真空システム | イプロスものづくり

PR電気でつかむ・エアでつかむ・真空で吸着する！圧倒的なバリエーションをご…

当カタログは、ロボット向けハンドリング機器ガイドです。グリッパ 2フィンガタイプの「電動グリッパ」をはじめ、様々な形状、多彩な機能、46モデルをラインアップした「エアハンド・エアチャック」を掲載。電動グリッパ・エアハンド・エアチャックベストセレクションでは、多彩な機種の中から代表的なものをご紹介いたします。製品の選定にご活用ください。【掲載製品】 ■電動グ...

メーカー・取り扱い企業：新光電機株式会社

全自動連続粉末・粉体成形機『プログラム成形機』

PRタッチパネル搭載！荷重/時間曲線を自由に設定でき、安定した連続運転が可…

プレス機・成形機メーカーであるエヌピーエーシステム製「プログラム成形機」は、ニューセラミックス・金属粉末等成形用の全自動連続粉末・粉体成形機です。タッチパネル（デジタル設定・表示）によるプログラム設定が可能。荷重/時間曲線を自由に設定でき、安定した連続運転ができます。真空成型（成形）は真空チャンバー方式で均一に成形可能。上パンチがワーク（成形体）に当たり荷重がかかると、フローティング...

メーカー・取り扱い企業：エヌピーエーシステム株式会社

TMPタイプ　真空蒸着装置

簡単操作のTMP排気システム採用！拡張性に優れたテーブルトップ型真空蒸…

「SVC-700TMSG/7PS80」は、TMP＋RP型の抵抗加熱式真空蒸着装置です。コンパクトさと使い勝手の良さにこだわった装置です。排気装置「SVC-700TMSG」と蒸着電源「SVC-7PS80」から構成されています。シンプルかつイージーオペレーションで、将来の機能拡張までをも考慮しています豊富なオプションにより、薄膜作製実験の幅が拡がります。また、専用オプションにより、有機物の薄膜...

メーカー・取り扱い企業：サンユー電子株式会社

サンユー電子　真空応用機器／電子顕微鏡関連機器製品総合カタログ

スパッタ装置、真空蒸着装置、SEM/電子顕微鏡関連機器のサンユー電子

1976年の創業以来一貫して、“使いやすい、簡単、便利”にこだわったものづくりを通じ、多くの方々に、スパッタ装置(スパッタコーター)、真空蒸着装置、SEM/電子顕微鏡関連機器をお使いいただいております。 SEM用前処理用としてのスパッタ装置(スパッタコーター)、真空蒸着装置、各種デバイスの電極付け用途としてのスパッタ装置、真空蒸着装置は、大学や公的研究機関の各研究室、民間企業の開発担当の方々...

メーカー・取り扱い企業：サンユー電子株式会社

ＣＶＤ装置用真空排気装置（塩素系ガス対応真空ポンプユニット）

熱ＣＶＤ装置の排気に実績多数。Ｃｌ系ガスの排気に特に有効、大量排気と塩…

ケミカルプロセスに多大な実績を持つ真空ポンプ（水封式真空ポンプとメカニカルブースタ）をユニット化。ＣＶＤ装置のプロセス特性・ガス種・排気量に合わせてポンプ材質と周辺機器を最適化。主排気ポンプの水封式真空ポンプを封液循環式とし、循環式封液にアルカリ性溶液を使用し、塩素系ガスの排気と中和を両立。後段のガス処理装置の負荷を大きく削減。特に表面処理用の熱ＣＶＤ装置の塩素系ガスの排気系に有効で工...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

縦型真空アニール装置

ウェハプロセス対応　本格量産システム　アニール・シンター・ポリイミドキ…

クリーンな真空中で均一加熱。高いクリーンネスや低酸素濃度を求められるプロセスに最適。縦型石英管型アニール装置。最大８インチ相当のウェハや各種基板に対応。ＣｔｏＣシステム採用による自動化＆クリーンシステム。中温から高温まで安定した温度分布性能と急令機構による短タクト処理真空だけでなく各種雰囲気（不活性、酸化、還元）雰囲気処理も可能な多機能型熱処理装置 ...Ｓｉウェハへの対応を基本とし...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

コンパクト！同時蒸着！高拡張性！『真空蒸着装置・HEXシリーズ』

ブロックを組み立てるように自由自在に構成を変更可能な多目的真空蒸着装置…

HEXシステムは、ユニークな『モジュール構造』が採用されています。六角柱の形状のチャンバーの、各面を構成するパネルを交換することで自由自在にポートの数や配置を変更することができます。そのため、研究の方向性の変化に応じて、まるでブロックを組み立てるような要領で、自分自身で簡単に構成変更や機能拡張を行うことができます。 HEXシステムは、ベンチトップシステムとUHVシ...

メーカー・取り扱い企業：テガサイエンス株式会社

射出成形機連動型高速スパッタ・重合システムSPP-SERIES

樹脂基板への金属膜、保護膜が全自動で成膜可能！

新しく開発された射出成形機連動型高速スパッタ・重合システムSPP-SERIESは、自動車・装飾部品などで用いられる樹脂基板への金属膜、保護膜の自動成膜が可能です。射出成形された基板を全自動で真空成膜（スパッタリング及び重合）することが可能です。【特徴】 ○全自動 ○サイクルタイム： 80sec（Al：100nm＋SiOx：20nm） ○高い密着度 →アンダーコート無しでも高密着...

メーカー・取り扱い企業：株式会社昭和真空

プローバー　真空＜低温＞プローバーシステム

低温から高温まで豊富なオプションで様々な要求に対応致します。

真空＜低温＞プローバーシステムSB-MCPSシリーズは、多種の低温・高温オプションをご用意し、様々な温度領域に対応するプローバーです。プローバーシステムは標準システムの他に低温・RF・磁場を合わせたスピントロニクス向けのプローバーや、測定スペースに合わせた省スペース・ミニ型のプローバー、電磁石や赤外線カメラを搭載したプローバーなど製作実績もございます。ご希望される測定に必要な機能・性能にあ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社システムブレイン

プローバー　真空＜低温＞プローバーシステム

低温から高温まで豊富なオプションで様々な要求に対応致します。

真空＜低温＞プローバーシステムSB-MCPSシリーズは、多種の低温・高温オプションをご用意し、様々な温度領域に対応するプローバーです。プローバーシステムは標準システムの他に低温・RF・磁場を合わせたスピントロニクス向けのプローバーや、測定スペースに合わせた省スペース・ミニ型のプローバー、電磁石や赤外線カメラを搭載したプローバーなど製作実績もございます。ご希望される測定に必要な機能・性能にあ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社システムブレイン東京営業所

超高真空マルチチャンバー連結システム

φ4インチ基盤対応のエネルギー半導体デバイス研究開発システムなどをご紹…

当社が取り扱う『超高真空マルチチャンバー連結システム』をご紹介します。超高真空搬送用チャンバーに複数の成膜・分析装置を連結した UHV一貫システムは、ALD、ECRプラズマ処理、スパッタ装置と XPS分析装置を連結。他に、MEBチャンバーとXPS表面分析装置を連結したシステムや MBE室と酸化処理室、STM分析室を連結したシステムがあります。【ラインアップ】 ■...

メーカー・取り扱い企業：ケニックス株式会社

成膜関連製品　TELEMARK 真空蒸着用コンポーネント

蒸着用電子銃など真空蒸着のことならお任せください。

VISTA株式会社は、TELEMARK製の電子銃や水晶膜厚モニターなど多彩なラインアップで取り揃えております。 TELEMARK社の電子銃は、超高真空対応型、高真空汎用型、シングルポケット、回転型、直線型、ルツボ容積4ccから1500ccまで、最大ビームパワー3kWから15kWまでと、豊富で幅広い製品群を用意しております。また、蒸着装置の水分を効果的に取り除くことは、真空蒸着にとって必須の課...

メーカー・取り扱い企業： VISTA株式会社

プローバー　熱電特性評価用真空プローバーシステム

・ゼーベック係数を測定に最適・真空プローバーシステムをベースにサン…

・ゼーベック係数を測定に最適・真空プローバーシステムをベースにサンプル表面の温度を測定可能に致しました。・表面温度測定機構:サンプル表面温度を測定することが可能（オプション）・加熱冷却機構搭載:サンプルの両端で温度差を付けることが可能・低温または高温の仕様に変更可能（オプション）...温度範囲室温～700K マニピュレータ 4式プローブ可動域 X軸:±25.0mm Y軸:...

メーカー・取り扱い企業：株式会社システムブレイン東京営業所

研究・開発用機器/超高真空機器

信頼性の高いシステムを構築！メンテナンスや改造も当社にお任せください

当社は30年以上真空技術に携わり、ユーザー様の仕様に合わせた製品を主に研究機関に提供してまいりました。 2系統のガス導入が可能な「RFマグネトロンスパッタ装置」や安価で手軽に薄膜作製が可能な「小型真空蒸着装置」など真空成膜装置を多数ラインアップ。その他「真空チェンバー」や「ターボ真空排気装置」などの各種研究用装置もご用意しております。ご用命の際はお気軽にご相談...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ヤシマ

真空蒸着システム　総合カタログ

様々なニーズに対応

パーカー熱処理工業社が取扱う、真空蒸着システムの総合カタログです ...【掲載製品】 ○Hybrid PVC System 　Linesr lon source,UBM sputter,FCVA sourcdの　適切な組合せを通じて、お客様のneedsにお応えできる　最も優れたコーティング膜が合成できるようにした　複合コーディング装備 ○PECV 　プラズマを利用し...

メーカー・取り扱い企業：パーカー熱処理工業株式会社川崎事業所

超高真空スパッタリング装置（STM2323型）

先端薄膜デバイスの研究開発に最適。カスタマイズ容易な枚葉式超高真空イン…

１０‐⁷ｐａの排気性能を持つ超高真空スパッタリング装置。標準構成でカセット室・搬送室・エッチング室・複数のスパッタ室を装備。全自動ＣｔｏＣ方式による完全自動運転で研究開発作業の効率化を実現いたします。高効率強磁性体用カソードやワイドエロージョンカソードなど成膜機構も選択でき、基板や目的に合わせて個別要求にご対応いたします。シンプルな装置構成にも対応可能、リーズナブルなコスト対応を実現いたし...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

アニール炉『ANNEALウエハーアニール装置』

Max1000℃、MFC最大3系統、APC圧力制御、4"、又は6"基板…

高真空水冷式SUSチャンバー内に設置した加熱ステージにより最高1000℃までの高温処理が可能です。チャンバー内にはヒートシールドが設置されインターロックにて安全を確保。マスフローコントローラは最大3系統まで増設が可能、精密に調整されたプロセスガス圧力での焼成作業が可能です（APC自動プロセス制御システムオプション）。又、フロントビューポート、ドライスクロールポンプ、特殊基板ホルダー、熱電対増設...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社

真空熱処理装置（ホットプレートタイプ）

急速昇降温が特徴の小型熱処理装置。有機基板の乾燥・脱ガス・ベーキングな…

実績豊富な真空半田付装置の基本構成を応用。半田付用の熱板加熱で高速熱処理。高密度実装基板・プリント板の成膜前の脱ガス・乾燥。セラミックス材料の乾燥など多用途に最適。太陽電池セルの低温べ―クや薄膜のアニールにも有効でインライン化にも対応。...急速加熱用熱板で３００ｍｍ□の基板の処理に対応。基板冷却機構により短時間・短タクト処理を実現。長時間の加熱によるダメージが問題となる基板に安定した...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

2,000℃を超えるカーボン加熱炉の開発・設計・試作支援

光ファイバの線引炉やガラス化炉で30年の実績がある加熱炉・加熱システム…

古河電気工業（株）でコーポレートの生産技術部門に26年間所属し、生産技術開発センター長を５年勤めました。主に光ファイバの開発・量産ラインへの装置導入の業務を行ない、現在も導入した装置が現役で活躍しています。私が担当した1980年後半から通信バブル崩壊するまでは毎年線引速度が高速化しプリフォーム径も大型化してゆく時代でした。私が担当した当時は、購入した線引炉の水漏れがたびたび起きて、自社で線引炉...

メーカー・取り扱い企業：プロセスD&Tラボ千葉

【多目的真空蒸着装置】電子ビーム蒸着源

多目的真空蒸着装置HEXシステム用1源および4源電子ビーム蒸着源

多目的真空蒸着装置HEX／HEX-L用の電子ビーム蒸着源です。 TAUシリーズは"ミニ"電子ビーム蒸着源です。TAUを使用することでHEXシステムを電子ビーム蒸着装置（EB蒸着装置）として使用できます。材料に高電圧が印加され、そのすぐ横にあるフィラメントから放出される熱電子を材料に加速衝突させることで加熱します。大型の電子ビーム蒸着源に見られるような、電子ビーム偏向マグネットは使用しません。...

メーカー・取り扱い企業：テガサイエンス株式会社

超高性能光学薄膜用蒸着装置「Sapio 1300/1550」

低パーティクル仕様の超高性能光学薄膜用蒸着装置です。

超高性能光学薄膜用蒸着装置「Sapio 1300/1550」は、新開発のファイバー式光学モニターの採用や、安定した温度制御が可能な80点モニターガラス機構を搭載することで設計通りの特性が得られる高精度を実現しました。徹底した放出ガス対策により、槽内が汚れていても特性のみならず、安定した膜質が得られます。【特徴】 ○高効率排気システム ○低パーティクル仕様（オプション） ○高精度...

メーカー・取り扱い企業：株式会社昭和真空

【多目的真空蒸着装置】HEX用サンプルステージ

多目的真空蒸着装置HEXシステム用サンプルステージ | 固定、回転、回…

多目的真空蒸着装置HEX／HEX-L用のサンプルステージです。正しいサンプルステージを選択することは、正しい成膜方法を選択することと同じくらい重要です。サンプルステージの特性は均一性やモルフォロジー、膜組成に影響を与えます。 HEXでは最大直径4インチのサンプル、HEX-Lでは最大直径6インチのサンプルに対応します。標準の固定サンプルステージの他に、回転、回転加熱、回転水冷サンプルス...

メーカー・取り扱い企業：テガサイエンス株式会社

金属膜+保護膜成膜装置

新しい成膜方法をお考えのエンジニア必見！樹脂基板への金属膜、保護膜を全…

新しく開発された射出成形機連動型高速スパッタ・重合システムSPP-SERIESは、自動車・装飾部品などで用いられる樹脂基板への金属膜、保護膜の自動成膜が可能です。射出成形された基板を全自動で真空成膜（スパッタリング及び重合）することが可能です。【対象製品】 ◆自動車ヘッドランプリフレクター ◆ミラー ◆金属装飾膜 ※詳しくはお問い合わせいただくか、PDFをダウンロードしてご覧く...

メーカー・取り扱い企業：株式会社昭和真空

コンタクトアニール用ランプアニール装置『RLA-3100-V』

GaN基板の処理も可能！コンタクトアニール用ランプアニール(RTP)装…

『RLA-3100-V』は、6インチまでの幅広いウェーハサイズに対応可能なコンタクトアニール用ランプアニール(RTP)装置です。耐真空設計された石英チューブの採用でクリーンな真空(LP)環境、 N2ロードロック雰囲気での処理が可能です。また、自動ウェーハ載せ替え機構を装備し、C to C搬送を実現します。【特長】 ■～6インチまでの幅広いウェーハサイズに対応 ■自...

メーカー・取り扱い企業：光洋サーモシステム株式会社営業管理部

移動ロードロックシステム『CEX-2420』

スパッタ装置用、PLD装置用の2つの接続ポートを装備！各試料ホルダーへ…

『CEX-2420』は、コンビナトリアル・スパッタ装置「CMS-6420」間、あるいは、パスカル社製「PLD装置」間で、大気暴露なしに成膜試料を超高真空下で移載搬送できる移動ロードロックシステムです。 L/L室と接続ポート部は、独立したターボ分子ポンプで排気され、試料を常に超高真空下に持ちます。また、スパッタ装置用、PLD装置用の 2つの接続ポートを備え、各試料ホルダーへの試料...

メーカー・取り扱い企業：株式会社コメット

水中不純物・重金属除去装置　『SPM-300シリーズ』

薬液処理や汚物処理の蒸発が可能な環境改善に適した装置

『SPM-300シリーズ』は、微少流量での成膜に適した成膜コーターです。塗布材料の塗着効率が高く、従来スプレー方式と比較し 1/2に削減、スピン方式と比較すると1/30以下に削減可能です。常圧環境で塗布成膜するため、真空環境の設備が不要で高価な真空設備コストを大幅に削減します。粒径の大きな固形物が混合されている材料が使用可能。排気、廃液処理が従来システムに比べ...

メーカー・取り扱い企業：有限会社浦野技研

高分解能　渦電流センサ

高温・真空・水油が飛び散るなど環境で活躍！高分解能渦電流変位センサ

高分解能で真空・高温環境にも対応！金属の厚み測定や回転体の軸ブレ測定などに使用されます。ピエゾアクチュエーターと組み合わせて使用すれば、精密位置決めも可能になります！産業界や半導体業界で長く愛用されてきたLion社渦電流センサを是非、一度お試しください！！...高分解能で真空・高温環境にも対応！金属の厚み測定や回転体の軸ブレ測定などに使用されます。ピエゾアクチュエーターと組...

メーカー・取り扱い企業：翔栄システム株式会社

平行移動式3元RFスパッタリング装置『MSS600-3』

ガス導入と圧力コントロールバルブによるスパッタ圧の制御が可能！

『MSS600-3』は、矩形カソード W100ｘH500mmによる 3元RFスパッタリング装置です。基板サイズはW200×H300mmであり、X方向へ搬送しながら蒸着します。また、基板200mmを30秒から15時間の時間で任意に設定し、膜厚調整や様々な異種積層成膜が可能です。【特長】 ■自動スパッタ機能により、長時間のスパッタリング作業も省力で可能 ■GenCor...

メーカー・取り扱い企業：株式会社愛知真空

【多目的真空蒸着装置】スパッタリングソース

多目的真空蒸着装置HEXシステム用RF&DCスパッタリングソース

多目的真空蒸着装置HEX／HEX-L用のスパッタリングソースです。ターゲットが導体の場合はDCモードで、絶縁体の場合はRFモードで使用することができます。ガスフードが標準装備されているため、ターゲット表面近傍での圧力を高め、成膜中のチャンバー圧力を低く抑えることが可能です。冷却水配管およびガス配管の接続には、クイックリリースコネクターが採用されています。そのため、工具を使用することなく...

メーカー・取り扱い企業：テガサイエンス株式会社

受託サービス：デバイスの質量ガス分析

高精度の四重極型質量分析システムによる受託分析サービス。封止デバイス内…

当社では、高精度の四重極型質量分析システムにより、お客様から受領したサンプルのガス分析（リーク量測定）を行うサービスを提供しております。分析装置に“低ガス放出”の0.2％BeCu合金製の真空構造材を採用しており、デバイスの破壊試験による10^-15Pa・m3/s(He)以下という極微小リークの検出が可能。封止デバイス内部や接合ウェハー界面のガス分析を行います。半導体デバイスの不良解析、...

メーカー・取り扱い企業：東京電子株式会社

【多目的真空蒸着装置】抵抗加熱蒸着源

多目的真空蒸着装置HEXシステム用抵抗加熱蒸着源

多目的真空蒸着装置HEX／HEX-L用の抵抗加熱蒸着源です。抵抗加熱蒸着法は、最も一般的な真空蒸着プロセスです。ボート型やルツボ型の加熱容器に材料を置き、加熱容器に電流を流すことで抵抗熱を発生させ、材料を加熱します。加熱容器の温度が充分に上昇すると、容器内の材料が蒸発し始めます。蒸着レートは電流によって制御することが可能です。抵抗加熱蒸着装置の利点はプロセスガスを使用しないことです...

メーカー・取り扱い企業：テガサイエンス株式会社

マニピュレータシステム

・微小部品を数μｍ精度で位置決め組み立てる装置。・新開発把持機構（マイクロハンド）と高精度測定顕微鏡との合体により、ミクロンの『見ながら作業』を可能にしました。・真空吸着コレットではピックアップできないワークを精密対象把持動作がワークにダメージを与える事無くピックアップする事を保証します。・モノコック式高剛性軽量の顕微鏡ベースが、従来の２倍の剛性と速い振動収束を実現し除振台無しでサブミ...

メーカー・取り扱い企業：アクテス京三株式会社技術センター

【多目的真空蒸着装置】有機蒸着源

多目的真空蒸着装置HEXシステム用有機蒸着源

多目的真空蒸着装置HEX／HEX-L用の有機蒸着源です。 ORCAをインストールすることで、HEXシステムを有機物蒸着装置として使用できます。ORCAソースはルツボを積極的に冷却しています。加熱と冷却のバランスにより、優れた温度安定性と制御性を実現しています。ルツボは熱伝導率の高い材質で作られていることから、蒸着レートに悪影響をおよぼすホットスポットが発生しません。アルミナ製やグラフ...

メーカー・取り扱い企業：テガサイエンス株式会社

パルスレーザパルス蒸着システム

AOVでは、多種多様なお客様のご要望にお応えするために、カスタマイズされた様々な真空製膜装置を取り扱いしております。AOVの取り扱う真空装置は物理気相蒸着（PVD）法と化学気相蒸着（CVD）法に大きく分かれています。 PVD法による装置は、 * PLD（パルスレーザ蒸着）装置 * マグネトロンスパッタ装置 * EB電子ビーム蒸着装置 * イオンビームア...

メーカー・取り扱い企業： AOV株式会社

NEXGENグローブボックスシステム（新時代のガス精製装置付）

再生ガス・再生工程不要の新時代のガス精製装置付きグローブボックスシステ…

・再生ガス、再生工程不要の新時代のガス精製装置付グローブボックス。・酸素濃度、水分濃度１ppm以下を保持、NEXGENシステムによるオートバキ　ューム・オートパージ・全自動圧力コントロール。・全世界に２万台以上の導入実績、63年の歴史を誇る世界基準のグローブボ　ックスメーカーVAC社製 ...1.次世代型カートリッジ式ガス精製装置を搭載【特許技術】 2.酸素濃度・水分濃度を...

メーカー・取り扱い企業：山八物産株式会社 YAMAHACHI&CO.,LTD

【真空加圧装置シリーズ】様々なシーンで活躍中

積層・貼付、接着・接合、含浸など様々な用途に！カスタマイズ可能な加圧装…

当社が取り扱う『ミカド真空加圧装置シリーズ』は、独自の均圧システムを用いることにより、高精度な2D加圧（平板加圧）が実現しました。体積を小さくすることにより、素早い真空引きが可能。また、放熱ポスト構造（国際特許）を採用し、熱の影響範囲を限定させることにより、均一温度及び昇温冷却時間の短縮、省電力を可能にしました。積層・貼付をはじめ、接着・接合、転写、封止・ラミネート、成...

メーカー・取り扱い企業：ミカドテクノス株式会社

ウェハー表面改質・精密接合装置

ウェハーレベルのシリコン、金属、石英、ガラス等を、真空〜任意雰囲気で表面改質処理後精密接合する装置 ■□■特徴■□■ ■4〜6インチのウェハーレベル各種ポンディングに対応 ■任意材料に適した表面改質処理による前処理機能 ■均一な加熱、加圧機能を備えた接合システム ■残留応力低減のための加熱冷却システム ■超高真空〜加圧雰囲気に任意対応 ■任意ポジション加圧・電圧印加制御機...

メーカー・取り扱い企業：ケニックス株式会社

スクリーン版用露光装置

フレネルレンズを搭載した高精度露光装置です。

フレネルレンズを搭載した高精度露光装置です。新真空システムでスクリーン版枠の歪みを軽減し、さらに配光バランスを向上させました。スクリーン枠装置と、PDP用の大型装置の2種類をラインアップさせています。 ...

メーカー・取り扱い企業：ウシオライティング株式会社

有機EL用成膜装置

有機EL用の実験装置です。搬送系の操作は、PCより制御可能です。全自動…

有機EL成膜用の有機蒸着セル（KOD-Cell）が16台、金属材料蒸着の際には、金属蒸着セルが標準装備されます。有機用、金属用と共通して少量サイズのルツボにて構成されており、装置チャンバー内に極力チャンバー汚染をしない事に重点を置いた設計になっております。本システムは、全自動式である為、多種多様な研究が行える多目的研究開発用装置となります。...【特徴】・3軸ロボット機構にて、マスク及び試料搬...

メーカー・取り扱い企業：北野精機株式会社

受託サービス：質量ガス分析＜分析システムの解説付き資料進呈＞

高精度の四重極型質量分析システムによる受託分析サービス。極微小リークも…

当社では、高精度の四重極型質量分析システムにより、お客様から受領したサンプルのガス分析（リーク量測定）を行うサービスを提供しております。分析装置に“低ガス放出”の0.2％BeCu合金製の真空構造材を採用しており、デバイスの破壊試験による10^-15Pa・m3/s(He)以下という極微小リークの検出が可能。半導体デバイスの不良解析、品質改善、品質管理に貢献します。【測定例...

メーカー・取り扱い企業：東京電子株式会社

PLAD-221-Y PLDシステム

AOVでは、多種多様なお客様のご要望にお応えするために、カスタマイズされた様々な真空製膜装置を取り扱いしております。AOVの取り扱う真空装置は物理気相蒸着（PVD）法と化学気相蒸着（CVD）法に大きく分かれています。 PVD法による装置は、 * PLD（パルスレーザ蒸着）装置 * マグネトロンスパッタ装置 * EB電子ビーム蒸着装置 * イオンビームア...

メーカー・取り扱い企業： AOV株式会社

クラスター装置『Morpher』

デバイス量産へ、優れたプロセス品質、信頼性、高スループットを提供！

Morpher ALDシステムは、業界標準の枚葉ウエハ真空クラスタプラットフォームを組み込み、ウエハバッチを完全自動処理するように設計されています。米国特許取得済みのウエハバッチフリップ機構により、他の半導体製造ラインとのシステムの統合が可能で、またSEMI S2/S8認定により、当システムが業界の最も厳しい規格と互換性があることが保証されています。 Morpher ALDシステムは、...

メーカー・取り扱い企業： PICOSUN JAPAN株式会社

コンパクトレーザーMBE装置『PAC-LMBE』

扱いやすいデザインで各種成膜条件の制御が容易！6種類のターゲットが使用…

『PAC-LMBE』は、拡張性の高い超高真空レーザーMBE（PLD）システムです。基板加熱ユニットとして、赤外線ランプ加熱と半導体レーザー加熱のいずれかを選択可能。6種類のターゲットが使用できます。また、ロードロック室ユニットにより、真空中でターゲットや基板を簡単交換いただけます。【特長】 ■拡張性が高い ■到達真空度：6.7×10^-7Pa（5×10^-9To...

メーカー・取り扱い企業：株式会社パスカル

モバイルコンビレーザーMBE装置『MC-LMBE』

スキャニングRHEEDを標準装備！モーター駆動コンビナトリアルマスクを…

『MC-LMBE』は、操作性の高いコンパクトな超高真空レーザーMBE（PLD）システムです。 1200℃まで加熱可能な半導体レーザー基板加熱ユニットを搭載。モーター駆動コンビナトリアルマスクを2枚を装着しています。また、ロードロック室ユニットにより、真空中でターゲットや基板を簡単交換できます。【特長】 ■操作性が高くコンパクト ■到達真空度：6.7×10^-7...

メーカー・取り扱い企業：株式会社パスカル

Nd:YAGレーザパルス蒸着システム

AOVでは、多種多様なお客様のご要望にお応えするために、カスタマイズされた様々な真空製膜装置を取り扱いしております。AOVの取り扱う真空装置は物理気相蒸着（PVD）法と化学気相蒸着（CVD）法に大きく分かれています。 PVD法による装置は、 * PLD（パルスレーザ蒸着）装置 * マグネトロンスパッタ装置 * EB電子ビーム蒸着装置 * イオンビームア...

メーカー・取り扱い企業： AOV株式会社

真空用エキシマUV洗浄改質装置

大面積SUS真空チャンバー内径250mm、深さ100mm採用

シンプルなシステム構造でさまざまな照射条件を実現します。...シンプルなシステム構造でさまざまな照射条件を実現します。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エキシマ横浜ラボ

最先端コーター『ＨＩＴ-IIIＳ』

塗布材料が最大１／３０に削減可能！成膜を効率よく、最小限のコストで行え…

『最先端コーターＨＩＴ-IIIＳ』は、塗布成膜を従来よりも圧倒的な効率で行える装置。塗布材料を従来のスプレー方式の１／２、スピン方式の１／３０以下に削減可能です。また、常圧環境で成膜を行えるので、真空環境設備を整える必要がありません。トータルコストの圧縮に貢献できる最先端コーターです。【特長】 ■塗布材料や真空設備のコストを大幅削減 ■弱酸性、弱アルカリ性、各種有機溶剤...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ヒットコーポレーション