各種スイッチ総合ラインナップ　＜圧力、真空、油圧＞【使用事例付】

PR大手航空機メーカーでも採用！圧力・真空・油圧スイッチの総合カタログを進…

圧力・真空計測・制御のエキスパートとして、半世紀以上の実績と蓄積された経験とノウハウにより、圧力・真空制御スイッチ専業メーカーです。 【特長】 ■自社独自での生産ラインの企画、設計、製作、改良 ■構成部品の部品加工から出荷に至るまですべて社内で一貫生産 ■高品質な製品を短納期にてお客様に提供 / 特殊継手等にも対応 【主な対象業界】 ・電車車輌 ・航空機 ・工作機械 ・医...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社三和電機製作所

真空はんだリフロー装置・酸化膜還元装置『RSS-210-S』

PRギ酸・水素還元両対応！最大200mm×200mmの基板に対応可能な卓上…

ギ酸・水素還元両対応卓上型真空はんだリフロー装置です。 業界最小クラスのコンパクトさながら、 大気・窒素・還元雰囲気（ギ酸または水素）、 また真空リフローにも対応。 さらに高速昇温・水冷方式による高速降温を実現しているので 研究開発や試作に適したモデルです。 はんだリフローや金属の酸化膜還元処理の他、ペースト材料の焼結など、様々な アプリケーションにも柔軟に対応します。 【特長】 ■フラック...

メーカー・取り扱い企業： ユニテンプジャパン株式会社

RIBER社EZ-CURVE 真空装置In-situ反りモニター

各種真空装置内でのウエハ応力、反り、曲率、異方性等をリアルタイム、高精…

RIBER社で開発されたEZ-CURVEは各種真空装置に取付可能であり、応力、反り、曲率、異方性等の測定が可能なIn-situモニターです。 特徴 1) In-situ応力、反り、曲率、異方性等の測定可能 2) 成長メカニズムに関する基礎デー...

メーカー・取り扱い企業： 伯東株式会社 本社

VP型ドライルーツ式　真空ポンプ　VPシリーズ

独自の冷却技術を用いた 多段ルーツ式真空ポンプ

【特徴】 ○ルーツ式で大気圧から入口締切りまでの全域で 　運転を実現し、使い易さを追求 ○ステンレス(SCS13.14.16)製真空ポンプの製作が可能 　その他の特殊材質についても対応可能 ○擬縮性ガスの吸引でも連続運転が出来ます。 ○真空ポンプケーシング内部の洗浄が容易に行える ○高温ガス130℃を直接吸引することが...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社四葉機械製作所

真空成膜装置・高真空装置

お客様のニーズに合わせた形でカスタマイズ可能な高性能真空装置

高真空装置で定評のあったMECA2000社の技術を引き継いだ高真空度を実現...

メーカー・取り扱い企業： 西華デジタルイメージ株式会社

真空装置設計・製作からサポートまで短納期でご対応

真空装置の設計・製作から保守作業までお任せを！

各種真空成膜装置の設計・製作を行っております。装置完成後の現地搬入・立ち上げ、稼働後の保守を含めたトータルでのサービスが可能な体制となっております。各種実験補助設備の設計や真空設計の応用に豊富な経験があり、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社コスモ・サイエンス

真空センサ『730シリーズ』

コンパクトサイズでローコスト。半導体製造ラインなどで活躍。静電容量型

『730シリーズ』は、コンパクトサイズ・ローコスト・高精度を実現した セトラシステムズ社の真空センサです。静電容量の変化を検知して、 リニアな直流電圧信号に変換し出力します。 温度補償範囲が広く耐圧性能に優れるため、様々な用途に使用でき、 太陽光パネル、半導体、石油化学など幅広い分...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

Oリング フロロアップD（低固着+低アウトガス+耐高真空）

Oリングの桜シールによる低固着性+低アウトガス性のフッ素ゴム（FKM）…

ゴム材質の特徴である貼り付きやガスの放出といった現象を低減させたフッ素ゴム（2元系）による材質で、高真空用途に最適なグレードです。尚、耐熱性や耐薬品性については汎用FKMと同程度です。桜シール株式会社は、JIS規格による一般的な規格サイズは元より、極小Oリングから大口径リングに至るまでの大小様々なOリ...

メーカー・取り扱い企業： 桜シール株式会社 日本本社

研究・試作に最適な小型プラズマCVD装置『VC-R400F』

独自のLIA方式プラズマ源を採用し、樹脂フィルムや金属箔に超高速、高品…

『VC-R400F』は、独自のLIA(低インダクタンスアンテナ)方式プラズマ源を採用し、樹脂フィルムや金属箔への超高速、高品質な真空成膜を実現するプラズマCVD装置です。 実験・研究・評価・試作に好適。LIA方式の誘導結合型プラズマ(LIA-ICP)使用により、高速/高精度/低ダメージ真空成膜を実現。 多点制御により...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社SCREENファインテックソリューションズ

研究・試作に最適な小型プラズマCVD装置『VC-R400G』

独自のLIA方式プラズマ源を採用し、ガラス、金属などの平板基材に超高速…

『VC-R400G』は、独自のLIA(低インダクタンスアンテナ)方式プラズマ源を採用し、ガラス、金属などの平板基材に超高速、高品質な真空成膜を実現するプラズマCVD装置です。 実験・研究・評価・試作に好適。LIA方式の誘導結合型プラズマ(LIA-ICP)使用により、高速/高精度/低ダメージ真空成膜を実現。 多点制御により...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社SCREENファインテックソリューションズ

真空蒸着フィラメント、ボート

少量パックのオンライン販売で必要な分を必要なときに！

真空蒸着装置に使われるフィラメント、ボート。真空機構の部品オーダーメイド部品。液晶、半導体製造プロセスに使われる消耗部品、特注冶工具。...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ビット･テック

真空蒸着システム　総合カタログ

様々なニーズに対応

パーカー熱処理工業社が取扱う、真空蒸着システムの総合カタログです ...

メーカー・取り扱い企業： パーカー熱処理工業株式会社 川崎事業所

【HTシリーズ基板加熱ヒーターMax1900℃】Φ1〜8inch

プレート最高温度Max1900℃。HV, UHVほか過酷なプロセス環境…

*旧製品名「セラミック・トップ・ヒーター」 窒化アルミプレート表面温度Max 1600℃ 対応可能サイズ Φ1〜8inch用、及び最大150mm角まで 超高温・超高真空対応フルカスタムメイド基板加熱ステージ ◉ヒーターエレメント： ・C/Cコンポジット Max1700℃ ・SiC3（炭化珪素）コーティンググラファイト Max1300℃ ・TiC3（チタン・...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

製品多様な真空配管部品-フィッティングシリーズ

配管部品は各種の真空装置や半導体製造装置に応用された部材です。

日揚科技(Htc Vacuum)の「フィッティングシリーズ」 は製品多様に揃えています。真空フィッティングはエルボ、ティー、クロス、レジューサ、センターリング、金属のベローズを含めています。規格品を提供可能以外に客先のニーズを応じて特製品を提供できます。製品はいつも真空装置などの配管工程に...

メーカー・取り扱い企業： 日揚科技股份有限公司

真空バルブオーバーホール、アクチュエーター修理

真空装置周辺機器,バルブの修理なら　お任せ下さい！ 　　メーカーメンテ…

各種メーカー真空バルブ修理　振り子式バルブ修理・ゲートバルブ修理・バタフライバルブ修理・アングルバルブ修理等...

メーカー・取り扱い企業： 大宮工業株式会社 近畿支店

真空ポンプ/メンテナンス部品

真空ポンプ用メンテナンス部品

各種海外製真空ポンプ用メンテナンスキット、構成部品など...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ミヤビインターナショナル

ピラニ真空計　PG-20

小型なボディで装置組込みの省スペース化！

熱を奪われたフィラメントが常に一定温度となるよう、加える電力を自動的に調節する定温度型のピラニ真空計です。 小型なボディで装置組込みの際に省スペース化を図ることができます。 表示は操作しやすいデジタル方式です。...

メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社

定温度型ピラニゲージコントローラ　PG-30

熱伝導を圧力に変換して、真空計測を行えます。

帯域（1.0×10-1Pa）?（1.0×10　4Pa）の低真空を測定できる、ピラニ真空計です。...

メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社

多層膜成膜装置 (ポリパラキシレン＋ALD）

ポリパラキシレン（パリレン）とALD(原子層堆積法）による無機酸化物層…

ように交互に成膜することで、バリア性の高い、高機能膜を生成することが可能になり、製品の小型化や薄膜が求められる医療用アプリケーションに最適です。 パリレンとALDは同一チャンバ(In-situ)で真空を破ることなく成膜するので、パーティクルの心配はありません。また、プロセス・ノウハウもメーカはあるので、レシピに関する情報も提供可能です。 デモ成膜も行っていますので、お気軽にお問い合わせください...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マツボー

ポンプ・メンテナンスの改造、移設等、休日対応も承ります。

真空蒸着装置とこれらに関連する機器メンテナンスサービスを行っております…

真空蒸着機は一般的な稼働状態で１～２年に１度のメンテナンスが必要です。弊社では、これまでに新旧様々なタイプの真空蒸着機や真空ポンプなどのメンテナンス、修理、移設、カスタマイズ等を行ってまいりました。特にメンテナンス作業では装置の細かい部分まで分解しクリーニングすることを心がけております。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社フジメカニック

真空チャンハ゛ー　SUS304

1000mm*1000mm*1000hの真空チャンハ゛ーです。材質SU…

スリーエスは、真空機器関連の製造及び加工を主要業務としており、 様々な加工、工材に対応しております。 設計から製作、据付までワンストップ対応可能で管理コスト削減に貢献。 小ロットから１点の試作品まで柔軟に対応致...

メーカー・取り扱い企業： スリーエス株式会社

プラズマイオン注入成膜装置

日本発のまったく新しいガスイオン注入も可能なDLCコーティング装置です…

・真空装置部の大型が容易に可能で最大長さ4m、直径1.2mの大型装置の納入実績もあります ・完全自動運転のためコスト低減が可能です ・DLC成膜のほかに簡易なイオン注入も可能で新しい材料の開発も可能で...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社栗田製作所 本社・京都事業部

多機能スパッタリング装置 【MiniLab-S060】

コンパクト、60ℓ容積チャンバーにスパッタ・蒸着・EB・アニールなどの…

*ラージチャンバーオプションMiniLab-070（450 x 450 x 450）有り ・最大基板サイズ：Φ8inch ・ポンプ：ターボ分子ポンプ, ロータリーポンプ（ドライポンプ可） ・真空排気：真空/ベント自動制御 ・抵抗加熱蒸着：最大4源点（Model. TE1～TE4蒸着源） ・有機蒸着：最大4源（Model. LTEC-1cc/5cc) ・EB電子ビーム蒸着源：7ccるつ...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

広い分野で汎用された金属ベローズ

金属ベローズは各種の真空装置や半導体製造装置に応用された部材です。

Vacuum)は提供できる金属ベローズの種類は溶接ベローズや成形ベローや、フレキシブルチューブの3種類あります。 これらの製品は伸縮性がよくて、各産業の装置配管に汎用されています。例え：半導体・真空装置によく配管の伸縮継手として汎用されます。ベローズの製品もいつも真空装置などの配管工程に使われています。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。 ...

メーカー・取り扱い企業： 日揚科技股份有限公司

高電圧リレー

高電圧リレー

、パワースイッチングで30年以上の実績を持つキロバック 1964年以来、キロバックは高電圧スイッチングおよび高電圧負荷の絶縁用途に、小型/軽量デバイスを開発してまいりました。キロバック社の誇る真空シール技術が、最大70kVまでのリレー、コンタクターなどの幅広い製品に活かされています。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社コムクラフト

『事例』プラズマや熱による センターリングの劣化対策　無料進呈中

真空配管設備の不安を解消！プラズマや熱によるセンターリングの劣化対策の…

介です。 ・プラズマCVD装置によるプラズマや高温排気の影響で配管接続に使用しているフッ素ゴムO-リングが劣化してしまう。 ・高価なセンターリングを採用しているが、コストが高く困っている。 ・真空設備のセンターリングが劣化・腐食し、臭いが漏れ出て困っている・・ といったお悩みはありませんか？ KITZ SCT では流路のお悩みをトータルでご提案しております。気になる事例がありましたら...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

プラズマCVD装置

プラズマCVD装置

● トレーカセット方式を採用。 　 1. 搬送時間短縮により高スループットを実現。 　 2. トレー変更によりφ2インチ〜φ8インチのウエハーに対応可能。 ● 真空カセット室を採用。 　 1. 1カセット1回の真空排気により高スループットを実現。 　 2. コンタミネーションの影響回避やウエハー表面の酸化を防止。 ● 納入実績の...

メーカー・取り扱い企業： サムコ株式会社

排気配管内Ｎ２ヒーター（コントローラ内蔵型）

配管形状を選ばず、粉体の析出を抑制し配管内の閉塞を局所集中により防止し…

ＣＶＤ装置や、ドライエッチング装置の真空ポンプやそこから除害装置間では常にデポ物堆積や、真空ポンプ故障、バルブ閉塞の問題が発生しています。当製品は、問題の発生原因の一つとなるポンプ直後（或いはポンプ内部）の配管内部に局所的に高温のＮ２ガス...

メーカー・取り扱い企業： エヴァンリード株式会社

単結晶高純度ダイヤモンド合成用CVD装置　DCVD-51A

コンパクトで省電力！デバイス作成向け単結晶高純度ダイヤモンド合成実験用…

ダイヤモンドの単結晶成長(ホモエピタキシャル)が可能な 高純度のダイヤモンド合成実験を行うためのプラズマCVD装置 【特徴】 ○コンパクトで省電力 ○超高真空技術を駆使しており、プラズマが室壁に接触しないため 　デバイス作成向け単結晶高純度ダイヤモンド合成実験が可能 ○球状コンパクトチャンバー＋特殊電極により、高効率な運転が可能 ○放電状態を見な...

メーカー・取り扱い企業： アリオス株式会社

中空直進導入機

真空中の試料や機器等に、大気側から直線運動を伝達する導入機です。

真空中の試料や機器等に、大気側から直線運動を伝達する導入機です。 ...

メーカー・取り扱い企業： 入江工研株式会社

立体物対応実験用プラズマCVD装置

対応可能膜種はDLC、アモルファスSiC等！基板加熱機構付き（最高設定…

【仕様（抜粋）】 ■チャンバー材質：ステンレス製 ■到達真空度：1Pa以下 ■真空ポンプ：ロータリーポンプ＋メカニカルブースターポンプ ■排気圧力コントロール：手動（オプションで自動可） ■成膜対象物：最大Φ100mm×500mm ■高周波出力：最大...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社DINOVAC

ガス配管

半導体や太陽電池等製造装置用ガス供給装置の設置・製造

半導体向け溶接ガス配管　 その他製品事例・・・ ・高純度ガス供給ユニット製作 ・シリンダーキャビネット製作 ・排気ユニット製作 ・除害ユニット製作 ・クリーン自動溶接配管製作 ・真空配管製作 半導体、液晶、太陽電池等製造装置用ガス供給装置の設置・製造 特殊材料ガス配管工事、その他 など様々な製造を行っております ※詳細は【資料請求】もしくは、会社案内を【カタ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社湘南テクノ

ガスボックス

ガスボックス

かな物を安価で迅速に供給できます。 【製造事例】 ・高純度ガス供給ユニット製作 ・シリンダーキャビネット製作 ・排気ユニット製作 ・除害ユニット製作 ・クリーン自動溶接配管製作 ・真空配管製作 など様々な製造をおこなっております。 ※詳細は【資料請求・】もしくは、会社案内を【カタログダウンロード】から 　ダウンロードしてください。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社湘南テクノ

プラズマＣＶＤ成膜

ガスを化学反応させることで緻密な薄膜を形成！低温加工も可能です。

ガスを、プラズマにより励起や分解をさせて、 基板表面で吸着、反応等を経て膜を形成する方法です。 プラズマを用いるため熱ＣＶＤに比べて低温での製膜が可能です。 また、イオンプレーティング法、真空蒸着法、スパッタリング法と比べて凹凸への付きまわりがよいのも特徴です。 弊社では、イオンプレーティング法、真空蒸着法に加え、 プラズマＣＶＤ法によるコーティングサービスも行っております。 ...

メーカー・取り扱い企業： 東邦化研株式会社

クラスター装置『Morpher』

デバイス量産へ、優れたプロセス品質、信頼性、高スループットを提供！

Morpher ALDシステムは、業界標準の枚葉ウエハ真空クラスタプラットフォームを組み込み、ウエハバッチを完全自動処理するように設計されています。 米国特許取得済みのウエハバッチフリップ機構により、他の半導体製造ラインとのシステムの統合が可能で、またS...

メーカー・取り扱い企業： PICOSUN JAPAN株式会社

スリットバルブシール

スリットバルブシール

●半導体、液晶をはじめ多岐の業界で使用されている真空機器のシール材に対し、総合シールメーカーとして長年にわたり培った経験、豊富な材料、独自の最適形状設計を組み合わせ、様々な御要求にお応えし、ソリューションをご提供しております。 ●半導体業界向け...

メーカー・取り扱い企業： 三菱電線工業株式会社

【nanoCVD-8G/8N】グラフェン/CNT合成装置

◉ 大型製造装置設備を使わず、短時間で容易にグラフェン・CNT（SWN…

ード可能 ・最大試料サイズ：40 x 40mm：銅（ニッケル）箔, SiO2/Si, Al2O3/Si基板，他 ◆Model. nanoCVD-8G（グラフェン用）◆ ・グラフェン生成用，真空プロセス制御 ・ロータリーポンプ標準付属（オプション：TMP, Diffusion or Dry Pump） ・ガス供給3系統（標準） ・試料加熱ステージMax1100℃ ・Kタイプ熱電対 ...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

Nd:YAGレーザパルス蒸着システム

Nd:YAGレーザパルス蒸着システム

AOVでは、多種多様なお客様のご要望にお応えするために、カスタマイズされた様々な真空製膜装置を取り扱いしております。AOVの取り扱う真空装置は物理気相蒸着（PVD）法と化学気相蒸着（CVD）法に大きく分かれています。 PVD法による装置は、 * PLD（パルスレーザ...

メーカー・取り扱い企業： AOV株式会社

PLAD-221-Y PLDシステム

PLAD-221-Y PLDシステム

AOVでは、多種多様なお客様のご要望にお応えするために、カスタマイズされた様々な真空製膜装置を取り扱いしております。AOVの取り扱う真空装置は物理気相蒸着（PVD）法と化学気相蒸着（CVD）法に大きく分かれています。 PVD法による装置は、 * PLD（パルスレーザ...

メーカー・取り扱い企業： AOV株式会社

固着対策シール

固着対策シール

●半導体、液晶、太陽電池をはじめ多岐の業界で使用されている真空機器のシール材に対し、総合シールメーカーとして長年にわたり培った経験、豊富な材料、独自の最適形状設計を組み合わせ、様々な御要求にお応えし、ソリューションをご提供しております。 ●半導体・液晶製...

メーカー・取り扱い企業： 三菱電線工業株式会社

高生産性連続式常圧CVD(APCVD)装置 (AMAX800V)

量産向け　NSG(SiO2)/PSG/BPSG膜成膜用　高生産性　連続…

クシール等のシリコン酸化膜(SiO2膜)の成膜を目的とした、連続式常圧CVD装置(APCVD装置)です。 【特徴】 　・最大100枚/hの高生産性 (対応ウェハサイズ: ～8インチ) 　・真空・プラズマ不要 (熱CVD) 　・SiCトレー採用による重金属汚染(メタルコンタミネーション)対策 　・シンプルメンテナンス 　・低CoO(低ランニングコスト) 【用途】 　・エピタキシャ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社渡辺商行

高生産性連続式常圧CVD(APCVD)装置 (AMAX1200)

量産向け　NSG(SiO2)/PSG/BPSG膜成膜用　高生産性　連続…

ックシール等のシリコン酸化膜(SiO2膜)の成膜を目的とした、連続式常圧CVD装置(APCVD装置)です。 【特徴】 　・～56枚/hの高生産性 (対応ウェハサイズ: ～12インチ) 　・真空・プラズマ不要 (熱CVD) 　・SiCトレー採用による重金属汚染(メタルコンタミネーション)対策 　・シンプルメンテナンス 　・低CoO(低ランニングコスト) 【用途】 　・エピタキシャ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社渡辺商行

RIBER社 分子線エピタキシー（MBE）装置

パッシベーション用MBE装置は、レーザーファセットパッシベーション等の…

ションを行うレーザーの両端でデバイスホルダーを反転させる機能が含むチャンバ、パッシベーション膜前の自然酸化膜除去する為の水素(H2)プラズマクリーニングチャンバ等を含む事も可能です。 ウエハは、高真空条件下でチャンバーからチャンバーへと移動し、プロセス全体を通して清浄度が維持されています。 お客様のご要望とプロセス時間等に応じて、プロセスチャンバーを追加することができます。...

メーカー・取り扱い企業： 伯東株式会社 本社

シャッター

ビューイングポートへの蒸着保護および光・ビームの遮断にご利用ください。

ビューイングポートへの蒸着保護および光・ビームの遮断にご利用ください。真空機器向けに設計したシャッターです。手動タイプと自動タイプ(エアー駆動)の2タイプを用意しています。...

メーカー・取り扱い企業： 入江工研株式会社

チャンバー

真空チャンバーを製作いたします

当社では、チャンバー内部が超高真空から大気圧やプラズマ環境、希薄な活性ガス環境などの特殊な環境になるチャンバーの製作をいたします。...

メーカー・取り扱い企業： 入江工研株式会社

ドライエッチング装置

MRAM用ドライエッチング装置！

RIE、IBE、PECVDチャンバーを一つの真空制御装置に統合など各種カスタマイズも対応可能。 ご要望・お見積もりなど、お気軽にご相談ください。...

メーカー・取り扱い企業： 日星産業株式会社

直流電源

熟練したリターン技術による、安定放電が可能な直流(充電）電源です。

直流(充電）電源です。 真空プロセスから、各種バイアス用電源、集塵機などにも採用されている電源です。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社栗田製作所 本社・京都事業部

『流路まるごと事例集』排気ラインの副生成物対策 ※無料進呈中

除害装置前段やCVD排気ラインの副生成物対応にお困りの方必見！ 高温…

！ ・流路を高温（180℃）、かつ均一に加熱する方法とは？ 掲載されている製品・技術： #半導体製造用部材　#空圧 ボールバルブ　#手動 ボールバルブ　#アイソレーションバルブ　#Ｌ型真空バルブ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

静止空気より優れた断熱性能！高性能断熱材のメリットを解説

なぜ断熱材『シルサーム』を導入するのか？そのメリットを解説します。

一貫して行っております。 ♦ 原料メーカーならではの高い品質に加え、安価で高付加価値な製品を提供できることを強みとしております。 営業品目 ■ マイクロポーラス状高性能断熱材 ■ 高性能真空断熱材 ■ 生体溶解性ファイバー断熱材 ■ ケイ酸カルシウム断熱材 など 主用途 ■ 高温用途：鉄鋼 / 非鉄 / プラント / 発電 / 工業炉など ■ 耐火用途：建設(特定防火設備...

メーカー・取り扱い企業： シルサーム・ジャパン株式会社

ガラス基板成膜装置「低温成膜」「フレキシブル基板対応」

FPDなどリジット/フレキシブルデバイスに対応した4.5世代ガラス基板…

　・シンプルメンテナンス 　・低CoO(低ランニングコスト) 　・高品質なSiO2膜の形成: 低ストレス、プラズマダメージレス、小パーティクル 　・導入・維持コストの削減: 小フットプリント、真空・プラズマ処理不要 【用途】 　・FPD向け絶縁膜(NSG) 　・酸化物半導体TFT パッシベーション膜(NSG) ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧下さい...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社渡辺商行

【超耐熱】エンジニアリングプラスチック　SCM8000のご紹介

超耐熱・低吸水率・優れた摺動特性を誇るエンジニアリングプラスチックです…

当社では精密加工の実績も多く御座いますので、是非ご相談ください。 【特徴】 ■荷重たわみ温度：480℃ ■低吸水率(23℃,24h)：0.06wt％ ■曲げ強さ：190MPa ■高真空・高耐熱部品への置き換え(セラミックス⇒SCM8000等) 詳しくは資料をご覧ください。お気軽にご相談頂ければ幸いです。 ...

メーカー・取り扱い企業： ナラサキ産業株式会社 メカトロソリューション部　機能材料課

ソーラーリサーチ研究所の非接触搬送装置：フロートチャックSAC型

オーダメイドの垂直気体噴流方式非接触搬送装置「フロートチャックSAC型…

することにより、非接触の状態にて懸垂保持し、搬送することができます。 　作動面とワークとの間隙が大きい場合、気体噴出部ノズル、クッション室および作動面とワークとの間隙はそれぞれエゼクターのノズル、真空室およびデフューザの機能をはたします。そのためクッション室には負圧が生じワークを引き寄せることになります。ワークが引き寄せられ作動面との間隙が小さくなると、クッション室は圧力室型エアクッション（ホバ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

PETボトル用プラズマCVD装置

3L容器までコーティング可能！容器軽量化による物流コストの低減などに貢…

装置 マニュアルローディング ■リニアタイプDLC成膜装置 オートマチックローディング ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 その他ウェットプロセス装置、真空プロセス装置も取り扱いしておりますので、ご覧ください。 『立体物用プラズマCVD装置』 ■チャンバー容積：1m3 ■独自のプラズマ制御方式 ■多段式大量一括処理可能 ■高い汎用性を備え...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

ウエハチップ・マイクロレンズ･高温ウエハ・微小物の非接触搬送装置

ウエハチップ・高温ウエハ・レンズ・微小物を非接触にて搬送するベルヌーイ…

を空中に浮遊した非接触の状態にて懸垂保持し、搬送することができます。 　作動面とワークとの間隙が大きい場合、気体噴出部ノズル、クッション室および作動面とワークとの間隙はそれぞれエゼクターのノズル、真空室およびデフューザの機能をはたします。そのためクッション室には負圧が生じワークを引き寄せることになります。ワークが引き寄せられ作動面との間隙が小さくなると、クッション室は圧力室型エアクッション（ホバ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

簡単大気圧でSiO2コーティング！プラズマコートUL-Colat

弊社にてデモ可能！ 市場初投入の新技術。大気圧プラズマでＣＶＤ。 …

プラズマ処理装置とコーティング剤供給ユニットの２つから成り立っております。 Ａｌｌ－ＩＮ－ＯＮＥモデルとして３軸ロボットを内蔵し、 タッチパネルで操作出来るタイプもございます。 今まで大型真空CVD装置でしか生産できなかったSiO2膜を簡単にしかも大気圧下で製作できます。 弊社にデモ機を常備しており、日本国内でサンプル作成可能です。 またフランス本国と協力してより正確なサンプル作...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ケー・ブラッシュ商会 本社

高周波レーザーCVD装置

簡単に試料セットする事が可能！外部ビューポートよりYAGレーザーを入射…

【仕様】 ■排気系：ロータリーポンプ（ターボポンプ御要望の場合は別途御相談下さい） ■試料ステージサイズ：20 × 40 ■試料ステージ回転機構：ステッピングモーター（回転速度可変可能） ■真空計：ピラニー真空計 ■レーザー入射装置：位置決め機構付き（X・Y・ゴニオ機構） ■チャンバー水冷機構付き ※YAGレーザーは価格には含まれておりません。 ※詳しくは外部リンクページをご覧...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社和泉テック

三菱電線工業のメタルシール「サンリーメス」シリーズ

高機能メタルシール！！各種真空機器、半導体製造装置などに最適！

●機器仕様の多様化に伴い、従来のゴム材料や樹脂材料を用いたシールでは、その材料特性から使用に耐えられない場合が増えてきています。 ●このような場合、メタルＯリングに代表されるメタルシールが選択されていますが、締付力が大きい、復元量が小さいという弱点から、ゴム材料や樹脂材料を用いたシールからの置き換えは容易にはできません。 ●これらの問題を解決するため、メタルシールとしての長所を持ちなが...

メーカー・取り扱い企業： 三菱電線工業株式会社

原子スペクトル検索ツール 無料動画ＤＶＤプレゼント

AtomSpectraDBViewer 高速便利に検索！新バージョン登…

波長のAND、OR検索が可能 ・データの簡単コピー機能 ・データ並び替えで見たい原子がすぐに探せる ・CSVファイルへのエクスポート ・エクスポート時の文字置き換え機能 ・発光強度の切替　真空時／エア混じり ・波長の単位切替 ・データのスクロールアウト防止 ・フォントサイズ調整可 ・カラーサンプルでわかりやすい！ その他、便利な機能を搭載しています。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社クレブ

Aera FC-R7700シリーズ　マスフローコントローラ

経済性に優れた高精度ラバーシール

半導体、FPD、データ記憶装置、産業用真空機器、工業用コーティング等の市場では、CVD、PVD、エッチング、イオン注入、スパッタリング、熱酸化膜、光学ガラスコーティング、光ファイバー、表面処理、その他のコーティングプロセスを含め、非腐食性ガ...

メーカー・取り扱い企業： 日立Astemo＆ナガノ株式会社

プラズマCVD装置

漏洩マイクロ波検出用も付属！試料の取付は、下部よりモーターによる上下機…

【仕様】 ■マイクロ波出力：1.5Kw ■排気：ロータリーポンプ ■導入ガス：5系統（配管加熱付き） ■温調：試料ステージ試料加熱（4系統） ■配管加熱（2系統） ■真空計：バラトロン ※詳しくは外部リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社和泉テック

酸化シリコン成膜CVD装置

3インチウェハ対応！コンパクトな設計となっており省スペース化を実現しま…

【仕様】 ■真空排気：ターボポンプ ■ヒーター：SiC　MAX1200℃ ■水冷：外周蛇管　上フランジジャケット ■外寸：φ360 x 500H ■内面処理：電解研磨 ■ガスケット：金メッキ銅ガスケット ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社和泉テック

MOCVD排気濾過用フィルター　（AIXTRON装置用）中国産

MOCVD、フィルター、AIXTRON、LED、中国産、高温真空粉塵濾…

主流ドイツのAIXTRON社のMOCVDの各型番の装置の排気フィルターは全部対応可能です。日本国内にも多数LEDメーカ―とパワーディバイスメーカーに2年以上の採用実績があります。品質面、価格面も高い評価を頂いております。...ドイツのAIXTRON社のMOCVD装置用の排気フィルターシリーズ製品はアメリカ産の高級耐高温ガラス繊維制濾過材（濾過布）と中国産ＳＵＳ３０４を構成した製品。 ガラス繊維制...

メーカー・取り扱い企業： 愛鋭精密科技（大連）有限公司（AIRY TECHNOLOGY CO., LTD.) 中国大連本社