ダメージ | イプロスものづくり

PRN2リモートプラズマ、N2ダイレクトプラズマ、コロナ、トーチプラズマを…

当製品は、従来のN2リモートプラズマとエアープラズマのハイブリッドタイプです。プラズマの発生を目視で確認可能。また、10mmまでの長距離照射が可能です。ご用命の際は、当社へお気軽にお問い合わせください。【特長】 ■コンパクトなヘッド構造 ■プラズマの発生を目視で確認可能 ■10mmまでの長距離照射が可能 ■低温の為熱ダメージを与えない ※詳しくはPDF...

メーカー・取り扱い企業：株式会社イトー

超音波複合振動接合機『Ellinker 20k-HP/20k』

PR狭いところに手が届く接合を実現。楕円形の軌跡により、高強度・低ダメージ…

『Ellinker 20k-HP/20k』は、振動拡大ホーンと楕円形の軌跡を描く複合振動を生み出すスリット入りホーンを備えた超音波複合振動接合機です。加圧・加振のムラや減衰が少なく、ワークへのダメージやバリの発生を抑えた高品質な接合が可能。ロングホーンチップを使用でき、円筒型LiBの底部など様々な形状・接合位置のニーズに対応可能です。はんだなどの介在物を使用せず、母材の変質リスクも少な...

メーカー・取り扱い企業：千代田交易株式会社

大気圧プラズマにおけるダメージを与えない表面機能性付与の新提案

大気圧、ダウンストリーム型プラズマを用いることにより表面ダメージ等を排…

に大気圧プラズマ装置をリリース以降、1200台以上（2021年時点　国内外表示デバイス市場・その他）の販売実績を誇る大気圧プラズマ装置専門メーカーです。　今回「ワーク表面」や「電子デバイス」にダメージを与えない表面への機能性付与の新提案です。　【掲載内容】 ■はじめに～背景 ■プラズマ処理形態 ■大気圧プラズマ装置から発生する種々のダメージ ■現在の開発テーマ ■最後に ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社イー・スクエア

大気圧プラズマ装置「Preciseシリーズ」

従来比50％の性能UP！低N2消費（約45％削減）の大気圧プラズマ装置

置「Preciseシリーズ」は、窒素ガスをベースとし、誘電体バリア放電を利用しワーク自体を電磁界エリアから隔離し、リアクター内で励起されたラジカル等のみを使用した装置です。これによりワークへのダメージを与えない状態で連続処理が可能になりました。また、ワークが帯電した状態でも除電され、処理後の気中のパーティクル付着もありません。【特徴】 ○低温処理 ○ダメージフリー ○ESDフリー処理手前...

メーカー・取り扱い企業：株式会社イー・スクエア

大気圧プラズマ装置　

大気圧Plasma装置の開発・製造・販売累計1200台以上の実績（20…

Precise II』の開発、製造、販売後、累計1200台以上（2021年）の販売実績を有します。【特徴】 ○新しくなったPreciseシリーズ ○他社を凌ぐ改質性能(高密度プラズマ発生) ○ダメージフリー・パーティクルフリー ○超小型・軽量(Preciseシリーズ) 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社イー・スクエア

大気圧プラズマ装置を用いた粒子への効率的表面改質

大気圧プラズマ装置による効率的な表面処理を実現！バグフィルターにて捕獲…

型で幅広、長尺ワークへの有利な処理方法を生かした構造を利用し、ラジカルをキャビティ内部に閉じ込め、ワークと撹拌することで、より効率的な表面処理を可能にしました。ワークに対して電気的・電磁波ダメージや、UVダメージを完全に排除しているため、金属粒子への表面改質はもちろん、ワーク表面へのダメージは皆無。このため、処理後ワークへの帯電は生じません。【特長】 ■ダウンストリーム型で幅広 ■...

メーカー・取り扱い企業：株式会社イー・スクエア

マグネトロンスパッタ装置ＭＳＰ－２０ＴＫ

電子顕微鏡向けタングステン薄膜のコーティング装置です。

マグネトロンスパッタ装置　ＭＳＰ－２０－ＴＫは電子顕微鏡試料に導電処理を施す為のタングステンコーティング装置です。マグネトロンターゲット採用で、試料ダメージを最小限にします。詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社真空デバイス

簡易型大気圧プラズマ装置

低温・電荷ダメージなし！簡易型大気圧プラズマ装置洗浄・表面改質・親水…

【特徴】 ■熱によるダメージは殆んどありません。 →熱に対して脆弱なサンプルへの処理が可能です。 (条件によってはサンプル表面を40℃程度に。) ■コロナ放電のような電流集中したアーク状態ではありません。 →処理対象...

メーカー・取り扱い企業：株式会社チェッカーズ

ペン型大気圧プラズマ装置

表面改質・洗浄・親水処理・接着強化に優れた低温電荷ダメージ無し！ペン型…

【特長】 ■熱によるダメージは殆んどありません。 →熱に対して脆弱なサンプルへの処理が可能です。 (条件によってはサンプル表面を40℃程度に) ■コロナ放電のような電流集中したアーク状態ではありません。 →処理対象物...

メーカー・取り扱い企業：株式会社チェッカーズ

大気圧プラズマ装置による5G向けプリン基板、FCCL向け

伝送ロスを低減するダイレクト接着技術・無電解メッキ前処理に！

気圧プラズマ装置を利用した５G・６G向けプリント基板やFCCL製造プロセスに寄与します。弊社の『Precise』はプラズマ発生部を処理部と分離されているため（ダウンストリーム型）、処理方面にダメージを与えずに、分子結合を主体に表面に官能基・水酸基を付与することで、液晶ポリマー（LCP）やフッ素樹脂へ、滑らかな表面のまま、ダイレクトに接着が可能です。弊社プラズマ処理における接着・接合は分子...

メーカー・取り扱い企業：株式会社イー・スクエア

マルチ成膜装置VEＳ－１０

親水処理・蒸着装置・イオンスパッタの機能を完全一体化。

マルチ成膜装置VEＳ－１０は親水処理・蒸着装置・イオンスパッタの機能を完全一体化した小型卓上装置です。シャーペンの替え芯を蒸着。マグネトロンターゲットで低ダメージスパッタ。イオンスパッタと親水処理の操作は全自動。排気開始からコーティング終了まで自動で行なえます。機能切替はボタン一つで楽々。詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社真空デバイス

大気圧プラズマ『Precise』シリーズ　※資料進呈中

【異種接合・接着剤レス直接接合】密着性・親水性などが向上！炭素繊維を高…

ガスを添加することで、撥水・還元処理やエッチング、CVD装置プラズマソースとして簡便に使用できる ■装置がコンパクト(省スペース) ■親水処理では排ガス等の後処理も不要 ■処理表面への物理的ダメージがない(ダウンストリーム型) ■処理後の帯電がない(ダウンストリーム型) ■半導体素子上の処理でも素子性能変化がない ■処理中表面へのUVダメージがない ■Particle発生がない(ダウ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社イー・スクエア

大気圧プラズマ装置を利用した電解液の注入時間短縮！

防爆型リチウムイオン電池の製造工程で、時間のかかる電解液の注入含浸時間…

正・負電極部やセパレータへの表面を活性化することで、リチウムイオン電池への電解液の注入含浸時間の短縮が可能。また、同処理はプラズマ発生部から隔離され、ラジカル種のみの処理となる為、表面へのダメージ等は全くありません。ワークの表面に表面活性化させ、親水性を持たせることで、対向面との毛管現象の効果にて、電解液の注入時間短縮が期待できます。もし、ご興味をお持ちいただけましたら、一度お...

メーカー・取り扱い企業：株式会社イー・スクエア

卓上型／スタンドアローン大気圧プラズマ装置

シンプルな卓上型の大気圧プラズマ装置やダイレクト方式の装置など豊富に掲…

」　・非常に軽量でシンプルな構造　・生産設備に容易に取り付けることが出来る ■長距離照射N2プラズマユニット　・曲面・凹凸のあるワークへの照射が可能　・低温のためワークへの熱ダメージがない ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社イトー

オゾンレスコロナ表面処理装置『プラズマダイン』

オレフィン系の樹脂やエラストマーなどの接着や印刷、コーティングなどの密…

置きシステムでも、単一ヘッドの組み合わせによる新規あるいは既存の　生産ラインへの組み込みでも使用可能 ■材料の電気的性質を問わないポテンシャルフリーの大気圧プラズマビームを生成 ■対象物にダメージを与えることなく、表面改質/表面洗浄が可能 ■接着およびシーリングやパッキングの前処理に好適 ■無機質であるガラス、金属や金属複合材への表面洗浄 ■プライマー処理の代替 ※詳しくはPD...

メーカー・取り扱い企業：ナビタスマシナリー株式会社

超高密度大気圧プラズマ　ToughPlasma　FPF20-GM

高い処理能力と安全性を両立させた大気圧プラズマ装置

自の方式により、高密度のラジカルを生成します。　それにより高速での表面処理が可能となり、高い生産性と安定性をご提供します。 ◆電気的に中性　ICチップ等が搭載された基板であっても電気的なダメージを与えません。 ◆低温処理　照射ガス温度が低く、低融点の樹脂材料へも安心してご使用いただけます。 ◆ロボットケーブル　電力線にロボットケーブルを採用しており、生産の自動化に貢献します。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ＦＵＪＩロボットソリューション事業本部　新規事業部

大気圧プラズマ能力確認ツール　ToughPlasma　FSI

色の変化でプラズマ能力を容易に可視化できるシールです

自の方式により、高密度のラジカルを生成します。　それにより高速での表面処理が可能となり、高い生産性と安定性をご提供します。 ◆電気的に中性　ICチップ等が搭載された基板であっても電気的なダメージを与えません。 ◆低温処理　照射ガス温度が低く、低融点の樹脂材料へも安心してご使用いただけます。 ◆ロボットケーブル　電力線にロボットケーブルを採用しており、生産の自動化に貢献します。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ＦＵＪＩロボットソリューション事業本部　新規事業部

大気圧プラズマ装置を用いたダイレクト接着

大気圧プラズマ装置による分子結合接着「ダウンストリーム型大気圧プラズマ…

【ダウンストリーム型大気圧プラズマ装置の特長】 ■基材へのダメージや表面粗度の変化を抑えた処理が可能 ■銅箔とLCPやフッ素樹脂フィルムの接着 ■スポンジ、不織布の内部の処理も可能当社では、プラズマ発生エリアとワーク間距離の短縮による高性能化やプラズマ生成...

メーカー・取り扱い企業：株式会社イー・スクエア

枚葉式プラズマアッシング装置（ＳＷＰシリーズ）

ダメージレス・ハイスループット・多用途対応　ハイエンドデバイス・化合物…

チャージアップダメージを排除したダウンフロープラズマによるダメージレスアッシングを実現。表面波プラズマ（ＳＷＰ）によるハイレートアッシングと２室装備されたアッシング室によりハイスループットを実現。アッシングだけでな...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

ＤＬＣ除膜装置（精密金型用プラズマクリーナー）

非球面レンズのＤＬＣ膜の除去に実績豊富なプラズマクリーニング装置。高付…

２５０ｍｍ□の処理ステージに均一なプラズマを実現したプラズマクリーニング装置。従来機「ＰＯＥＭ」よりイオンエネルギーを向上。より強いイオン衝撃とＯ２イオンでＤＬＣを除膜。ドライプロセスで基板ダメージと廃液処理の不要なクリーンプロセスを実現。プラズマエッチングで蓄積されたマルチガスプロセスで多様なＤＬＣ膜の除去に対応するとともに微細加工モールドの作成にも実績。ＤＬＣだけでなく有機膜エッチン...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

今さら聞けない大気圧プラズマ装置の選び方　※解説資料進呈

"大気圧プラズマ装置の処理形態"や"当社独自の装置特長"などについて解…

一処理（100ミリ～3000ミリ） ■半導体チップ上の処理も可能（処理後のトランジスタ特性変化なし） ■4nmのＬ＆Ｓでも絶縁破壊等の発生が無い ■ワーク内部の分子間架橋特性変化や分子切断の影響やダメージ発生がない ■Particle発生が無い（0.3μ以上及び2.83SLMのサンプリング時） ■窒素消費が少ない（従来比４５％削減） ■処理後のワークへの帯電はほぼゼロ【当社大気圧プラズマ装置】...

メーカー・取り扱い企業：株式会社イー・スクエア

コンパクトでアタッシュケースに格納可能！大気圧プラズマ照射装置

Heガスボンベ/AC100V電源に接続するだけで簡単に実験可能！持ち運…

照射装置「HAPYシリーズ」は、コンパクトで全ての機器をアタッシュケース内へ格納可能です。 Heガスボンベ / AC100V電源に接続するだけで実験ができます。ガスリモート放電方式で、電気的ダメージを抑えたことで安全に様々な材料へプラズマ処理が行えます。【特徴】 ○コンパクト ○簡易でHeガスボンベ/AC100V電源に接続するだけで実験可能 ○持ち運びが容易なアタッシュケースサ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社電子技研

リモート方式大気圧プラズマ装置

窒素-酸素の混合ガスをプラズマ化し、基板に吹き付け。瞬時に表面の汚れを…

燥空気を使用　 ◆高速洗浄　 ◆低ランニングコスト　 ◆ダメージフリー　　　　 ◆メンテナンスフリー　 ◆大型化対応（～液晶第８世代大判ガラス） ...

メーカー・取り扱い企業：エア・ウォーター株式会社

プラズマ技術～バイオ・医療への応用

a-SiC:H(堅牢膜)等のパッシベーション膜形成が可能！高密度プラズ…

【表面除染の特長】 ■複雑な形状のインプラントを効率的に掃除する用の高密度プラズマ ■液体除染の欠点を補うドライプロセス ■イオンフラックス制限・低温処理によるダメージの最小化 ■有機汚染・残留を除去する高密度O*プラズマ ■金属表面の酸化層を除去する高密度H*プラズマ ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

大気圧プラズマ装置を用いたダイレクト接着接合時のラミ前ドライ処理

ダウンストリーム型大気圧プラズマ装置による分子結合接着・接合（ダイレク…

弊社ダウンストリーム型プラズマ装置は処理時に生ずる種々のダメージ等を排除し、クリーン処理、かつ、スムース表面での接着が可能で、５G,６G向けFCCL製造関連等や、 2次電池市場でのカーボンフィルム等、電極製造関連の異種材接着、接合時のドライ前処理に適して...

メーカー・取り扱い企業：株式会社イー・スクエア

大気圧プラズマシステム『Atomflo(TM)500』

スピーディーで均一！スパークレスでダメージフリーな大気圧プラズマシステ…

『Atomflo(TM)500』は、インライン製造用に設計された大気圧プラズマシステムです。繰り返し再現性に優れ、進行波、反射波、ガス流量、ヘッド温度をリアルタイムで監視および制御。部品成型に使われる高密度ポリエチレン(HDPE)およびポリプロピレン(PP)部品等の感熱材料に対して有効です。【特長】 ■ソフトウェア制御システム ■モニタリング機能及び制御 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社日放電子アドバンストテクニカルスタジオ

【技術資料進呈】大気圧プラズマ技術のご紹介

ダメージフリー＆低温＆マルチガス！好適なプラズマを作り出せます

当資料は、大気圧プラズマ技術について詳しく解説しています。大気圧低温プラズマの導入をはじめ、プラスチックの処理を可能にするプラズマや、導電性繊維や金属線のプラズマ処理、コーティングの密着性改善などを掲載。写真やグラフと共にわかりやすく紹介していますので、ぜひご一読ください。【掲載内容】 ■なぜ、プラズマに着目したのか？ ■サンラインのプラズマ技術の特長 ■プラ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社サンライン

大気圧プラズマ装置「AP Plasma　Precise II」

ダメージフリー・パーティクルフリーの大気圧プラズマ装置

sma　Precise II」は、窒素ガスをベースとし、誘電体バリア放電を利用しワーク自体を電磁界エリアから隔離し、リアクター内で励起されたラジカル等のみを使用した装置です。これによりワークへのダメージを与えない状態で連続処理が可能になりました。また、ワークが帯電した状態でも除電され、処理後の気中のパーティクル付着もありません。【特徴】 ○電極交換（誘電体部）不要 ○幅広処理（100ミリ～...

メーカー・取り扱い企業：株式会社イー・スクエア

大気圧プラズマ表面処理装置　FCCL市場向けダイレクト接着技術

5G、６GFCCL市場でのダイレクト接着を可能にする、大気圧プラズマ装…

に需要が急増している基板材料表面を粗面化せずに、ダイレクト接着する技術が求められています。弊社、ダウンストリーム型大気圧プラズマ装置における接着・接合は分子結合を主体としいるため、表面へのダメージや、プラズマによるＵＶ光等からの科学的ダメージは全く無い処理が出来ます。弊社の『Precise』はプラズマ発生部を処理部と分離されているため（ダウンストリーム型）、処理方面にダメージを与える...

メーカー・取り扱い企業：株式会社イー・スクエア

大気圧プラズマ装置によるCFRP・長尺繊維束向けの高効率表面改質

CFRP、グラスファイバー、長尺繊維への表面処理

ズマ装置Preciseシリーズは、窒素ガスをベースとし、誘電体バリア放電を利用しワーク自体を電磁界エリアから隔離し、リアクター内で励起されたラジカル等のみを使用した装置です。これによりワークへのダメージを与えない状態で連続処理が可能になりました。また、ワークが帯電状態でも処理ごは除電され、処理後の気中のパーティクル付着はありません。添加ガスを変えることにより、処理表面への官能基やOH基、アミ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社イー・スクエア

大気圧プラズマ装置Cu/フッ素樹脂等へのダイレクト接着と超親水化

フッ素樹脂（PTFE・PFA）に粗面化不要のダイレクト接着が可能な大気…

A）やLCPフィルムへの Cuメッキや直接接着が出来ます。弊社の大気圧プラズマ表面処理装置『Precise』は、プラズマ発生部を処理部と分離されているため（ダウンストリーム型）、処理方面にダメージを与えることなく、分子結合を主体に表面に官能基・水酸基を付与することで、液晶ポリマー（LCP）やフッ素樹脂（PTFE・PFA）へ、滑らかな表面のまま、ダイレクトに接着することが可能です。弊...

メーカー・取り扱い企業：株式会社イー・スクエア

超高密度大気圧プラズマ　ToughPlasma　FPB20

低温で電気ダメージレスな大気圧プラズマ装置

FPB20はサンプルへの熱・電気ダメージが少ない大気圧プラズマ装置です。フィルムのような薄膜・薄肉材料でも縮ませることなく表面処理が可能です。少量・多品種の生産や評価用設備に適した装置です。評価テストも行っております...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ＦＵＪＩロボットソリューション事業本部　新規事業部

大気圧プラズマ装置による繊維束状用表面改質

大気圧プラズマ装置を用いた効率的な繊維束状用表面改質方法

により、束の内部まで均一に処理ができる。処理後のワークに対して帯電しない。（特許申請中）【特徴】 ○プラズマを封じ込めた構造による、束状の繊維一本一本への効率的な親水化処理 ○高い信頼性 ○ダメージレス処理詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社イー・スクエア

【医療機器】大気圧プラズマ装置　用途例(4)

熱ダメージを受けやすい材料への処理など！『AP-4000R ECO・A…

定式ノズルを2本以上搭載できるモデルです。生産ラインで一定のスピードと出力でプラズマ処理を行うときにお使いいただいております。【用途】 ■平面材料への幅広処理 ■フィルムなど熱ダメージを受けやすい材料への処理 ■異種材料への接着前処理 ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： AETP Japan合同会社

超高密度大気圧プラズマ　ToughPlasma　FPF20-ST

高い処理能力と低価格を実現させた大気圧プラズマ装置

自の方式により、高密度のラジカルを生成します。　それにより高速での表面処理が可能となり、高い生産性と安定性をご提供します。 ◆電気的に中性　ICチップ等が搭載された基板であっても電気的なダメージを与えません。 ◆低温処理　照射ガス温度が低く、低融点の樹脂材料へも安心してご使用いただけます。 ◆ロボットケーブル　電力線にロボットケーブルを採用しており、生産の自動化に貢献します。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ＦＵＪＩロボットソリューション事業本部　新規事業部

ハンディタイプ大気圧プラズマ照射装置　HAPYシリーズ

持ち運びが容易なアタッシュケースサイズの大気圧プラズマ照射装置です。

照射装置「HAPYシリーズ」は、コンパクトで全ての機器をアタッシュケース内へ格納可能です。 Heガスボンベ / AC100V電源に接続するだけで実験ができます。ガスリモート放電方式で、電気的ダメージを抑えたことで安全に様々な材料へプラズマ処理が行えます。【特徴】 ○コンパクト ○簡易でHeガスボンベ/AC100V電源に接続するだけで実験可能 ○持ち運びが容易なアタッシュケースサ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社電子技研

大気圧プラズマ表面処理装置　5G向けプリント基板（FCCL）にも

液晶ポリマー、フッ素樹脂、PP等のフィルムまたは異種材とのダイレクト接…

弊社の大気圧プラズマ表面処理装置『Precise』は、プラズマ発生部を処理部と分離されているため（ダウンストリーム型）、処理方面にダメージを与えることなく、分子結合を主体に表面に官能基・水酸基を付与することで、液晶ポリマー（LCP）やフッ素樹脂へ、滑らかな表面のまま、ダイレクトに接着することが可能です。また、プラズマ処理によ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社イー・スクエア

【梱包資材・印刷業界】大気圧プラズマ装置　用途例(2)

インクジェット印刷前のスポット処理など！『AP-4000R ECO・A…

定式ノズルを2本以上搭載できるモデルです。生産ラインで一定のスピードと出力でプラズマ処理を行うときにお使いいただいております。【用途】 ■平面材料への幅広処理 ■フィルムなど熱ダメージを受けやすい材料への処理 ■インクジェット印刷前のスポット処理 ■タンポ印刷やスクリーン印刷の前処理 ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： AETP Japan合同会社

【梱包資材・印刷業界】大気圧プラズマ装置　用途例(1)

タンポ印刷やスクリーン印刷の前処理など！『AP-4000R・AP-40…

モデルです。処理箇所や処理面積に応じて好適なノズル本数をお選びいただけます。装置の詳細な設定や制御はタッチパネルから行います。【用途】 ■平面材料への幅広処理 ■フィルムなど熱ダメージを受けやすい材料への処理 ■インクジェット印刷前のスポット処理 ■タンポ印刷やスクリーン印刷の前処理 ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： AETP Japan合同会社

【医療機器】大気圧プラズマ装置　用途例(2)

異種材料への接着前処理など！『AP-4000R・AP-4000R Mu…

モデルです。処理箇所や処理面積に応じて好適なノズル本数をお選びいただけます。装置の詳細な設定や制御はタッチパネルから行います。【用途】 ■平面材料への幅広処理 ■フィルムなど熱ダメージを受けやすい材料への処理 ■異種材料への接着前処理 ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： AETP Japan合同会社

大気圧プラズマ処理装置　リモート式

アジア有力企業において多数の実績あり。

■処理対象　対象ワーク表面の改質(接合強度の向上、密着性の向上）　対象ワーク表面の有機物除去【特徴】 ■電子・イオンのアタックがなくラジカルのみでの化学的な処理のため処理膜へのダメージを低減 ■電極形成後の導電フィルム・ガラスの処理に最適 ■各種反応ガスの使用が可能: CDA(Clean Dry Air), N2, O2,Ar等詳しくはお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社日立ハイテク