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83件 - メーカー・取り扱い企業
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【お役立ち資料】今さら聞けない表面処理DLCの基礎知識※資料進呈
PR金属、樹脂、ゴムなどの長寿命化や耐久性向上を検討の方へ。DLCの特徴や…
当社では、印刷用ロール製造のノウハウや設備を用いたDLCコーティングを行っています。 100℃程度の低温での成膜も行え、金属製の部品等のほか樹脂やゴムの 表面処理も可能です。耐摩耗性、摺動性、耐薬品性、耐食性、 ガスバリア性の向上に貢献。生体適合性にも優れています。 本資料では、「DLCコーティング」の特徴や製法について、 初めての方にもわかりやすくまとめて紹介しています。 ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社シンク・ラボラトリー
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【書籍】先端半導体製造プロセスの動向と微細化（No.2220）
PR【試読できます】－成膜技術、リソグラフィ、エッチング、CMP、洗浄－
書籍名：先端半導体製造プロセスの最新動向と微細化技術 －－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－ ★ムーアの法則の限界が叫ばれる中、微細化技術の開発はどこまで続くのか！ 新構造、新材料の適用が進む、先端半導体製造「前工程」の最新技術を網羅した一冊 －－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－ ■ 本書のポイント 1 ・EUVリソグラフィの最新動向とレジスト、マスク、光源の技術課題 ・これ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社技術情報協会
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小型真空蒸着装置『HVE-100』【クリーンな成膜を実現！】
クリーンな成膜が可能な小型真空蒸着装置！シャッタを具備しているので安定…
『HVE-100』は省スペースな小型蒸着装置です。基板成膜面は下向きで 設置、抵抗加熱源からの蒸発で上向きに成膜する配置（デポアップ）です。 シャッタを具備しているので安定した状態で蒸着が可能です。 【特長】 ■高真空排気系：<10^-4Paの...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイブリッジ 東京営業所
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ポリパラキシレン成膜に特化した装置です。メーカは35年以上、ヨーロッパ…
本製品は、密着性よくパリレンを成膜できる装置です。研究やR&Dだけでなく、量産にも対応できる装置を販売しております。また、装置の販売実績は50台を超えており、生産ラインで既に使用されております。 本装置の特徴は、次の通りです。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社マツボー
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スパッタ・蒸着ソース複合型成膜装置【nanoPVD-ST15A】
スパッタカソード・蒸着ソース混在型薄膜実験装置 コンパクトフレームに…
抵抗加熱蒸着源（金属蒸着）、有機蒸着源（有機材料）、マグネトロンスパッタ（金属・絶縁材）、3種類の成膜コンポーネントをチャンバー内に設置、様々な薄膜実験装置に1チャンバーで対応が可能です。 ◉組み合わせは3種類 1. スパッタカソード + 抵抗加熱蒸着源x2 2. スパッタカソード + 有機蒸...
メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社
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【PREVAC社製】6個の水晶振動子のモニターおよび制御が可能です。6…
PREVAC社製 蒸着用成膜コントローラー「TMC-13」は、膜圧モニター/プロセス制御システム付きで、6個の水晶振動子のモニターおよび制御が可能な装置です。 6.5インチ液晶タッチパネルで操作が簡単で、シンプル・コンパクト...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノポート
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お客様のニーズに合わせた形でカスタマイズ可能な高性能真空装置
真空成膜装置とは、半導体の製造工程のうち薄膜成形のプロセスに用いられる装置で、手法によってPVD、CVD、PLD、MBEなど各種の成膜装置が存在しており、真空度の高さが半導体の品質を決める大きな要因となって...
メーカー・取り扱い企業： 西華デジタルイメージ株式会社
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樹脂外装品の成膜に実績豊富な大型蒸着装置 長尺樹脂成形品の成膜に最適 …
１ⅿ以上の長尺樹脂成形品の全面成膜に対応。高速排気と低温蒸着が特徴。短タクト処理で量産ラインに対応。成膜前のイオンボンバード処理により高い膜の密着性を実現。電子銃の複数台使用により各種金属の高速成膜に対応。 水晶振動式膜厚計による...
メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店
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無加熱成膜でも密着性が良く、充填密度の高い薄膜が形成できます
BS-80020CPPS プラズマソースは、プラズマによる基板や基材の温度上昇を抑え、基板/基材へのイオン照射エネルギーを高めた低温プロセス用のプラズマソースです。 プラスチックや有機フィルムへの成膜用途（プラズマアシスト蒸着）や表面改質用途に適しています。 〇特長 ・無加熱成膜でも密着性が良い ・填密度の高い薄膜が形成 ・既設の真空チャンバーへ後付けも可能 ※詳細はPDFをダウンロードして...
メーカー・取り扱い企業： アズサイエンス株式会社 松本本社
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モジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用機の組立…
【フレキシブルシステム】 MiniLab薄膜実験装置シリーズは、豊富なオプションから必要な成膜方法・材料に応じて都度、ご要望に適したコンポーネント（成膜ソース、ステージなど）、制御モジュールを組み込み、カスタマイズ品でありながら無駄の無いコンパクトな装置構成を容易に構築することができます。モ...
メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社
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両面成膜・端面成膜・コンパクト・大量バッチ処理。基板の自公転機構が蒸着…
小型基板や小径ウェハの両面成膜、セラミック基板の端面成膜、マスク成膜に最適な独自基板機構を装備。 小型チャンバで大きな処理量を持つ標準横型蒸着装置。 蒸発源・加熱温度・排気系の各種選択可能。樹脂装飾用から電子部品量産の電極形...
メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店
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有機ELデバイス開発などに適した研究開発用装置を紹介します。
当社では、大気にさらすことなく連続処理が可能な 『研究開発用装置 成膜装置･グローブボックス』を設計・製造・販売しております GBOX内部で試料基板を搬送BOXに収納・密閉することで不活性雰囲気を保ち、 基板を大気に曝す事無く蒸着装置に装着・処理しGBOXに戻すこと...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイエルエステクノロジー
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改善成功事例 事例4 有機EL成膜装置改造
◆◇◆経緯◆◇◆ これまで、他社製の有機EL成膜装置を使用していた。 しかし、使用上、下記の不具合点や要望が挙がっていた。 ◆マスクの交換機構が搭載されていない為、マスクを交換する際は、 その都度、大気開放する必要がある。その為、試料に...
メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社
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【MiniLab-026/090】グローブボックス薄膜実験装置
小型・省スペース! 有機薄膜開発に好適 蒸着・スパッタ・アニール等全て…
OLED（有機EL）, OPV（有機薄膜太陽電池）, OTFT（有機薄膜太陽電池）, 又, グラフェン, TMD（遷移金属ダイカルコゲナイド）などの2D材料における成膜プロセスでは、酸素・水分から隔離された不活性ガス雰囲気で試料を取扱う必要があります。 MiniLab-026/090-GBでは、PVDチャンバーをGB内に収納することにより有機膜用途の「酸素・水分...
メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社
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コンパクト、60ℓ容積チャンバーにスパッタ・蒸着・EB・アニールなどの…
Φ2inchカソード x 4基搭載 同時成膜：3元同時成膜（RF500W or DC850W）+ HiPIMS（PulseDC 5KW） x 1 プラズマリレーSWでHMI画面より自在に4カソードへの電源分配・配置設定の変更が可能 MFC...
メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社
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成膜前の高周波プラズマによる放電洗浄により、樹脂基板に対して高い密着力
用蒸着装置』は、自動車の外装品の大型樹脂成形品への 薄膜形成を目的とした大型蒸着装置です。 複数の電子銃蒸発源を装備し、Al、Cu、Niなどの金属膜を長さ1mの 大型樹脂基板へ低温での高速成膜が可能。 自動車部品だけでなく電子機器への電磁波シールドにも実績を持っており、 大型チャンバ（φ2000）、電子銃蒸発源、大型排気系の組合せにより 大量バッチ処理による高品質装飾膜や電磁波...
メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店
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ダメージレス蒸着
ボンバード蒸着源 蒸着材料を充填したライナーの裏面に、電子ビームを照射し、電子衝撃 (ボンバード) によりライナーを加熱します。蒸着材料には直接電子ビームを当てません。 〇特長 ・間接加熱方式 ・成膜中の反射電子ダメージとX線ダメージなし ・スプラッシュが抑制され、低欠陥成膜可能 ・分解・組成ずれなし ・光学吸収が少ない。 ・安定成膜可能 ※詳細はPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお...
メーカー・取り扱い企業： アズサイエンス株式会社 松本本社
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原子層堆積（ALD）プロセス装置の老舗、PICOSUNによるコンサルテ…
ALD成膜の研究開発は市場にも浸透しつつありますが、目的とする性能の膜をどのように作ればいいのか、お悩みになる方も多いのではないでしょうか。 そこで設計段階でのお悩みの方には、材料選定やレシピ設定、評価...
メーカー・取り扱い企業： PICOSUN JAPAN株式会社
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◆nanoPVD-T15A◆ 高性能 有機膜・金属膜蒸着装置
限られたラボスペースを有効活用できる小型ベンチトップサイズ装置に、最新…
OTFT等の有機材料用・温度応答性/安定性に優れた高性能有機ソースLTE（最大4源）、交換・メンテナンスが容易に行える金属蒸着ソースTE（最大2源）を採用、手動運転モードから、自動連続多層膜、同時成膜の自動モードでの運転も可能です。 コンパクトサイズにも関わらず、基本性能・膜質・均一性・操作性の全てを犠牲にせず、スタンドアローン大型機と同様の性能を実現しました。 更に簡単タッチパネル操作...
メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社
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先端光デバイスに最適な専用蒸着装置。低温・低ダメージ成膜で平滑な膜表面…
クライオポンプを採用、チャンバ各機構部に超高真空対応を採用し、クリーンな高真空環境を可能にしました。 蒸発源には水冷式反射電子トラップ付きの電子銃を使用しており、基板への電子の乳を防いだ低ダメージ成膜を実現しています。 実績豊富な６連式電子銃は高融点金属を含む多層膜電極形成に対応しています。また安定した蒸着が特徴でマイクロアークによる基板ダメージやドロップレットによる膜表面の異常を排除 プロ...
メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店
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金属、誘電及び有機膜成膜！熱蒸着装置をご紹介
当社で取り扱う『EVAD シリーズ』をご紹介いたします。 当製品はPID温度制御された低温蒸着セルによる有機分子成膜の熱蒸着装置。 また、電子ビームや各種抵抗加熱による金属、誘電及び有機膜成膜です。 ご用命の際は、当社へお気軽にご相談ください。 【特長】 ■電子ビームや各種抵抗加熱による金属、誘電...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイテック・システムズ
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リフトオフ・厚膜・低温成膜対応 昭和真空の技術を結集させた最上位モデ…
多機能型・真空蒸着装置 「SEC-22C」は、蒸発源として電子ビーム式蒸発源を採用しています。 高融点金属や酸化物を成膜する事ができます。 蒸発速度の制御と膜厚の制御は水晶発振式膜厚計により行います。 主ポンプはクライオポンプを搭載しています。 操作制御系は全自動式になっています。 【特徴】 ○良好な膜...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社昭和真空
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膜厚均一性に優れた成膜機構と高速排気を実現！高品質の電極膜を安定して形…
置』は、6インチまでのウェハへの 電極膜形成に対応したバッチタイプ蒸着装置です。 ディスクリートIC、化合物IC、MEMSデバイスの量産用途に 豊富な実績を持っています。膜厚均一性に優れた成膜機構と高速排気を 実現するオイルフリー排気系により高品質の電極膜を安定して形成が可能。 量産用途の蒸着装置として高い稼働率を誇ります。 【特長】 ■信頼性の高い基本構成 ■豊富なオ...
メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店
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小型電子部品（面実装タイプ）の側面電極形成をドライ化。ＰＶＤ（イオンプ…
ドライプロセスで形成。 廃液処理不要なクリーンプロセス。部品の端面のみに強い密着力で電極被膜を形成。Ｓｎ、Ｎｉ等の金属膜をハイスループットで形成。（酸化膜形成にも対応） 実績豊富なハードと独自の成膜プロセスで小型電子部品の生産プロセスのドライ化・低コスト化、安定生産に貢献いたします。...
メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店
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メンテナンス性・作業性が簡便！リフトオフ成膜機構には特殊遮熱機構を採用…
当製品は、金属材料を対象とし、リフトオフ成膜可能な電子ビーム蒸着装置です。 3連式EBガンはスライド移動機構により、メンテナンス性・作業性が簡便。 基板寸法は最大φ3インチで、リフトオフ成膜機構には特殊遮熱機構を 採用しておりま...
メーカー・取り扱い企業： ケニックス株式会社
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コンパクトな筐体で自動車外装品など大型樹脂成形品の全面成膜に対応 高速…
排気系の採用と前扉型の装置形状によって 排気系のメンテフリー化とシステムのメンテナンス性にも優れており 高い稼働率を実現しています。 【特長】 ■樹脂基板への高速バッチ処理 ■安定した成膜性能と高速排気性能 ■オールドライ排気系による排気系メンテナンスフリー化 ■コンパクトな装置規模による高生産性 ※詳しくはPDF資料をご覧ください。 ※その他、仕様詳細やサンプルテストな...
メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店
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用途や目的に応じて任意にカスタマイズ可能な真空蒸着装置
【オプション例】 ・反射電子抑制ユニット ・基板加熱 ・基板冷却（低温成膜） ・基板回転機構 ・プラネタリー回転機構 ・膜厚コントローラー（自動成膜） ・ロードロック機構 ※詳細はPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。...
メーカー・取り扱い企業： アズサイエンス株式会社 松本本社
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スパッタ・蒸着源複合型 薄膜装置 【nanoPVD-ST15A】
真空蒸着（金属・有機蒸着源）、スパッタリングカソードの混在設置が可能な…
電子回路基板、電池、MEMS、新素材開発などの研究開発用途で求められる高品質な薄膜を作成することができます。 ガス系統最大3系統（プロセス圧力APC自動制御）、連続自動製膜（最大20層）、2源同時成膜など豊富な機能を備え、更に基板加熱ヒーター（500℃）、ドライスクロールポンプなど豊富なオプションも用意。 真空引き・成膜制御・ベント、レシピ作成、更に故障解析、ログ等全て前面の7"タッチパネルで...
メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社
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ハイレート対応、厚膜成膜、大型装置対応
-60610BDS ボンバード蒸着源は、電子ビームボンバード間接加熱法を利用した真空蒸着源です。 従来機種 (BS-60310BDS) にビームスキャン機能を増設したことにより ハイレート対応、厚膜成膜、大型装置対応等の特長が得られます。 〇特長 ・ライナー大容量化。 ・ハイレート化 ・大型装置対応。 ・厚膜対応。赤外用途への対応も可能 ・レート安定化 ・低ダメージ・低欠陥・低吸収 ※詳細はP...
メーカー・取り扱い企業： アズサイエンス株式会社 松本本社
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樹脂レンズへの成膜に最適！大量生産を高次元で実現する光学薄膜用蒸着装置…
【特徴】 ○高効率排気系の採用によりφ1300クラスと比較しても 成膜処理時間は+10%程度 ○広範囲照射が可能なグリッド式ＲＦイオンソースを採用、 パレット全面の膜質が安定する ○設置面積の省スペース化、高さも抑えたコンパクト設計 ○作業性を考慮した最適な...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社昭和真空
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信頼性の高いシステムを構築！メンテナンスや改造も当社にお任せください
ザー様の仕様に合わせた製品を 主に研究機関に提供してまいりました。 2系統のガス導入が可能な「RFマグネトロンスパッタ装置」や 安価で手軽に薄膜作製が可能な「小型真空蒸着装置」など 真空成膜装置を多数ラインアップ。 その他「真空チェンバー」や「ターボ真空排気装置」などの 各種研究用装置もご用意しております。 ご用命の際はお気軽にご相談ください。 【特長】 ＜真空成...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ヤシマ
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ダイヤモンドライクカーボン膜（DLC）コーティング加工
金属から樹脂まで幅広く対応。金型や摺動部品の耐摩耗性向上に。メ…
株式会社栗田製作所 本社・京都事業部 -
小型真空蒸着装置『HVE-100』【クリーンな成膜を実現！】
クリーンな成膜が可能な小型真空蒸着装置！シャッタを具備している…
株式会社ハイブリッジ 東京営業所