空気圧駆動圧力制御弁　AS260【サーボミニコンポ】

PR空気圧駆動　アンプ・圧力センサ内蔵型圧力制御弁

当社の『アンプ・圧力センサ内蔵型圧力制御弁AS260シリーズ』のご紹介です。 ある程度大きな流量を比較的ゆっくりとした応答で圧力制御を行うことに適した とても使い勝手の良いお勧めの新製品です。 精密な遠隔操作が可能な他、ブースタと組み合わせて精密大流量弁とすることもできます。 ■特徴 ・ノズルフラッパ型空気圧サーボ弁、圧力センサ、アンプ（制御基板）を一体化した圧力制御弁 ・電気信号に比例してパ...

メーカー・取り扱い企業： ピー・エス・シー株式会社

コリオリ式マスフローコントローラ/メータ　Quantimシリーズ

PRコリオリ式微小流量の測定と制御の業界標準！幅広い流量レンジで液体・ガス…

『Quantimシリーズ』は、微小流量のガス/流体測定や制御において、高い 精度とゼロ安定性を実現するコリオリ式マスフローコントローラ/メータです。 特許取得済みのコリオリ式センサは、流体のタイプやプロセス変動に関係なく、 低流量の測定が可能。 その結果、条件が変化する場合でも、精度、安定性、繰り返し性、再現性の 高いマスフロー測定と制御を実現し、卓越したパフォーマンスを提供しま...

メーカー・取り扱い企業： ITWジャパン株式会社

マクミラン　超高純度用　薬液流量センサ　Ｍodel　Ｕ７０９

モデルＵ７０９は腐食性の液体を７ｍＬ／ｍｉｎの低流量から１０００ｍＬ／…

モデルＵ７０９シリーズは、腐食性の液体を７ｍＬ／ｍｉｎの低流量から〜１０００ｍＬ／ｍｉｎの流量まで５種類の測定レンジによりにカバーする流量センサです。 間欠運転または、連続運転の液体を精度良く測定できる流量センサです。ポンプ吐出時間５００ｍｓｅｃ、吐出量１ｍＬからの液体を検出できます。 接液部の材質はテフロン、カルレッツ、サファイアで...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

マクミラン　薬液用流量センサ　Ｍｏｄｅｌ　１０６シリーズ

１５ｍＬ～１０Ｌ/ｍｉｎまで精度良く計測出来る流量センサです。 ＰＴ…

モデル１０６は低粘度の液体を１５ｍＬ／ｍｉｎの低流量から１０Ｌ／ｍｉｎの大きな流量まで測定できるセンサです。 ベルトン型のマイクロタービンホイール（特許）を採用し優れた再現性で長期にわたる正確な計測が可能となります。ウルトラクリーン用途に適応したデザインになっておりパーティクル発生がありません。...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

通電状態と閾値監視　PAL-Only

小規模設備などで電流を計測していないフィーダーに通電状態と閾値監視を低…

◎センサを取付けるだけで、通電状態が一目でわかる（緑色LED点灯）、 　さらに、電流がブレーカの80％を超えたら注意喚起する（赤色LED点灯） ◎センサは通電状態でも取付可能 ◎接続ユニット...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社トリコ 東京支店

高分解能　渦電流センサ

高温・真空・水油が飛び散るなど環境で活躍！高分解能渦電流変位センサ

金属の厚み測定や回転体の軸ブレ測定などに使用されます。 ピエゾアクチュエーターと組み合わせて使用すれば、精密位置決めも可能になります！ 産業界や半導体業界で長く愛用されてきたLion社渦電流センサを 是非、一度お試しください！！...

メーカー・取り扱い企業： 翔栄システム株式会社

セトラ社　腐食性ガス対応　微圧センサ　２０１

接ガス部はインコネル６００シリーズとＳＵＳ３１６を採用し全溶接構造で堅…

モデル２０１は耐食性の微差圧トランスミッタです。 接ガス部は全溶接構造でリークの心配がない構造になっています。 接ガス部の材質はインコネル６００シリーズを採用、継手部はＳＵＳ３１６を採用して耐腐食性に優れます。ローコストで微圧の計測を行う事が出来ます。 補償温度範囲も－７℃～８０℃と広く作られ厳しいアプリケーションで長期の安定性に優れます。 精度　±０．５％ＦＳ 一方向レンジは０～１０ｋ...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

高分解能　静電容量センサ

高分解能　静電容量センサ

標準品でレンジ10nm〜6000nm(6mm)まで対応！測定する材質を選びません！非導体でも測定できます。 ウェハーの厚み測定や精密な位置決め装置として使用されます。分解能0.2nmの高分解能で、超微細な測定に向いています！！...標準品でレンジ10nm〜6000nm(6mm)まで対応！測定する材質を選びません！非導体でも測定できます。 ウェハーの厚み測定や精密な位置決め装置として使用されます...

メーカー・取り扱い企業： 翔栄システム株式会社

純水昇圧装置

工場内純水供給圧を増強させ、圧力不足を解消！さらに、純水供給圧力変動を…

LEVIBOOST 75（75 l/min） １．ポンプシステム BPS-600 Levitronix ２．空冷モジュール ACM-600.2 Levitronix ３．圧力センサ サーパス工業 ４．ハウジング Levitronix ５．漏液センサ Flowline LEVIBOOST 140（140 l/min） １．ポンプシステム BPS-4 Levit...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社SCREENファインテックソリューションズ

ブロードモーションセンサ

低周波振動から機械振動までを1つでカバー

傾斜を含むDC成分および振動数0.1Hz ～ 1000Hzまでの加速度0.1gal ～ 6Gを3軸出力するIMVオリジナルセンサーです。...

メーカー・取り扱い企業： ＩＭＶ株式会社

非接触リニアポジションセンサー

半導体製造装置向け　真空でも使用可能+高精度

Temposonics アブソリュートリニア変位センサは、劣悪な環境下でも高速応答性能、正確性、耐久性を兼ね備えています。世界の多くのメーカーが、消費電力、CO2削減、コスト低減の為、機械を効率良く動作させ、サイクルタイムを短く、また、ダウンタイムを...

メーカー・取り扱い企業： Temposonics

マクミラン　マスフローセンサ　Ｍｏｄｅｌ　５０シリーズ

０～２０　ｓｃｃｍ/ｍｉｎの微小から０～５００ｓｌｍ/ｍｉｎの大流量レ…

ズは、クリーンでドライな気体を０～２０ｓｃｃｍ/ｍｉｎのような小さい流量から０～５００ｓＬｍ/ｍｉｎのような大きな流量まで、計測精度±１．５％ＦＳで１４種類の計測レンジでカバーしています。流量検知センサは、サーマルマスフローセンサ（特許）を採用する事により最小のゼロドリフトを実現し、長期に渡る優れた安定性、再現性、高速応答性を実現しています。全てのモデルはＮＩＳＴにトレーサビリティが確保されてい...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

高温炉用熱電対(半導体製造装置向け)「高精度な温度測定機能」

高精度な温度測定機能により、熱処理工程の温度制御に好適！

高温炉での熱処理工程の温度制御・温度測定用センサとしてご使用頂いております。 【特徴】 　・新品の製作はもちろん、お使いの各種熱電対の改鋳も承っております 　・専用のクリーンルームにて生産しています 　・高精度を実現します 　　厳...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社渡辺商行

小型圧力ゲージ　ＰＧ−２０

半導体のガス供給系の集積化システムに対応した小型圧力ゲージ

クへの着脱が容易 ■視認性に優れた3・1／2桁LEDデジタル圧力表示 ■配管の方向に合わせて表示部の回転が可能 ■スイッチ出力（NPN／PNP）、電圧出力、電流出力の選択が可能 ■センサ素子と継ぎ手は電子ビーム（EB）溶接による一体構造 ■RoHS指令に対応・CEマーキング適合、UL認証取得予定 ＜主な仕様＞ 1.定格圧力レンジ：0.5MPa、1MPa(正圧／連...

メーカー・取り扱い企業： ニデックコンポーネンツ株式会社 (旧社名: 日本電産コパル電子株式会社)

テープ剥がし機

テープ剥がし機

剥離後同一カセットに排出します。 ■薄厚ワーク対応■ 独自の剥離機構と全面吸着テーブルの採用によりウエハへのストレスを最小限に抑え、薄ウエハにも対応可能。 ■リトライ機能■ 離動作後、センサーにより剥離確認を行います。NGの場合再び剥離動作に入り、剥がし残しを防ぎます。（回数設定可） ■アライメント機能■ 剥離前にアライメントテーブルにて、オリフラ・ノッチの角度位置合せとセンタリ...

メーカー・取り扱い企業： 大宮工業株式会社 営業本部営業課

高性能のまま低価格を実現！『単結晶育成引上工程用ロードセル』

【ＣＺ法単結晶育成装置用】種付けから回転引上げ、インゴット完成まで重量…

初期工程と自動直径制御(ADC)に使用される高性能ロードセルです。 回転しながら成長する単結晶の重量を正確に安定した電気出力に変換します。 チョクラルスキー(CZ)法による引上げ装置の重要なセンサとして使用できるよう、ロードセル検出部には独特の荷重センサを用いました。 ロードセルの使用温度範囲では補償回路の働きにより、ロードセル自体では冷却用の不活性ガスを必要としません。 【特長】...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テンサー センサーシステム事業部

精密卓上型半自動テーピング装置

幅広いテープ幅・リール径に対応し、多品種・少量生産にも最適

ｍ対応 　リール径は１７８〜４２０Φ標準（７００Φはオプション） ●多品種・少量生産に最適 　品種交換はレールのスライド・コテ・ガイド・アダプターリングの交換で簡単にできます。 ●挿入ミスセンサ装備 　部品の挿入ミス（浮き）・有無（歯抜け）をセンサが検出 ●低ランニングコスト ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社極東商会

SAL3481HV(マルチワークアライナ)

ウエーハ材質に影響を受けない新型アライナ

対応した100～200mm新型アライナ。 シリコンウェーハ、シリコンウェーハBGテープ（乳白色）付、透明、半透明ウェーハなどウェーハ材質に影響を受けずにアライメント可能 独自開発のイメージセンサを使用し、モータドライバ、コントローラを本体に内蔵 ウェーハサイズ、材質にあわせてスピンドルの径、形状、材質の変更も対応可能 ベルヌーイスピンドルも搭載可能 制御方式:RS232C及びパラレ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

SSY-10010　EFEM

EFEM

Z軸ストローク500mmの採用によりカセットを上下2段に配置可能 ロボットに反転軸を搭載することにより、下面処理の場合でも、処理面に接触することなく搬送が可能 リストブロック部にマッピングセンサを搭載し、カセット内のウェーハを検出 開閉ドアは開閉検出センサを設け、ロボット動作中はロックされ安全面にも配慮 ガラス(透明ワーク)対応アライナ搭載(SAL3361GR) お客様の装置との取...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

SAL30J1HV

ノッチレスウェーハにも対応した450mm新型アライナ

450mmシリコンウェーハの外周とT7コード又はノッチを基準に高速、高精度に位置決め 独自開発のイメージセンサを使用し、モータドライバ、コントローラを本体に内蔵 スピンドル形、形状、材質の変更にも対応可能 制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O 450mmと300mmの兼用タイプも製作可能 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

Druck モジュール式圧力コントローラPACE

【今なら延長保証キャンペーン実施中】業界最速クラスの圧力校正器。モジュ…

DruckのDPI5xx シリーズで実績のある完全デジタル制御方式を踏襲、更なる改良を加え高い制御安定性と高速応答を実現しています。新しいピエゾ抵抗式センサを採用することで、計測への更なる高精度化と長期安定性、また高い制御安定性を同時に実現できる圧力コントローラです。 各種試験プログラムも設定できます。詳しくはカタログをご覧いただくか、お問合せ...

メーカー・取り扱い企業： 日本ベーカーヒューズ株式会社＆ベーカーヒューズ・エナジージャパン株式会社　 （旧）GEセンシング＆インスペクション・テクノロジーズ株式会社　＆　GEエナジー・ジャパン株式会社

隔膜式真空計（バラトロン真空計）

150℃/200℃対応！バイオ医薬品製造に最適な隔膜式真空計。

0℃対応！　バイオ医薬品製造、半導体製造プロセスに最適なバラトロン真空計 バラトロン631Bは、高温制御型真空計を10年以上にわたり供給してきたMKSの最新コンパクトモデルです。 センサ内部を高温に保持し、プロセス副生成物のセンサへの堆積を防止することにより、ドリフトを低減し精確で長期安定性を持つ圧力測定を実現します。 150℃もしくは200℃の温度制御を選択できる631B...

メーカー・取り扱い企業： 日本エム・ケー・エス株式会社

マントルヒータ　Mantle heater

配管部品の均一加熱を実現！CVDエッチング・アッシング装置に適していま…

、 クロス材質も複数ご用意しているので、ご希望の仕様で製作が可能。 （400℃以上のご希望の際はご相談ください。） また、サーモスタット、ヒューズ等の過昇温防止素子、及び熱電対、 Ptセンサ等の温度制御素子の取り付けなどオプションで承ります。 【特長】 ■最高使用温度400℃（高温用は別途ご相談） ■被加熱物との良好な密着性を確保 ■発熱線を高密度に実装し、温度均一性を向...

メーカー・取り扱い企業： ワッティー株式会社

ＡＬＤプロセス用高速高耐久バルブ『TDFシリーズ』

高速開閉・高い応答安定性！特殊面間寸法や弁形状、耐腐食性材料ボディなど…

ルブ応答時間18ms、耐久回数後の応答安定性±2msを実現 （※当社試験方法実績値） ■アクチュエータへの熱伝導を低減する構造を採用し 　最高220℃までの高温流体に使用可能 （※電磁弁・センサ搭載時は最高200℃まで） ■熱影響を考慮した構造及びシート素材の採用により220℃時 Cv0.5を確保 （※Cv値　初期値誤差、使用時変動率 ±5％以内） ■当社独自技術により220℃高温...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

手動厚さ測定機（STM-07型）

φ２”、φ４”またはφ６”サイズの化合物半導体ウェーハの厚さ測定

本機械は、φ２”、φ４”またはφ６”サイズの化合物半導体ウェーハの厚さ測定を、手動操作にて行う装置です。 厚さ測定は、光学センサを用い、ウェーハ単体は挟み込み測定、定盤貼付けウェーハは片側測定にて行います。 それぞれの測定を行うため、測定ステージは2種類用意しセンサを付け替えて測定します。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム

タクトタイムの大幅削減と微細塗布を実現！新型超精密ディスペンサー

連続塗布でタクトタイムを大幅削減！高精度な微細塗布も可能にする新型超精…

：ネットワーク処理速度が16倍向上（理論値） ■タクトアップ：処理速度の向上によりタクトタイムが大幅に削減 ■GUIアイコン化：直感的にスクリーン操作可能 ■より多くのワークに対応：同軸変位センサの標準搭載 ※詳しくは資料をダウンロードいただくか、お問い合わせください...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社進和 メカトロシステムセンター

キャパシタンスゲージ『M-342DG』

質量は200gと軽量でサイズもコンパクト！外部環境から受ける影響を最小…

-342DG』は、高精度で安定した圧力測定、 最小限のゼロ点調整頻度を実現した隔膜真空計です。 質量は200g、サイズはW46mm×H49mm×L106mmと軽量でコンパクト。 圧力センサ部に新開発の小型シリコンMEMSチップを採用し温度や振動、 気圧変動などの外部環境から受ける影響を最小限に抑えました。 【特長】 ■高精度で安定した圧力測定 ■優れたゼロ点安定性 ...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

プレスコントロール付マニュアルプレス 300シリーズ

確かな測定とQCデバイスを実現

【特長】 ●ロードセルとストロークセンサによる制御を実現 ●全行程の推力／ストロークを測定 ●コントロールPCソフト対応 　USBインターフェイス付 ●外部センサー取付によりポカよけが可能 ●電子制御リターンロック（パテント）...

メーカー・取り扱い企業： 仲精機株式会社

SAL2041（エッジグリップ仕様）

ウェーハ用アライナ

リフラのみ仕様）/厚み 1mm以下（反り無し） 位置決め時間 オリフラサーチ 5秒以内（持ち直し無の場合） 位置決め精度 センタリング：±0.2mm以内 オリフラロケート：±0.3度以内 センサ 赤色LED透過式センサ ウェーハ保持方式 ウェーハグリップアームによるエッジグリップ方式 クリーン度 0.1µm/cf クラス1（駆動部排気時） 駆動方式 小型ステッピングモータを各軸に使...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

真空対応 位置決めテーブル ＜VT＞

真空対応 位置決めテーブル ＜VT＞

真空度（：到達 5×10-5Pa）対応の汎用型ＸＹ位置決めステージです。 【特長】 　◇真空対応ステッピングモータを採用（自社製） 　◇真空対応フォトセンサを採用（自社製） 　◇真空グリースの銘柄指定可、ノングリースも対応可 　◇汎用型のステージとの互換性が高く、大気→真空仕様への移行が 　　スムーズです。 　◇真空環境下以外でも、高温環境や...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社メガトラスト MEGA-TECH Formations 豊玉事業所

高温用磁気浮上型ベアリングレスポンプ BPS-4H

Better Pumps for Better Yields !

は、コントローラに手動で速度を設定する操作パネルが組み込まれ、アナログ信号で速度を設定するPLCを省略できます。拡張型は、PLCインターフェースが内蔵され、外部信号で速度を設定、または、流量や圧力センサを用いた精密な流量または圧力制御が可能です。 詳しくはお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： Levitronix Japan株式会社

FOUPロードポート『TAS450』

ロードポートは新たなステージへ。可動部はパーティクル性能を向上させた構…

ます。 【特長】 ■SEMI Standard E154 ■可動部はマッピングユニットを含め全てウエハ面下方にあり、 　パーティクル性能を向上させた構造 ■マッピングユニット（透過型センサ）をオプションにて取り付け可能 ■FOUP ドック時の障害物検出機能を搭載 ■FOUP 在荷時のFOUP有無、及び正常載置検出機能を搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお...

メーカー・取り扱い企業： TDK株式会社 テクニカルセンター

2020版 薄膜作製応用ハンドブック

｢21世紀版薄膜作製応用ハンドブック｣から17年、基礎を押さえつつ、新…

　1章 薄膜・表面・界面の分析評価法 　2章 薄膜分析・評価対象各論 第4編 薄膜技術の応用と展望 　1章 電子デバイス 　2章 光部品 　3章 ディスプレイ 　4章 記録 　5章 センサ 　6章 環境・エネルギー 　7章 有機・バイオデバイス 　8章 二次元材料・デバイス...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エヌ・ティー・エス

水量コントローラー「FCV」

流量センサとバルブの機能を一体化させ、冷却水等の水量をマイコンにより自…

■ マイコン制御による流体流量のコントロール。流量設定値に合わせて、バルブ開度を自動調節。 ■ ＬＣＤ/ＬＥＤ表示機能により、流量/設定値/制御状態を確認できる。 ■ 流量に対する警報設定が可能。 ■ 全閉入力により、バルブを全閉することが可能。 ■ ユーザー機器との接続に便利な各種レベルの入出力信号の供給が可能。プロセス制御に応用できる。...■ マイコン制御による流体流量のコントロール...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社リガルジョイント

【半導体製造装置関連】インプリント装置

モールドをワークに転写する装置。 つくば産総研・ミニマルファブ技術…

定可能とすること レプリカモールド 材質 PDMS熱可塑性樹脂 サイズ φ１２．５mm 固定方法 押さえ部品により，機械的に固定可能とすること 転写機構部 駆動源 パルスモータ 荷重センサ 圧電素子 (分解能1 N) 荷重 最大 １kN まで設定可能とすること 荷重設定 パラメータ入力 （最大１KN） 加圧分解能 0.1 μm...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ライズワン

半自動ガス切替装置

簡単な操作で、途切れることなくガスを供給

とがない ■系列切替時に電磁弁等の電気を使用しないため 　水素などの可燃性ガスにも使用可能 ■豊富なオプションをご用意 　・ガスボンベの本数追加(2×2から必要に応じて) 　・圧力センサ、トランスミッタ追加 　・エアー駆動バルブ、電磁弁による自動制御 　・計装シーケンス制御 　・切替、異常等の遠方警報出力 □その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 川口液化ケミカル株式会社 川口事業所

3Dチャートによる高速・高精度カメラ検査技術【技術資料進呈】

カメラモジュールのアクティブアライメントの新技術、3Dチャートを使用し…

イメージセンサとレンズの位置決めを行うアクティブアライメントに現行は２Dチャートを用い、数回、撮像することでフォーカスを合わせる手法がとられています。 そこに３Dチャートを用い、前面と奥行きのフォーカスを一度...

メーカー・取り扱い企業： CCTECH Japan CCTECH Japan（株）- 　日本法人

手動式ウェーハ厚さ測定機（STM-05型）

φ100mm～φ150mmのSi、SiC等ウェーハの厚さ測定

本機械は、φ100mm～φ150mmのSi、SiC等ウェーハの厚さ測定を、手動操作にて行う装置です。 厚さ測定は、高精度接触式デジタルセンサを用い、片側測定にて行います。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム

手動式ウェーハ厚さ測定機（STM-06型）

φ4"以下の各種素材ウェーハの厚さ測定

本機械は、φ4"以下の各種素材ウェーハの厚さ測定を、手動操作にて行う装置です。 厚さ測定は、共焦点色収差センサを用い、片側測定にてブロックゲージまたは基準ウェーハとの差により、測定対象ウェーハの厚さ測定を行います。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム

落とし込みチャック

反りのあるウェーハなど吸着チャックでリークするウェーハの搬送に適してい…

用チャックです。 ウェーハの自重によってテーパ状のガイドを利用し、一定範囲にウェーハを落とし込み保持します。 外周から接触制限のあるウェーハをお求めやすい価格で搬送 オプションで基板有無センサを付ける事によってウェーハの有無を確認（大気使用時）...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

SiCウェーハ厚さ測定機　(TME-05型)

ガラス板に貼り付けられたSiCウェーハの厚みと接着剤の厚み測定及び、S…

・厚さは、光学式プローブ/センサにて非接触測定します。 ・ポーラスチャック式ウェーハステージを採用し、薄いウェーハを均一に保持します。 ・測定データは、付属パソコンのモニタ表示の他、CSV形式で保存します。またグラフィカル表...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム

プレート上ウェーハ厚さ測定機 (TME-12型)

セラミックプレートに貼り付けられたウェーハの厚さを光学プローブ/センサ…

測定したデータは、付属パソコンにて保存とグラフィカル表示が可能です。 プレートに貼り付けているウェーハの厚さを測定し、研磨前と研磨後の研磨状態をプレートに貼り付けた状態で確認できる装置です。...・ワークのセットと取り出しは作業者が行うシンプルな構成の測定機です。 ・測定データは、付属パソコンでCSV形式での保存とグラフィカル表示が可能です。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム

厚さ測定機 (TME-11型)

本機械はφ8”シリコン製ウエハの厚さ測定を行う装置です

・前機種TME-06型より、操作性と機構等改善を行いました。 機構はシンプル化を行い、操作性はオペレータの利便性を優先項目として改善を行いました。 ・3種類のセンサを設けて多種多様な測定が可能になりました。 ・SECS通信、HSMS通信によるHOST通信に対応しています。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム

外観検査装置（SWL-05）

φ8インチシリコンウェーハの外観目視検査と厚さ測定を行う装置です

・JOGスティック操作により目視検査が簡単に行えます。 ・ノッチ位置によるアライメントを行い静電容量センサを用いて挟み込み測定を行います。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム

GCR4210SN(クローズドループ制御)

・クローズドループ制御 ・アブソリュートエンコーダ搭載 ・バッテリ…

ドループ制御を採用し、ロボットの信頼性を更に向上 アブソリュートエンコーダを搭載していることにより、現在の位置を把握、原点復帰後動作にかかる時間を短縮 バッテリ不要な機械式多回転アブソリュートセンサを搭載 従来機と互換性（取付互換、性能互換）があり、載せ替えが可能 ロボットのみで2FOUP対応可能 装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択への固定方法を選択可能 ベルヌ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

P/N判定、比抵抗測定仕分機（CJT-01型）

Siウェーハの厚さ測定、表裏面P/N判定

・測定前にセンサは校正用ゲージを使用し、自動で校正を行います。 ・測定位置、測定点数はお客様のご要望に応じます。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム

マクミラン　テフロン製　液体用流量センサ　１０６Ｆ

モデル１０６Ｆは低粘度の液体を１５ｍＬ／ｍｉｎの低流量から〜５０Ｌ／ｍ…

モデル１０６Ｆは低粘度の液体を１５ｍＬ／ｍｉｎの低流量から〜５０Ｌ／ｍｉｎの大きな流量まで測定できるセンサです。ベルトン型のマイクロタービンホイール（特許）を採用し優れた再現性で長期にわたる正確な計測が可能となります。ウルトラクリーン用途に適応したデザインになっておりパーティクル発生がありません。接続...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部