アルミ溶解炉『アルキープ・アルイッシュ・バーチカルアルキープ』

PR高機能・高品質のアルミ溶解炉。当社のベストセラーモデル"アル…

お客様の運用面・ニーズにお応えできる、多様性を備えたアルミ溶解炉の ベストセラーモデル"アルキープ3姉妹"のご紹介！ アルキープの最大の特長である独自設計の「溶湯プール部」を備え、 溶解室で溶湯を昇温し、溶湯は常にクリーンな状態を維持できます。 【アルキープ3姉妹】 ■アルキープ 　当社独自設計の「溶湯プール部」を備えた元祖モデル。 　溶解室の形状変更により、さらに耐久性・省...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＴＯＫＡＩ

耐圧性・耐薬品性を兼ね備える！カートリッジ フィルターチャンバー

PR上限圧力3.5barの高耐久性を保持！耐薬品性にも優れ、ヒンジ付きカバ…

『カートリッジ フィルターチャンバー』は、電解液やその他の ウェットケミカル処理溶液のろ過用に設計および製造されている製品です。 堅牢で信頼性の高いスマート構造と、圧力損失を最小限に抑えるために 強化された流体力学設計の組み合わせ。 上限圧力3.5bar（オプションで5.5bar）とスチール製の製品と同等の耐圧性と 優れた耐薬品性を保持しています。 これにより、最大級の設置後のアップタイムと...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社河口・サポート 名古屋事務所

SSY-21000カセット搬送システム

カセット搬送システム

下ストローク (Z軸) スライダストローク (X軸) カセットチルト角度 (チルト軸) 590mm −350mm 200mm 980mm 90度 搬送速度 アーム (R軸)※カセット未保持状態 上下ストローク (Z軸) スライダストローク (X軸) カセットチルト角度 (チルト軸) 290mm/sec 80mm/sec 130mm/sec 40度/sec カセット保持 エア...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

反転ユニット

両面処理等が必要な装置に適しています。

pを実現(300mmウェーハ比) (小型ウェーハの場合速度50%upを実現) 低振動:新開発のモータドライバと制御方式により、低振動化を実現 真空吸着、エッジクリップ、ベルヌーイ等各種ウェーハ保持方式に対応...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

SSY-10010　EFEM

EFEM

吸着搬送時 アーム 旋回角度 (θ軸) 上下ストローク (Z軸) 1800mm/sec 540度/sec 500mm/sec 繰り返し精度 ±0.1mm以内 <システム> ワーク保持方式 吸着による保持 クリーン度 ISO Class2(ISO14644) フットプリント 640mm×835mm(タッチパネルを除く) 重量 約350kg ユーティリティ 電源：単相 AC...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

ベルヌーイチャック（非接触タイプ）

反りのあるウェーハ、薄物ウェーハに対応したベルヌーイチャックです。

材質 アルミ 表面処理 黒アルマイト ウェーハ保持方式 サイクロンパッドによる吸引とガイド（PEEK）によるエッジ保持 （接触部材質は各種製作可能) ユーティリティ 30～80L/min（ワークサイズ、厚みにより異なります）...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

エッジグリップチャック

裏面処理済みの接触不可のウェーハ等搬送用チャックです。

搬送時にウェーハのセンタリングが可能なため、落とし込みのステージなどへの搬送に適しています。 ウェーハの前後方向をエアシリンダによりガイドを前後させ保持します。 ウェーハの裏面を接触する事なく、ウェーハの外周を挟み保持 外周を挟む事により、ウェーハのセンタリングが可能 高速搬送が可能 ガイドの動作量によってウェーハの有無を確認...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

3D-01661吸着チャック

Y型の真空吸着チャックです。

ウェーハサイズ300mmの搬送に適しています。（ランダムアクセス対応） 大気環境用ロボットに多く使用され、ワークの裏面を真空吸着（負圧）により保持します。 チャック表面に導電性テフロンコーティングを施すことにより、搬送ワークを帯電による損傷および傷から防止します。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

GCR4210SN(クローズドループ制御)

・クローズドループ制御 ・アブソリュートエンコーダ搭載 ・バッテリ…

ロボット型式 GCR4210SN-300-CM 被搬送物 ～300mm ウェーハ ウェーハ保持方式 チャックによる真空吸着で保持 機械構造形式 水平多関節型 制御軸 4軸 モータタイプ ステッピングモータ（クローズドループ） 動作範囲 ワーク中心到達距離 旋回角度(θ軸) 上下ストロー...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

SAL3481HV(マルチワークアライナ)

ウエーハ材質に影響を受けない新型アライナ

ト：±0.1度以内 ○位置決め時間 3秒(ウェーハの受渡時間は含みません) ○センサ LED照明付+イメージセンサユニットによるウェーハエッジ検出 ○位置補正範囲 半径4mm以内 ○ウェーハ保持方式 真空吸着による保持 ○クリーン度 ISOクラス2(駆動部排気時) ○質量 約10kg ○ユーティリティ 電流電圧：DC24V±10% 3A 真空：-53kPa以上...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

SSY-10000

ガラス、サファイア、SiC、GaN、等々のウェーハ対応　卓上ローダーシ…

500度/sec 200mm/sec ○搬送速度 （最高速度） アーム(R軸) 旋回角度(θ軸) 上下ストローク(Z軸) 300mm/sec 700度/sec 300mm/sec ○ウェーハ保持方式 真空吸着による保持 ○繰り返し精度 ±0.1mm以内 ○クリーン度 ISOクラス2以下（駆動部排気時） ○質量 ロボット本体 約15kg ○ユーティリティ 電源電圧：DC24V±10%...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

SAL30J1HV

ノッチレスウェーハにも対応した450mm新型アライナ

±0.1mm以内 ロケート：±0.1度以内 ○位置決め時間 4秒以内 ○センサ イメージセンサユニットによるウェーハエッジ検出 ○LED照明付 ○位置補正範囲 半径8mm以内 ○ウェーハ保持方式 真空吸着による保持 ○クリーン度 ISOクラス2(駆動部排気時) ○質量 約18kg ○ユーティリティ 電流電圧：DC24V±10% 3A 真空：-53kPa以上...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

シャーレ搬送ロボット

医療、バイオ関連施設などの無菌室、クリーン環境下での搬送が可能

ロボット仕様 ロボット型式 GCR4210-300-AM 被搬送物 シャーレφ90x21mm（ガラス）（※その他サイズ、マイクロプレートも対応可） 搬送物保持 エアシリンダ駆動によるメカニカルグリップ方式 機械構造形式 水平多関節型 制御軸 4軸 モータタイプ 全軸ACサーボモータ 動作範囲 ワーク中心到達距離 旋回角度(θ軸) 上下ストローク(Z...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

ポーラスチャック

反りのあるウェーハなど吸着チャックでリークするウェーハの搬送に適してい…

材質 高純度アルミナセラミックス 吸着面材質 多孔質セラミックス（ポーラスセラミックス） ウェーハ保持方式 吸着 厚み 3mm メッシュ粒径 44～74μm（グレード#220） 平均細孔径 20μm（グレード#220）...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

落とし込みチャック

反りのあるウェーハなど吸着チャックでリークするウェーハの搬送に適してい…

ャックでリークするウェーハの搬送に適しています。 外周裏面及びエッジ部が接触可能なウェーハ等の搬送用チャックです。 ウェーハの自重によってテーパ状のガイドを利用し、一定範囲にウェーハを落とし込み保持します。 外周から接触制限のあるウェーハをお求めやすい価格で搬送 オプションで基板有無センサを付ける事によってウェーハの有無を確認（大気使用時）...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

SSY-11000

450mmウェーハ搬送システム

アーム (R軸) 旋回角度 (θ軸) 上下ストローク (Z軸) スライダストローク (X軸) 1600mm/sec 550度/sec 500mm/sec 2500mm/sec ウェーハ保持方式 真空吸着, 落とし込み, エッジグリップチャック, ベルヌーイチャック クリーン度 ISOクラス2（ISO14644） (駆動部排気時搬送レベル) 質量 ロボット本体 約60kg シス...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

SWCR3160CS (防水対応）

3軸円筒座標型クリーンロボット

Z軸部防水構造にジャバラ使用 動作モニター装備 制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O 全軸2相ステッピングモータ使用 S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送 ウェーハ保持:真空吸着、落し込み、エッジグリップチャック 被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

TSVCR3060N（2インチウェーハ搬送）

真空トランスファーチャンバーの小型化に寄与します。

ロボット仕様 ロボット型式 TSVCR3060N-020-PM 被搬送物 2インチシリコンウェーハ ウェーハ保持方式 落とし込みによるラフガイド方式 機械構造形式 円筒座標型 制御軸 3軸 モータタイプ エンコーダ付き2相パルスモータ 動作範囲 アーム(R軸) 旋回角度(θ軸) 上下ストローク(Z軸) ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

SAL2041（エッジグリップ仕様）

ウェーハ用アライナ

無し） 位置決め時間 オリフラサーチ 5秒以内（持ち直し無の場合） 位置決め精度 センタリング：±0.2mm以内 オリフラロケート：±0.3度以内 センサ 赤色LED透過式センサ ウェーハ保持方式 ウェーハグリップアームによるエッジグリップ方式 クリーン度 0.1µm/cf クラス1（駆動部排気時） 駆動方式 小型ステッピングモータを各軸に使用(モータドライバは内蔵しております) ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

ベルヌーイチャック（接触タイプ）

反りのあるウェーハ、薄物ウェーハに対応したベルヌーイチャック。

を行い、お客様の任意の形状で各種サイズ、反り量、ウェーハ厚みに対応した設計を行います。 基板に対してベルヌーイの力でワークを吸引します。 搬送時のズレを防止する為にフリクションゴムの摩擦力で保持します。 チャック側の面は接触をしますが、ウェーハサイズが異なる場合に兼用（※組合せにより、できない場合があります）することができ、非接触タイプと比較してチャックの厚みを薄く作ることが可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

STWHR4156 (防水対応）

防水対応4軸円筒座標型ロボットのSTWHR4156シリーズです。

用によりウェーハ交換時間の短縮 動作モニター装備 制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O 全軸2相ステッピングモータ使用 S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送 ウェーハ保持:真空吸着、落し込み、エッジグリップチャック 被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

TSCR3060N（2インチウェーハ搬送）

搬送部の小型化に寄与します。

ロボット仕様 ロボット型式 TSCR3060N-135-PM 被搬送物 2インチシリコンウェーハ ウェーハ保持方式 真空吸着保持方式 機械構造形式 円筒座標型 制御軸 3軸 モータタイプ エンコーダ付き2相パルスモータ 動作範囲 アーム(R軸) 旋回角度(θ軸) 上下ストローク(Z軸) ±119mm...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

SAL1021（2インチウェーハ搬送）

搬送部、真空トランスファーチャンバーの小型化に寄与します。

ンチシリコンウェーハ 位置決め精度 センタリング：±0.3mm以内 オリフラロケート：±0.3度以内 位置決め時間 センタリング～オリフラ 約10秒 センサ オリフラサーチセンサ ウェーハ保持方式 アライメント時：エアシリンダ駆動のエッジグリップ機構にて位置決め オリフラサーチ時：スピンドル上のウェーハは真空吸着により保持 クリーン度 ISOクラス2（駆動部排気時） 駆動方式 2相...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

SCR3160CSN (クローズドループ制御)

●クローズドループ制御●アブソリュートエンコーダ搭載●バッテリレスを実…

○ロボット型式 SCR3160CSN-300-CM ○被搬送物 2, 3インチ, 100～300mmウェーハ （その他特殊なワーク、形状、材質へも柔軟にカスタマイズ対応致します） ○ウェーハ保持方式 チャックによる真空吸着 ○機械構造形式 円筒座標型 制御軸 3軸 ○モータタイプ 全軸2相パルスモータ ○動作範囲 ワーク中心到達距離 旋回角度(θ軸) 上下ストローク(Z軸) 552...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

STCR4160SN(クローズドループ制御)

●クローズドループ制御●アブソリュートエンコーダ搭載●バッテリレスを実…

○ロボット型式 STCR4160SN-300-CM ○被搬送物 2, 3インチ, 100～300mmウェーハ （その他特殊なワーク、形状、材質へも柔軟にカスタマイズ対応致します） ○ウェーハ保持方式 チャックによる真空吸着 ○機械構造形式 円筒座標型 制御軸 4軸 ○モータタイプ 全軸2相パルスモータ ○動作範囲 ワーク中心到達距離 旋回角度(θ軸) 上下ストローク(Z軸) 575...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル