真空システム | イプロスものづくり

PRパーティクル除去性能と溶剤の低消耗の2つの機能を兼ね備えたフッ素系真空…

真空超音波洗浄装置「SAUBER/ザウバー」は、パーティクル除去に特化し、精密洗浄に有効な多くの機能を搭載しながら溶剤の低消耗を実現する1槽式真空密閉型洗浄装置です。従来から純水洗浄で行われているパーティクル除去・除塵洗浄をフッ素系溶剤洗浄で行うことが可能です。純水と比べるとフッ素溶剤は排水が出ないクローズドシステムですので、工場側排水設備への負荷がありません。また、液の再生利用も容易...

メーカー・取り扱い企業：富士ハイテック株式会社

温度制御システムタンク『RKMH シリーズ』（加圧・真空タイプ）

PR撹拌真空、圧送、温度制御を1台で！加熱撹拌、真空脱泡、加熱などの用途で…

電熱線の内蔵されたマントルヒーターをタンクに取り付けタンクを直接加熱しPID制御にて温度制御を行います。温度制御は温度制御コントローラーにて調整可能です。撹拌粘度、撹拌目的に応じて撹拌機・撹拌羽根を設計、製造します。また、10L以外の容量も製作可能です。その他、ご要望に合わせてオーダーメイド製作致します。常圧仕様もお取り扱いしております。詳しくはお...

メーカー・取り扱い企業：加藤ステンレス科学株式会社

【多目的真空蒸着装置】有機蒸着源

多目的真空蒸着装置HEXシステム用有機蒸着源

多目的真空蒸着装置HEX／HEX-L用の有機蒸着源です。 ORCAをインストールすることで、HEXシステムを有機物蒸着装置として使用できます。ORCAソースはルツボを積極的に冷却しています。加熱と冷却のバランスにより、優れた温度安定性と制御性を実現しています。ルツボは熱伝導率の高い材質で作られていることから、蒸着レートに悪影響をおよぼすホットスポットが発生しません。アルミナ製やグラフ...

メーカー・取り扱い企業：テガサイエンス株式会社

パルスレーザパルス蒸着システム

AOVでは、多種多様なお客様のご要望にお応えするために、カスタマイズされた様々な真空製膜装置を取り扱いしております。AOVの取り扱う真空装置は物理気相蒸着（PVD）法と化学気相蒸着（CVD）法に大きく分かれています。 PVD法による装置は、 * PLD（パルスレーザ蒸着）装置 * マグネトロンスパッタ装置 * EB電子ビーム蒸着装置 * イオンビームア...

メーカー・取り扱い企業： AOV株式会社

NEXGENグローブボックスシステム（新時代のガス精製装置付）

再生ガス・再生工程不要の新時代のガス精製装置付きグローブボックスシステ…

・再生ガス、再生工程不要の新時代のガス精製装置付グローブボックス。・酸素濃度、水分濃度１ppm以下を保持、NEXGENシステムによるオートバキ　ューム・オートパージ・全自動圧力コントロール。・全世界に２万台以上の導入実績、63年の歴史を誇る世界基準のグローブボ　ックスメーカーVAC社製 ...1.次世代型カートリッジ式ガス精製装置を搭載【特許技術】 2.酸素濃度・水分濃度を...

メーカー・取り扱い企業：山八物産株式会社 YAMAHACHI&CO.,LTD

【真空加圧装置シリーズ】様々なシーンで活躍中

積層・貼付、接着・接合、含浸など様々な用途に！カスタマイズ可能な加圧装…

当社が取り扱う『ミカド真空加圧装置シリーズ』は、独自の均圧システムを用いることにより、高精度な2D加圧（平板加圧）が実現しました。体積を小さくすることにより、素早い真空引きが可能。また、放熱ポスト構造（国際特許）を採用し、熱の影響範囲を限定させることにより、均一温度及び昇温冷却時間の短縮、省電力を可能にしました。積層・貼付をはじめ、接着・接合、転写、封止・ラミネート、成...

メーカー・取り扱い企業：ミカドテクノス株式会社

ウェハー表面改質・精密接合装置

ウェハーレベルのシリコン、金属、石英、ガラス等を、真空〜任意雰囲気で表面改質処理後精密接合する装置 ■□■特徴■□■ ■4〜6インチのウェハーレベル各種ポンディングに対応 ■任意材料に適した表面改質処理による前処理機能 ■均一な加熱、加圧機能を備えた接合システム ■残留応力低減のための加熱冷却システム ■超高真空〜加圧雰囲気に任意対応 ■任意ポジション加圧・電圧印加制御機...

メーカー・取り扱い企業：ケニックス株式会社

スクリーン版用露光装置

フレネルレンズを搭載した高精度露光装置です。

フレネルレンズを搭載した高精度露光装置です。新真空システムでスクリーン版枠の歪みを軽減し、さらに配光バランスを向上させました。スクリーン枠装置と、PDP用の大型装置の2種類をラインアップさせています。 ...

メーカー・取り扱い企業：ウシオライティング株式会社

有機EL用成膜装置

有機EL用の実験装置です。搬送系の操作は、PCより制御可能です。全自動…

有機EL成膜用の有機蒸着セル（KOD-Cell）が16台、金属材料蒸着の際には、金属蒸着セルが標準装備されます。有機用、金属用と共通して少量サイズのルツボにて構成されており、装置チャンバー内に極力チャンバー汚染をしない事に重点を置いた設計になっております。本システムは、全自動式である為、多種多様な研究が行える多目的研究開発用装置となります。...【特徴】・3軸ロボット機構にて、マスク及び試料搬...

メーカー・取り扱い企業：北野精機株式会社

受託サービス：質量ガス分析＜分析システムの解説付き資料進呈＞

高精度の四重極型質量分析システムによる受託分析サービス。極微小リークも…

当社では、高精度の四重極型質量分析システムにより、お客様から受領したサンプルのガス分析（リーク量測定）を行うサービスを提供しております。分析装置に“低ガス放出”の0.2％BeCu合金製の真空構造材を採用しており、デバイスの破壊試験による10^-15Pa・m3/s(He)以下という極微小リークの検出が可能。半導体デバイスの不良解析、品質改善、品質管理に貢献します。【測定例...

メーカー・取り扱い企業：東京電子株式会社

PLAD-221-Y PLDシステム

AOVでは、多種多様なお客様のご要望にお応えするために、カスタマイズされた様々な真空製膜装置を取り扱いしております。AOVの取り扱う真空装置は物理気相蒸着（PVD）法と化学気相蒸着（CVD）法に大きく分かれています。 PVD法による装置は、 * PLD（パルスレーザ蒸着）装置 * マグネトロンスパッタ装置 * EB電子ビーム蒸着装置 * イオンビームア...

メーカー・取り扱い企業： AOV株式会社

クラスター装置『Morpher』

デバイス量産へ、優れたプロセス品質、信頼性、高スループットを提供！

Morpher ALDシステムは、業界標準の枚葉ウエハ真空クラスタプラットフォームを組み込み、ウエハバッチを完全自動処理するように設計されています。米国特許取得済みのウエハバッチフリップ機構により、他の半導体製造ラインとのシステムの統合が可能で、またSEMI S2/S8認定により、当システムが業界の最も厳しい規格と互換性があることが保証されています。 Morpher ALDシステムは、...

メーカー・取り扱い企業： PICOSUN JAPAN株式会社

コンパクトレーザーMBE装置『PAC-LMBE』

扱いやすいデザインで各種成膜条件の制御が容易！6種類のターゲットが使用…

『PAC-LMBE』は、拡張性の高い超高真空レーザーMBE（PLD）システムです。基板加熱ユニットとして、赤外線ランプ加熱と半導体レーザー加熱のいずれかを選択可能。6種類のターゲットが使用できます。また、ロードロック室ユニットにより、真空中でターゲットや基板を簡単交換いただけます。【特長】 ■拡張性が高い ■到達真空度：6.7×10^-7Pa（5×10^-9To...

メーカー・取り扱い企業：株式会社パスカル

モバイルコンビレーザーMBE装置『MC-LMBE』

スキャニングRHEEDを標準装備！モーター駆動コンビナトリアルマスクを…

『MC-LMBE』は、操作性の高いコンパクトな超高真空レーザーMBE（PLD）システムです。 1200℃まで加熱可能な半導体レーザー基板加熱ユニットを搭載。モーター駆動コンビナトリアルマスクを2枚を装着しています。また、ロードロック室ユニットにより、真空中でターゲットや基板を簡単交換できます。【特長】 ■操作性が高くコンパクト ■到達真空度：6.7×10^-7...

メーカー・取り扱い企業：株式会社パスカル

Nd:YAGレーザパルス蒸着システム

AOVでは、多種多様なお客様のご要望にお応えするために、カスタマイズされた様々な真空製膜装置を取り扱いしております。AOVの取り扱う真空装置は物理気相蒸着（PVD）法と化学気相蒸着（CVD）法に大きく分かれています。 PVD法による装置は、 * PLD（パルスレーザ蒸着）装置 * マグネトロンスパッタ装置 * EB電子ビーム蒸着装置 * イオンビームア...

メーカー・取り扱い企業： AOV株式会社

真空用エキシマUV洗浄改質装置

大面積SUS真空チャンバー内径250mm、深さ100mm採用

シンプルなシステム構造でさまざまな照射条件を実現します。...シンプルなシステム構造でさまざまな照射条件を実現します。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エキシマ横浜ラボ

最先端コーター『ＨＩＴ-IIIＳ』

塗布材料が最大１／３０に削減可能！成膜を効率よく、最小限のコストで行え…

『最先端コーターＨＩＴ-IIIＳ』は、塗布成膜を従来よりも圧倒的な効率で行える装置。塗布材料を従来のスプレー方式の１／２、スピン方式の１／３０以下に削減可能です。また、常圧環境で成膜を行えるので、真空環境設備を整える必要がありません。トータルコストの圧縮に貢献できる最先端コーターです。【特長】 ■塗布材料や真空設備のコストを大幅削減 ■弱酸性、弱アルカリ性、各種有機溶剤...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ヒットコーポレーション

【フィルタ(FERENA)の特徴・仕様　興研KOACH】興研

◆HEPAフィルタなみの低圧損で、ULPAフィルタなみの捕集効率を誇る

■FERENA※の特長 ◆HEPAフィルタなみの低圧損で、ULPAフィルタなみの捕集効率を誇る ◆ナノファイバーの存在比率が高い ◆フィルタとして有効なランダム構造 ◆耐水・耐油性に優れる ◆耐熱性に優れる ◆ボロンが出ない ※FERENA(フェリナ)とは、オープンクリーンシステムKOACHのプッシュフードに搭載されているフィルタです。FERENAにより、KOACHは清浄度ISO...

メーカー・取り扱い企業：泉州機工株式会社

【KOACHショールームのご紹介】興研株式会社代理店

■ISOクラス１のクリーンゾーンを体感できる■実機デモ可能■事前予約制

■デモンストレーションによって体験いただける内容 ◆プッシュプル気流にて同一ベクトル集合流を可視化 ◆同一ベクトル集合流の気流復元性 ◆清浄空間形成の原理 ◆ゾーン内での作業や障害物の影響を受けない気流（作業、製品・機器による清浄度の低下なし） ◆数分で形成する高清浄度のクリーンゾーン ◆抜群な清浄度の回復力※ （一旦汚れても数分で元の清浄度に戻る） ※パーティクルカウンター用意...

メーカー・取り扱い企業：泉州機工株式会社

ポリイミドキュア装置（３００ｍｍウェハ対応　クリーンベーク装置）

３００ｍｍウェハ対応ポリイミドキュア、ベーキング、低温アニール、多層基…

真空置換後の低酸素雰囲気（N2）中で高均一性熱風加熱。300mm ウェハをカセット単位で加熱処理。システムLSIポリイミドキュア、フレキシブルプリント基板キュア・アニールに対応。３００ｍｍウェハカセット単位のキュアリングで高品質化と量産化を両立 ...低酸素雰囲気中で熱風加熱。温度均一性とクリーンネスを両立。先端デバイスの量産ラインで採用実績豊富な高信頼性装置。半導体用ポリイミドキュアだけ...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

【フロアーコーチ自社大型ショールームのご紹介】興研代理店

■大阪府堺市に新規開設■国内最大級の大型ショールーム■実際の作業時の清…

大阪府堺市堺区に、KOACHの大型ショールームを新規開設(関西国際空港から高速経由25分、阪神高速湾岸線三宝ジャンクション直近) フロアーコーチTz(ガイドスクリーン長20m スリープモード付き)の実機あり ■デモンストレーションによって体験いただける内容 ◆同一ベクトル集合流を可視化 ◆同一ベクトル集合流の気流復元性 ◆清浄空間形成の原理 ◆ゾーン内での作業や障害物の影響を受けない...

メーカー・取り扱い企業：泉州機工株式会社

近赤外線塗装乾燥炉「ハロゲンランプオーダーシステム」

近赤外線ハロゲンランプを使用し高効率な乾燥機を設計！内側から乾燥や効果…

近赤外線ハロゲンランプは、対象物を内側から乾燥や硬化を促進させるので未乾燥・未硬化などの不具合発生を低減します。また電源ＯＮで瞬時に要求温度に達しますので無駄なく短時間で処理を終えることが可能となります。よって省エネルギーによるコスト削減や環境エコにも繋がります。目的、用途、被乾燥物に合わせた乾燥・加熱性能を提供し、様々な材質、目的に合わせ設計いたします。 ■特徴・レ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社トーコー埼玉事業所ＩＰＳ営業課

【MiniLab-SA125A】多元マルチスパッタ装置

高機能マルチスパッタリング装置 6元マルチスパッタ（Φ4inch用）…

連続多層膜、同時成膜（2〜6元同時成膜：RF, DCをHMIより自在に配置切替）高出力RF, DC電源, パルスDC電源を独自の'プラズマ・スイッチング・リレー'モジュールでマルチカソードに自在に配置を組み合えることが可能、様々な用途に柔軟に対応高温基板加熱ステージ（二重ジャケット水冷式）オプション -1) Max600℃（ランプ加熱） -2) Max1000℃（C/Cコンポジット） ...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社

大型サンプル研磨装置『MA-600e RECT』

Φ600mm円形サンプルから大型パネルの研磨まで

『MA-600e RECT』は大型のパネル型サンプル（ガラス/ サファイア等）の表面研磨に最適です。上部揺動ユニットのフレキシブルパッドにてサンプル表面を一様に研磨することが可能です。【特長】 ●大径サンプルの研磨に最適 Φ600mm のステージにサンプルを固定することで大径サンプルの全面を研磨可能です。サンプルはΦ600mm のSUS プレートに熱ワックス等でサンプルを接着し、プレートを...

メーカー・取り扱い企業：ムサシノ電子株式会社

ICPエッチング装置　RIE-800iPC/RIE-400iPC

真空カセット室を備え、プロセス再現性や安定性に優れた本格生産用装置をご…

『RIE-800iPC/RIE-400iPC』は、SiCトレンチ形状の25枚連続加工の安定性を誇るICPエッチング装置です。高RFパワー(2 kW以上)を効率よく安定して印加可能で、良好な均一性を実現。また、反応室に直結した排気システムを採用することで、小流量・低圧力域から大流量・高圧力域の幅広いプロセスウィンドウを実現しています。【特長】 <RIE-800iPC...

メーカー・取り扱い企業：サムコ株式会社

SSY-10000

ガラス、サファイア、SiC、GaN、等々のウェーハ対応　卓上ローダーシ…

ウェーハ検査ステージと搬送部分が一体化したコンパクトな卓上システム X軸190mm、Y軸200mmのロングストローク設計であり、どの位置でも手元のノブでウェーハの回転操作が可能搬送ロボットは2本のチャックを持ち、検査ステージへのウェーハ入れ替え動作を短時間で完了可能ロボットと落とし込みアライメントステージの組み合わせで低コスト・省スペース・高機能なシステムを実現 ...○被搬送物～1...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

SSY-11000

450mmウェーハ搬送システム

450mmウェーハの高速搬送に使用できます。走行軸使用により、カセットのポート数に応じたストロークでご提案します。 ACサーボモータを採用し、動作軌跡最適化により高速、高精度に搬送します。ベルヌーイチャックの搭載可能（オプション）。 Z軸 (昇降軸) 500mmまで対応可能。走行軸を採用し、高速で4FOUP（450mmウェーハ）へアクセス可能可搬重量：アーム第3関節換算5k...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

ウエキコーポレーション　ガストータルソリューション

ガス設備設計・製作・施工、ガス使用現場のトータル管理、高圧ガス・特殊ガ…

・ガスエンジニアリング＆サポート・ガスサービス事業・ガス販売：工業用ガス、燃料用ガス、半導体・液晶用ガス、電子・照明用特殊ガス、標準ガス・ガス機器販売：ガス機器、低温機器、溶材機材...・ガスエンジニアリング＆サポート高圧配管設備施工、シリンダーキャビネット、ガスユニット、ボンベバルブ自動開閉装置、ガス混合装置、燃焼試験装置、警報監視システム、薬液供給設備、真空関連機器...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウエキコーポレーション

SMIF POD（マルチ／シングルタイプ）「SEMI規格準拠」

徹底した静電対策によるレチクル保護と、独自機構によりレチクルの磨耗と取…

SMIF ポッド(SMIF POD) (マルチ／シングルタイプ)は半導体前工程のリソグラフィー工程でレチクルを保護するために使用されます。【特徴】 ■剛性、耐久性が強化　・金属製の為、従来の樹脂製に比べて、剛性、耐久性が強化されています。 ■低発塵、洗浄しやすいライナーレス設計　・365nm, 248nm, 及び193nmのレチクル使用可能（プラスティックにリン酸添加物の含有無...

メーカー・取り扱い企業：株式会社渡辺商行

成膜装置『ロールコーター』

ドラムレスのフラットWeb搬送と処理表面の成膜前非接触搬送を実現！成膜…

『ロールコーター』は、プラスチックフィルム・金属フィルム等に連続的に表面処理をする装置です。ドラムレスのフラットWeb搬送と処理表面の成膜前非接触搬送を可能にし、成膜は、プラズマCDV法、スパッタリング法、真空蒸着法等のプロセスを組み合わせたマルチプロセスが可能です。また、素材ロールの脱ガス対策にTMP＋CRT排気システムの採用しました。【特長】 ■ドラムレス...

メーカー・取り扱い企業：株式会社C&Vテクニクス

多目的スパッタリング装置

研究開発から量産までサポート！

信頼性の高い標準型のハードウェアと豊富な実績に支えられ、神港精機は1967年に1号機を世に送り出して以来、多くの分野で活躍しています。柔軟で先進的なソフトウェアにより常に最先端を切り開く最新型の装置の装置を提供しています。...【特長】 ●金属・合金・絶縁膜など広範囲な材料や反応性成膜の形成が可能です。 ●基板固定での高速成膜や、基板回転での大面積成膜が可能です。 ●タッチパネルによる操作性...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

量産対応バッチタイプスパッタリング装置　（STH10311型）

φ４１０基板×４枚の自公転基板台を４枚備えたバッチ型のスパッタリング装…

複数の自公転基板台の採用により、量産用としての処理量と優れた膜厚均一異性を両立したバッチタイプスパッタリング装置です。サイドスパッタ方式により1ｍを超えるチャンバ系でありながら、基板やターゲットの着脱作業、真空層内のメンテナンスの簡易性を実現しました。量産用途に最適なデータロギングシステムや装置制御や管理を容易にする制御インターフェースソフトなど量産用装置に必須な細かな配慮が組み込まれてい...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店