圧縮ガスドライヤー

PR各種圧縮ガスから不純な水分を除去するドライヤー

各種ガスドライヤーは、圧縮ガスから水蒸気を連続的に分離するように設計されているため、圧力下露点温度を低下させます。 【効果一例】 二酸化炭素は不活性ガスであり、湿度のレベルによっては腐食性が高くなる可能性があります。 したがって、圧縮二酸化炭素ドライヤー（CO2ドライヤー）は通常、特定のプロジェクト要求を満たすためにカスタムメイドされます。 動作圧力、温度、要求される圧力下露点温度、湿度レベル...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社旭ケミカルス

油圧装置・発電機の見える化・省人化＝リアルタイム遠隔監視システム

PR圧力、温度、流量、オイル清浄度管理を備えた、ICT遠隔監視クラウド型（…

圧力、温度、流量、オイル清浄度管理を備えた、ICT遠隔監視クラウド型 Watchlog PRO 油圧システム モニタリング ユニットを油圧システムに設置することで、流量、圧力、温度、およびオプションでオイルの清浄度が継続的に、4G (SIM カード)または Wi-Fi 経由で専用クラウドに送信されるか、貴社ウェブサーバーに送信されます。センサーの測定値は、殆どのウェブブラウザからアクセスできるオ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社チヒロ 東京営業所

セトラ社　ウルトラクリーン圧力センサ　モデル２２５シリーズ

特殊ガス用途に開発された静電容量方式の圧力センサ

セトラ社のモデル２２５は特殊ガス用途に開発された静電容量方式の圧力センサです。配管時のトルクストレス、低温ガスのフローによる温度変化、外部からの高周波ノイズなどの影響が受けにくい構造になっています。...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

ローコスト高精度圧力センサー

コンパクトな構造・高精度にして低価格

半導体製造ガスラインなどに用いられる(株)ピュアロンジャパン製圧力センサーです。 PC-920シリーズはコンパクトな構造・高精度にして低価格を実現しました。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ピー・ジェイ

集積化ガスシステム対応圧力センサー

各種集積化ガスシステム用圧力センサー

半導体製造ガスラインなどに用いられる（株）ピュアロンジャパン製 高精度・高耐蝕性を特徴とする各種集積化ガスシステム用圧力センサーです。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ピー・ジェイ

乾式除害装置(MAKシリーズ)

大気放出できない装置から排出される有害排気ガスを安全に除害処理します。…

、各種プロセスの排気ガスに 　最も適した処理剤の選定ができます。 　また、弊社横浜研究所の現地分析により、 　フィールドでの排気分析結果に基づいた処理剤設計も可能です。 【低圧損】 　圧力損失の少ない処理剤充填方法を採用し、 　装置内の圧力損失を0.1KPa以内に制御。 　これにより専用排気ブロワーを不要化、ランニングコストを低減します。 【管理性】 　剤破過検知器（ブレ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社巴商会 管理部署：企画営業部

セトラ社　ウルトラクリーン圧力センサ　モデル２２４シリーズ

特殊ガスのモニターと制御用に開発されたウルトラクリーンセンサ

セトラ社のモデル２２４は特殊ガスのモニターと制御用に開発されたウルトラクリーンセンサです。 　モデル２２４はパージ効果の高い流線型のセンサチャンバを持ち、ガスの流れによる瞬時の温度変化の条件下でも優れた安定性を実現するように設計されています。...センサチャンバは３１６Ｌ（ＶＡＲ材）を０．１８Ｒａに電解研磨されおり独自の静電容量センシング技術で高精度で安定した出力信号を供給します。 オプション...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

ソーラーリサーチ研究所の非接触搬送装置：フロートチャックSAC型

オーダメイドの垂直気体噴流方式非接触搬送装置「フロートチャックSAC型…

ぞれエゼクターのノズル、真空室およびデフューザの機能をはたします。そのためクッション室には負圧が生じワークを引き寄せることになります。ワークが引き寄せられ作動面との間隙が小さくなると、クッション室は圧力室型エアクッション（ホバークラフト）の機能をはたし、クッション室の圧力は急激に上昇し、ワークを引き離します。このクッション室の均衡した圧力を保つ作動面とワークとの距離を自動的に保持する距離にて、ワー...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

ウエハチップ・マイクロレンズ･高温ウエハ・微小物の非接触搬送装置

ウエハチップ・高温ウエハ・レンズ・微小物を非接触にて搬送するベルヌーイ…

ぞれエゼクターのノズル、真空室およびデフューザの機能をはたします。そのためクッション室には負圧が生じワークを引き寄せることになります。ワークが引き寄せられ作動面との間隙が小さくなると、クッション室は圧力室型エアクッション（ホバークラフト）の機能をはたし、クッション室の圧力は急激に上昇し、ワークを引き離します。このクッション室の均衡した圧力を保つ作動面とワークとの距離を自動的に保持する距離にて、ワー...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

真空センサ『730シリーズ』

コンパクトサイズでローコスト。半導体製造ラインなどで活躍。静電容量型

して、 リニアな直流電圧信号に変換し出力します。 温度補償範囲が広く耐圧性能に優れるため、様々な用途に使用でき、 太陽光パネル、半導体、石油化学など幅広い分野のプロセス制御で 重要な真空圧力範囲の測定に活躍します。 【特長】 ■極めて低いノイズ影響 ■接ガス部にインコネルを採用 ■CEマーク対応／RoHS準拠 ■接続継手の選択が可能 ※『730シリーズ』のカタログは...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

超高純度ガス小型精製器

腐蝕によるパーティクルの発生や化学反応を起こしません。

【特徴】 ○精製能力は個々の不純物—最大１ＰＰＢ以下、出口側不純物合計—最大１０ＰＰＢ以下です。(条件によります) ○流量範囲は０.５〜２０ＬＰＭです。（モデル・圧力条件により異なります) ○最高使用圧力は０.９７ＭＰａです。(１４０.６５ＰＳＩＧ) ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ピー・ジェイ

高濾過精度オールメタルガスフィルター

コンパクトサイズでより高流量のガスを処理

(株)ピュアロンジャパン製 ガスフィルターです。 全ての材質にＳＵＳ３１６Ｌを使用。高流量・高差圧下においても０.００３μｍ以上の粒子を高い効率で除去致します。従来品と比較し圧力損失が極めて低く、コンパクトサイズでより高流量のガスを処理できます。１０Ｌ/ｍｉｎ程度の少流量から２５０Ｌ/ｍｉｎ程度の中流量までの幅広いラインナップをご用意しております。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ピー・ジェイ

高耐圧用ＰＴＦＥガスフィルター

濾過膜はＰＴＦＥ製２層構造で経年や振動などでの伸びが殆どなく、安定した…

【特徴】 ○濾過精度は０.００３μｍです。 ○推奨流量は４０Ｌ/ｍｉｎ、１５０Ｌ/ｍｉｎ各種です。 ○ハウジング設計圧力は２０.６８ＭＰａ(３,０００ＰＳＩＧ、２１０ｋｇｆ/ｃｍ２)ａｔ２０℃です。 ○最高使用圧力は０.９８ＭＰａ（１４２ＰＳＩＧ）ａｔ２０℃です。 ○最高使用温度は１２０℃です。 ●詳しくは...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ピー・ジェイ

ピラニ真空計　PG-20

小型なボディで装置組込みの省スペース化！

帯域（1.0×10-1Pa）?（1.0×10　4Pa）の低真空を測定できる、ピラニ真空計です。 熱伝導を圧力に変換して、真空計測を行えます。 （特長） 　●（1.0×10-1Pa）?（1.0×10　4Pa）の測定範囲 　●故障に強い定温度型 　●小型なボディーで省スペース化が可能 （仕様...

メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社

クリーンルーム対応5mm角ウエハ用小型ベルヌーイチャック

排気を上方向に排出する機構を採用。周囲のチップを噴出気体により吹き飛ば…

ワークのチップを非接触にてチャックし 搬送する「クリーンルーム対応小型ベルヌーイチャック」を 開発しました。この装置は、気体を噴出することにより エゼクタ効果及びベルヌーイ効果による負圧と 圧力式エアクッション効果による正圧を生じ、小さく 裁断されたウエハチップを空中に浮遊した非接触（非接触） 状態にてチャックし、所定の場所に搬送します。 　　　　　 　この新機構とし...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

定温度型ピラニゲージコントローラ　PG-30

熱伝導を圧力に変換して、真空計測を行えます。

帯域（1.0×10-1Pa）?（1.0×10　4Pa）の低真空を測定できる、ピラニ真空計です。...（特長） 　・（1.0×10-1Pa）?（1.0×10　4Pa）の測定範囲 　・故障に強い定温度型 　・小型なボディーで省スペース化が可能 （仕様） ・出力信号 ：a)制御出力　リレー接点出力容量 AC100Vmax、1Amax 　　 　 　 　 　b)アナログ出力　0?5V　F....

メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社

Aera PI-980　プレッシャーインセンシティブＭＦＣ

明日のプロセスニーズに応える次世代PI技術

ルタイムプロセス制御において優れた性能を発揮します。その優れた流量安定性により、チャンバ間のプロセス再現性が向上し、生産歩留まりを改善します。 PI-980シリーズは、従来型のサーマル式の構造に、圧力センサ、温度センサならびに当社独自のNeuralStep制御技術を一体化することによって、従来型の製品に使われていたハイコストなガスパネル部品の必要性を減少します。また、マルチガス・マルチレンジ機能...

メーカー・取り扱い企業： 日立Astemo＆ナガノ株式会社

ダブルフェルールタイプ継手「BI-LOK」【高品質！低価格！】

様々な流体を低温から高温まで確実にシールする継手です！

)で構成 ●広い温度範囲で低温から高温まで使用可能 【仕様】 ●使用温度領域：-196～+600℃（SUS316） 　　　　　　　　-196～+200℃（C3604、C3771） 　※圧力により、使用可能温度領域も変動します。 ●RoHs対応品（SUS316） ※詳しくはカタログをご覧いただくか、お気軽にお問合せ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： イハラサイエンス株式会社

【Nanofurnace】BWS-NANO 熱CVD装置

【ホットウオール式熱CVD装置】基礎研究に最適なコンパクトサイズ高性能…

ウオール式 反応管内を均一に加熱 ◉ 4系統（CH4, Ar, H2, バブラー用）MFC高精度流量制御：精度±1% F.S. ◉ キャパシタンスマノメータ（バラトロンゲージ）による高精度APC圧力制御 ◉ Lab Viewソフトウエア（オプション）によるリモート制御, データ解析 【主仕様】 ◉ Φ2.5inch（標準）Φ4inch x12inch石英反応管内 ◉ 最高使用温度110...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

ウエハースケール グラフェン合成装置【nanoCVD-WGP】

Φ3inch、Φ4inch ウエハーサイズ対応プラズマCVD 装置。不…

c.. ・プロセスガス：H2, Ar, N2, etc.. ・基板サイズ：Φ4inch ・150W, 13.56MHz RF電源 ・500℃～Max1100℃基板加熱 ・高精度プロセスガス圧力APC制御 ・マスフローコントローラー最大4ch ...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

小型・大流量PTFEガスフィルター「メガフロー」

最大1,000lpmまでの流量を確保

濾過精度 0.003μm 常用圧力 1MPa未満 最大許容正差圧 0.7MPa(20℃) 最大許容逆差圧 0.3MPa(20℃) 最高許容温度 120℃(不活性ガス) 外部漏量 2×10-11Pa・m3/sec以下 構成部...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ピー・ジェイ

気体垂直気体噴流方式のベルヌーイチャック

空気噴流によりワークを非接触にて懸垂搬送! ベルヌーイチャック

、従来型より大幅に懸垂能力を増加させることで、保持安定元が増し、衝撃に強く、気体消費量をほぼ半減させました。「フロートチャック」は、気体を噴出することによりエゼクタ効果及びベルヌーイ効果による負圧と圧力式エアクッション効果による正圧を生じ、ワークを空中に浮遊した無接触（非接触）状態にて懸垂保持し、搬送、反転、傾斜することが可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

立体物対応実験用プラズマCVD装置

対応可能膜種はDLC、アモルファスSiC等！基板加熱機構付き（最高設定…

【仕様（抜粋）】 ■チャンバー材質：ステンレス製 ■到達真空度：1Pa以下 ■真空ポンプ：ロータリーポンプ＋メカニカルブースターポンプ ■排気圧力コントロール：手動（オプションで自動可） ■成膜対象物：最大Φ100mm×500mm ■高周波出力：最大1kW ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社DINOVAC

化合物半導体ウエハ用非接触ピンセット

マニュアル操作により化合物半導体ウエハ(GaAs,ＩｎＰ,ＧａＰ）を非…

の位置に脱着を行います。 ベルヌーイチャック「フロートチャックＳＡＧ（ＩｎＰ）型」は、気体を噴出させることによりウエハとの距離に応じてその内部をエゼクタ効果およびベルヌーイ効果により負圧にし、また圧力室型エアクッション効果および気体流のクッション効果により正圧にすることにより、ＩｎＰウエハを非接触状態にて懸垂保持する機能を有しております。 ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

フロロパワーシリーズ【高機能フッ素ゴム材質】

Oリングの桜シールは、過酷な温度条件や強力な薬品にも耐えることが出来る…

Oリングの使用環境に適合する材質の選定は、温度条件と圧力条件、そして接触流体の条件を勘案して行います。尚、条件次第によってはフロロパワーシリーズがオーバースペックである場合もあります。条件と照らし合わせて、無駄なく最適なOリングを選定して下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 桜シール株式会社 日本本社

表示器 デジタルストレインゲージメーター

小型・軽量でありながら３-３/４桁(３９９９)の表示ができ、上下限２接…

(株)ピュアロンジャパン製 デジタルストレインゲージメーターです。 ピュアロン製圧力センサー　ＰＣ‐３０２、５０１、６０１とあわせてご使用いただけます。また、電源回路と信号系はアイソレーションされていますので、１台の電源で複数の表示器を駆動した場合にもノイズ等の影響を受けにくい設計...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ピー・ジェイ

Oリング材質

Oリングの桜シールは、耐熱性や耐圧性、耐薬品性といった様々な性能を持つ…

Oリングの使用環境に適合する材質の選定は、温度条件と圧力条件、そして接触流体の条件を勘案して行います。価格が高ければ全ての性能も高い訳ではありませんので、それぞれの材質が持つ長所と短所を理解して、最適なOリングを選定して下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 桜シール株式会社 日本本社

低圧力損失メタルガスフィルター

歩留まりを大幅に向上

(株)ピュアロンジャパン製 ガスフィルターです。 フィルター構成部材全てにＳＵＳ３１６Ｌを使用し、腐食や二次生成物の恐れがなく高耐熱性を発揮致します。窒素ガス（Ｎ２）をフィルターＩＮ側圧力０．２ＭＰａで流したときのＯＵＴ側圧力損失は△０．０５ＭＰａで９０ＳＬＭの流量を実現しました。また、定常流・脈動下において濾過精度０．００３μｍをＣＮＣで確認、サブミクロンＵＬＳＩ製造で歩留まりを大...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ピー・ジェイ

粗取り用オールメタルガスフィルター

幅広い濾過精度に対応

【特徴】 ○濾過精度は０.１、０.５、１.０、５.０、１０μｍ 各種となります。 ○推奨流量は４０Ｌ/ｍｉｎ、６０Ｌ/ｍｉｎです。 ○設計圧力は１７ＭＰａ（２,４６５ＰＳＩＧ）ａｔ２０℃です。 ○最高使用温度は４００℃です。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ピー・ジェイ

活性炭ガス精製器

高清浄度活性炭を内蔵

【特徴】 ○設計圧力は０.９８ＭＰａです。（１４２ＰＳＩＧ） ○最高使用差圧は０.６８ＭＰａです。（９８.６ＰＳＩＧ） ○内蔵フィルターエレメント濾過精度は０.００３μｍ以上です。（９９.９９９９９９９％） ○初...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ピー・ジェイ

低圧力損失ＰＴＦＥガスフィルター

濾過膜はＰＴＦＥ製２層構造

【特徴】 ○濾過精度は０.０１μｍです。 ○推奨流量は４０〜３００Ｌ/ｍｉｎ各種です。 ○最高使用圧力は０.９８ＭＰａ（１４２ＰＳＩＧ）ａｔ２０℃です。 ○最高使用差圧は０.５ＭＰａ（７２.５ＰＳＩＧ）ａｔ２０℃です。 ○最高使用温度は１２０℃です。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ピー・ジェイ

低圧力損失インラインセラミックガスフィルター

濾過精度

【特徴】 ○濾過精度は０.０１μｍです。 ○推奨流量は１０〜１６０L/minです。 ○設計圧力は１７MPa（2,465PSIG）at20℃です。 ○パーティクル０.０１μｍ除粒子性能９９.９９９９９９９９９９％です。 ○低圧力損失です。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ピー・ジェイ

微少流量超小型セラミックガスフィルター

SPCシリーズは超小型（φ21×84mm）、軽量（90g）に設計されて…

【特徴】 ○濾過精度は0.003μmです。 ○推奨流量は10L/minです。 ○設計圧力は17MPa（2,465PSIG）at20℃です。 ○最高連続使用温度は120℃です。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ピー・ジェイ

MOCVD排気濾過用フィルター　（AIXTRON装置用）中国産

MOCVD、フィルター、AIXTRON、LED、中国産、高温真空粉塵濾…

ス繊維制濾過材（濾過布）と中国産ＳＵＳ３０４を構成した製品。 ガラス繊維制の濾過材（濾過布）はアメリカから直接輸入、耐高温、耐高圧、高精度、ろ過効果がいい、完成品の差圧安定、MOCVD装置への付加圧力減少、装置にやさしいなどのユーザーさんからの好評をいただいております。 軸部分はＳＵＳ３０４のステンレース網を使用、専用工程によりプレス成形、純正品の螺旋熔接よりもっと構造強度が丈夫、耐圧力、耐高...

メーカー・取り扱い企業： 愛鋭精密科技（大連）有限公司（AIRY TECHNOLOGY CO., LTD.) 中国大連本社

ICPECVD『SI 500 D』

ICPパワーによるイオン密度の制御！低温成膜、低ダメージ、高コンフォマ…

リティーを実現 ご用命の際は、当社へお気軽にご相談ください。 【特長】 ■ICPパワーによるイオン密度の制御 ■オプションのバイアスパワーによるイオンエネルギーの制御 ■リアクター圧力、分離されたガス供給ラインとICPソースと基板電極間の 　間隔調整によるプロセスの最適化 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイテック・システムズ

腐蝕性特殊ガス対策用ハステロイC-22ハウジング製

ハロゲン系反応性腐蝕性特殊ガスに対し、耐蝕性が非常に高く極めて優れた性…

【特徴】 ○濾過精度は0.003μｍです。 ○推奨流量は40〜200L/minです。 ○設計圧力は17MPa（2,465PSIG）at20℃です。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ピー・ジェイ

CVDコーティング装置

どのような形状の品物に対しても制限なく使用できる、CVDコーティング装…

どのような形状の品物に対しても 制限なく使用できる、CVDコーティング装置 【特徴】 ○加熱炉一台にコーティングチャンバーを 　2〜4台を付加することが可能 ○コーティングは規定圧力で行われる ○プロセスシーケンスは予備プログラミング可能な 　自動プロセッサーによって監視され 　さらに制御及び調節装置を装備 ○ガス供給装置を、綿密でコンパクトに装備 ●より詳し...

メーカー・取り扱い企業： 中日本炉工業株式会社

ハステロイオールメタルガスフィルター

全ての材質にハステロイを使用

差圧下においても０.００３μｍ以上の粒子を高い効率で除去します。１０Ｌ/ｍｉｎ程度の少流量から２５０Ｌ/ｍｉｎ程度の中流量まで幅広いラインナップをご用意しております。従来のメタルフィルターと比較して圧力損失が極めて低く、コンパクトサイズでより高流量のガスを処理できます。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ピー・ジェイ

高濾過精度低圧力損失ＰＴＦＥガスフィルター

安定した濾過性能

【特徴】 ○濾過精度は０.００３μｍです。 ○推奨流量は４０〜３００Ｌ/ｍｉｎ各種です。 ○最高使用圧力は０.９８ＭＰａ（１４２ＰＳＩＧ）ａｔ２０℃です。 ○最高使用差圧は０.５ＭＰａ（７２.５ＰＳＩＧ）ａｔ２０℃です。 ○最高使用温度は１２０℃です。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ピー・ジェイ