CVD | イプロスものづくり

PRモジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用機の組立…

【フレキシブルシステム】 MiniLab薄膜実験装置シリーズは、豊富なオプションから必要な成膜方法・材料に応じて都度、ご要望に適したコンポーネント（成膜ソース、ステージなど）、制御モジュールを組み込み、カスタマイズ品でありながら無駄の無いコンパクトな装置構成を容易に構築することができます。モジュラー式制御ユニットをPlug&Play 感覚で装置を構成することにより応用範囲が広がり、様々な薄膜プロ...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社

【産業用管理ギガビットPoE光ハブ】IGPS-9084GP-LA

PR産業用マネージドPoE+ギガビット光スイッチ：IGPS-9084GP…

IGPS-9084GP-LAは8×10/100/1000Base-Tと4×100/1000Base-X(SFP)を備え、IEEE802.3atに準拠した産業ネットワーク向けのマネージドギガビットPoE+イーサネットスイッチです。 STP/RSTPは始め、ベンダー独自の冗長プロトコル｢O-Ring/Open-Ring/O-RSTP｣等のリカバリプロトコルに対応しており、ネットワークの中断や一時的...

メーカー・取り扱い企業：データコントロルズ株式会社

PIG式 DLCコーティング装置

優れた膜の密着性と高面圧耐性を実現！スパッタカソードを標準装備していま…

『PIG式 DLC膜形成装置』は、独自開発によるPIGプラズマガンを採用し、極めて平滑で相手攻撃性の低いDLC膜を高速で形成できる高密度プラズマCVD装置です。スパッタカソードを標準装備しており、スパッタ膜との積層構造により優れた膜の密着性と高面圧耐性を実現しています。自動車部品の表面処理用途に豊富な実績を持っており、多くの...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

半導体フォーミング金型用セルテスDLCコーティング

PVDとプラズマCVDのハイブリッドプロセスによるDLCコーティングで…

半導体フォーミング金型用セルテスDLCコーティングは、PVDとプラズマCVDのハイブリッドプロセスによる新しいDLC（ダイヤモンドライクカーボン）コーティングです。複合多層膜の採用により、従来のDLCと比較して密着力にすぐれ、厚膜（～ 5μm）が可能なため、抜群の耐久性を...

メーカー・取り扱い企業：ナノコート・ティーエス株式会社石川事業所

簡単大気圧でSiO2コーティング！プラズマコートUL-Colat

弊社にてデモ可能！市場初投入の新技術。大気圧プラズマでＣＶＤ。 …

今まで減圧下で行っていたプラズマCVDによるＳｉＯ２製膜を大気圧下で行えます。厚みは処理条件によりコントロール可能。（速度、液量、距離など）今までの大型CVD装置では対応しきれない少量生産や、細かな条件変更を可能にし、製膜...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ケー・ブラッシュ商会本社

ミューコム　MO-CVDコンピュータ制御システム

デジタル入出力信号やアナログ入出信号をＬＡＮにより制御することにより高…

各種半導体薄膜製造装置の制御をパソコンにて行うシステムです。デジタル入出力信号やアナログ入出信号をＬＡＮにより制御することにより高速制御とデータの保存を可能にしました。...【特徴】 ○LANによるアナログ入出信号制御 ○LANによるデジタル入出力信号制御 ○高速制御とデータの保存を可能 ●その他機能や詳細については、お問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業：有限会社ミューコム

鉄・アルミ・ステンレスの溶接

板厚4.5mm程度から120mm程度のものまで！鉄・アルミ・ステンレス…

おり、ステンレス溶接構造真空チャンバについては数千台の実績がございます。【取り扱い品目(一部)】 ■架台・液晶・半導体製造装置 ■チャンバ・蒸着装置用真空チャンバ(PVD・CVD) ■各種装置部品・液晶・半導体製造装置 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：東金属産業株式会社本社・沼津工場

資料進呈『表面処理薄膜コーティングに関する技術資料』

素材に新たな機能を吹き込む薄膜加工技術を解説した技術資料を進呈中！各種…

東邦化研株式会社では、イオンプレーティング、真空蒸着、スパッタリング、プラズマCVDによる機能性薄膜の受託加工（コーティングサービス）を行っております。金属膜や、酸化膜・炭化膜・窒化膜等の反応膜、合金膜、また、それらの積層膜等、様々な膜種に対応し、試作・開発・研究などの少...

メーカー・取り扱い企業：東邦化研株式会社

半導体製造装置　自動石英管洗浄装置

【デモ機貸し出し可能！】石英管の形状に合わせ対応致しますので御相談下さ…

ウエハーは製造工程に使用される石英管のクリーン度が、製品の品質に大きく影響します。したがって、拡散工程やCVD工程及びアニール工程で使用される石英管の洗浄は重要なポイントです。ジャパンクリエイト社は長年に及ぶ経験と実績から、御客様のニーズにあった石英管洗浄装置を提供致して居ります。方式は横型式と縦...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社

表面処理サービス

食品関連・工業用途など幅広い分野に対応します！

当社では、コーティング・ライニング・ハードコ－ティングなどの表面処理を行っております。フッ素樹脂や無機系、プラズマCVDなど様々な処理に対応が可能です。まずはお気軽にお問い合わせください。【処理の種類】 ■コーティング（フッ素樹脂,無機系,プラズマCVD,低温PVD） ■ライニング（フッ素樹...

メーカー・取り扱い企業：日信テクニクス株式会社

スパッタリング・成膜・エッチング・受託加工

約120種類のターゲット在庫早見表付き！スパッタリング、蒸着、CVDと…

【特徴】 ○豊富なターゲット在庫（約120種類）や成膜（スパッタリング、蒸着、CVD）、エッチング（ドライ、ウェット）加工ノウハウを蓄積 ○半導体・FPD・MEMS・太陽電池などの試作の受託 ○開発コスト削減 ○スピーディーな研究開発を実施 ○少量生産にも対応 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社協同インターナショナル

ロードロック式スパッタリング装置

CVD室、蒸着室、プラズマクリーニング室等の組み合わせも対応可能です！

【その他の特長】 ■トレイ搬送も対応可 ■CVD室、蒸着室、プラズマクリーニング室等の組み合わせも対応可 ■各種オーダーメイドも製作可能 ■デモ機にてサンプル処理を実施 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社

DLCコーティング装置

広範な膜特性の制御可能！基板加熱源は水冷型と加熱型から選択いただけます

『DLCコーティング装置』は、豊富な蓄積データを有し、優れた膜厚分布および再現性を実現します。成膜源はRFプラズマCVD法とイオン化蒸着法から選択可能。半導体をはじめ、電子部品や光学部品、車載部品などにご利用いただけます。また、マルチチャンバ仕様や各種オーダーメイドも製作できます。ご用命の際はお気軽...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社

ダイヤモンド工具研磨盤『DTP-300AX型』

単結晶ダイヤモンド工具の専用機！吸収性を高めた鋳物構造の本体に超精密エ…

『DTP-300AX型』は、単結晶ダイヤモンドバイトのすくい面や逃げ面の面加工及び刃付けに使用するダイヤモンド工具研磨盤です。 CVD薄膜単結晶ダイヤモンドの面加工にも使用可能。スカイフ上面は高速回転でも極めてフレが小さく、単結晶ダイヤモンドバイト刃先の正確な面加工や刃付けができます。【特長】 ■吸収性を高...

メーカー・取り扱い企業：株式会社イマハシ製作所東京営業所

【MPCVD】単結晶ラボグロウンダイヤモンド

商業的使用に好適！非常に安定性があり、予測可能な特性と挙動を持っていま…

ダイヤモンドエレメンツは、幅広い用途に利用されている単結晶ダイヤモンド製品の製造において、世界でも早いCVD会社の一つです。マイクロ波プラズマ化学気相成長法(MPCVD)は、80年前から実用化されてきて、ここ7-8年で顕著なプロセスになってきました。 MPCVDは、純粋で高速なダイヤモ...

メーカー・取り扱い企業：合同会社SUPERHARD JAPAN

有機EL用蒸着装置

プラズマクリーニング室、有機蒸着室、電極蒸着室、封止室等を自由に選択で…

に応じて、プラズマクリーニング室、有機蒸着室、電極蒸着室、封止室等を自由に選択できます。【特長】 ■基板サイズは最大□300mm対応 ■蒸着セルは各種材料・サイズから選択可能 ■CVD室、スパッタ室等との組み合わせも対応可 ■各種オーダーメイドも製作可能 ■デモ機にてサンプル処理を実施 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社

日新技研社　単結晶育成装置　総合カタログ

日新技研社〜単結晶育成装置〜総合カタログ　無料配布中！

ております ◆◆掲載製品◆◆ 　　○トランジスタインバータ　　○酸化物単結晶引上装置　　○自動直径制御装置　　○μ-PD装置　　○超小型単結晶引上装置　　○SiC-CVD装置　　○Gap.InP高圧合成装置　　○高温アニール装置　　○SiC単結晶成長装置 ◆その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい◆...

メーカー・取り扱い企業：日新技研株式会社

多元スパッタリング装置

基板温度900℃を実現！基板ステージに3軸機構を搭載し、均一な膜厚分布…

『多元スパッタリング装置』は、最大4台のスパッタカソードを搭載し、金属膜、酸化膜等の積層成膜が可能です。 CVD室、蒸着室、プラズマクリーニング室等の組み合わせも対応可能。また、基板ステージに3軸機構（昇降、公転、自転）を搭載し、均一な膜厚分布を実現します。【特長】 ■当社独自のスパッ...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社

真空蒸着

蒸着加工を中心とした各種様々な工法により薄膜の製作が可能です（スパッタ加工・メッキ加工・メタライズ加工・PVD.CVD法等も取り扱っております）またフォトエッチング加工・リフトオフ・マスク加工あるいは精密スクリーン印刷法等の手法を用いて　複雑・微細なパターンの製作も致します。ガラス、金属、樹脂フィルム（ペット...

メーカー・取り扱い企業：伸和商工株式会社

パルスレーザパルス蒸着システム

AOVでは、多種多様なお客様のご要望にお応えするために、カスタマイズされた様々な真空製膜装置を取り扱いしております。AOVの取り扱う真空装置は物理気相蒸着（PVD）法と化学気相蒸着（CVD）法に大きく分かれています。 PVD法による装置は、 * PLD（パルスレーザ蒸着）装置 * マグネトロンスパッタ装置 * EB電子ビーム蒸着装置 *...

メーカー・取り扱い企業： AOV株式会社

乾電池関連金型

乾電池用などの深絞り金型に！ぜひ"超硬製品"をお使いください

が維持されるので様々な条件での使用に耐えます。この分野に長い経験を有する当社の「超硬製品」をぜひお使いください。【製品例】 ■乾電池用金型（DLCコート） ■乾電池用金型（CVD TiCNコート） ■乾電池用金型（CVD TiCNコート）磨き処理品 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：瑞穂工業株式会社

プラズマＣＶＤ成膜

ガスを化学反応させることで緻密な薄膜を形成！低温加工も可能です。

グ法と比べて凹凸への付きまわりがよいのも特徴です。弊社では、イオンプレーティング法、真空蒸着法に加え、プラズマＣＶＤ法によるコーティングサービスも行っております。現在、プラズマCVD法での対応膜種は、DLC（Diamond-Like Carbon）、SiO2、SiN、SiCの４膜種とさせていただいております。...

メーカー・取り扱い企業：東邦化研株式会社

真空成膜装置・高真空装置

お客様のニーズに合わせた形でカスタマイズ可能な高性能真空装置

真空成膜装置とは、半導体の製造工程のうち薄膜成形のプロセスに用いられる装置で、手法によってPVD、CVD、PLD、MBEなど各種の成膜装置が存在しており、真空度の高さが半導体の品質を決める大きな要因となっています。西華デジタルイメージでは、長年薄膜素材の評価装置として定評のあるVINCI社の製品を取...

メーカー・取り扱い企業：西華デジタルイメージ株式会社

クリエイティブコーティングス『気相技術』

ワーク材質や膜種、膜厚から、弊社がご提案する技術や加工例をご紹介！

ディスプレイなど『モバイル端末』『ウェアラブル機器』『オートモーティブ』など多様な分野で活用されています。また、多様なプロセス・膜厚・膜種で1nm～1000nmの成膜を実現。蒸着方式やCVD方式、ALD方式、スパッタ方式でコーティングしています。【特長】 ■ALDロボットCVA series 　ALDでは難しいと言われている低温での高品質な成膜が可能 ■バレル型ALDロ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社クリエイティブコーティングス

MEMS受託加工サービスとミニマルファブについて

WF加工、テストWF作成、貫通配線基板加工など！EB露光、DRIE、 …

ファブについても取り組んでおります。 TSV形成におけるプロセス技術の重要課題についてもPDFダウンロードからご確認いただけます。【加工内容】 ■前処理（RCA洗浄） ■成膜（熱Si酸化成膜、CVD成膜〈SiO2、SiN〉、メタル成膜〈Al、Al-Si、Al-Cu、Cu、Ti、W、Mo〉） ■フォトリソグラフィー（コンタクトアライナー、ステッパー、EB露光） ■エッチング（Wetエッチング、...

メーカー・取り扱い企業：株式会社M.T.C

イオンプレーティング（コーティング）技術資料【加工実績付き】

【技術資料進呈中！】密着性の強い膜を作るのに最適なイオンプレーティング…

工実績 →パターンコーティング →厚膜コーティング →樹脂フィルムへのコーティング →立体物へのコーティング →大面積へのコーティング →スパッタリングによるコーティング →プラズマCVDによるコーティング →各種メタル膜コーティング ○新技術の導入 →スパッタ →プラズマCVD ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...

メーカー・取り扱い企業：東邦化研株式会社

【SHシリーズ基板加熱ヒーター】真空成膜用 Max1100℃

CVD, PVD（蒸着, スパッタ, PLD, ALD等）均熱性・再現…

ヒータープレートにインコネルもしくはBNプレートを採用した、熱放射効率が良く、均熱性に優れた成膜装置・真空薄膜実験用高真空対応ホットプレートです。【ラインナップ】 ◎ SH-IN（インコネルプレート）：φ1.0〜φ6.1inch 真空・O2・活性ガス用 ◎ SH-BN（BNプレート, Moカバー）：φ2.1〜φ6.1inch 真空・不活性ガス用【特徴】 ◎ 最高温度1100℃...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社

協力会社による複雑な加工

複雑な工程の製品であっても対応可能！社外ネットワークでの加工サービス

軽にご相談ください。【サービス内容】 ○研磨加工 ○黒染め処理(四三酸化鉄皮膜)/パーカライジング(リン酸皮膜処理) ○メッキ(鍍金) ○窒化処理、PW、PS処理(塩浴窒化) ○CVD(科学的蒸着法)・PVD(物理的蒸着法)、その他詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...

メーカー・取り扱い企業：日本ツクリダス株式会社

密着性を向上させ、優れた耐久性を実現！【ファインコーティング】

超硬質セラミック被膜ファインコーティングは、通常のCVDよりも低温で…

近年、精密部品や金型の耐久性及び耐磨耗性を飛躍的にあげる表面処理技術は、生産性の向上のために必要不可欠になっています。超硬質セラミック被膜ファインコーティングは、通常のCVDよりも低温で成膜させるため、クラックのない緻密な炭化物被膜を形成させることが出来ます。さらに、独自の真空拡散法を用いて密着性を向上させ、優れた耐久性を実現しています。 ※詳しくは資料をDL...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ケンテック

『High-Rate Depo. 圧電膜形成スパッタリング装置』

半導体、MEMS、電子部品等に！単結晶エピタキシャルバッファ層から圧電…

長】 ■圧電に寄与する軸長を最大限に長くするDeposition構造 ■当社独自のスパッタカソードを搭載 ■ムービングマグネットにも対応し全面エロージョンが可能 ■トレイ搬送も対応可 ■CVD室、蒸着室、プラズマクリーニング室等の組み合わせも対応可その他ウェットプロセス装置、真空プロセス装置も取り扱いしておりますので、ご覧ください。「酸化膜／窒化膜プラズマCVD装置」 ...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社

Nd:YAGレーザパルス蒸着システム

AOVでは、多種多様なお客様のご要望にお応えするために、カスタマイズされた様々な真空製膜装置を取り扱いしております。AOVの取り扱う真空装置は物理気相蒸着（PVD）法と化学気相蒸着（CVD）法に大きく分かれています。 PVD法による装置は、 * PLD（パルスレーザ蒸着）装置 * マグネトロンスパッタ装置 * EB電子ビーム蒸着装置 *...

メーカー・取り扱い企業： AOV株式会社

株式会社K-PLUS　カーボン事業部取扱製品紹介

アモルファスカーボンなど、カーボン事業部の取扱製品を紹介します。

株式会社K-PLUS カーボン事業部では、単結晶シリコン製品加工やアモルファスカーボン及びグラファイト製品、ファインセラミックス加工、CVD SILCON CARBIDE、CFRP(炭素繊維)設計及び加工、表面改質(薄膜処理)、樹脂製品加工、金属製品加工(レア.メタル)などを取り扱っております。アモルファスカーボンは、高耐熱性、耐...

メーカー・取り扱い企業：株式会社K-PLUS