフリー（オイルレス）タイプのコンプレッサです。 ■低振動、低騒音を実現しております。 ■特殊ガスにも幅広く対応可能です。 ■価格がリーズナブル。 ※価格に関しては実際御見積になればお分かりに...

メーカー・取り扱い企業：堀技研工業株式会社

ピエゾコントロールバルブ　CV-3000 series

気体、液体、圧力制御が可能な高速応答ピエゾコントロールバルブです

○高推力、高分解能バルブの為、微小流量、低圧力の精密制御可能 ○気体ならびに液体の流量制御および圧力制御可能 ○接続部は、金（Au）製メタルシールを採用しているので、　実質的にリークフリー ○パーティクルフリーの材質、構造設計 ※その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社リンテック東京営業所

高性能コンパクトドライ真空ポンプ『nXRi』

オイルフリーおよびメンテナンスフリーの柔軟な設計！省エネ運用でコスト削…

『nXRi』は、コンパクトな設置面積で30～120ｍ3/hの排気速度性能を実現するドライ真空ポンプです。低電力で動作し、メンテナンスフリーの設計により、最大稼働時間とメンテナンスコストの削減が保証されます。また、分析機器や真空システムへの統合がしやすいため、質量分析、電子顕微鏡、リーク検出に好適。すぐに使用できる真空...

メーカー・取り扱い企業：エドワーズ株式会社

ドライスクリュー真空ポンプ『VARODRY』

業界初・唯一の100%オイルフリーのドライポ真空ポンプ。低消費電力が特…

100%オイルフリーのためオイルやフィルターの交換が不要。また摩耗部品も少ないため、廃棄物を大幅に削減できます。低消費電力が特長で二酸化炭素の排出量の削減に貢献します。メンテナンスが最小限で済み、設備の稼働時間が向上...

メーカー・取り扱い企業：ライボルト株式会社

ロック機構付き首振り吸着パッド『フリーロックパッド』

吸着パッドの「革命児」。ワークを取った角度、位置を固定して“そのまま搬…

吸着パッドがワークに接面する時にワークの面傾斜に倣い、搬送時にその角度がロックされるので多種形状のワークを一つのハンドリングで対応できます。バッファ搭載モデルはワークの高さ方向に対しても吸着時の高さをロック可能ですので取り出し時の衝撃を最小限にすることが可能となりワークの脱落、ズレを防止できます。これにより位置精度の高い基準ガイドを必要としない安価な設備で精度の高い搬送システムが構築できます。また...

メーカー・取り扱い企業：ヒロタカ精機株式会社

【英語版】オイルフリー真空ポンプ総合カタログ進呈！

【英語版】オイルフリー真空ポンプ・ブロワ総合カタログ　　日本語版と同じ…

カタログ掲載機種は全てトップランナー規制対応高効率モータを使用しています。【内容】 ■オイルフリー真空ポンプ・ブロワラインナップ ■各機種の特長とスペック ■真空ポンプベーシックモデルKCPシリーズの特長 ■真空ポンプインバータモデルKCEシリーズの特長 ■真空ポンプモジュールマ...

メーカー・取り扱い企業：オリオン機械株式会社

◇真空断熱配管【ジェック東理社製】◎経済産業大臣認定

液化窒素、液化酸素、液化水素など各種液化ガスの供給配管に使用事例多数。…

酸素」「液化水素」など各種液化ガスの供給配管に使用されています。蒸発ロスが非常に少なく、特にMBEの冷却や清涼飲料水の酸化防止、昇圧等各種用途に採用されています。また、設置後はメンテナンスフリーであることも強みのひとつです。 ●詳しくはお問い合わせ、または弊社低温機器製品カタログをご覧ください。 ◎19年4月1日総合カタログ改訂致しました。（下部URLご参照）...

メーカー・取り扱い企業：株式会社鈴木商館技術本部低温機器部

姿勢自在形　複合分子ポンプ(TG-Fシリーズ)

低～超高真空まで広領域の排気に対応した取付姿勢自在なグリス潤滑軸受型タ…

による急な圧力上昇に強い！ ○急速ベント停止ベントポートを利用して、エアーブレーキの要領でポンプを急停止させることができます。 ※一部対応外の機種があります。 ○メンテナンスフリー 日々のメンテナンスの必要がありません。定期的なオーバーホールで、より長くお使いいただけます。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社大阪真空機器製作所

真空断熱製品「V-Jacket」

低温にも！高温にも！優れた断熱性能でメンテナンスフリーの真空断熱製品

していた低温領域だけでなく、850℃という高温領域にも利用可能になりました。【特徴】 ○優れた断熱性能 ○コンパクト ○様々な形状・継手 ○幅広い対応温度 ○メンテナンスフリー 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エノア

大型ドアー L-VAT　Series 07.8

優れたパーティクル性能を備えたショックフリーL-MOTIONバルブ

-ショックフリーなL字動作 -パーティクルフリー、バイブレーションフリーな動作 -保有コストが低い ...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

振子式バルブコントロールシステム　Series 65.0

特に過酷なエッチング、クリーニングプロセスに最適なコントロールバルブ

-高速、パーティクルフリー、ショックフリーな動作 -極めて短い制御応答時間 -サービスポート装備（PC接続用またはサービスBOX2接続用)...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

角型ゲートバルブ/インサート L-MOTION

開閉動作をエアシリンダーで行うことで衝撃とパーティクルを低減し、超寿命…

プロセスに最適。 -real L-MOTIONによるゲートシールの均一な押し付けおよび長寿命化 -サービスカバーからの簡単なメンテナンス -開または閉位置での圧空ロック機構 -パーティクルフリー、ショックフリー -シール材に合わせてシール力を調整可能 -低ショック...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

ライボルト社ターボ分子ポンプ

オイルフリー・メンテナンスフリーのコンパクトなターボ分子ポンプです。 …

セラミックベアリング型の高信頼性ポンプです。ローターステージとドラッグステージにより、N2はもちろん、H2の圧縮比・排気速度・スループットが大きい設計になっています。コントローラは、装置組込み用廉価版コントローラと、ラック型コントローラがあります。 ...＜主な仕様＞排気速度：90 l/s～450 l/s 到達圧力：5×10e-8 Pa フランジ：ICF、ISO-K ...

メーカー・取り扱い企業：丸菱実業株式会社

取り付け位置自由小型ターボ分子ポンプ 74FS

オイルフリー、取り付け位置自由の高圧縮小型ターボ分子ポンプです。

アジレント社製 74FSはオイルフリー、取り付け位置自由な小型ターボ分子ポンプです。軸受けはセラミックベアリングを使用しているのでクリーンな真空を得ることができます。アジレント社独自のTwisTorrドラッグステージ技術により、水...

メーカー・取り扱い企業：丸菱実業株式会社

【環境に配慮】革新的なライボルトのドライソリューション

お客様に新たな価値を提供するドライポンプソリューション。廃棄物の削減や…

することでさらにスマートに ■　SCREWLINE 　　　現場でポンプ内部をクリーニング可能　　　振動センサーを内蔵しているため故障予知が可能 ■　VARODRY 　　　100%オイルフリー 　　　水を使用できない環境や、水の使用量が限られている現場でも使用可能 ■　LEYVAC 　　　効率的な水冷式で放熱がない　　　大気圧からの排気速度が速い ■　CLAWVAC 　　...

メーカー・取り扱い企業：ライボルト株式会社

ドライスクロールポンプ　IDP-3

オイルフリー、コンパクトデザイン、ハイパフォーマンスを実現したドライポ…

【主な特長】 ○パワフル　高性能 →他の同サイズのポンプより高度な真空性能を発揮 ○オイルフリー　クリーンな真空 →研究用、工業用アプリケーションでドライ真空が容易に得られます ○革新的　ハーメチックデザイン →真空部分とベアリング及びモータぶぶんが　完全に隔離されており、　プロセ...

メーカー・取り扱い企業：丸菱実業株式会社

オイルレス　ピストン式真空ポンプ　DCモータータイプ

産業機器の真空吸引や、吸引器等の医療機器などに使用できます。

オイルレス　ピストン式真空ポンプ　DCモータータイプは、オイルフリーです（特殊樹脂製ピストンリングを使用）。軽量・低騒音で、メンテナンスが容易です。高い真空度での使用が可能で、連続運転が可能です（ブラシレスモーターのみ）。国内にも多数の実績があります。サーマルプロ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ナカタニ

Airpot（エアーポット）エアーダンパー&アクチュエーター

パイレックス(R)ガラス製シリンダーとカーボングラファイト製ピストンを…

シールを一切使用していないため、始動摩擦が極めて小さく、駆動摩擦も一定のため、急激な速度変化にも対応可能です。また、使用環境の変化に対する影響も無く、数千万サイクルを超えるメンテナンスフリーの長寿命を誇り、さまざまなアプリケーションで安心してご使用いただけます。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エッチ・ケー・エスジャパン

水銀フリーに！デジタル真空計【デモ機有】

ガラス・水銀からデジタルへ。デジタル表示で一目で確認。モバイル電源（オ…

環境問題で、U字型真空計からデジル表示の真空計へ更新される企業様が増えています。当社のデジタル真空計『NMV-104N/104C』は小型・軽量・低価格と3拍子揃っています。 0.1～101.3kPaの広い測定範囲と優れた分解能でU字型真空計の代替に好適です。またガラス管の破損による水銀の飛散を防止でき、環境汚染対策にも役立ちます。 ★無料でデモ機を貸出キャンペーンを実施しています。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社岡野製作所

オイルレスピストン式コンプレッサー　15RNS/40RNS他

直輸入により、低価格を実現しました！コストダウンに最適です！

オイルレス　ピストン式コンプレッサーは、オイルフリーです（特殊樹脂製ピストンリングを使用）。軽量・低騒音で、メンテナンスが容易です。高い真空度での使用が可能で、連続運転が可能です。国内にも多数の実績があります。サーマルプロテクター内蔵です。能力よっ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ナカタニ

磁気浮上型ターボ分子ポンプ　STP-451

全翼回転翼を搭載した超高真空対応。電子顕微鏡検査と半導体アプリケーショ…

【特長】 ○先進のロータテクノロジ →高いプロセス柔軟性 →オイルフリー →低振動 →高信頼性 →長期メンテナンスフリー ○先進のコントロールユニット →オートチューニング →自己診断機能 →ＤＣモータドライブ →バッテリなしで作動 ○コンパクト設計...

メーカー・取り扱い企業：丸菱実業株式会社

ＶＡＴ社ミニＵＨＶゲートバルブ

真空バルブの世界標準、ＶＡＴ社のミニＵＨＶゲートバルブです。

ＶＡＴ社独自のＭＯＮOVAT機構により、ショックフリー、パーティクルフリーな動作で、高真空を保ちます。軸シールはベローズ、ボンネットシールはメタルを使用しています。...

メーカー・取り扱い企業：丸菱実業株式会社

新型オイルフリー、nXDSシリーズドライスクロール真空ポンプ

"ランニングコストを従来の半分以下に抑えました。また、特許構造によ…

オイル不使用のスクロール真空ポンプ、課題であったメンテナンスコストを半分以下に抑えることを実現しました。従来１年に１回必要であったメンテナンスが、チップシールの磨耗を抑えることで、2年半に1回でＯＫ。インバータ搭載型のため、回転数を制御することで、ランニングコストを抑えることもできます。また、特許構造により、従来のスクロールポンプでは処理できなかった水蒸気の排気も行えます。...

メーカー・取り扱い企業：丸菱実業株式会社

スプリングプランジャー（上下スプリングタイプ） FSTA-HD

上下のスプリングでワーク・装置の負荷を軽減！

負荷時に取付フレームが湾曲した場合の　ストローク補正が可能（詳しくはカタログの図をご覧ください） ○高品質なカーボンブッシュとステンレス製のロッドを採用 →長期長時間の使用でもメンテナンスフリー 　また、短サイクルの仕様にも最適 ○回転防止タイプ（FSTA-HD-VG）も選択可能 →長円形の真空パッドを使用するアプリケーションに最適 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログを...

メーカー・取り扱い企業：シュマルツ株式会社

チェックバルブ（落下防止弁）　SVK、SVKG、SVV

エアのリークを抑えて、真空圧を維持！

【特徴】 ○吸着時の流量を抑制（シート式フリーボールタイプ） →1箇所の真空パッドが外れてもシステム内の真空圧が維持され、吸着ミスを抑制 →真空圧の低下に伴うエネルギー消費がなくなり、省エネ →位置やサイズが均一でないワークの吸着時にも...

メーカー・取り扱い企業：シュマルツ株式会社

スプリングプランジャー（高耐久タイプ） FSTE-HD

高頻度使用でも長寿命！

【特徴】 ○高品質なカーボンブッシュとステンレス製のロッドを採用 →長期長時間の使用でもメンテナンスフリー 　また、短サイクルの仕様にも最適 ○バッファ機能 →ピック＆プレース時にワークへの過度の負荷を低減 ○接続ネジ、ストローク共にサイズが豊富 →幅広いアプリケーション・真空パッドに対応 ...

メーカー・取り扱い企業：シュマルツ株式会社

【技術資料】基礎から分かる！真空ポンプ・ブロワ入門

「真空とは？」からポンプ選定時の注意点や、省エネ事例などを紹介！エンジ…

容となっております。【掲載内容】※抜粋 ◯真空ポンプとブロワの基礎知識　・真空とは　・真空ポンプの種類 ◯真空ポンプ選定時の注意事項　・能力線図について ◯オイルフリー真空ポンプ・ブロワの特徴　・新開発の高効率ロータ ◯省エネ事例　・真空ポンプKCEの省エネ事例エンジニアのお手元にあると便利な一冊となっています。是非、この機会にダウンロ...

メーカー・取り扱い企業：オリオン機械株式会社

『デジタル真空計』

U字型真空計に替わる水銀フリーのデジタル真空計！いまならデモ機貸し出し…

※こちらの製品もデモ機貸し出し中！【マイクロコイル真空計 AMC型】 ■小型・軽量・安価 ■測定範囲：5.0×10^-2 ～ 1.0×10^5 Pa ■水銀フリー ■デモ機貸し出し中 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社岡野製作所

自動車業界用サクションカップPABシリーズ

自動車業界用カップの新シリーズを発売します。本製品は、車体、部品のアッ…

このシリーズのカップは全てゴム硬度60（ショアA）のニトリル-PVC材質（黒色、シリコンフリー）で作られており、耐久性に優れます。アプリケーションの剪断力に耐えられるようカップには滑り止め用のクリートが付いています。すべてのカップはアルミニウムインサートでモールド成形されています。ユーザー...

メーカー・取り扱い企業：ピアブ・ジャパン株式会社

超高真空フランジ(真空部品)『ICFフランジ』

シール用ガスケットは銅板製で超高真空用特殊処理を採用！オス・メスなしの…

トを使用します。【特長】 ■"Capturing"の理論により、ガスケットを弾性的にシール ■10^-10Pa以下の圧力に耐える仕様 ■-196℃より+450℃までの温度範囲でリークフリー ■オス・メスなしの完全対称形フランジ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：キヤノンアネルバ株式会社栗木本社

真空パッド真空発生器　VMECA　

真空パッド　真空発生器　真空機器総合カタログプレゼント！国際特許も取得…

プレミアム真空スピーダー　バロックシステム ■真空ポンプ（エジェクタ式）　グリーンポンプ　タートルポンプ ■Vグリップ　ソーラーマスター　ニードルグリッパー ■ウォーターフリー ■真空アクセサリー　ほか【掲載内容】 ■各種製品概要 ■VMECA独自の真空テクノロジーについて ■ご使用上の注意事項 ※｢PDFダウンロード」より進呈中！すぐ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社タツタ

【2022年5月25日～27日】鉄道技術展・大阪2022に出展

作業性が大幅に向上！「CLOVA」から進化した真空洗浄乾燥機を展示予定…

2022」に出展致します。当社は、炭化水素系ワンバス式真空洗浄乾燥機『HEARVY』を展示予定。従来機「CLOVA」の仕様・性能はそのままに、バスケットの投入取出を正面にして、フリーローラーコンベア上を押す引くようにしたので、作業性が大幅に向上しています。また、炭化系水素系高機能浄剤「HCシリーズ」のご紹介も予定しております。【特長】 ■炭化水素系ワンバ...

メーカー・取り扱い企業：新和産業株式会社環境・洗浄事業部

透過密閉型マイクロフォーカスX線源『G-511シリーズ』

高解像度・高倍率！X線管寿命の自己診断機能で、計画的な装置保守に貢献し…

ーミングアップは3分以内で立上げ時の長い待ち時間を解消。 X線管寿命の自己診断機能で、計画的な装置保守に貢献します。【特長】 ■110kV昇電圧1秒以内 ■ターゲットメンテナンスフリー ■ウォーミングアップ3分以内 ■X線管寿命の自己診断機能 ■CE、RoHS対応 ■オプションで1sec以下のパルス出力が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合...

メーカー・取り扱い企業：キヤノンアネルバ株式会社栗木本社

ガス漏れなしで圧送！新開発のロータリーブロワ―

軸貫通部にマグネットカップリングを採用。軸貫通部がないためガス漏れなし…

オイル・フリー／シールレス。マグネットカップリング採用のロータリーブロワ― ◎詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社四葉機械製作所

コンパクトドライ真空ポンプ　DSP250/DSP500

冷却水不要なのでコンパクトな自由設計！20000時間以上の長寿命！

ます。【製品の特長】 ○排気速度230L/minと500L/minをラインナップ ○到達圧力0.5Pa ○コンパクト設計で移動も簡単（15～20kg） ○潤滑油を仕様せず完全オイルフリー ○TMPの補助ポンプとして利用 ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社大阪真空機器製作所

磁気軸受形複合分子ポンプ　TG1300M

低～超高真空まで広領域の排気に対応した磁気軸受型ターボ分子ポンプ

【製品の特長】 ○取付姿勢自在 ○急速起動・停止 ○チューニングフリー ○回転数コントロール ○シリアル通信可能 ○安全規格適合（NRTL/SEMI-S2/CE） ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社大阪真空機器製作所

磁気軸受形複合分子ポンプ　TG2400M

大流量排気・低振動に対応したターボ分子ポンプ

【製品の特長】 ○大流量排気 ○取付姿勢自在 ○急速起動・停止 ○チューニングフリー ○回転数コントロール ○シリアル通信可能 ○安全規格適合（NRTL/SEMI-S2/CE） ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社大阪真空機器製作所

角型ゲート/インサート MONOVAT

200, 300, 450mm ウェーハ用半導体製造装置のロードロック…

-ベローズをアクチュエータ内部に配置することでプロセス側から保護 -PEEK材でできた差圧タブ -メンテナンスフリーのアクチュエータ -簡単なゲート交換 -低ショック -コンパクトなデザイン ...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

オイルフリーブロワポンプ　インバータモデルKCEシリーズ

インバータ制御により更なる省エネを実現したブロワポンプ。低圧エアならコ…

インバータモデルKCEはインバータ制御により大幅な省エネを実現するオイルフリーブロワポンプです。 ◆インバータ制御で電気代を大幅にコストダウン！圧縮空気利用の負荷状況に応じてポンプ回転数をインバータで制御します。それにより大幅にランニングコスト（電気代）を削減でき...

メーカー・取り扱い企業：オリオン機械株式会社

成膜関連製品　TELEMARK 真空蒸着用コンポーネント

蒸着用電子銃など真空蒸着のことならお任せください。

ンソース　軽量コンパクトで装置への取り付け自由が大きい　高効率の水冷構造により動作温度が非常に低く(70～80℃)基板への　熱ダメージが少なく、熱により消耗する部品が皆無でメンテナンスフリー ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...

メーカー・取り扱い企業： VISTA株式会社

イオンアシスト蒸着用TELEMARKイオンソースシリーズ

イオンアシスト蒸着に最適なイオンソースを提供します

なサイズながら 3.大きなイオン電流が広範囲に得られます 4.高効率の水冷構造により動作温度が非常に低く（70～80℃）基板への熱ダメージが少なく、また熱により消耗する部品が皆無でメンテナンスフリーです 5.極微量のガスでイオンビームが得られますので、低い圧力での動作が可能 6.特殊コーティングのイオン源は高濃度酸素中でも酸化によるチャージアップが無く安定な運転が可能 7.スタート後わ...

メーカー・取り扱い企業： VISTA株式会社

省エネ大流量真空ポンプ・ブロワ「インバータベーンレスポンプ」

負荷変動に自動追従し最大８４％の省エネと従来比４倍メンテサイクル実現し…

【その他の特長】 ■ロングライフ・オーバーホールサイクルが２万時間毎と延長し、従来比最大４倍オーバーホールサイクルが格段に向上。メンテに関わるリスク回避と作業効率向上を実現。オイルフリーによるクリーンエアーで経済的。 ■高性能とバリエーション・専用パネルで各種設定とエラー表示が確認可能。緊急時の迅速・的確な対応を実現。・最大真空度９４ｋＰａの高真空バキューム仕様もライン...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ナカタニ

アジレント社製ターボ分子ポンプ 305シリーズ

アジレント社中型ターボ分子ポンプです。ワイヤレス通信で動作設定・…

アジレント社製 305シリーズターボ分子ポンプはオイルフリー、取り付け位置自由な中型ターボ分子ポンプです。軸受けはセラミックベアリングを使用しているのでクリーンな真空を得ることができます。アジレント社独自のTwisTorrドラッグステージ技術により、水...

メーカー・取り扱い企業：丸菱実業株式会社

コスラーズゲートバルブ

開口幅400mm～2000mm！第六世代、第七世代基板に対応したゲート…

【特長】 ■パーティクルフリー ■高いレベルのシール性 ■イージーメンテナンス ■長寿命で高品質 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ...

メーカー・取り扱い企業：入江工研株式会社

ドライポンプ　ＧＸＳシリーズ

半導体プロセスでの経験と実績を基に、最新のテクノロジーを搭載した、工業…

パージ機能の選択や排気ポートの取り出し位置や洗浄オプションを装備しており、アクセサリ等幅広い選択肢を準備しております。また、堅牢構造で長期メンテナンスフリー。高効率インバーターモーターの採用で電力消費量を低減。詳しくは、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業：丸菱実業株式会社

サイドチャネルブロアー　2BHシリーズ

低圧力タイプの真空ポンプ／コンプレッサ

:185～225V,320～390V。60Hz:200～240V,345～415V。 ■海外規格対応・CE,ULを標準機でクリア。 ■モータ防滴、防塵構造・IP(JP)55 ■オイルフリー、無公害・ハウジングとインペラは完全に非接触ですので、潤滑油不要。 ■あらゆる方向での設置が可能 ...

メーカー・取り扱い企業：オリオン機械株式会社

ミニeビームエバポレーター

UHV環境下での極薄膜作製に最適。英国オックスフォードアルライド…

高度な制御が可能で多くの材料に対して0.1～50Å/minの範囲でコントロールが可能。 ≪用途≫ 数nmの薄膜作製、半導体ドーピング ≪特長≫ ■冷却効率で今民ネーションフリーの設計 ■材料はロッドまたはルツボ充鎮の選択 ■標準搭載のフラックスモニタリングプレートにより精密な膜厚コントロール可能 ■1ポケットと4ポケットのタイプがあり、4ポケットは、それぞれ独立し...

メーカー・取り扱い企業：三和真空株式会社

立軸円テーブル形平面研削盤『GSRシリーズ』の操作パネルについて

操作性が高く、スピーディな作業を実現する操作パネルを搭載！

スピーディーな作業】高精度、高面粗度を生み出すテーブル回転、粗研（1～25rpm)、精研（1～25rpm)の任意設定により自動制御を行うため、高精度の研削が可能。作業に便利なハンドフリーが可能なテーブル寸動用膝蹴りスイッチが装着されています。 ※詳細は直接お問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社三栄エンヂニアリング

真空乾燥装置

乾燥炉内のワーク設置台を専用設計！前面扉は片開きで開口が広く部品の出し…

当社が取り扱う、『真空乾燥装置』をご紹介します。 φ600×D585のSUS304製真空チャンバー内に、特殊シーズヒーター3本を設置してチャンバー内を加熱。オイルフリーの状態で真空乾燥を行う装置です。真空槽の前面扉は片開きで開口が広く部品の出し入れが容易に行えるほか、客先の仕様に合わせ、乾燥炉内のワーク設置台を専用設計しています。【主な仕様】...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ダン科学