重量物の遠隔操作アーム式ロボット※2tまで対応可能で省力化に貢献

PR【省力化】数10キロから2tまで重量物ハンドリングをする遠隔操作アーム…

数10kgから2トンまでの重量物を、アームで離れた距離からつかみ、 回転、反転、旋回をし、別の位置に置いたり、挿入したり作業が行えます。 アーム式の為コンパクトで、省スペース設置を実現。 遠隔操作で、涼しい部屋・安全なエリアでの操作が可能。 耐熱性が求められる作業、タンディッシュ解体やポーラスプラグ挿 入、ノロ掻き作業等の省力化、自動化にもお応えします。 【アタッチメントに...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社サーボアームサービス

新製品 PFAS規制対応ケーブル【TRGV(BS)シリーズ】

PRPFAS規制対応！摺動試験1億回クリア！ 高耐屈曲 細径ロボットケーブ…

『TRGV(BS)シリーズ』は、特殊TPE絶縁採用の細径耐屈曲ケーブルです フッ素化合物を使用していないため、PFAS規制に対応 絶縁体に特殊エラストマーを採用し高耐屈曲性を実現(摺動試験1億回クリア） 6、7月開催の下記展示会で製品サンプル展示します 是非ご来場ください (1)電子機器トータルソリューション展 2024/6/12（水）～ 6/14（金） 東京ビッグサイト東4ホー...

メーカー・取り扱い企業： タツタ電線株式会社 産業機器電線営業部

ナノ・マイクロサイズの試料把持用　ロングアームナノピンセット

アームの長さが従来の５倍長くなり、今まで届かなかった液中深くにあるサン…

「ロングアームナノピンセット（Long Arm Nano tweezers)」は、ナノ・マイクロサイズの試料把持を行うためのグリッピングツールです。MEMS技術により把持力を精密制御でき、TEM試料をはじめとす...

メーカー・取り扱い企業： アオイ電子株式会社

枚葉式スピンスプレー洗浄装置　SRC-15001

2流体ノズルより高圧純水をスプレー、メガソニックによる仕上げ洗浄！

SRC-15001は、枚葉式のスプレー洗浄装置です。被洗浄物を試料台に置き、スタートSWをONにより、試料台は回転を始めると同時にノズルアームが洗浄物の半径をスイングし、2流体ノズルより高圧純水をスプレーします。次にメガソニックによる仕上げ洗浄を行い、スピン乾燥を行います。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

フィルターハウジンク゛　フィルター　SHタイプ

フィルターハウジング専門の製造元会社です。

品名　フィルターハウジング 型式　SAF-SHタイプ <ご使用用途> クリーンエネルギー　バイオマス　核融合　ダビットアーム　バイオ燃料　半導体　半導体製造装置用フィルターハウジング　塗料濾過　SAF燃料　食用油　エタノール　水素　有機溶剤　フィルターハウジング安価　医薬品　温室効果ガス　脱酸素　航空用燃料　ジェット燃...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社スズコウ

SWCR3160CS (防水対応）

3軸円筒座標型クリーンロボット

す。 薬液などのため人が入れずウェーハを触ることができない環境でのウェーハ搬送ができます。 保護等級IP64 LSI製造プロセスにおける、酸・アルカリの雰囲気中のウェーハ搬送に適しています アーム部は、テフロンコーティングにより耐蝕性を確保 アーム関節部防水構造にVシール使用 部品の接合部はバイトンパッキンによりシール Z軸部防水構造にジャバラ使用 動作モニター装備 制御方式:R...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

SSY-10010　EFEM

EFEM

(装置側の処理時間は含みません) 動作範囲 ワーク中心距離 旋回角度 (θ軸) 上下ストローク (Z軸) 反転軸 672mm 335度 500mm 180度 搬送速度 (平均速度) アーム 旋回角度 (θ軸) 上下ストローク (Z軸) 550mm/sec 300度/sec 300mm/sec 搬送速度 (最大速度) アーム 旋回角度 (θ軸) 上下ストローク (Z軸)...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

SSY-11000

450mmウェーハ搬送システム

度に搬送します。 ベルヌーイチャックの搭載可能（オプション）。 Z軸 (昇降軸) 500mmまで対応可能。 走行軸を採用し、高速で4FOUP（450mmウェーハ）へアクセス可能 可搬重量：アーム第3関節換算5kgf(チャック、ワーク含む） ツインアーム採用により、ウェーハ交換時間の短縮 壁掛けタイプ走行軸により、低パスラインを実現 動作モニター装備 制御方式：RS232C及びパラ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

フレキシブル性のあるユニバーサルジョイントコネクタ

装置内の狭いスペースでの作業時や、電路の引き回し設計においてフレキシブ…

写真はネジ取付となっておりますがその他の取付要望にもお答えでき、アーム部の開き角度は４５度であり、３６０度方向に可動可能となっております。 フレキシブルな接続を可能とする製品であり、お客様の使用電流や用途に合わせた設計が可能となっております。...

メーカー・取り扱い企業： エヌビーエス株式会社 本社・工場

TSVCR3060N（2インチウェーハ搬送）

真空トランスファーチャンバーの小型化に寄与します。

業界最小クラス、装置の小型化が可能 当社標準比真空ロボット：フットプリント65%（φ95mm）, 容積比75%ダウン アームの組み合わせにより任意の到達距離の設定が可能...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

UV-LED光源！半導体製造用自動露光装置|マスクアライナー

光源を水銀ランプからLEDへ置き換えた露光装置です。 自動平行調整、…

合わせ機能付き：1組 ■露光光源：i線LED光源(500W相当) ■オートアライメント機能搭載(FAST社製) ■装置サイズ：(例)1200×1200×1900(本体) ■搬送方法：ダブルアームクリーンロボット(Class1対応) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

半導体製造装置用アーム　厳しいキズ管理のできるサプライヤー

シリコンウエハを搬送する際に使用するロボットに使われる部品です。クリー…

横型マシニングセンターを駆使した高精度アルミ切削加工の量産を得意としています。 加工工程にＣＮＣ測定を組み込み高精度を確保しながら、最高３万回転の主軸による高速切削と合わせ、作業者の多台持ちや昼夜連続運転など全てにおいて効率化を図り、他の追随を許さないコストパフォーマンスが実現できます。...▼取扱製品 産業用機械部品/工作機械部品/半導体装置部品/電子部品製造装置部品/医療用機器部品/環境関...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイパーウェブ

静電気対策専用 DLCコーティング『THORスリック』

低温処理による高い被膜密着性と低発塵性！表面抵抗値別製品をラインアップ

る生産性低下 などの不具合対策に活用できる製品です。 低温処理で高い被膜密着性と低発塵性。色調は黒色で、耐摩耗性や耐食性、 耐焼付性を有しています。 半導体製造前工程のウエハホルダやウエハ搬送アーム、吸着ステージなど 幅広い用途でご使用いただけます。 【特長】 ■低温処理で高い被膜密着性と低発塵性 ■緩やかなESD放電曲線 ■表面抵抗値別製品をラインアップ ■耐摩耗性・耐焼付性・耐食性を有...

メーカー・取り扱い企業： 日本コーティングセンター（ＪＣＣ）株式会社

SSY-21000カセット搬送システム

カセット搬送システム

被搬送物（※1） 200mmウェーハ用オープンカセット（25段） 動作範囲 アーム (R軸) 上下ストローク (Z軸) スライダストローク (X軸) カセットチルト角度 (チルト軸) 590mm −350mm 200mm 980mm 90度 搬送速度 アーム (...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

【精密部品加工事例集】無料進呈！！半導体製造装置部品など

「半導体製造装置部品」や「産業用ロボット部品」などの精密加工部品11点…

【加工部品事例】 ■半導体製造装置部品 ・ベース ・プレート ■ロボット部品 ・アームベース ・アーム ・プレート ・PLATE ■FA装置部品 ・パッド ■工作機械部品 ・ブロック ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社タアフ

ウェーハ搬送ロボット(FIロボット)OH修理、コントローラ修理

交換部品は純正部品を使用し、純正手順で検査致します。また、短納期でOH…

の各種検査を行います。 各種検査をクリアしたロボットに対し、レベル調整(製造メーカーのスペックに合わせて、レベル調整作業) ウェーハ・カセットを使用し、サイクルテストを行います。 （ロボットアームでの繰り返し精度測定、プログラムにてOH後の品質及び精度確認を行います） ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社渡辺商行

SSY-10000

ガラス、サファイア、SiC、GaN、等々のウェーハ対応　卓上ローダーシ…

(ガラス, サファイア, SiC, GaN, 等) ○動作範囲 ワーク中心到達距離 旋回角度(θ軸) 上下ストローク(Z軸) 225mm 360度 150mm ○搬送速度 （平均速度） アーム(R軸) 旋回角度(θ軸) 上下ストローク(Z軸) 225mm/sec 500度/sec 200mm/sec ○搬送速度 （最高速度） アーム(R軸) 旋回角度(θ軸) 上下ストローク(Z軸...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

量産案内(自動生産ライン)

無人稼働でフレキシブル生産を目指します！

ロボットアームと５軸加工機・三次元測定器をライン化し、省人化によるコスト低減と、多品種の生産も可能とするフレキシブルな生産体制を目指しています。 作業員1名で高精度の製品を自動生産していきます。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社津田製作所

真空環境用ウエハ搬送ロボット『UTVW-R2800H』

【～300mmウエハ用】旋回軸にダイレクトドライブモータを採用！ 高…

■Z軸が標準搭載されているダブルアームタイプの真空用ウエハ搬送ロボット ■θ軸にダイレクトドライブモータを採用し、ウエハを低振動で搬送することで スループット向上に貢献 ■CVD装置、アニール装置など、高温プロセス装置に...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダイヘン

スピン洗浄装置　スプレー現像装置 SD-8004型

自動および手動運転により、現像、リンス、水洗、スピン乾燥を行います！

【仕様】 ○外形 W1490×D1100×H1650 ○処理枚数：2枚～8枚 ○使用液：現像液、リンス液、純水 ○回転数：0～1200rpm ○回転テーブル：φ530 ○ノズルアーム：2本　ノズル4個×2本 ○回転数表示：デジタル表示 ○プログラム数：10プログラム50ステップ ○付属タンク：現像液タンク、攪拌タンク、リンス液タンク ○操作盤：LCDタッチパネル ○...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

ブラシ洗浄からの置き換え！枚葉式ウエハ洗浄装置（スクラバー）

実績多数の高圧ジェットを採用したスクラバー。ソフトスプレーと組み合わせ…

【主な仕様】 ■ウェハサイズ：φ2"～φ8"まで対応可能 ■使用薬液：純水、NMPなど ■装置サイズ：1330×1550×1900(φ8"　2カップ時、本体) ■搬送方法：ダブルアームクリーンロボット(CLASS1対応) ■消火器システム その他オプション多数！ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

Inception 枚葉式スピンプロセッサー

R＆Dからパイロット生産への移行に適切なInception

ンナーでは実現できない複合的搬送システム ■ エッチングユニフォーミティーはバッチタイプを凌ぐ ■ タンクは２～4基搭載可能 ■ 200mm ウェハまで対応 ■ 個別の薬液系統に対し可動式スプレーアームを2式まで搭載 ■ 純水とN2にそれぞれボトムスプレーノズルを準備 ■ 外部から機体後部に各種薬液を供給スピンドライを用いた高速冷却エッチングでパーティクルを制御 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社インターテック販売 東京本社（拠点－関西営業所、熊本営業所）

空気加熱ヒーター　PF100

はんだ付け予熱、樹脂硬化、洗浄後の乾燥、その他非接触の加熱工程に！25…

温度設定範囲：50-250℃ 送風排出免責：100×100(mm） 取付アーム距離：250mm 設置方法は自立型、他 加熱気体：空気 どれもカスタマイズできます！ご相談ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社MSAファクトリー

スピン洗浄装置　高性能型減圧式スピンコーター

【デモ機貸し出し可能！】N2置換、溶剤ガス導入、真空状態、等自動で行い…

m →材質アルミ、アルマイト処理φ300 →回転モーターACサーボモーター3.3KW ○アウターカップ：φ400 SUS304 研磨 ○カップ洗浄機構：洗浄液加圧タンクより圧送 ○ノズルアーム：ステッピングモーター駆動　ディスペンサー 2系統 ○溶剤雰囲気：バブリング機構 ○乾燥：真空乾燥5×10-4（TOrr） ●詳しくはお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

シャーレ搬送ロボット

医療、バイオ関連施設などの無菌室、クリーン環境下での搬送が可能

造形式 水平多関節型 制御軸 4軸 モータタイプ 全軸ACサーボモータ 動作範囲 ワーク中心到達距離 旋回角度(θ軸) 上下ストローク(Z軸) 555mm 335度 300mm 搬送速度 アーム(R軸) 旋回角度(θ軸) 上下ストローク(Z軸) 250mm/1.5sec 335度/2.0sec 300mm/2.0sec 繰り返し精度 ±0.1mm以内 クリーン度 ISOクラス2以下...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

フルオートブレーク装置『TEC-1228AL』

6インチウェハに対応したブレーク装置をご紹介します！

『TEC-1228AL』は、6インチウェハ対応のフルオートブレーク装置です。 ブレークブレードとワークテーブルを交換することで、2インチから 4インチウェハにも対応可能。 ダブルアーム搬送により、ウェハのロード時間を短縮します。 また、視認性の向上により、画像認識時のマッチングエラーを減少させます。 【特長】 ■6インチウェハに標準対応 ■ブレーク認識機能搭載 ■...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社くまさんメディクス MPSD事業部　大津第1工場

ウェーハハンドリング装置（CHI-02型）

シリコンウェーハのP/N判定・外観検査を行うためにハンドリングする装置…

・反転機能付きのツインアームロボットを使用することにより、効率よくウェーハの搬送が行えます。 ・P/N判定は接触式にて行います。 ・検査ステージでは ウェーハの吸着 前後の傾斜（片側最大約45°） 360°回転 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム

抵抗率測定機（RTS-02型）

抵抗率別かつ厚さ別の区分に分類

・カセットはローダ側12個アンローダ側15個設置可能です。 ・搬送はローダ、アンローダの搬送はシングルアームロボットを使用し真空吸着方式で搬送します。 ・測定データはパソコンに転送されます。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム

GCR4210SN(クローズドループ制御)

・クローズドループ制御 ・アブソリュートエンコーダ搭載 ・バッテリ…

型 制御軸 4軸 モータタイプ ステッピングモータ（クローズドループ） 動作範囲 ワーク中心到達距離 旋回角度(θ軸) 上下ストローク(Z軸) 760mm 335度 300mm 搬送速度 アーム(R軸) 旋回角度(θ軸) 上下ストローク(Z軸) 730mm/sec 240度/sec 200mm/sec 繰り返し精度 ±0.1mm以内 クリーン度 ISOクラス2以下（ISO14644...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

STWHR4156 (防水対応）

防水対応4軸円筒座標型ロボットのSTWHR4156シリーズです。

できます。 薬液などのため人が入れずウェーハを触ることができない環境でのウェーハ搬送ができます。 LSI製造プロセスにおける酸、アルカリのミスト雰囲気中のウェーハの搬送に適しています。 アーム部は、テフロンコーティングにより耐蝕性を確保 アーム関節部防水構造にVシール使用 部品の接合部はバイトンパッキンによりシール Z軸部防水構造にジャバラ対応も可能 ツインアーム採用によりウェ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

フィルターハウジンク゛　フィルター　SHタイプ

フィルターハウジング専門の製造元会社です。

品名　フィルターハウジング 型式　SAF-SHタイプ <ご使用用途> クリーンエネルギー　バイオマス　核融合　ダビットアーム　バイオ燃料　半導体　半導体製造装置用フィルターハウジング　塗料濾過　SAF燃料　食用油　エタノール　水素　有機溶剤　フィルターハウジング安価　医薬品　温室効果ガス　脱酸素　航空用燃料　ジェット燃...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社スズコウ

フィルターハウジング　フィルター　タイプLS型

フィルターハウジング専門の製造元会社です。

品名　カートリッジフィルターハウジング 型式　SAF-LS　タイプLS型 <ご使用用途> クリーンエネルギー　バイオマス　核融合　ダビットアーム　バイオ燃料　半導体　半導体製造装置用フィルターハウジング　塗料濾過　SAF燃料　食用油　エタノール　水素　有機溶剤　フィルターハウジング安価　医薬品　温室効果ガス　脱酸素　航空用燃料　ジェット燃...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社スズコウ

フィルターハウジング　フィルター　タイプLS型

フィルターハウジング専門の製造元会社です。

品名　カートリッジフィルターハウジング 型式　SAF-LS　タイプLS型 <ご使用用途> クリーンエネルギー　バイオマス　核融合　ダビットアーム　バイオ燃料　半導体　半導体製造装置用フィルターハウジング　塗料濾過　SAF燃料　食用油　エタノール　水素　有機溶剤　フィルターハウジング安価　医薬品　温室効果ガス　脱酸素　航空用燃料　ジェット燃...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社スズコウ

フィルターハウジング　フィルター　タイプS型ソケット　

フィルターハウジング専門の製造元会社です。

品名　カートリッジフィルターハウジング 型式　SAF-S　タイプS型ソケット <ご使用用途> クリーンエネルギー　バイオマス　核融合　ダビットアーム　バイオ燃料　半導体　半導体製造装置用フィルターハウジング　塗料濾過　SAF燃料　食用油　エタノール　水素　有機溶剤　フィルターハウジング安価　医薬品　温室効果ガス　脱酸素　航空用燃料　ジェット燃...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社スズコウ

フィルターハウジング　フィルター　タイプS型フランジ

フィルターハウジング専門の製造元会社です。

品名　カートリッジフィルターハウジング 型式　SAF-S　タイプS型フランジ <ご使用用途> クリーンエネルギー　バイオマス　核融合　ダビットアーム　バイオ燃料　半導体　半導体製造装置用フィルターハウジング　塗料濾過　SAF燃料　食用油　エタノール　水素　有機溶剤　フィルターハウジング安価　医薬品　温室効果ガス　脱酸素　航空用燃料　ジェット燃...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社スズコウ

SCR3160CSN (クローズドループ制御)

●クローズドループ制御●アブソリュートエンコーダ搭載●バッテリレスを実…

スーパークリーンルーム用3軸円筒座標型クリーンロボットです。 低価格、高速搬送、脱調レスを実現した2インチ～300mmウェーハ対応の新型シングルアームロボットです。 急激な負荷変動や急加速でも脱調しないクローズドループ制御を採用し、ロボットの信頼性を更に向上 アブソリュートエンコーダを搭載していることにより、現在の位置を把握、原点復帰後...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

STCR4160SN(クローズドループ制御)

●クローズドループ制御●アブソリュートエンコーダ搭載●バッテリレスを実…

スーパークリーンルーム用4軸円筒座標型クリーンロボットです。 低価格、高速搬送、脱調レスを実現した2インチ～300mmウェーハ対応の新型ツインアームロボットです。 急激な負荷変動や急加速でも脱調しないクローズドループ制御を採用し、ロボットの信頼性を更に向上 アブソリュートエンコーダを搭載していることにより、現在の位置を把握、原点復帰後...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

TSCR3060N（2インチウェーハ搬送）

搬送部の小型化に寄与します。

業界最小クラス、装置の小型化が可能 当社標準比大気ロボット：フットプリント75%（□115x130mm）, 容積比80%ダウン アームの組み合わせにより任意の到達距離の設定が可能...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

自動フォトレジスト塗布・現像装置（コーター・デベロッパー）

低粘度～高粘度レジスト対応！小口径～大口径まで、どのウェハサイズの装置…

ングユニット：1組 ■装置サイズ：（例）1200×1000×1800(Φ4"本体) 　　　　　　　　　 1600×2500×1800(Φ12"本体) ■ウェハ搬送ロボット：1組（ダブルアームクリーンロボット） その他オプション多数！ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

自動リフトオフ装置（メタル・レジスト剥離）Lift-off

高圧ジェットで驚きの剝離能力！当社独自の特殊ノズルで、枚葉による高速処…

能 ■膨潤機能：パイプヒーター or リサイクルによる温調液 ■使用薬液：DMSO、NMPなど各種剥離液 ■装置サイズ：1500×1100×1900(3カップ時、本体) ■搬送方法：ダブルアームクリーンロボット(CLASS1対応) ■消火器システム その他オプション多数！ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

自動等倍露光装置（オートマスクアライナー）Maskaligner

簡単設定、自動平行調整、完全非接触ギャップ管理。オートアライメント機能…

源：超高圧水銀灯(250W，500W)　UV-LED光源も対応可能 ■オートアライメント機能搭載(FAST社製) ■装置サイズ：(例)1200×1200×1900(本体) ■搬送方法：ダブルアームクリーンロボット(Class1対応) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

高田工業所社製量産用枚葉式ウェット処理装置『TWPシリーズ』

リフトオフ・レジスト剥離プロセスによるウエハー表面処理を行う量産用枚葉…

流体ジェット/超音波シャワー等 ・処理チャンバー数：2, 4チャンバー ・処理液：有機系剥離液 ・リンス液 , 純水 ・薬液供給：薬液の循環回収・濾過・温調システム ・ワーク搬送：ダブルアームスカラロボット ・スピンチャック：バキュームチャック 　　　　　　　　※オプションにてメカニカルチャック対応可 ・装置寸法（WxDxH）：1,900x2,700x2,200mm（2チャンバー...

メーカー・取り扱い企業： JFE商事エレクトロニクス株式会社 プロセスソリューション営業部 実装プロセス営業室

スピン洗浄装置　高性能型減圧式スピンコーター HMSC-300A

均一な高精度のコートができる様、技術が盛り込まれています！

m →材質アルミ、アルマイト処理φ300 →回転モーターACサーボモーター3.3KW ○アウターカップ：φ400 SUS304 研磨 ○カップ洗浄機構：洗浄液加圧タンクより圧送 ○ノズルアーム →ステッピングモーター駆動 →ディスペンサー 2系統 ○溶剤雰囲気：バブリング機構 ○乾燥：真空乾燥5×10-4（TOrr） ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

枚葉自動マルチスピンプロセッサー

リンス、乾燥を専用のチャンバーで行うことにより、精密洗浄が可能

スイングアームの仕様は、ケミカル、ブラシ、2流体ジェット、メガソニック等の各種処理アイテムの中から各チャンバー2系統お選び頂けます。本体両側面に薬液供給タンク又は廃液タンク(20L)を2本内蔵可能 【特徴】 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社カナメックス 厚木工場

スピン洗浄装置　卓上型マニュアルスピンコーター MSC-300型

φ2"～φ6"基板対応卓上型マニュアル式！ディスペンサー付

MSC-300型は、φ2"～φ6"基板対応のディスペンサー付卓上型マニュアル式スピンコーターです。ディスペンスアームを2本備え自動で塗布できます。条件設定は操作パネル上のタッチパネルで行います。各処理モード中はタッチパネル上に各モードが表示されます。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

ウェーハ厚さ仕分け機（WTS-01,02型）

シリコンウェーハの厚さ測定を行い、その厚さに応じて並べ替えを行う装置で…

ツインアームロボットを使用することにより効率的な動作が可能になり短時間処理が可能になりました。 測定データはExcelファイルに自動保存します。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム