【事例集進呈】オートコネクタ/自動着脱装置

PR工場の自動化・省人化を実現！流体・粉体問わずご要望に応じた自動着脱装置…

当社では、スラリー・粉体などの配管を自動調芯により着脱可能な 「オートコネクタ(自動着脱装置)」を取り扱っております。 生産性の向上、多品種少量生産、省人化といったメリットがあり、 電池製造及び医薬等、スラリー・粉体を扱うユーザーに好適。 流体・粉体問わずご要望に応じた自動着脱装置の製作・納入いたします。 【特長】 ■スラリー・粉体配管を自動で着脱出来、粉体のブリッジ除去に...

メーカー・取り扱い企業： ナブテスコサービス株式会社 産業機械部　

泡立て専用ミキサー『SMiシリーズ』

PR均一な撹拌、歩留まりの向上で安定した生地づくりを実現！当社のミキサーを…

『SMiシリーズ』は、手立ての動きを再現する泡立て専用ミキサーです。 空気を細かく取り込む為、浮き上がりが速く気泡がしっかりとした生地に。 登録した熟練者の動きを自動で細部まで再現します。 また、スピード、首振り角度撹拌時間を任意に設定可能です。 【特長】 ■キメの細かい生地に好適 ■熟練者の動きを再現 ■さまざまな設定登録が可能 ■高品質な生地づくり ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか...

メーカー・取り扱い企業： 関東混合機工業株式会社 本社（東京）、札幌出張所、仙台出張所、名古屋出張所、大阪出張所、福岡出張所

SSY-10010　EFEM

EFEM

搬送物 150mmガラスウェーハ 処理枚数 140枚/h (装置側の処理時間は含みません) 動作範囲 ワーク中心距離 旋回角度 (θ軸) 上下ストローク (Z軸) 反転軸 672mm 335度 500mm 180度 搬送速度 (平均速度) アーム 旋回角度 (θ軸) 上下ストローク (Z軸) 550mm/s...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

１０Gガラス基板非接触搬送装置

１０Gガラス基板非接触搬送装置

気体を噴出することによりワークを非接触にて懸垂保持し搬送する非接触搬送装置。気体噴出機構に新機構を採用しており、空気噴出口は噴出角度をワークに対して小さな角度を持たせている。気流の壁面接触による摩擦損失により生じる気流速度の減速が無い。負圧発生量は増加し、負荷発生効率は向上する。従来技術に比し格段に懸垂能力が増加し、気体消費量が...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

マルトー 試料乾燥機　両手が使えるフットスイッチ、温度調節機能付

室温～60度まで送風温度が調整可能な試料乾燥機。電源ON/OFFはフッ…

温・加熱はできない仕様 ■仕様 電　源　　：100V AC 15A モータ　　：単相100V　0.25kW　 ヒーター　：100V　1kW（通常は目盛の6～7を使用） ノズル口径：13mm（下方向角度移動） 機体寸法　：W280×L450×H430mm 機体重量　：35kg ※詳しくは、カタログをダウンロード頂くかお気を遣わずにご相談ください。 オンライン打合せ対応しております。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マルトー 本社

SWCR3160CS (防水対応）

3軸円筒座標型クリーンロボット

ロボット仕様 被搬送物 ～300mmウェーハ 機械構造形式 円筒座標型 制御軸 3軸 モータタイプ 2相パルスモータ 動作範囲※ アーム第3関節中心 旋回角度(θ軸) 上下ストローク(Z軸) 312mm 340度 300mm 搬送速度(平均)※ アーム(R軸) 旋回角度(θ軸) 上下ストローク(Z軸) 250mm/sec 120度/sec 70mm...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

産業機械や半導体製造装置・治工具の装置開発

産業機械や半導体製造装置・治工具の装置開発

サンワハイテックでは、構想・設計・精密加工・精密組立・据付・メンテナンスまで、装置開発に関して一貫して受注できる体制を完備し、あらゆる角度からの装置の開発をサポートいたします。 ■主な加工設備　（総床面積：約750m2） −−−−−−−−−−−−−−−−−− ・加工室　高さ：145m2／広さ：4m　 −−−−−−−−−−−...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社サンワハイテック

テープ剥がし機

テープ剥がし機

能■ 離動作後、センサーにより剥離確認を行います。NGの場合再び剥離動作に入り、剥がし残しを防ぎます。（回数設定可） ■アライメント機能■ 剥離前にアライメントテーブルにて、オリフラ・ノッチの角度位置合せとセンタリングを行い、位置ズレによる剥離不良を防ぎます。 ■タクト調整機能■ テープ剥離速度、搬送速度等をタッチパネルにて設定可能。ワークにあわせた調整が可能です。 ■テープ空検知■ ...

メーカー・取り扱い企業： 大宮工業株式会社 営業本部営業課

XYテーブル

磁気結合式直進回転導入機（MFL）を取り付ける際の軸差および角度調整に…

磁気結合式直進回転導入機（MFL）を取り付ける際の軸差および角度調整にご利用ください。真空容器への機器を取り付ける際、誤差調整用として最適です。...

メーカー・取り扱い企業： 入江工研株式会社

6インチ用 ウェハローダー WR-100A

6インチ用 ウェハローダー WR-100A

6インチ用、マニュアルタイプのウェハローダー 【特徴】 ○ウェハをカセットから顕微鏡の受け渡し位置へ渡し 　作業終了後、カセットへ収納 ○検査するウェハは選択可能 ○オリフラ角度の設定が90度単位で可能（オプション） ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウイング

SSY-11000

450mmウェーハ搬送システム

被搬送物 ～450mmシリコンウェーハ 動作範囲 ワーク中心距離 旋回角度 (θ軸) 上下ストローク (Z軸) スライダストローク (X軸) 940mm 340度 300mm 2000mm 搬送速度 (平均速度) アーム (R軸) 旋回角度 (θ軸) 上下...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

SUSS MicroTec社製インクジェット塗布装置『LP50』

半導体、PCB、プリンテッドエレクトロニクス向け、卓上型インクジェット…

リントビュー 対応インク種類：溶剤系、ナノ粒子、水性、ホットメルト、UV硬化等 対応インク粘度：2～20cP Advanced Drop Analysis(オプション)：ドロップ量、スピード、角度の自動計算機能 Automated Print Optimization(オプション)：パラメータ最適化の為のテスト機能 ※資料を併せてご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。 ...

メーカー・取り扱い企業： 兼松ＰＷＳ株式会社

SSY-10000

ガラス、サファイア、SiC、GaN、等々のウェーハ対応　卓上ローダーシ…

○被搬送物 ～100mmウェーハ (ガラス, サファイア, SiC, GaN, 等) ○動作範囲 ワーク中心到達距離 旋回角度(θ軸) 上下ストローク(Z軸) 225mm 360度 150mm ○搬送速度 （平均速度） アーム(R軸) 旋回角度(θ軸) 上下ストローク(Z軸) 225mm/sec 500度/sec ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

シャーレ搬送ロボット

医療、バイオ関連施設などの無菌室、クリーン環境下での搬送が可能

プレートも対応可） 搬送物保持 エアシリンダ駆動によるメカニカルグリップ方式 機械構造形式 水平多関節型 制御軸 4軸 モータタイプ 全軸ACサーボモータ 動作範囲 ワーク中心到達距離 旋回角度(θ軸) 上下ストローク(Z軸) 555mm 335度 300mm 搬送速度 アーム(R軸) 旋回角度(θ軸) 上下ストローク(Z軸) 250mm/1.5sec 335度/2.0sec 300...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

SSY-21000カセット搬送システム

カセット搬送システム

被搬送物（※1） 200mmウェーハ用オープンカセット（25段） 動作範囲 アーム (R軸) 上下ストローク (Z軸) スライダストローク (X軸) カセットチルト角度 (チルト軸) 590mm −350mm 200mm 980mm 90度 搬送速度 アーム (R軸)※カセット未保持状態 上下ストローク (Z軸) スライダストローク (X軸) カセッ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

ノッチ・オリフラ自動整列機（AAM-01型）

指定カセットに収納されたウェーハのノッチ及びオリフラの向きを整列させる…

ノッチ、オリフラ整列角度は3種類の設定が可能です。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム

GCR4210SN(クローズドループ制御)

・クローズドループ制御 ・アブソリュートエンコーダ搭載 ・バッテリ…

ウェーハ ウェーハ保持方式 チャックによる真空吸着で保持 機械構造形式 水平多関節型 制御軸 4軸 モータタイプ ステッピングモータ（クローズドループ） 動作範囲 ワーク中心到達距離 旋回角度(θ軸) 上下ストローク(Z軸) 760mm 335度 300mm 搬送速度 アーム(R軸) 旋回角度(θ軸) 上下ストローク(Z軸) 730mm/sec 240度/sec 200mm/sec...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

TSVCR3060N（2インチウェーハ搬送）

真空トランスファーチャンバーの小型化に寄与します。

インチシリコンウェーハ ウェーハ保持方式 落とし込みによるラフガイド方式 機械構造形式 円筒座標型 制御軸 3軸 モータタイプ エンコーダ付き2相パルスモータ 動作範囲 アーム(R軸) 旋回角度(θ軸) 上下ストローク(Z軸) ±119mm 360度 20mm 搬送速度 アーム(R軸) 旋回角度(θ軸) 上下ストローク(Z軸) 230mm/sec 450度/sec 40mm/sec ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

真空対応ピエゾステージ

高真空環境に対応した超小型精密位置決めステージ

防止4軸ステージ（ACT）は、X・Z・回転・傾斜の4つの動作軸を備えたポジショニングツールで、サンプルを±90度傾けることができ、さらにFIB / SEMの試料ステージを使用してステージ全体をFIB角度に傾けることができます。 ユーセントリック5軸ステージ（E5AT）： ユーセントリック5軸ステージ（E5AT）は、サンプルを無制限に回転させ、対象領域をユーセントリック位置に維持しながら、サ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アド・サイエンス

工業用機械刃物のオーダーメイド、超硬丸ナイフはお任せください

超々微粒合金による超硬丸ナイフなど、さまざまな業界で当社提案の産業用刃…

換がいる ■今より安い刃物でも品質が落ちるのは避けなければ… ■アラミド繊維等、特殊繊維を切断したい… ■量が少なくても対応してもらえるか… 当社の刃物は、切る対象物によって材質、形状、角度など切断物に適した刃物をご提供致します。 お客様の製品品質向上・生産効率向上・耐久性アップによるコスト削減 などを考慮し、信頼性の高い刃物をご提供致します。 ※詳しくはPDF資料をご覧いた...

メーカー・取り扱い企業： アルスコーポレーション株式会社

Parker 計装用ボールバルブ

パーカー製 2 方 B シリーズのボール・バルブ

請に応じて利用できます。 • 精密仕上げのボールによる高い密閉性 • 直線の流路で圧力低下が最少 • 両方向使用可能 • 様々な種類の SI ポートが幅広く利用できます。 • ハンドル操作角度 90° • パネル取付可能 • PTFE 製ステム・シールは調節可能でインラインに維持でき ます。 • ハンドルの位置で流れ方向確認可 • 小さなトルクで操作可能 • ハンドルの停止位...

メーカー・取り扱い企業： アマノ機工株式会社 パーカーストア豊田店 パーカーストア事業部

ＩＣ.プログラマー　SU-6000

『台湾・リープ社』製、世界の主要半導体メーカーから認定を受けたICプロ…

グ量管理や歩留まりの統計情報を知ることができます。 電源は100V～240V ACで自動切り替えスイッチング電源を内蔵しています。 水平または斜めにユニットを置くことができ、操作角度を調整できる柔軟な設計。 ...

メーカー・取り扱い企業： 三友電子工業株式会社

高出力LD調芯装置『KS-203-HP』

オリジナルパワーメータによる高速調芯！お客様の要望に合わせた専用調芯装…

『KS-203-HP』は、LDと第1レンズ調芯とYAG溶接による微小光学部品の 固定を行う高出力LD調芯装置です。 第1レンズからのコリメート光をIRカメラで広がり角度/傾き角度を 測定し、適したポイントに調芯を行います。 自社製のステンレスフレームの自動ステージは剛性が高く、熱膨張が 低い為、安定した調芯が可能です。 【特長】 ■オリジナルパワ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社KUGE

フレキシブル性のあるユニバーサルジョイントコネクタ

装置内の狭いスペースでの作業時や、電路の引き回し設計においてフレキシブ…

写真はネジ取付となっておりますがその他の取付要望にもお答えでき、アーム部の開き角度は４５度であり、３６０度方向に可動可能となっております。 フレキシブルな接続を可能とする製品であり、お客様の使用電流や用途に合わせた設計が可能となっております。...

メーカー・取り扱い企業： エヌビーエス株式会社 本社・工場

親水・洗浄・密着強化『回転式真空プラズマ装置』

乾式で『粉体や固体全面』の『表面改質(親水・洗浄・密着強化)』を一括処…

で全面を一括処理が可能。 ・一括処理で処理時間の短縮！コスト削減。 ・サンプル間の接触部もムラ無く処理。 ・粉体や小さなサンプルへの表面改質！新技術の誕生。 ・脱着式チャンバー・チャンバーの角度調整・回転速度調整・パワー調整など簡易な操作性。　など・・・ 【用途】 ・Oリングなど各種樹脂成型品の密着力強化 ・医療針やチューブなど全面への均一な表面改質が可能。 ・各種粉体の親水化...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社魁半導体

LED照明付半田ヒューム吸煙機／ 品番　M812SG-2111K

LED照明とフィルタ・小型ファンが付いたスタンド式の縦型ハンダ吸煙機で…

■特長 ●ハンダ煙は上に舞い上がるため、横置きタイプと比較すると上部から確実に吸煙ができます。 ●ダクト式の箱型吸煙装置と比較して省スペースなので、設置や管理が簡単です。 ●高さと角度の調整ができるので、最適な場所で吸煙できます。 ●LED 照明の下で、明るい環境で作業ができるため、作業効率が上がりますまたセル生産（ハンダ・ねじ止め・検査など）にも便利です。 ●小型・軽量・リ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社シロ産業

ふっ素樹脂製 配管継手　＜フロロコネクター＞

気密性、繰り返し使用の耐久性、経時変化に強いふっ素樹脂製継手

主に半導体製造用ガス配管の継ぎ手として４０年のキャリアを持つ弊社が気密性、使いやすさ、繰り返し使用の耐久性、経時変化などあらゆる角度から材質、構造に改良を重ねて広く信頼を得ている継ぎ手です。 その他、フレキ用継手、二重管継手などお客様のご要望により多種お受けできますので、弊社ホームページをご覧ください。尚、その他の樹脂製品の加...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハルナ

加工事例【半導体製造装置向け】大型チャンバー

複雑な形状の大型チャンバー製作実績多数！ 製作前にCAD・プログラム…

たら、一度お問い合わせください。 【特長】 ○半導体製造装置　大型チャンバー ○長さ1200×幅1100×高さ380　複雑な形状をした大型チャンバー ○深堀の内面加工の仕上がりと傾斜した角度の部分をロングホルダーで加工 <問い合わせ先> info@al-shinwa.jp...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社信和

ウェハ外観検査装置　(MWL-02型)

本機械は、半導体製造工程でφ８”ウェハのマクロ検査及びミクロ検査を行う…

マクロ検査ではジョイスティック操作によりウェハ角度を自在に可変可能です。 また顕微鏡観察によるミクロ検査では接眼鏡筒とモニターでの観察を切換え可能です。 ウェハカセットは2個搭載可能です。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム

半導体レーザモジュール自動調芯装置

弊社の高速自動調芯方式PGAL1を用いた半導体レーザ/ファイバーモジュ…

調芯時間は10秒以内と高速調芯します。調芯精度は-0.05ｄＢも可能です。ビームの傾き角度を計測しファイバーの軸を調整します。...

メーカー・取り扱い企業： プレサイスゲージ株式会社

エッジ検査ハンドリング装置（EHI-01型）

φ300 mmシリコンウェーハを目視でエッジ検査（チップ・カケ検査）す…

・検査ステージは作業者のスイッチ操作により回転します。回転数や回転速度は任意で設定可能です。 ・ウェーハサイズ・傾斜角度はご要望にお応えします。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム

グラインダ（GAI-02型）

安全カバーと遠隔操作機構を備えた手動装置

本装置は作業者が行うワークの加工作業を、安全に行なうことを目的に 安全カバーと遠隔操作機構を備えた手動装置です。 装置へのワークのセットは作業者が行い、グラインダ砥石の角度、X軸位置を調整しながら加工作業を行ないます。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム

凹・凸レンズ共用ベルヌーイチャックW型

凸レンズでも凹レンズでも、1台の同じベルヌーイチャックW型にて非接触に…

する気体流を垂直気体噴流させることり、クッション室内の気体流の摩擦損失を減少させ、負圧発生の効果を増し、衝撃に強く、気体消費量をほぼ半減させました。 ●負圧発生効率は従来比2倍 　空気噴出方向に角度を持たせ、クッション室に生じるエゼクタ効果による負圧発生量も増加し、負圧発生が効率良く行われる。衝撃にも対抗でき、高速搬送も可能となる。 　空気噴流が垂直にレンズに当たらない構造のため、極薄レンズ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

SCR3160CSN (クローズドループ制御)

●クローズドループ制御●アブソリュートエンコーダ搭載●バッテリレスを実…

にカスタマイズ対応致します） ○ウェーハ保持方式 チャックによる真空吸着 ○機械構造形式 円筒座標型 制御軸 3軸 ○モータタイプ 全軸2相パルスモータ ○動作範囲 ワーク中心到達距離 旋回角度(θ軸) 上下ストローク(Z軸) 552.7mm 340度 300mm ○搬送速度(平均) アーム(R軸) 旋回角度(θ軸) 上下ストローク(Z軸) 610mm/sec 340度/sec 25...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

STCR4160SN(クローズドループ制御)

●クローズドループ制御●アブソリュートエンコーダ搭載●バッテリレスを実…

にカスタマイズ対応致します） ○ウェーハ保持方式 チャックによる真空吸着 ○機械構造形式 円筒座標型 制御軸 4軸 ○モータタイプ 全軸2相パルスモータ ○動作範囲 ワーク中心到達距離 旋回角度(θ軸) 上下ストローク(Z軸) 575mm 340度 300mm ○搬送速度(平均) アーム(R軸) 旋回角度(θ軸) 上下ストローク(Z軸) 570mm/sec 220度/sec 200m...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

STWHR4156 (防水対応）

防水対応4軸円筒座標型ロボットのSTWHR4156シリーズです。

被搬送物 ～300mmウェーハ ウェーハ保持方式 チャックによる真空吸着で保持 機械構造形式 円筒座標型 制御軸 4軸 モータタイプ 2相パルスモータ 動作範囲 アーム第3関節中心 旋回角度(θ軸) 上下ストローク(Z軸) 312mm 340度 200mm 搬送速度(平均) アーム(R軸) 旋回角度(θ軸) 上下ストローク(Z軸) 300mm/sec 100度/sec 100mm...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

TSCR3060N（2インチウェーハ搬送）

搬送部の小型化に寄与します。

被搬送物 2インチシリコンウェーハ ウェーハ保持方式 真空吸着保持方式 機械構造形式 円筒座標型 制御軸 3軸 モータタイプ エンコーダ付き2相パルスモータ 動作範囲 アーム(R軸) 旋回角度(θ軸) 上下ストローク(Z軸) ±119mm 360度 135mm 搬送速度 アーム(R軸) 旋回角度(θ軸) 上下ストローク(Z軸) 230mm/sec 450度/sec 170mm/se...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

加工事例【半導体製造装置向け】大型チャンバー

半導体製造装置の真空チャンバー切削加工事例！長さ1200×幅1100×…

100も取得済！ 【特長】 ■ 半導体製造装置に使用される大型チャンバー ■ 長さ1200×幅1100×高さ380　複雑な形状をした大型チャンバー ■ 深堀の内面加工の仕上がりと傾斜した角度の部分をロングホルダーで加工した事が特色 ※詳細は資料請求して頂くか、ダウンロードからPDFデータをご覧下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社信和