CVD | イプロスものづくり

PRモジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用機の組立…

【フレキシブルシステム】 MiniLab薄膜実験装置シリーズは、豊富なオプションから必要な成膜方法・材料に応じて都度、ご要望に適したコンポーネント（成膜ソース、ステージなど）、制御モジュールを組み込み、カスタマイズ品でありながら無駄の無いコンパクトな装置構成を容易に構築することができます。モジュラー式制御ユニットをPlug&Play 感覚で装置を構成することにより応用範囲が広がり、様々な薄膜プロ...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社

【産業用管理ギガビットPoE光ハブ】IGPS-9084GP-LA

PR産業用マネージドPoE+ギガビット光スイッチ：IGPS-9084GP…

IGPS-9084GP-LAは8×10/100/1000Base-Tと4×100/1000Base-X(SFP)を備え、IEEE802.3atに準拠した産業ネットワーク向けのマネージドギガビットPoE+イーサネットスイッチです。 STP/RSTPは始め、ベンダー独自の冗長プロトコル｢O-Ring/Open-Ring/O-RSTP｣等のリカバリプロトコルに対応しており、ネットワークの中断や一時的...

メーカー・取り扱い企業：データコントロルズ株式会社

RIBER社EZ-CURVE 真空装置In-situ反りモニター

各種真空装置内でのウエハ応力、反り、曲率、異方性等をリアルタイム、高精…

測定が可能なIn-situモニターです。特徴 1) In-situ応力、反り、曲率、異方性等の測定可能 2) 成長メカニズムに関する基礎データ取得にも利用可能。 3) 各種真空成膜装置（CVD, MBE, PVD等）や真空プロセス装置(エッチング、アニーリング等）に対応可能。 4) 従来のレーザー反射計測法と比較して本計測器の計測法は10倍以上の反り測定感度、高速計測周波数(100H...

メーカー・取り扱い企業：伯東株式会社本社

産業・医療用コイル

数ミクロンの微細なワイヤーから太材まで、多種多様なコイルの製造が可能

■撚り線（ストランド）コイル真空スパッタ装置、成膜装置（PVD・CVD）等の真空装置に使われている製品です。撚り線以外もあらゆる形状が可能です。 ■センサ・分析機器用コイルガス検知センサ、Ｘ線分析機器等、分析機器には白金、トリウムタングステン、レニウムタン...

メーカー・取り扱い企業：岳石電気株式会社

『精密加工部品』

耐久性・精度・安全性を考慮しトータルコスト削減に貢献する金型部品を提供…

【製作例】 ■真円極薄研磨加工部品（SKD11） ■冷し嵌め転造ロール（超硬合金G4＋SKD61） ■各種抜き・絞りパンチ（超硬合金・SKD11） ■高精度CVD絞りパンチ（超硬合金G3） ■焼嵌め絞りダイ（超硬合金G15＋SKD61） ■シェービングパンチ（HAP40） ■焼嵌めCVD絞りダイ（超硬合金G4＋SNCM439） ■金型ダイホルダ（S...

メーカー・取り扱い企業：東海合金工業株式会社/株式会社トーカロイ

PLAD-221-Y PLDシステム

AOVでは、多種多様なお客様のご要望にお応えするために、カスタマイズされた様々な真空製膜装置を取り扱いしております。AOVの取り扱う真空装置は物理気相蒸着（PVD）法と化学気相蒸着（CVD）法に大きく分かれています。 PVD法による装置は、 * PLD（パルスレーザ蒸着）装置 * マグネトロンスパッタ装置 * EB電子ビーム蒸着装置 *...

メーカー・取り扱い企業： AOV株式会社

マントルヒータ　Mantle heater

配管部品の均一加熱を実現！CVDエッチング・アッシング装置に適していま…

ワッティーが提供する『マントルヒータ』は、配管・容器加熱用にご使用いただけます。発熱体を使用しない断熱材、保温材の設計製作も承っており、クロス材質も複数ご用意しているので、ご希望の仕様で製作が可能。（400℃以上のご希望の際はご相談ください。）また、サーモスタット、ヒューズ等の過昇温防止素子、及び熱電対、 Ptセンサ等の温度制御素子の取り付けなどオプションで承ります。...

メーカー・取り扱い企業：ワッティー株式会社

超薄膜成膜技術　Atomic Layer Deposition

R＆D活動および工業規模での量産用に設計！カスタムメイドのリアクターツ…

原子層堆積（ALD）はCVDの中でも特別なコーティング方法になります。 ALDプロセスにおける補完的で自己制限的な表面反応は、ナノメートルスケールまで制御された厚さの均一なフィルムと、複雑な3D表面形状への優れ...

メーカー・取り扱い企業：ティー・ケイ・エス株式会社

HIWIN ウエハロードポート

8インチ、 12インチ製品の搬入出に対応した共用型ロードポート。

・8インチ、 12インチのFOUP/FOSBにダイレクトに対応。・製品のクリーン度はClass 1。　フォトリソグラフィー、エッチング、CVD、PVD、洗浄、検査等、さまざまな半導体プロセス装置でご使用いただけます。・関連する安全規制に準拠して、システムは緊急停止機能を提供し、電気制御システム、感知システム、真空システムなどのさ...

メーカー・取り扱い企業：ハイウィン株式会社

ハイバリア蒸着フィルムの基礎とコーティング技術、高機能化、開発例

真空蒸着技術、イオンプレーティング技術、プラズマCVD、2元蒸着技術等…

レトルト耐性、非金属性、環境対応性などが注目され現在大きな市場を形成しつつある。これら蒸着フィルムの特性、物性ならびに製造方法について説明し、併て真空蒸着技術、イオンプレーティング技術、プラズマCVD、2元蒸着技術や、従来のバッチ式真空蒸着機に代わる連続真空蒸着機についても、三菱重工での開発経験をもとに詳しく説明する。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社AndTech

低温DLCコーティング『DOWA-DLC』

金型の耐摩耗性・耐凝着性向上や、機械部品の低フリクション化に！　　～耐…

「DOWA-低温DLC」は、当社独自のPVD+P-CVDプロセスで成膜することにより、耐摩耗性・耐凝着性・低フリクション化に優れた、DLC皮膜を形成するコーティング加工です。成膜装置に高電圧パルス電源を搭載し、DLC皮膜表面の平滑性を...

メーカー・取り扱い企業： DOWAサーモテック株式会社

SiC半導体製造用機能部品

2000℃以上のSiCプロセスに対応可能な単結晶成長およびCVD用部品…

Momentiveの『タンタルカーバイドコーティング』は、SiC単結晶成長炉、エピタキシャル装置の部品として多くの実績を有しており、『静電チャック』はSiやSiC半導体プロセスの高温イオン注入、スパッタリング工程で使用されています。【特長】 ■タンタルカーバイド・超高温（2000℃以上）での使用が可能・複雑な形状にも対応できる優れた被覆性 ■静電チャック・1000℃までのプ...

メーカー・取り扱い企業：モメンティブ・テクノロジーズ・ジャパン株式会社

熱触媒式除害装置(TCSシリーズ)

排気ガス中の有害成分を専用触媒により除去します。

● 反応副生成ガスにも対応　カーボンナノチューブCVDプロセスで使用される　NH3（アンモニア）の他　副生成される可能性が　ある毒性の強いHCN（シアン化水素）にも対応。※1 ● 視認性に優れたデザイン　集合表示灯及びタッチパネル（オプショ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社巴商会管理部署：企画営業部

ＣＶＤ装置用真空排気装置（塩素系ガス対応真空ポンプユニット）

熱ＣＶＤ装置の排気に実績多数。Ｃｌ系ガスの排気に特に有効、大量排気と塩…

ケミカルプロセスに多大な実績を持つ真空ポンプ（水封式真空ポンプとメカニカルブースタ）をユニット化。ＣＶＤ装置のプロセス特性・ガス種・排気量に合わせてポンプ材質と周辺機器を最適化。主排気ポンプの水封式真空ポンプを封液循環式とし、循環式封液にアルカリ性溶液を使用し、塩素系ガスの排気と中和を両立。後段のガス処理装置の負荷を大きく削減。特に表面処理用の熱ＣＶＤ装置の塩素系ガスの排気系に有効で工...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

耐酸化・焦付き対策に…スクリューヘッドチタンコーティング

新品の時は付着が無かったのに最近では・・・でお困りの成型機部品に一押し…

金（プラチナ）や金とほぼ同等の強い耐蝕性(耐食性)を持ちます。この特性を活かし、数μの非常に硬い被膜で耐酸化・焦付き対策を提案いたします！ TiN（窒化チタン）などのPVD（物理蒸着）、CVD（化学蒸着）、ラジカル窒化との複合処理等、セラミックコーティングは、先端部品の耐摩耗性を維持しながら、大幅なコンタミ低減をはかります。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社マーテック

高純度イットリア溶射材

耐プラズマエロ―ジョン性に優れた溶射皮膜が得られる高純度イットリア粉末…

高純度イットリアではその化学的安定性、耐プラズマエロ―ジョン特性を活かし、半導体、FPD(OLED、LCD)製造装置などに使用されています。アプリケーション例・プラズマエッチング装置　・CVD装置　・静電チャック　・焼成トレイ　など【メッセージ】フジミではお客様のご要望に応じた純度、粒度に調整した粉末の試作も可能です。セラミックス溶射材料に関してご質問やご要望等ございま...

メーカー・取り扱い企業：株式会社フジミインコーポレーテッド

セラミックス溶射各種対応(金属・サーメット・成膜)

部品加工から成膜まで一括受託はもちろんのこと支給材も承ります！セラミッ…

溶射とは、、、融解状態に加熱した溶射材料粒子を対象ワークに吹きつけ皮膜させる方法。めっき、CVD、PVD、イオンプレーティング法などの表面改質技術の一種。溶射の使用用途 ■耐磨耗・潤滑コーティング ■電機絶縁コーティング ■クリアランス制御コーティング ■離型性コーティング ...

メーカー・取り扱い企業：ナラサキ産業株式会社メカトロソリューション部　機能材料課

イオンビーム　エッチング・成膜装置『QuaZar』

総保有コストを減少させる事が可能！最高クラスの均一性とスループットを実…

ることにより<0.6% 3σも達成可 ■従来と比較しMTBMを2倍にしたIon Source、Marathon Grid、　Dual PBNは、他社の既存装置でも搭載可能 ■当社のPVD、CVD等とのクラスター可が可能 ■150mm、200mm ※詳しくはお気軽にお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業：プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

【事例集】金型コーティング

製品の寿命や性能を向上！環境負荷を低減する「環境貢献型製品」で地球環境…

ついて紹介します。高硬度、高密着力、低摩擦、耐熱、耐摩耗など金型に求められる要求に対応するために、多彩な被膜をラインアップ。金型の耐久性を向上します。また、処理温度はすべて500℃以下。CVDやTD処理に比べ、熱による歪みが少なく、処理後の型合わせの時間が大幅に短縮できます。【特長】 ■熱歪が少ない ■高耐久 ■複合処理 Jcoat ＋α ■環境貢献型コーティング ※詳しくはカ...

メーカー・取り扱い企業：日本コーティングセンター（ＪＣＣ）株式会社

アークフィラメント式イオンプレーティング装置　

緻密な酸化膜厚膜（～１０μｍ）を高速形成。新開発イオン化機構搭載　Ｃ…

緻密で耐プラズマ性の高いイットリア膜やＳｉＣ膜を高速形成。高密度プラズマによる反応性プロセスによりCVDより低温で溶射法より緻密な膜質を実現。半導体関連部品にも応用可能なクリーンな成膜プロセスを実現。 PVD法のため装置のメンテナンスも容易で低コスト。絶縁膜（酸化膜・炭化膜）を高速形成。緻...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

『事例』プラズマや熱によるセンターリングの劣化対策　無料進呈中

真空配管設備の不安を解消！プラズマや熱によるセンターリングの劣化対策の…

製品使用例のご紹介です。・プラズマCVD装置によるプラズマや高温排気の影響で配管接続に使用しているフッ素ゴムO-リングが劣化してしまう。・高価なセンターリングを採用しているが、コストが高く困っている。・真空設備のセンターリングが...

メーカー・取り扱い企業：株式会社キッツエスシーティー

【金型コーティング】※樹脂金型やダイカストの事例を紹介

製品の寿命や性能を向上！JCCの処理温度は、すべて500℃以下。処理後…

します。高硬度、高密着力、低摩擦、耐熱、耐摩耗など金型に求められる要求に対応するために、多彩な被膜をラインアップ。金型の耐久性を向上します。また、処理温度はすべて500℃以下。CVDやTD処理に比べ、熱による歪みが少なく、処理後の型合わせの時間が大幅に短縮できます。【特長】 ■熱歪が少ない ■高耐久 ■複合処理 Jcoat ＋α ■環境貢献型コーティング ...

メーカー・取り扱い企業：日本コーティングセンター（ＪＣＣ）株式会社

SiCウェハボート

高温での使用が可能で1350℃まで対応可能！主要装置メーカーの認定を取…

【用途】拡散／LP-CVDプロセス用ウェーハキャリア【材料】高純度反応焼結炭化ケイ素　TPSS...

メーカー・取り扱い企業：クアーズテック株式会社

レーザーマイクロジェット加工機「MCS シリーズ」

水ジェットとレーザーのメリットを融合した高精細なレーザー加工機です！

形状】 ■金属：アルミ、銅、ステンレス、ニッケル、チタン ■高度材料：アルミナセラミックス、CBN 焼結体、焼結体ダイヤモンド、超硬合金、単結晶ダイヤモンド、CVD ダイヤモンド ■加工形状：切断、穴あけ、溝掘り、チップブレーカー、　　　　　　 3 次元加工、ダイシングなど ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...

メーカー・取り扱い企業： SYNOVA JAPAN株式会社

石英ガラス加工製品・再生石英材料

最高の加工技術で作られた製品をお客様に提供します。

【加工例】 ◯洗浄装置用処理槽 ◯ウェーハ用キャリアー、ボート、チャック ◯拡散・CVD用炉芯管 ◯エッチャー/アッシャー用ベルジャー ◯各種治工具類 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社インテリンク

コゲ、焼付き防止の温度管理に…シリンダー冷却パイプ交換

シリンダー内径補修時に、水冷却パイプの交換サービスも行っております！

でなく、スクリュー、スクリューヘッド、チェックリング、シートリングなどの関連部品は、厳しい摩耗条件下にありながら、耐コンタミ性、耐食性を要求されます。TiN（窒化チタン）などのPVD（物理蒸着）、CVD（化学蒸着）、ラジカル窒化との複合処理等、セラミックコーティングは、先端部品の耐摩耗性を維持しながら、大幅なコンタミ低減をはかります。何でもお気軽にお問い合わせください！ク...

メーカー・取り扱い企業：株式会社マーテック

300mmバッチクラスタ装置「Sprinter」

枚葉プロセスレベルの成膜品質をバッチ装置で！クラスタシステムにより生産…

PICOSUN Sprinter ALDシステムは、優れた膜質、短いサイクルタイム、完全自動化により、ALDの大量生産に革命をもたらします。プリカーサフローを完全に層流にすることで、不要にCVD成長させることのない完全なALD成膜を保証し、システムメンテナンスの必要性を最小限に抑えます。プリカーサの供給が最適化されているため、材料の無駄がありません。 ※詳しくはPDFダウン...

メーカー・取り扱い企業： PICOSUN JAPAN株式会社

厚膜成膜

薄い膜だけじゃない！厚く成膜することもできます。

材に何の膜をつけるのかによって変わってまいりますが、まずはお気軽にご相談ください★（もちろん薄い膜も得意です）東邦化研株式会社では、イオンプレーティング、真空蒸着、スパッタリング、プラズマCVDによる機能性薄膜の受託加工（コーティングサービス）を行っております。金属膜や、酸化膜・炭化膜・窒化膜等の反応膜、合金膜、また、それらの積層膜等、様々な膜種に対応し、試作・開発・研究などの少...

メーカー・取り扱い企業：東邦化研株式会社

固体ソースECRプラズマ成膜装置『AFTEX-8000シリーズ』

均一性に優れた多層膜を形成できる！全自動多層膜形成装置

密度ECR(Electron Cyclotron Resonance)プラズマ源を用い、プラズマ引き出し部にターゲットを配置することによって固体ソースによるECRプラズマ成膜を実現しています。 CVDのような危険なガスを用いる必要がないため排ガス処理の必要もなく、地球環境に優しい成膜技術です。【特長】 ■高絶縁膜特性 ■多層膜 ■緻密・平坦膜 ■低ダメージ ■長期安定稼働 ...

メーカー・取り扱い企業： JSWアフティ株式会社

下地強化処理サービス

PVDの密着性を向上させる複合処理技術

【複合処理技術】 CVDが化学反応による“結合”に対し、PVDは衝突エネルギーによる“蒸着”であるため、密着性は一般的に劣ると言われています。 PVDの密着性を向上させるには、母材表面とコーティング皮膜硬さの差を縮める...

メーカー・取り扱い企業： SEAVAC株式会社本社

マイクロボール研削盤『MB-20』

単結晶ダイヤモンド工具をサブミクロン精度に！小径ボールエンドミルの決定…

PCD、CBN素材の高精度化にも最適です。【特長】 ■ボールエンドミルをサブミクロン精度に ■輪郭精度0.3マイクロ、回転振れ精度を1マイクロ以下 ■単結晶ダイヤモンド（天然、人造、CVD）の研磨が可能 ■超高硬度材料の研磨が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アビコ技術研究所

成膜加工

薄膜形成からパターニング及びメッキ加工まで一貫したプロセスで対応可能！

薄膜形成技術は、物理的気相法（PVD）・化学的気相法（CVD）・液相法で分ける事ができます。豊和産業株式会社で対応可能な薄膜形成技術は、ガラス、シリコンウエハ、セラミックス、フィルム等のベース材に行う気相成長法の抵抗加熱・ＥＢ蒸着・スパッタリング・イオンプ...

メーカー・取り扱い企業：豊和産業株式会社