• MEX金沢2024 TAKAMAZ出展ラインアップ 製品画像

    MEX金沢2024 TAKAMAZ出展ラインアップ

    PR新しいTAKAMAZの提案力にご期待ください!

    2024年5月16日(木)~18日(土)に開催される"MEX金沢2024"への出展予定製品を ご紹介します。 MEX金沢2024にて初お披露目となる 新製品8インチ・シャフト加工CNC精密旋盤「XTL-8」と「XTL-8MY(コンセプトマシン)」 「XTL-8」はシャフトワークに特化したストロークと剛性を保持したマシン。 「XTL-8MY」はXTL-8をベースにM(回転工具)、Y(Y軸)を搭載し...

    • XWT-8(正面)500x500pixel.png
    • XWG-3.png
    • AI B-sort.jpg

    メーカー・取り扱い企業: 高松機械工業株式会社

  • 給水・給湯配管部材『ハードロックS』 製品画像

    給水・給湯配管部材『ハードロックS』

    PRポリブテンパイプ+ワンタッチ継手!ブラックライトでリングが発光します!

    『ハードロックS』は、ワンタッチ接続で安全・簡単・スピード施工が 可能な給水・給湯配管部材です。 挿入確認は段付リングで簡単・確実。差込み確認ラインまでパイプを 挿入し、段付きリングの段差がなくなり平らになると差込み完了です。 また、ブラックライトでリングが発光するため、暗所での確認作業が スムーズにできます。ご用命の際は、お気軽にお問い合わせ下さい。 【特長】 ■ワンタ...

    メーカー・取り扱い企業: バクマ工業株式会社

  • 自立型スピンコーター(スピンコート機)『ACT-700AII』 製品画像

    自立型スピンコーター(スピンコート機)『ACT-700AII』

    □360mm、20インチ基板まで対応の自立型スピンコート機ACT-70…

    アクティブの『自立型スピンコーターACT-700AII』はφ500mm基板まで対応する汎用性の高い手動滴下用の装置です。 1分間の回転数を0~3000の範囲で設定でき、その精度は±2rpm以下ととても良いです。1ステ...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社アクティブ

  • スピン枚葉処理装置(エッチング・RCA・洗浄・現像等) 製品画像

    スピン枚葉処理装置(エッチング・RCA・洗浄・現像等)

    高品質基板を安価に得られるスピン枚葉装置

    ■最新型のUDSスピンプロセッサーをリコメンドします。  ◎弊社内では、「OLD」システムの位置付けです。  ◎《新型》UDSスピンプロセッサーや《新型》Spin Dipプロセッサーを参照下さい。  ◎ミキシング...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社ソフエンジニアリング

  • 4軸同時駆動スピンコーター『ACT-220AII-4axis』 製品画像

    4軸同時駆動スピンコーター『ACT-220AII-4axis』

    生産性UP! 4軸同時駆動の卓上型スピンコート機ACT-220AII-…

    4軸同時駆動の卓上型スピンコート機『ACT-220AII-4axis』のご紹介です。 2軸、3軸、4軸同時処理(起動)が可能で、枚様式でありながら4枚同時にスピンコートできます。 処理する基板が小型(丸基板の場...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社アクティブ

  • 『ME500-2611』 卓上型自動スピン洗浄装置 製品画像

    『ME500-2611』 卓上型自動スピン洗浄装置

    限られたスペースを有効活用!卓上型自動スピン洗浄機です。

    本装置は、対象ワークを手動にてセットしスピン回転により超音波洗浄、純水リンスエアーブロー乾燥を行う卓上型自動スピン洗浄機です。...

    メーカー・取り扱い企業: マック産業機器株式会社 テクノロジーセンター

  • スピンタイプ洗浄装置WULFシリーズ「高精細フォトマスク対応」 製品画像

    スピンタイプ洗浄装置WULFシリーズ「高精細フォトマスク対応」

    機能水を使用したスピン洗浄ユニットを装備!RCA洗浄液に変わる洗浄液・…

    ベルまで有機物・金属イオン・異物を除去可能  ・ワーク上の不純堆積物を高速除去するとともに廃液管理も安全な環境対応ツール  ・RCA洗浄液に変わる洗浄液・洗浄方法の採用  ・機能水を使用したスピン洗浄ユニットを装備  ・洗浄面への洗浄液高速拡散  ・ウォーターマークレス乾燥 【用途】  ・フォトマスク/レチクル/マスクブランクスメーカーでの製品洗浄  ・半導体デバイスメーカーの露...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社渡辺商行

  • ME-5000R 全自動ウエハースピン洗浄装置 製品画像

    ME-5000R 全自動ウエハースピン洗浄装置

    フルオートマティックスピン洗浄装置 300mm/8インチウエハー、ガラ…

    本装置は、ウエハーカセットを本体に手動でセットし、収納されている対象ワークをロボットでスピン洗浄部に送り、スピン回転させながら二流体洗浄・超音波洗浄・N2ブロー乾燥の処理を行い、再びウエハーカセットに収納する装置です。...

    メーカー・取り扱い企業: マック産業機器株式会社 テクノロジーセンター

  • 枚葉式スピンスプレー洗浄装置 SRC-15001 製品画像

    枚葉式スピンスプレー洗浄装置 SRC-15001

    2流体ノズルより高圧純水をスプレー、メガソニックによる仕上げ洗浄!

    浄物を試料台に置き、スタートSWをONにより、試料台は回転を始めると同時にノズルアームが洗浄物の半径をスイングし、2流体ノズルより高圧純水をスプレーします。次にメガソニックによる仕上げ洗浄を行い、スピン乾燥を行います。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...

    メーカー・取り扱い企業: ジャパンクリエイト株式会社

  • アルカリ対応スピン洗浄装置 製品画像

    アルカリ対応スピン洗浄装置

    有機EL基板洗浄に最適!アルカリ対応スピン洗浄装置

    本装置はワークを本体に手動でセットし、真空吸着させスピン回転させながら二液体洗浄、超音波洗浄、N2ブロー乾燥を行う装置です。...

    メーカー・取り扱い企業: マック産業機器株式会社 テクノロジーセンター

  • スピン洗浄装置 スプレー現像装置 SD-8004型 製品画像

    スピン洗浄装置 スプレー現像装置 SD-8004型

    自動および手動運転により、現像、リンス、水洗、スピン乾燥を行います!

    SD-8004型は、4"~8"ウエハーのスピン式スプレー現像装置です。自動および手動運転により、現像、リンス、水洗、スピン乾燥を行います。条件設定は操作パネル上のタッチパネルで行います。各処理モード中はタッチパネル上に各モードが表示されます。...

    メーカー・取り扱い企業: ジャパンクリエイト株式会社

  • ME-1000 枚葉式スピン洗浄装置 製品画像

    ME-1000 枚葉式スピン洗浄装置

    ブラシ洗浄、超音波洗浄、リンス洗浄、N2ブロー乾燥の処理を行う装置です…

    省スペースで、両面洗浄可能なメカグリップ機構の枚葉式スピン洗浄装置です。 メンテナンスが容易で高速、スピン乾燥、N2乾燥、によりウオーターマークを軽減します。(特許第3558543)...

    メーカー・取り扱い企業: マック産業機器株式会社 テクノロジーセンター

  • スピンドライヤー(乾燥機) 製品画像

    スピンドライヤー(乾燥機)

    【デモ機貸し出し可能!】シリコンウエハーやマスク、フィルム基板のスピン

    インチは2キャリアタイプまで。 ・異常振動が発生した場合、自動的に停止します。 ・特殊シールにより回転軸からのパーティクルの発生を防止しています。 ・特殊仕様/ガラス基板、セラミック基板系のスピン乾燥機も製作しています。...

    メーカー・取り扱い企業: ジャパンクリエイト株式会社

  • シングルチャンバー型「ウェハ用多目的スピン・スクラブ洗浄装置」 製品画像

    シングルチャンバー型「ウェハ用多目的スピン・スクラブ洗浄装置」

    1チャンバーで異物・金属汚染を取り除く省スペースな洗浄装置!洗浄方法の…

    各種ウェハの界面活性剤・純水スクラブ洗浄、薬液スプレー、メガソニックスポットシャワー、スピン乾燥までの工程を1つのチャンバーで行う枚葉装置 ◇ シングルチャンバーで完結する省スペース型 ◇ Si(シリコン)、LT(リチウムタンタレート)やSiC(炭化ケイ素)他、   各種ウェハ...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社ゼビオス(XEVIOS CORP.,)

  • 枚葉自動マルチスピンプロセッサー  製品画像

    枚葉自動マルチスピンプロセッサー

    リンス、乾燥を専用のチャンバーで行うことにより、精密洗浄が可能

    カセットをローダーにセットし、耐薬仕様のクリーンロボットにて基板の搬送を行います。 チャンバーAでケミカル処理、チャンバーBでリンス、スピン乾燥し、アンローダにセットしたカセットへ収納する、枚葉自動マルチスピンプロセッサーです。...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社カナメックス 厚木工場

  • 自転式スピンドライヤー 製品画像

    自転式スピンドライヤー

    自転式スピンドライヤー

    試作・少ロット生産ラインなどに最適な自転式スピンドライヤー、OKVシリーズです。 従来のN2置換方式とは異なり、前面扉より環境エアーを取り込む遠心力+吸収エアー乾燥方式を採用しました。 ...

    メーカー・取り扱い企業: 大宮工業株式会社 営業本部営業課

  • 枚葉自動スピン剥離装置 製品画像

    枚葉自動スピン剥離装置

    本体側面に薬液供給タンク又は廃液タンク(20L)を2本内蔵可能

    カセットをローダーにセットし、クリーンロボットにて基板の搬送を行い、剥離処理、リンス、スピン乾燥する枚葉自動スピン剥離装置です。...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社カナメックス 厚木工場

  • 公転式スピンドライヤー 製品画像

    公転式スピンドライヤー

    安全でクリーンな乾燥を実現!スピンドライヤー

    自のバランシングテクノロジーが静かな回転性能を実現 ●イオナイザー、ULPAフィルターを標準装備 ●オプションとして、自動バランス修正機構・ウエハ割れ検出装置を御用意 ●シリコンウエハ以外のスピンドライヤーも対応可能です。ご相談ください。...

    メーカー・取り扱い企業: 大宮工業株式会社 営業本部営業課

  • 多目的処理装置(スピンプロセッサー) 製品画像

    多目的処理装置(スピンプロセッサー)

    洗浄、現像、エッチング等カスタマイズ可能な、低価格多目的処理装置

    溶剤に対応。 ・卓上型なので場所を取らず、低価格にてご提供可能。 【仕様】 ワークサイズ:Φ8インチ、もしくは200×200まで クリーンユニット:HEPAフィルター 洗浄方式:スピン洗浄+ブラシ又はMS選択 回転数範囲:100〜2,000rpm 回転数設定:ボリューム設定 耐酸アルカリ仕様:耐酸、アルカリ用ボディ(PVC)使用 対溶剤仕様:IPA.アセトン等の...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社トービ

  • 超高速回転スピンコーター『ACT-200SM-S』 製品画像

    超高速回転スピンコーター『ACT-200SM-S』

    スピード重視ならMAX6万rpmの超高速回転!スピンコート機ACT-2…

    『ACT-200SM-S』は、1,000~60,000rpm±1%以下(試料台Φ20実績値)の超高速回転が可能な卓上型スピンコーターです。 薬液の揮発性が高くスピード重視、粘性が高めでより強いスピンが必要、さっと広げてごく薄い膜を得たい・・・そのような課題をお持ちであれば是非超高速回転による遠心力をご検討ください...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社アクティブ

  • ウエハー マスク 枚葉スピン洗浄装置 製品画像

    ウエハー マスク 枚葉スピン洗浄装置

    ウエハー マスク 枚葉スピン洗浄装置

    R&D用途に最適な コンパクトなスピン洗浄装置です。 チャックテーブルの交換により 多種多様な基板を洗浄できます。 <主な仕様> 対応ワークサイズ ウエハ φ8インチ(MAX) マスク 6025(MAX) 純水リ...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社カナメックス 厚木工場

  • ロール・スプレーコーターの置き換え!回転カップ式レジスト塗布装置 製品画像

    ロール・スプレーコーターの置き換え!回転カップ式レジスト塗布装置

    多彩な薬液に実績あり!低価格の理由は、設計から販売まで自社で行っている…

    当社の装置はロールコーターやスプレーコーターなどで塗布するような基板でもスピンコーティングで処理をすることができます! 細長い長方形の基板や正方形に近い角基板、段差のある基板や厚膜などでもスピンコーティングで塗布ができる回転カップ式塗布装置です(特許取得済み) ...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

  • スピン洗浄装置 自動フォトリゾ装置 JASC-1200AD型 製品画像

    スピン洗浄装置 自動フォトリゾ装置 JASC-1200AD型

    対象ワークは200mm□基板又はφ300mm基板に適用します!

    自動フォトリゾ装置はカセットからカセットでレジストスピンコート、真空ベーク、アライナー、スプレー現像を自動で行う装置です。勿論工程の選択も出来ます。ローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1人で作業が出来ます。工程間の搬送は多関節ロボットを採用して...

    メーカー・取り扱い企業: ジャパンクリエイト株式会社

  • スピン洗浄装置 高性能型減圧式スピンコーター 製品画像

    スピン洗浄装置 高性能型減圧式スピンコーター

    【デモ機貸し出し可能!】N2置換、溶剤ガス導入、真空状態、等自動で行い…

    高性能型減圧式スピンコーターは、各種基板にレジスト液を自動でスピンコートする装置です。 チャンバー内の雰囲気をコントロールして、均一な高精度のコートができる様、技術が盛り込まれています。 即ちN2置換、溶剤ガス導...

    メーカー・取り扱い企業: ジャパンクリエイト株式会社

  • 自動塗布・露光・現像一貫プロセス装置(フルオートリソグラフィ) 製品画像

    自動塗布・露光・現像一貫プロセス装置(フルオートリソグラフィ)

    レジスト塗布~露光~現像処理を一気通貫。自動で処理可能な装置です。フォ…

    当製品は、スピンコーティング、一括等倍露光、現像処理を自動で行う装置です。HMDS処理、ベーク、クーリング機能を搭載可能。 設計から製造・販売まで自社で行い、コーター、アライナ、デベロッパのフォトリソ装置を...

    • IMG_0008.JPG
    • IMG_0022.JPG
    • IMG_0011.JPG
    • IMG_0069.JPG

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

  • スピン洗浄装置 スピナー MSC-200型 製品画像

    スピン洗浄装置 スピナー MSC-200型

    小型コンパクト・オプションにて10,000rpmに可能!

    ジャパンクリエイト株式会社のスピンナーは数あるスピンナーの中で性能、価格に重視し開発されている製品です。研究所、学校等に使用して頂く実験用のマニュアルスピンナーです。主にシリコンウェハー(ガリ砒素、ガラス、セラミック)等のレジスト...

    メーカー・取り扱い企業: ジャパンクリエイト株式会社

  • スピンドライヤー SFH type 製品画像

    スピンドライヤー SFH type

    【デモ機貸し出し可能!】卓上型で本体が軽量なため移動が容易です

    SFH typeは卓上型のスピンドライヤーです。 特に150mm□以下の基板をカセットに収納し、2カセット又は4カセットを手動でたてに装填し、スピン乾燥を行う卓上型スピンドライヤーです。 蓋にHEPA又はULPAフィルターを...

    メーカー・取り扱い企業: ジャパンクリエイト株式会社

  • 自動スピン洗浄装置 製品画像

    自動スピン洗浄装置

    クリーンユニット搭載の自動スピン洗浄装置

    オプション内容を選んで頂くクリーンユニット搭載のカセット式自動装置(写真はスクラブ洗浄+UV洗浄+ホットプレート) =============================================== <仕 様> ワークサイズ…Φ2インチ〜Φ8インチ 搬送…大気3軸クリーンロボット クリーンユニット…HEPAフィルター 洗浄…ブラシ、MS標準装備 オプション…高圧ジェットノ...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社トービ

  • 2サイズ兼用自動レジストコーター・デベロッパー(塗布・現像) 製品画像

    2サイズ兼用自動レジストコーター・デベロッパー(塗布・現像)

    段取り替え不要、2サイズのウエハ兼用装置です。 低粘度~高粘度レジス…

    当製品は、スピンコーティング、HMDS処理、ベーク、クーリング機能を搭載。 設計から製造・販売まで自社で行っているので、低価格を実現しました! ポジ・ネガレジスト、ポリイミド、SOG、WAX、シリコー...

    • IMG_1106.JPG
    • 300mmウェハコーター3.jpg
    • インチ兼用中.JPG

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

  • Inception 枚葉式スピンプロセッサー 製品画像

    Inception 枚葉式スピンプロセッサー

    R&Dからパイロット生産への移行に適切なInception

    チングレート100Å/Secにおいても優秀なユニフォーミティ ■ 搬送系はマニュアル・自動に対応 ■ 初期投資が抑えられる ■ 省スペース ■ 小ロット生産向け ■ 酸とソルベントのプロセス ■ スピンナーでは実現できない複合的搬送システム ■ エッチングユニフォーミティーはバッチタイプを凌ぐ ■ タンクは2~4基搭載可能 ■ 200mm ウェハまで対応 ■ 個別の薬液系統に対し可動式スプレーア...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社インターテック販売 東京本社(拠点-関西営業所、熊本営業所)

  • 手動スピン洗浄装置 製品画像

    手動スピン洗浄装置

    シンプルデザインの手動スピン洗浄装置

    シンプルデザインの多目的応用手動装置 ==================================== <仕 様> ワークサイズ…Φ2インチ〜Φ6インチ 洗 浄…ディスクブラシ、1.1MS標準装備 オプション…高圧ジェットノズル、薬液ノズル等 電源…AC100v or 200v CDA.…0.5MPA.以上 純水…0.2MPA.以上 その他 恒温水槽内 ...シンプル...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社トービ

  • MAX400℃!高温ベーク対応レジスト塗布装置(スピンコーター) 製品画像

    MAX400℃!高温ベーク対応レジスト塗布装置(スピンコーター)

    BARCやその他薬液をスピン塗布後、MAX400℃でベーク可能!高温ベ…

    当製品は、スピンコーティング、HMDS処理、高温ベーク(MAX400℃)、低温ベーク(MAX200℃)、クーリング機能を搭載。 低温ベークと高温ベークの組み合わせでステップベークも可能です。 レジスト...

    • IMG_0075.jpg

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

  • スピンドライヤー 製品画像

    スピンドライヤー

    スピンドライヤー

    カセットに収納したウェハーを回転による遠心力を利用し、効率の良い乾燥(リンスオプション)を可能にしています。 小口径サイズから大口径サイズまで 1カセット卓上型から4カセット自立型まで各種対応 【特長】 ・小型コンパクト設計 ・高乾燥能力 ◆詳細仕様はカタログをご覧ください。◆...カセットに収納したウェハーを回転による遠心力を利用し、効率の良い乾燥(リンスオプション)を可...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社トービ

  • 大型機・自立型スピンコーター 製品画像

    大型機・自立型スピンコーター

    大型基板にも対応!研究、実験用にも適したアクティブの自立型スピンコータ…

    アクティブのスピンコーターは大型基板にも対応可能です。 対応基板サイズ(カップ径)が大きくなると装置サイズも大きく重くなります。卓上にのせると作業高さが使いにくくなるのもあり、自立型として製作しております。自...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社アクティブ

  • スピン洗浄装置 スプレー現像装置 製品画像

    スピン洗浄装置 スプレー現像装置

    【デモ機貸し出し可能!】一度に数枚のワークを処理できます

    本機はスピン式のスプレー現像装置で、自動および手動運転により、現像、リンス、水洗、乾燥を行います。 一度に数枚のワークを処理できます。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...

    メーカー・取り扱い企業: ジャパンクリエイト株式会社

  • スピンコータ(SSC-01型) 製品画像

    スピンコータ(SSC-01型)

    溶液をスピンコートにより塗布する装置です

    本機械は、シリコンウェーハに、溶液をスピンコートにより塗布し、近赤外線ランプにより乾燥する装置です。...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジャステム

  • 枚葉スピン剥離装置 WSR-200CBT/WSR-300CBT 製品画像

    枚葉スピン剥離装置 WSR-200CBT/WSR-300CBT

    装置寸法:1200W×1100D×2000H (200CBT)/150…

    基板をマニュアルでチャックにセットし、剥離処理、リンス、スピン乾燥します。...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社カナメックス 厚木工場

  • スピンドライヤー SFシリーズ 製品画像

    スピンドライヤー SFシリーズ

    【デモ機貸し出し可能!】シリコン又は化合物半導体ウエハーの少量処理用。…

    又は化合物半導体ウエハーの少量処理用として、コンパクトな卓上型の乾燥用に広く使用されています。 操作は極めて簡単で、ウエハーを回転盤上にセット後、上蓋を降ろし、スタートボタンを押すだけで、安全なスピンドライ仕上げを行います。 詳しくはお問い合わせ下さい。...

    メーカー・取り扱い企業: ジャパンクリエイト株式会社

  • スプレー/パドル兼用 小型スピン現像装置(デベロッパー) 製品画像

    スプレー/パドル兼用 小型スピン現像装置(デベロッパー)

    高品質・低価格・省スペースを追求 スイングスプレー式、パドル方式の両…

    6インチウエハ対応の小型スピン現像装置。スイング式ノズルによるスプレー現像の他、パドル現像も行なえます。 プログラム入力により現像→リンス→振り切りの一連動作を連続して行なうセミオート方式デベロッパーです。...

    メーカー・取り扱い企業: アクテス京三株式会社 技術センター

  • 樹脂製多目的スピンプロセッサ『POLOS』*デモ機貸有り 製品画像

    樹脂製多目的スピンプロセッサ『POLOS』*デモ機貸有り

    1台あればコーティング・洗浄・エッチングなど様々なプロセスに対応ができ…

    コーティング、洗浄、エッチング、それぞれの工程を別機で処理していて工数がかかっていて短縮したい…そんなお悩みをお持ちの方いらっしゃいませんか。 協同インターナショナルの樹脂製多目的スピンプロセッサ『POLOS』が解決します。 1台でコーティング、洗浄、エッチングなど、さまざまなプロセスに対応可能です! またデスクトップタイプ、ミニウェットステーションとタイプも選べます。 ...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社協同インターナショナル

  • 有機溶剤系スピン現像装置 WSD-200T 製品画像

    有機溶剤系スピン現像装置 WSD-200T

    装置寸法:1700W×1300D×1400H

    基板をマニュアルでチャックにセットし、パドル現像、リンス、スピン乾燥します。 本体側面にキャニスター缶を収納可能。...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社カナメックス 厚木工場

  • 省スペース型「スピン洗浄装置(多目的洗浄タイプ)」 製品画像

    省スペース型「スピン洗浄装置(多目的洗浄タイプ)」

    1チャンバー型多目的スクラブ洗浄。1チャンバーで異物、金属汚染を取り除…

    各種サイズ、各種ウエハの、界面活性剤、純水スクラブ、薬液スプレー、メガソニックスポットシャワー、スピン乾燥までを1チャンバーで行う枚葉装置です。 1つの洗浄層の中で洗浄が完結できる省スペース型のためスペースの限られた場所にも適しています。 単機能のスクラブ洗浄装置についてはご相談ください。 ...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社ゼビオス(XEVIOS CORP.,)

  • スピンドライヤー SPD-1200G 製品画像

    スピンドライヤー SPD-1200G

    【デモ機貸し出し可能!】蓋にULP又はHEPAフィルターを内蔵し、クリ…

    本機は、ガラス基板やセラミックス基板、フィルム基板等の乾燥を行う装置です。 乾燥物は、専用カセットに入れた物をスピンドライヤーのローターにカセット枠を設け、其処にセットします。 チャンバー内は回転で陰圧となり、蓋に組み込まれたHEPAフィルターを通過したクリーンの風により、チャンバー内のクリーン度を高め、高品...

    メーカー・取り扱い企業: ジャパンクリエイト株式会社

  • スピンドライヤー 製品画像

    スピンドライヤー

    1キャリアから4キャリア処理まで対応可能。

    自動機組込可能。 ※割れ易い(GaAsなど)ワーク用も有ります。 ※詳しくはPDF(カタログ)をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。...【特長】 ■1キャリアから4キャリア処理まで対応可能。 ■自動機への組込も可能です。 ■割れ易い(GaAsなど)ワーク用もあります。...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社ダルトン

  • スピン洗浄装置 自動フォトリゾ装置 製品画像

    スピン洗浄装置 自動フォトリゾ装置

    【デモ機貸し出し可能!】ローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1…

    自動フォトリゾ装置は、カセットからカセットでレジストスピンコート、真空ベーク、アライナー、スプレー現像を自動で行う装置です。 勿論工程の選択も出来ます。 ローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1人で作業が出来ます。 工程間の搬送は多関節ロボッ...

    メーカー・取り扱い企業: ジャパンクリエイト株式会社

  • 自動フォトレジスト塗布装置(スピンコーター)Coater 製品画像

    自動フォトレジスト塗布装置(スピンコーター)Coater

    レジスト膜の面内均一性やウエハ間の平均膜厚の差が少ないコーターです。低…

    150um)、InP(厚み150um)、LT(厚み120um)など薄い基板の搬送実績も多数あります! 設計から製造・販売まで自社で行っているので、低価格を実現しました! 【特長】 ■スピンプロセスによる膜厚分布の高均一性 ■2~12インチまで対応可能 ■低~高粘度(1.7cP~10000cP)まで対応可能 ■自動ウェハサイズ検知機能 ■多彩な薬液に実績あり ■フットプリン...

    • IMG_1106.JPG
    • 300mmウェハコーター3.jpg
    • インチ兼用中.JPG
    • 回転カップ中6.jpg

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

  • シングルチャンバー型「ウェハ用多目的スピン・スクラブ洗浄装置」 製品画像

    シングルチャンバー型「ウェハ用多目的スピン・スクラブ洗浄装置」

    1チャンバーで異物・金属汚染を取り除く省スペースな洗浄装置!洗浄方法の…

    各種ウェハの界面活性剤・純水スクラブ洗浄、薬液スプレー、メガソニックスポットシャワー、スピン乾燥までの工程を1つのチャンバーで行う枚葉装置 ◇ シングルチャンバーで完結する省スペース型 ◇ Si(シリコン)、LT(リチウムタンタレート)やSiC(炭化ケイ素)他、   各種ウェハ...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社テクニカルフィット

1〜45 件 / 全 167 件
表示件数
45件
  • icadtechnicalfair7th_1_pre2.jpg

PR