ドリル・タッピングマシン/ HS-ASPE社

PR圧倒的な生産性で内径ネジ加工　【動画公開中】

切削or転造タップを使用し、内径のネジ加工を行うタッピングマシン。 世界的なパーツフォーマーメーカーであるイタリア・SACMA社の傘下であるHS-ASPE社が冷間鍛造品の二次加工機として開発しました。 リバーシブルスピンドル仕様のため、貫通ナットだけでなく幅広いワークに対応が可能です。 非常に高い生産能力を誇り、M2-M12のネジに対応するT10-HCの場合、分間200ヶのワーク加工が可能。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ゴーショー

高速5軸ミリングマシン「RXU」+オートメーション「RCS」

PR短時間で高精度加工を実現する高速5軸ミリングマシンに省人化を実現するオ…

ドイツ レダース社製の高速 ミリングマシン「RXU」シリーズは全軸リニアモーター駆動+リニアガイドの仕様で経年変化なく高精度加工します。高速スピンドルを標準装備し超硬等HRC60以上の高硬度材のミリングが可能です。チャックしたまま掴み替えることなく、ミリング加工の後はジグ研削加工(オプション)、機上測定まで一連の工程が可能です。 掴み換えなく1台で完成行程まで行える為、「機械設置面積の削減」「人...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ゴーショー

枚葉式スピンスプレー洗浄装置　SRC-15001

2流体ノズルより高圧純水をスプレー、メガソニックによる仕上げ洗浄！

浄物を試料台に置き、スタートSWをONにより、試料台は回転を始めると同時にノズルアームが洗浄物の半径をスイングし、2流体ノズルより高圧純水をスプレーします。次にメガソニックによる仕上げ洗浄を行い、スピン乾燥を行います。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

スピン洗浄装置　スプレー現像装置 SD-8004型

自動および手動運転により、現像、リンス、水洗、スピン乾燥を行います！

SD-8004型は、4"～8"ウエハーのスピン式スプレー現像装置です。自動および手動運転により、現像、リンス、水洗、スピン乾燥を行います。条件設定は操作パネル上のタッチパネルで行います。各処理モード中はタッチパネル上に各モードが表示されます。...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

ロール・スプレーコーターの置き換え！回転カップ式レジスト塗布装置

多彩な薬液に実績あり！低価格の理由は、設計から販売まで自社で行っている…

当社の装置はロールコーターやスプレーコーターなどで塗布するような基板でもスピンコーティングで処理をすることができます！ 細長い長方形の基板や正方形に近い角基板、段差のある基板や厚膜などでもスピンコーティングで塗布ができる回転カップ式塗布装置です（特許取得済み） ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

スピン洗浄装置　自動フォトリゾ装置 JASC-1200AD型

対象ワークは200mm□基板又はφ300mm基板に適用します！

自動フォトリゾ装置はカセットからカセットでレジストスピンコート、真空ベーク、アライナー、スプレー現像を自動で行う装置です。勿論工程の選択も出来ます。ローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1人で作業が出来ます。工程間の搬送は多関節ロボットを採用して...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

スピン洗浄装置　高性能型減圧式スピンコーター

【デモ機貸し出し可能！】N2置換、溶剤ガス導入、真空状態、等自動で行い…

高性能型減圧式スピンコーターは、各種基板にレジスト液を自動でスピンコートする装置です。 チャンバー内の雰囲気をコントロールして、均一な高精度のコートができる様、技術が盛り込まれています。 即ちN2置換、溶剤ガス導...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

自動塗布・露光・現像一貫プロセス装置（フルオートリソグラフィ）

レジスト塗布～露光～現像処理を一気通貫。自動で処理可能な装置です。フォ…

当製品は、スピンコーティング、一括等倍露光、現像処理を自動で行う装置です。HMDS処理、ベーク、クーリング機能を搭載可能。 設計から製造・販売まで自社で行い、コーター、アライナ、デベロッパのフォトリソ装置を...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

スピン洗浄装置　スピナー MSC-200型

小型コンパクト・オプションにて10,000rpmに可能！

ジャパンクリエイト株式会社のスピンナーは数あるスピンナーの中で性能、価格に重視し開発されている製品です。研究所、学校等に使用して頂く実験用のマニュアルスピンナーです。主にシリコンウェハー（ガリ砒素、ガラス、セラミック）等のレジスト...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

2サイズ兼用自動レジストコーター・デベロッパー（塗布・現像）

段取り替え不要、2サイズのウエハ兼用装置です。 低粘度～高粘度レジス…

当製品は、スピンコーティング、HMDS処理、ベーク、クーリング機能を搭載。 設計から製造・販売まで自社で行っているので、低価格を実現しました！ ポジ・ネガレジスト、ポリイミド、SOG、WAX、シリコー...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

MAX400℃！高温ベーク対応レジスト塗布装置（スピンコーター）

BARCやその他薬液をスピン塗布後、MAX400℃でベーク可能！高温ベ…

当製品は、スピンコーティング、HMDS処理、高温ベーク（MAX400℃）、低温ベーク（MAX200℃）、クーリング機能を搭載。 低温ベークと高温ベークの組み合わせでステップベークも可能です。 レジスト...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

自動フォトレジスト塗布装置（スピンコーター）Coater

レジスト膜の面内均一性やウエハ間の平均膜厚の差が少ないコーターです。低…

150um）、InP（厚み150um）、LT（厚み120um）など薄い基板の搬送実績も多数あります！ 設計から製造・販売まで自社で行っているので、低価格を実現しました！ 【特長】 ■スピンプロセスによる膜厚分布の高均一性 ■2～12インチまで対応可能 ■低～高粘度（1.7cP～10000cP）まで対応可能 ■自動ウェハサイズ検知機能 ■多彩な薬液に実績あり ■フットプリン...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

スピン洗浄装置　フルオートスピンナー JASC-150型

現像液温度精度±1℃。φ4"φ5"φ6"を治具交換にて対応！

JASC-150型は、現像液温度精度±1℃のフルオートスピンナーです。φ4"φ5"φ6"を治具交換にて対応します。高精度のロボット採用により、高スループット化を実現しました。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

厚膜塗布に高粘度専用スピンコーター！自動ポリイミド塗布装置

～10000cP程度の高粘度ポリイミドを均一に塗布する高粘度専用スピン…

プ式） ・少量で塗り広げるプロセスのノウハウ ・少量生産に対応したシリンダ対応ディスペンサーも搭載可能（オプション） ・高粘度材料で難しいEBR（エッジリンス）機能 高粘度ポリイミドをスピン塗布する装置です。高粘度対応ポンプ及び、薬液温調システムを搭載し、高粘度ポリイミドをムラ無く塗布いたします。 ポリイミドの使用温度や保存温度に対応するため、シリンダに対応したディスペンサータ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

厚さ100um！極薄ウェーハ搬送自動レジスト塗布装置　コーター

GaAs、LT、ガラスなどの脆くて薄いウェーハでの搬送・塗布での実績（…

サファイア、Si、セラミックなど多数の基板に対応可能です。 また、薄いウェーハでは塗布時の面内均一性がバラつきやすいですが、チャックなどを工夫することでかなり改善できます。 当製品は、スピンコーティング、HMDS処理、ベーク、クーリング機能を標準で搭載。 お客様のご要望や生産量に応じて、ユニット数の調整やマニュアル機～フルオート機までご提案できます。 設計から製造・販売ま...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

段取り替えなし！複数ウエハサイズ兼用自動レジスト塗布装置コーター

現状のウエハサイズと将来的に使用したいウエハサイズを兼用した装置を作製…

ハ重量、ウエハ材質によっても変わりますので、 まずはお気軽にご相談ください。 2種類のウエハサイズの専用装置を1台ずつ設置することを考えれば、設置面積は実質半分になります！ もちろんスピンコーティング、HMDS処理、ベーク、クーリング機能を標準搭載しています。 マニュアル機～フルオート機まで生産量に合わせたラインアップで、 設計から製造・販売まで自社で行っているので、低価格...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

両面プロセスに最適！両面自動フォトレジスト塗布装置　コーター

ウェハ反転ユニットを使うことでウェハの両面塗布を自動で行えます！

れています。 ウェハの処理が律速しないように最適化した塗布・ベーク・反転の搬送手順で処理を行います。 ポジ・ネガどちらのレジストでも、低粘度～高粘度まで対応可能です。 当製品は、スピンコーティング、HMDS処理、ベーク、クーリング機能を搭載。 設計から製造・販売まで自社で行っているので、低価格を実現しました。 ポリイミド、SOG、WAX、シリコーンなど、多彩な薬液に...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

反りウェハも搬送！ベルト搬送式自動レジスト塗布装置（コーター）

ベルト搬送タイプのトラックシステムスピンコーターです。高スループットで…

ズ認識システム ■多彩な薬液に実績あり ■フットプリントの低減 ■省レジストで多数のオプション ■生産量に合わせたラインアップ ロボットを使わず、高スループットを実現！ベルト搬送でのスピンコーターです。 トラックシステム（ベルト搬送）のため反りウェハの搬送も問題なく行えます。 ロボットは搬送フローの自由度が高いですが、塗布・ベークと決まった搬送フローであれば、並列の搬送...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

フォトリソグラフィー装置　ME-2500

有機EL等の基板製造装置に最適！

基板を受取りスピンコートに手動で搬入され、レジストのスピンコート、EBR装置による洗浄、ベークユニット装置によるプリベーク・ポストベーク及びクリーニングを行い、現像装置により現像を行い、手動で基板の取り出しを行う装...

メーカー・取り扱い企業： マック産業機器株式会社 テクノロジーセンター

インナーカップ式スピンコーター

インナーカップ方式による面内分布の向上と塗布液の軽減 安価な価格設定…

フロンコーティング 　　　　　　　　　（カップ＆インナーカップ内面） ・ 基板固定方法：真空吸着方式 ・ テーブル　　： オプション ※別途サイズ・材質をご相談下さい ・ スピンモータ： ＡＣサーボモータ ・ 回転数 ： MAX２０００rpm （基板サイズ、厚みによる） ・ 回転精度 ： ±2rpm ・ 回転表示 ： タッチパネル上にデ...

メーカー・取り扱い企業： ブルーオーシャンテクノロジー株式会社

株式会社エイブルジャパン　取扱製品 総合カタログ

フォトマスクを洗浄する「マスク洗浄装置」などを紹介します。

ブルジャパン　取扱製品 総合カタログでは、中央に搬送ロボットを設置し、各ユニットを放射線状に配置するタイプの「マスク洗浄装置（自動タイプ）」や、投入された基板に自動で塗布～乾燥まで行う装置「オートスピンコーター」、ウェハーの洗浄を行う装置「スピンクリーナー」、カセット内の基板受渡しを行う装置「LD／ULD」、塗布後の基板を乾燥する装置「UV照射装置」等、多数掲載しています。 【掲載製品】 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイブルジャパン

コンパクト！装置幅300mm自動レジスト塗布装置（コーター）

装置「幅」が300mm！ウェハサイズではなくて装置の幅が300mmの装…

考慮して装置の大きさを決定していただけます。 設置スペースの制限や建物の出入り口の大きさの制限、エレベーターなどの設置位置までの搬送ツールの大きさの制限などに対応できます！ 当製品は、スピンコーティング、HMDS処理機能を搭載。 マニュアル機～フルオート機まで生産量に合わせたラインアップで、 設計から製造・販売まで自社で行っているので、フルカスタマイズ・低価格を実現しました。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

フィルム受託テスト（塗布・洗浄）

短納期・小ロットでも対応可能。 経験豊富な技術者による対応。 50…

トータルソリューション ・お客様のニーズにお応えするために、共同開発や試作加工、小ロットの　特注など柔軟に対応いたします。 【設備ラインナップ】 ・洗浄 　　ロールtoロール式洗浄 　　スピン洗浄 　　炭化水素洗浄 　　減圧乾燥 ・コーティング 　　スリットコーター 　　スピンコーター 　　ロールコーター 　　スプレーコーター ・表面処理 　　大気圧プラズマ処理 　...

メーカー・取り扱い企業： ブルーオーシャンテクノロジー株式会社

薄膜電子部品工程『フォトリソグラフィープロセス装置』

生産設備・研究開発向け！薄膜電子部品工程における一連のプロセスを提供！

電子部品工程 における一連のプロセスを高精度高信頼性で提供するシステムです。 洗浄・コーター・現像・剥離・エッチングなどの生産設備および 研究開発向けの設備を提供します。 「全自動スピンエッチング装置」は、ウエハを1枚ずつ取り出し、 自転させながら薬液を吹き付け、エッチングから乾燥までを 自動処理する装置です。 【特長】 ■薄膜電子部品工程の一連のプロセスを提供 ■...

メーカー・取り扱い企業： 大村技研株式会社

スピン洗浄装置　卓上型マニュアルスピンコーター

【デモ機貸し出し可能！】300mm□ガラス基板対応の卓上型マニュアル式…

卓上型マニュアルスピンコーターは、300mm□ガラス基板対応の卓上型マニュアル式です。 条件設定は操作パネルのタッチパネルで行います。 各処理モード中はタッチパネル上に各モードが表示されます。 詳しくはお問い合わ...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

液晶マスク用スピンコーター

Ｇ２～Ｇ6までの液晶用フォトマスク自動スピンコーター

多種多様なフォトマスクサイズ対応。 幅広い膜形成に対応し、膜厚均一性と安定性に優れ、高い歩留まりを実現したインナーカップ方式の自動マスクスピンコーターです。...

メーカー・取り扱い企業： ブルーオーシャンテクノロジー株式会社

スピンコーター『APOGEE』

リアルタイムに情報をフィードバック！高い再現性＆回転誤差極小のスピンコ…

米国ブリューワーサイエンス社製のスピンコーター『APOGEE』は、 回転精度の再現性、回転誤差ともに＜0.2rpmの高精度を備えた製品です。 独自のデータストリーム技術を採用し、 測定情報のリアルタイムなフィードバックが可能...

メーカー・取り扱い企業： 日星産業株式会社

凹凸面対応のフォトレジストスプレーコーター装置『IS型シリーズ』

半導体・MEMS・センサーデバイスに最適！　　　　　　　　　　　　 …

ングを提供します。 立体（３Ⅾ）サブストレートのコーティングに最適条件の標準化が可能です。また、特殊アトマイジング方式により、最適な微小粒子をコーティングします。 【コーティングの特長】 ■スピンコートで塗布可能な微細凹凸形状に、良好なコーティングが可能 ■ステップカバレッジの良好な薄膜コーティングが可能 ■100nm～100μmの膜厚形成が可能（フォトレジスト・FC触媒膜） ■効率...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エーシングテクノロジーズ 湘南藤沢研究所　

フォトレジスト量削減！回転カップ式塗布装置（スピンコーター）

ポリイミドや高価な高粘度レジストの削減に有効！回転カップ式スピンコータ…

回転カップ式スピンコーターは高粘度材料（ポリイミドや高粘度レジスト）の使用量を大幅に削減できます！ 弊社取得特許により、最小塗布量の薬液を低回転で均一に塗り広げることで、使用量を削減することに成功しました。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

水中不純物・重金属除去装置　『SPM-300シリーズ』

薬液処理や汚物処理の蒸発が可能な環境改善に適した装置

『SPM-300シリーズ』は、微少流量での成膜に適した 成膜コーターです。 塗布材料の塗着効率が高く、従来スプレー方式と比較し 1/2に削減、スピン方式と比較すると1/30以下に削減可能です。 常圧環境で塗布成膜するため、真空環境の設備が不要で 高価な真空設備コストを大幅に削減します。 粒径の大きな固形物が混合されている材料が使...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社浦野技研

スプレーコーター　立体レジスト塗布装置 DC110/DC210

MEMSデバイス及び各種半導体研究用に開発されたスプレーコー夕ー！

DC110/DC210は、はMEMSデバイス、及び各種半導体研究用に開発されたスプレーコー夕ーです。微細粒子化が可能なスプレーノズルにより、サブストレート上の傾斜面、台形や直角頂点部といった従来のスピンナーで塗布が困難であった部分にも均一な膜を形成できます。スピンナーでは実現が難しいキャビティ、ビアホール、トレンチ構造へのレジスト埋め込み塗布も可能です。塗布膜厚は、スピンナークラスの薄膜から超厚...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ナノテック

最先端コーター『ＨＩＴ-IIIＳ』

塗布材料が最大１／３０に削減可能！成膜を効率よく、最小限のコストで行え…

『最先端コーターＨＩＴ-IIIＳ』は、塗布成膜を従来よりも圧倒的な効率で行える装置。 塗布材料を従来のスプレー方式の１／２、スピン方式の１／３０以下に削減可能です。 また、常圧環境で成膜を行えるので、真空環境設備を整える必要がありません。 トータルコストの圧縮に貢献できる最先端コーターです。 【特長】 ■塗布...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ヒットコーポレーション

スピンコーター ACT-300A2 レンタル

株式会社リブテラステクノロジーズでは、アクティブ社製スピンコーターほか…

単位でレンタル可能ですので、必要な期間だけご利用可能です。 突発的なプロジェクトや、共同研究先での利用など必要な時に必要な期間だけすぐにご利用いただけます。 その他レンタル取り扱い機種 スピンコーター　ACT-300A2 接触角計　DMs-401 UVオゾン洗浄装置　UVS401Y UVS1101N ハンディタイプUV硬化装置　UVKH2501N...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社リブテラステクノロジーズ

レンタル専用スピンコーター（卓上タイプ）

業界初！レンタル専用スピンコーター 簡易インナーカップ方式 小型・…

業界初！レンタル専用スピンコーター 受託加工（成膜・塗工）も対応可能 対応基板サイズ（MAX）：250mm□・300mmウエハ 対象ワーク：ガラス基板・シリコンウエハ・フィルム 貸出期間：15日間～1年間以上 テ...

メーカー・取り扱い企業： ブルーオーシャンテクノロジー株式会社

スピンコーター（有機EL用）

装置ラインナップ スリットコーター、スピンコーター、ディップコーター…

【装置ラインナップ】 　スリットコーター、スピンコーター、ディップコーター、卓上コーター 【コーターの特徴】　　 ・10mm□～G8基板サイズまで可能です。 ・薄膜から厚膜（1～500μm程度）まで均一性に優れた塗布精度の高いコーターです...

メーカー・取り扱い企業： ブルーオーシャンテクノロジー株式会社

【デモ機貸出中！】卓上型スピンコーター

省スペースなスピンコーター　排気装置もこの一台に内包　インナーカップ方…

『卓上型スピンコーター』は、平滑な基材を高速回転させることで遠心力によって塗膜を生成する装置。主に半導体製造工程で活躍します。 塗布サイズはMAXφ150～MAXφ450（卓上型／インナーカップ方式）をラ...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

MEMS・半導体パッケージ用塗布装置

最先端のMEMS・半導体パッケージプロセスをはじめ、各種実装プロセスに…

μmレベルの薄膜・厚膜形成が可能 ・塗布事例：薄膜・厚膜・凹凸・貫通穴への精密コーティング ・装置の販売及び実験、受託テストも行えますのでお客様の用途、環境に合わせてご提案致します。 【スピンレス塗布装置】 ウエハ・ディスクなどの円形基材に塗工液を無駄にせず非接触で一括塗工できるコータです。 高粘度液や厚膜などスピンコータでは難しい塗工が可能です。 【精密スプレー塗布装置】 ...

メーカー・取り扱い企業： ブルーオーシャンテクノロジー株式会社

スプレーコーター　ACingTec　IS-8型

立体構造デバイス用インライン式スプレーコーター

【特長】 　●微細な凹凸立体形状に均一なコーティング可能 　●10nmから数100μmの広い範囲の応用が可能 　●コーティング液の利用効率が高い（従来スピンコートの数十倍程度） 　●エッジカバーの良好な薄膜コーティングが可能 　●高メンテナンスを実現 【仕様】 　●4インチ、6インチ、8インチウエハーサイズ　（他形状にも対応） ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エーシングテクノロジーズ 湘南藤沢研究所　

スピン洗浄装置　高性能型減圧式スピンコーター HMSC-300A

均一な高精度のコートができる様、技術が盛り込まれています！

高性能型減圧式スピンコーターは、各種基板にレジスト液を自動でスピンコートする装置です。チャンバー内の雰囲気をコントロールして均一な高精度のコートができる様技術が盛り込まれています。即ちN2置換、溶剤ガス導入、真空状態...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

自動フォトレジスト塗布・現像装置（コーター・デベロッパー）

低粘度～高粘度レジスト対応！小口径～大口径まで、どのウェハサイズの装置…

テム ■多彩な薬液に実績あり ■フットプリントの低減（省スペース化） ■レジスト削減で多数のオプション ■生産量に合わせたラインアップ 【ASAPのコーター・デベロッパー機能】 ●スピンコーティング ●HMDS処理 ●ベーク ●クーリング ●現像 ●リンス 設計から製造・販売まで自社で行っているので、低価格を実現しました！ 【ASAPの特長・実績】 ●ポジ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

角基板対応自動レジスト塗布・現像装置（コーター・デベロッパー）

低粘度～高粘度レジスト対応！どのウェハサイズの装置も作製可能です！

当製品は、スピンコーティング、HMDS処理、ベーク、クーリング機能を搭載。 設計から製造・販売まで自社で行っているので、低価格を実現しました！ ポジ・ネガレジスト、ポリイミド、SOG、WAX、シリコー...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

大型角基板用（～430mm）回転カップ式自動レジスト塗布コーター

430mm角までの大型基板を隅まで均一良く塗ることができます！正方形、…

角基板は正方形、長方形などあらゆる形状のものを均一に塗布できます。 また、弊社の回転カップ式スピンコーターでは、ある程度の段差も気にすることなく均一に塗ることができます（高粘度で実績多数！） 当製品は、スピンコーティング、HMDS処理、ベーク、クーリング機能を搭載。 マニュアル機～...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

半自動レジスト塗布装置(セミオートスピンコーター)Coater

低～高粘度レジスト対応！どのウェハサイズの半自動機（セミオート）も作製…

当製品は、スピンコーティング、HMDS処理、ベーク、クーリング機能を搭載。 設計から製造・販売まで自社で行っているので、自動機を買うには手が届かないというお客様や小ロットのため自動機まではいらないというお客...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

スピンコーター（MAX200mm□）

精密塗布スピンコーター オープン式卓上タイプ 研究開発・R＆D用途…

フロンコーティング 　　　　　　　　　（カップ＆インナーカップ内面） ・ 基板固定方法：真空吸着方式 ・ テーブル　　： オプション ※別途サイズ・材質をご相談下さい ・ スピンモータ： ＡＣサーボモータ ・ 回転数 ： MAX６０００rpm （基板サイズ、厚みによる） ・ 回転精度 ： ±2rpm ・ 回転表示 ： タッチパネル上にデジ...

メーカー・取り扱い企業： ブルーオーシャンテクノロジー株式会社

卓上スピンコーター

精密塗布スピンコーター オープン式卓上タイプ 研究開発・R＆D用途…

フロンコーティング 　　　　　　　　　（カップ＆インナーカップ内面） ・ 基板固定方法：真空吸着方式 ・ テーブル　　： オプション ※別途サイズ・材質をご相談下さい ・ スピンモータ： ＡＣサーボモータ ・ 回転数 ： MAX９０００rpm （基板サイズ、厚みによる） ・ 回転精度 ： ±2rpm ・ 回転表示 ： タッチパネル上にデジ...

メーカー・取り扱い企業： ブルーオーシャンテクノロジー株式会社

10000cP！高粘度対応自動レジスト塗布装置（スピンコーター）

10000cPのポリイミドやレジストにも対応可能！ASAP（エイ・エス…

±5％以内に納めます（φ300mmウェハ） ASAP(エイ・エス・エイ・ピイ)特許の回転カップ方式によって厚膜を均一良く塗布することが可能です（保有特許：第3821468） 当製品は、スピンコーティング、HMDS処理、ベーク、クーリング機能を搭載。 マニュアル機～フルオート機まで生産量に合わせたラインアップで、 設計から製造・販売まで自社で行っているので、低価格を実現しました...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

R&Dや少量生産に最適！手動レジスト塗布装置(スピンコーター)

研究・開発、小ロット対応のマニュアル装置！卓上タイプとは違う自動機と同…

当製品は、スピンコーティング、HMDS処理、ベーク、クーリング機能を搭載。 設計から製造・販売まで自社で行っているので、装置の低価格を実現しました♪ 自動機を買うには手が届かないというお客様や小ロット...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ