『蒸気2流体洗浄装置 ハンディガンタイプ』

PR30μm以下の水滴と蒸気の超音速噴射で、切削油など頑固な汚れもしっかり…

『蒸気2流体洗浄装置 ハンディガンタイプ』は、水滴と蒸気を超音速で 噴射することで発生する衝撃波（キャビテーション）と せん断力により異物、汚れを除去する装置です。 電気、純水、圧縮空気（or窒素）で動作が可能。 ハンディガンタイプのため汚れを的確に除去できるほか、 装置はキャスター付きで容易に移動できます。 【特長】 ■キャビテーションの効果を利用して汚れを除去 ■薬品を...

メーカー・取り扱い企業： HUGパワー株式会社

ARO社 ダイアフラムポンプ FDA準拠(サニタリー)ポンプ

PR【医薬品・食品業界に！】 衛生性（サニタリー）が重要視される現場で活…

信頼性と効率を追求したSUS316L製のARO社ダイアフラムポンプは、 衛生性が重要視される医薬品・食品業界で安心してご利用いただけます。 クイックノックダウン(QKD)クランプシステムを特徴としており、 クリーニング、保守メンテナンスが容易で、高い信頼性と長い製品寿命を提供します。 最小限の時間で洗浄やメンテナンスが可能となり、作業時間の短縮にも貢献します。 【用途例】 ...

メーカー・取り扱い企業： タイヨーインタナショナル株式会社

『蒸気2流体洗浄装置 ハンディガンタイプ』

30μm以下の水滴と蒸気の超音速噴射で、切削油など頑固な汚れもしっかり…

『蒸気2流体洗浄装置 ハンディガンタイプ』は、水滴と蒸気を超音速で 噴射することで発生する衝撃波（キャビテーション）と せん断力により異物、汚れを除去する装置です。 電気、純水、圧縮空気（or窒素）...

メーカー・取り扱い企業： HUGパワー株式会社

【スラリー/高純度流体向け】フッ素樹脂製ダイアフラムバルブ

スラリーなどの研磨性流体に最適なフッ素樹脂製ダイアフラムバルブ

半導体製造装置及び化学工場の薬液配管向けのフッ素樹脂製バルブです。CMPスラリー等粘性薬液に最適な抵抗の少ない流路構造のダイアフラムバルブ(ダイヤフラムバルブ)です。抵抗の少ない構造である為、サイズによっては他社比較2倍以上の流量能力がございます。 また,液溜まりの少ないボディ形状によりコンタミネーションのリスクが抑えられております。...・メンテナンスフリーのPVDF製ピストンアクチュエーター...

メーカー・取り扱い企業： ゲミュージャパン株式会社

ＡＬＤプロセス用高速高耐久バルブ『TDFシリーズ』

高速開閉・高い応答安定性！特殊面間寸法や弁形状、耐腐食性材料ボディなど…

『TDFシリーズ』は、ＡＬＤ（原子層堆積）プロセスに必要な高速開閉、高耐久、耐食性、耐熱性、Cv安定性を兼ね備えた高純度ガス対応ダイヤフラムバルブです。 アクチュエータへの熱伝導を低減する構造を採用し、最高220℃までの 高温流体に使用可能。 工場出荷時に全数Cv値を調整しており、使用時のCv値変動率が少なく 安定したガス流量が得られます。 【特長】 ■高速開閉・高い応答安...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

Druck 半導体製造装置向け圧力計測ソリューション

半導体製造装置やサブシステムの圧力校正試験にPACEシリーズを導入しま…

【SEMICON JAPAN2022 Hall2 総合ゾーン＃2134に出展決定】 流体制御に欠かせないPACE圧力コントローラの校正デモが体験できます！高速圧力制御を実感しませんか？ 【生産ラインの圧力校正試験に圧力コントローラ PACE】 ■高精度、長期安定性、高速反応性と３拍子そろっています ■圧力制御スピード：他社製品の最大5.5倍 ■生産ライン上の圧力校正試験に最適（試験の...

メーカー・取り扱い企業： 日本ベーカーヒューズ株式会社＆ベーカーヒューズ・エナジージャパン株式会社　 （旧）GEセンシング＆インスペクション・テクノロジーズ株式会社　＆　GEエナジー・ジャパン株式会社

自動レジスト現像装置（枚葉式） デベロッパー Developer

枚葉式のためプロセスの再現性が高く、薬液使用量も少なく済みます。品質向…

枚葉式フォトレジスト現像装置です。 パドル現像、スプレー現像（1流体、2流体）など様々な現像プロセスに対応できます。 薄型ウェハや角基板など多数実績がございます！ また、厚膜レジスト現像～微細なパターンの現像まで幅広く対応できます。 当製品は、枚葉式で現...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

ブラシ洗浄からの置き換え！枚葉式ウエハ洗浄装置（スクラバー）

実績多数の高圧ジェットを採用したスクラバー。ソフトスプレーと組み合わせ…

当社のスクラバー装置は、当社独自の特殊ノズルを使用した高圧ジェットにより、枚葉による高速処理・高洗浄力を実現し、薬液の使用量も削減できます。 ノズルは、高圧ジェット方式の他、2流体スプレー、1流体スプレー等の方式も選択可能ですし、組み合わせることも可能です。 ウエハ洗浄だけでなく、フォトマスクの洗浄でも実績があります。 また、DIP処理で問題となるパーティクルの...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

《ソノシス》超音波スプレーノズル

レヒラー社のノズル技術とソノシス社の超音波技術のコラボ商品

超音波スプレーノズルで形成された粒子（液滴）はピエゾ部分の振動で砕かれます。 即ち、加圧式と異なり粒子にスピードがありません。 そのため、自然に落下してしまうか、風の影響で浮遊してしまいます。 そこで空気搬送（キャリアエアー）を使用して形成された粒子を搬送させて、塗布させます。 ...通常、細かい粒子を作る場合は、加圧が必要です。 若しくは二流体という流体を2つ使用して液体を砕く方法が主...

メーカー・取り扱い企業： ティックコーポレーション株式会社

枚葉式スピンスプレー洗浄装置　SRC-15001

2流体ノズルより高圧純水をスプレー、メガソニックによる仕上げ洗浄！

SRC-15001は、枚葉式のスプレー洗浄装置です。被洗浄物を試料台に置き、スタートSWをONにより、試料台は回転を始めると同時にノズルアームが洗浄物の半径をスイングし、2流体ノズルより高圧純水をスプレーします。次にメガソニックによる仕上げ洗浄を行い、スピン乾燥を行います。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

フォトマスク洗浄装置（セミオート）

シリーズ累計200台以上のロングセラ機種です。

イスメーカ様では、「コンタクト露光時に付着したレジスト除去」に実績豊富 ■基板サイズごとにシリーズ化した標準装置ですが、カスタム対応も可能です。 ■基本処理プロセスは、「洗剤/スクラブ⇒DIW2流体⇒表裏リンス⇒スピン乾燥」 　◎スクラブや2流体処理時には、スキャン旋回機能が標準搭載 　◎DIW2流体ツールで、優れたパーティクル除去 　◎スクラブブラシは、ナイロン刷毛ブラシ or PV...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ソフエンジニアリング

逆テーパー角を一定に！PEB対応レジスト現像装置（デベロッパー）

逆テーパー角度を一定に！ネガレジストやイメージリバーサル用のレジストに…

た、薄いウエハでの実績も多数あります（ウエハ厚さ150umなど）のでご相談ください。 【特長】 ■PEBによる逆テーパー角の安定 ■自動ウエハサイズ認識機能 ■パドル、1流体スプレー、2流体スプレーの対応可 ■フットプリントの低減 ■生産量に合わせたラインアップ デモ設備も常設しておりますので、デモのご検討をお願いいたします！...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

コンパクト！手動フォトレジスト現像装置（マニュアルデベロッパー）

少量多品種生産、開発用途向けのコンパクトレジスト現像装置です。枚葉式の…

てだけでなく少量多品種の製品を扱うお客様にご利用いただいております。 TMAH等多彩な薬液に実績があります。 【特長】 ■低価格を実現 ■コンパクト！ ■パドル、1流体スプレー、2流体スプレーも選択可能 ■多彩な薬液に実績あり ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

チップ洗浄機

2流体でウェーハを徹底洗浄します。

純水とエアーの2流体でダイシング後のウェーハ表面を洗浄する装置です。 独自開発の洗浄カップで浮遊系ダストの再付着を制御します。 ご使用用途に応じ、様々なアレンジに対応します。 【特徴】 　■搬送部をコンパクト...

メーカー・取り扱い企業： レイリサーチ株式会社

大容量・小型　ステンレス製電磁弁

安価で高品質の2・3・4WAY電磁弁

■本体材質はSUSが標準仕様で種々の流体に対応可能なシート、 　 シート材質をニーズに合せて提供できる 　 （材質：テフロン、バイトン、パーフロロエラストマー、シリコン等） ■耐腐食性、シール性に優れている ■スチーム等の高温仕様には、Hコイルを採用し、内部洗浄処理等で対応可能 ■詳細は最下部のアンケートからお問い合わせ下さい■...安価で高品質の2・3・4WAY電磁弁 ※PETER ...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンマシナリー株式会社

『薄膜スプレー技術資料』抜粋

霧化方法・薄膜形成方法など、当社の最新ノウハウを初心者の方にも分かりや…

まり携わっていない方でも 問題なく導入可能になるよう、分かりやすく解説しております。 【掲載内容】 ■霧化について ■各種スプレーの薄膜形成方法 （遠心力霧化等1流体スプレーの場合／2流体スプレーの応用／ 　2流体スプレー応用の集大成…新型FS式マイクロスプレーシステム／ 　断続スプレー／静電印加＋マイクロスプレー／薄膜スプレーシステム装置本体）/セレクトスプレーについて　 ...

メーカー・取り扱い企業： Shimada Appli合同会社 コーティング開発部

ME-5000R 全自動ウエハースピン洗浄装置

フルオートマティックスピン洗浄装置　300mm/8インチウエハー、ガラ…

本装置は、ウエハーカセットを本体に手動でセットし、収納されている対象ワークをロボットでスピン洗浄部に送り、スピン回転させながら二流体洗浄・超音波洗浄・N2ブロー乾燥の処理を行い、再びウエハーカセットに収納する装置です。...装置寸法 Size：　W1３00×D１８00×H2000　（300mm）/　W1100×D1400×H2000　（８インチ） 工程　Process：　カセットを手動で設置→扉...

メーカー・取り扱い企業： マック産業機器株式会社 テクノロジーセンター

高田工業所社製試作用枚葉式ウェット処理装置『TWPmシリーズ』

リフトオフ・レジスト剥離プロセスによるウエハー表面処理を行う試作研究用…

試作研究用『TWPmシリーズ』は以下の特長を備えた装置になります。 ■特長 ・ 高い剥離性能をもつ独自のジェットリフトオフ機構 ・多品種少量・生産量の変動への対応に向けた、 フレキシビリテイの向上とランニングコストの削減 ・枚葉化による品質・歩留り向上 （クロスコンタミの無い精密処理の実現と面内の均一性・制御性の向上 ） ・高い剥離性をもつ独自のジェットリフトオフ機構 ...

メーカー・取り扱い企業： JFE商事エレクトロニクス株式会社 プロセスソリューション営業部 実装プロセス営業室

高純度ライン用チェックバルブ（逆止弁）『CMWシリーズ』

半導体製造装置の要求するクリーン度で対応。ステンレス316L製、高純度…

CMWはシリーズは、高純度アプリケーション用に開発された溶接型コンパクトチェックバルブ（逆止弁）です。完全溶接設計の為、流体を外部リーク無く確実に保持します。電解研磨品もご用意しております。 ＜特長＞ ・半導体製造装置の要求するクリーン度で対応 ・流体をリークなく確実に保持する完全溶接設計 ・最大許容使用圧力： 20MPa ・最大許容背圧： 20MPa ・使用温度範囲： -10～8...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハムレット・モトヤマ・ジャパン

水中不純物・重金属除去装置　『SPM-300シリーズ』

薬液処理や汚物処理の蒸発が可能な環境改善に適した装置

■装置寸法：1000mm(W)×1000ｍｍ(D)×1650ｍｍ(H) ■装置重量：概略300Kg程度 ■液供給方式：シリンジポンプによる液供給システム 1系統 50ml標準 ■塗布方法：2流体ノズルによる微粒化噴霧 1個 ■制御：主制御にシーケンサ、表示スイッチ類はタッチパネルを使用 ・塗布速度：1～500mm／sec ・アトマイズエア流量設定：5～12l／min N2使用可 ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社浦野技研

高純度ライン用ダイヤフラムバルブ　『UCVシリーズ』

半導体製造装置およびその周辺配管で要求されるクリーン度に対応したウルト…

本カタログには下記アイテムが記載されております。 ・3Lシリーズ（オールメタルシール） ・2Lシリーズ（ソフトシール） ・EVZSシリーズ（かしめシート） ・2LEシリーズ（コンパクト型） 用途、流体に合わせた仕様のバルブをお選びいただく事が可能です。 耐圧：1Mpa、16MPa、21MPa 温度：250℃（オールメタルシール3LT） 2L、3Lシリーズではダブルメルト材ボディ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハムレット・モトヤマ・ジャパン

水フィルター　「ＩＦシリーズ」

配管を外さずフィルターカートリッジの交換可能。

■ ヘッド材質は樹脂とステンレスの2種類。 ■ 専用スタンドスタンドは1連と2連の2タイプ。...配管内の流体をフィルターカートリッジに通す事でゴミ(金属片、砂塵、シールテープなど)を除去します。 また、ハウジングが透明のため、内部のゴミや汚れを一目で監視できます。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社リガルジョイント

最先端コーター『ＨＩＴ-IIIＳ』

塗布材料が最大１／３０に削減可能！成膜を効率よく、最小限のコストで行え…

m 装置寸法 ：1000mm(W)×1000mm(D)×1650mm(H) 装置重量 ：300Kg程度 液供給方式 ：シリンジポンプによる液供給システム。1系統 50ml標準 塗布方法 ：2流体ノズルによる微粒化噴霧。1個または2個 制御 ：主制御にシーケンサ、表示スイッチ類はタッチパネルを使用 ＜装置の使用例＞ ・自動車：ランプ、フロントガラス、バンパー等 ・レンズ：ハ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ヒットコーポレーション

TSVCR3060N（2インチウェーハ搬送）

真空トランスファーチャンバーの小型化に寄与します。

業界最小クラス、装置の小型化が可能 当社標準比真空ロボット：フットプリント65%（φ95mm）, 容積比75%ダウン アームの組み合わせにより任意の到達距離の設定が可能...ロボット仕様 ロボット型式 TSVCR3060N-020-PM 被搬送物 2インチシリコンウェーハ ウェーハ保持方式 落とし込みによるラフガイド方式 機械構造形式 円筒座標型 制御軸 3軸 モータタイプ エンコー...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

エレメント交換型フィルタ　『H-600シリーズ』

ステンレス316製、高温・高圧対応ティ型＆インラインフィルタ『H-60…

H-600シリーズは、エレメント交換が可能なティ型及びインライン型フィルタです。豊富な濾過レベルのエレメントをご用意しお客様のご要望にお応えします。システム構成部品を流体中の粒子や混入した異物から守ります。定期メンテナンス時にエレメントを交換する事により、システム不具合の発生を抑え、効率のよい運用が可能になります。 ＜特長＞ ・ご要望により、酸素禁油対応、完全禁油対応が可能。 ・Ｔ型フィ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハムレット・モトヤマ・ジャパン

《新型》SpinDipプロセッサー　リフトオフ・有機剥離・バリ取

ウルトラソニック超音波をスピン枚葉装置に搭載実用化！

ンの広いシステムを構築可能 ■多種の剥離/リフトオフツールの同時搭載可能 　基板状態（品種/工程等）で、ツールの選択/併用使用可能 　◎<BLT型超音波><ホーン型超音波><高圧Jet><ケミカル2流体><マルチスプレー> ■低ダメージ・汎用基板の超音波処理として、＜BLT型超音波＞を搭載 　◎BLT型超音波：周波数=38KHz、振動振幅＝1μ以下(P-P) ■強固なレジスト剥離/リ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ソフエンジニアリング

ウェーハ自動剥離装置（剥離洗浄機）

PHTは半導体業界の中でウェーハ自動剥離装置（剥離洗浄機）のニッチトッ…

枚葉洗浄～乾燥～カセット収納までを全自動で行うシステムです。剥離後のプレート治具は、アンローダ側に排出されます。 剥離は、熱風加熱方式で、1枚ごとに行います。剥離後のウェーハは、枚葉式の洗浄です。2流体高圧洗浄～スクラブ洗浄～リンス洗浄～吸水ローラ乾燥～スリットノズル乾燥後、水平多関節ロボットでアンローダ部のカセットに1枚毎に収納します。収納は、カセット (25枚入) の上段～又は下段からの選択...

メーカー・取り扱い企業： PHT株式会社

プラズマクリーナー(大型)

小型・低コストな卓上型プラズマ処理装置Harrick Plasma社　…

ラボ・研究開発向けに設計。光学材料のクリーニングはもちろん、ポリマー・生体材料などの材料改質、歯科・医学材料(器具)の滅菌、マイクロ流体工学などにも対応。あらゆる材料のクリーニングと表面処理に活用されており、各分野で多くの販売実績あり。真空ポンプ、クオーツチャンバー、サンプルトレー、プラズマフローなど、オプション品も幅広くラインナップ。...■□■特長■□■ ■業界最小サイズ　「研究機関向け...

メーカー・取り扱い企業： 三洋貿易株式会社 科学機器事業部

微流量調整バルブ（微流量調整弁） 『MBVシリーズ』

1つのバルブでオン/オフ と微流量制御を行うことができます。 2 i…

微流量調整バルブ（微流量調整弁） 『MBVシリーズ』は、流量調整バルブ（H-1300シリーズ）とボールバルブ（H-800シリーズ）を１つにまとめた、今までにない画期的なバルブです。 １つのバルブで流体のオン／オフと微流量調整を行う事ができます。 ＜特徴＞ ・微流量調整用バルブとしてはH1300シリーズ同様にステム角1°、3°、5°をご用意 ・ボールバルブとしてはH800シリーズ、Sボデ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハムレット・モトヤマ・ジャパン

ウエハー　マスク　枚葉スピン洗浄装置

ウエハー　マスク　枚葉スピン洗浄装置

多種多様な基板を洗浄できます。 ＜主な仕様＞ 対応ワークサイズ ウエハ　φ8インチ（MAX） マスク　6025（MAX） 純水リンス、ブラシ洗浄、 メガソニック洗浄（または2流体洗浄） N2ガスブロー、スピン乾燥（MAX2000rpm） シーケンサコントロール タッチパネル（GOT）にて簡単操作 レシピ機能（20種類30ステップ） 各処理時間、動作をタッチパネル...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社カナメックス 厚木工場

フィルム洗浄装置（ロールtoロール）

機能性フィルム・有機ＥＬ用洗浄装置

【ユニット構成】 処理幅：200～400mm 厚み：75～150ミクロン エキシマUV 超音波洗浄 ブラシ洗浄 2流体シャワー エアーナイフ乾燥 IR乾燥 ...

メーカー・取り扱い企業： ブルーオーシャンテクノロジー株式会社

洗浄装置　小型簡易枚葉式洗浄装置

低価格、しかも高性能なWet処理装置のことなら、弊社にお任せください。

【特徴】 ○高プロセス性能（パーティクル数など） ○低価格 ○オゾン水、水素水などの機能水にも対応。 ○2流体ジェットなど物理洗浄にも対応。 ○2インチなど小口径にも対応します。 ●詳しくはお問い合せ、またはカタログをダウンロードしてください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＭＴＫ

大流量セラミックガスフィルター

流量500L/minから3,000L/minまでの一次側バルク・ガスラ…

半導体製造ガスラインなどに用いられる（株）ピュアロンジャパン製セラミックガスフィルターです。 ...【特徴】 ○濾過精度は0.003μmです。 ○使用可能流体はN2、O2、Ar（バルクガス）です。 ○推奨流量は500〜3,000L/min（60〜180m3/Hr）です。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ピー・ジェイ

2流体スプレー方式自動フォトレジスト現像装置（デベロッパー）

高い圧力から霧状の柔らかい圧力まで自由自在！2流体スプレーレジスト現像…

N2と現像液を混合して吐出する2流体スプレー方式の現像装置です。 N2の圧力を変更することで、スプレーの吐出圧力を変更することができます。 液の圧力を高め、高圧で吐出す方法や、液量を少なくして霧状にして柔らかく吐出する方...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

1流体スプレー方式自動フォトレジスト現像装置（デベロッパー）

厚膜現像や処理時間短縮に効果を発揮する1流体現像装置です。スプレー形状…

1流体スプレー方式の現像装置です。 現像液の圧力でスプレーをするため、スプレーによるミストが飛び散りにくく、また現像スピードを速くすることができます。 大型基板や厚膜の現像に最適です。 スプレーノズルは扇形、円形などの形状と分布や広がり角度や範囲も自由に選択できます。 当製品は、枚葉式で現像、ベーク、クーリング機能を搭載。 マニュアル機～フルオート機まで生産量に合...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

高田工業所社製量産用枚葉式ウェット処理装置『TWPシリーズ』

リフトオフ・レジスト剥離プロセスによるウエハー表面処理を行う量産用枚葉…

量産用『TWPシリーズ』は以下の特長を備えた装置になります。 ■特長 ・ 高い剥離性能をもつ独自のジェットリフトオフ機構 ・多品種少量・生産量の変動への対応に向けた、 フレキシビリテイの向上とランニングコストの削減 ・枚葉化による品質・歩留り向上 （クロスコンタミの無い精密処理の実現と面内の均一性・制御性の向上 ） ・1チャンバー完結　完全枚葉処理 ・パドル処理、低速回...

メーカー・取り扱い企業： JFE商事エレクトロニクス株式会社 プロセスソリューション営業部 実装プロセス営業室

高圧ジェットで高速レジスト剥離！半導体製造用リフトオフ装置

【超高圧ジェットでメタル＆レジスト除去】ASAP専用ノズルで、枚葉によ…

れいに除去可能！ 昔はDIPプロセスで簡単に除去できていたものがだんだん取れづらくなってきている… そんなユーザー様の声にお応えして超高圧ジェットリフトオフ装置が生まれました！ 2流体スプレーの圧力を上げて高圧ジェットと呼んでいる会社もありますが、弊社の超高圧ジェットの圧力は脅威の20MPa！ 使い方によってはガラスも削れます。 もちろん弊社のスピン技術と組み合わせ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

太陽電池のハードコート等　成膜コーター『SPM-300シリーズ』

太陽電池のTiO2やハードコート等実績多数の成膜コーター

■装置寸法：1000mm(W)×1000ｍｍ(D)×1650ｍｍ(H) ■装置重量：概略300Kg程度 ■液供給方式：シリンジポンプによる液供給システム 1系統 50ml標準 ■塗布方法：2流体ノズルによる微粒化噴霧 1個 ■制御：主制御にシーケンサ、表示スイッチ類はタッチパネルを使用 ・塗布速度：1～500mm／sec ・アトマイズエア流量設定：5～12l／min N2使用可 ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社浦野技研

食品医療などの粉体化に　成膜コーター『SPM-300シリーズ』

特殊ノズルによる気化性が上がるため、有機・無機を問わず粉体化が可能な装…

■装置寸法：1000mm(W)×1000ｍｍ(D)×1650ｍｍ(H) ■装置重量：概略300Kg程度 ■液供給方式：シリンジポンプによる液供給システム 1系統 50ml標準 ■塗布方法：2流体ノズルによる微粒化噴霧 1個 ■制御：主制御にシーケンサ、表示スイッチ類はタッチパネルを使用 ・塗布速度：1～500mm／sec ・アトマイズエア流量設定：5～12l／min N2使用可 ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社浦野技研

有機ELの好適な　成膜コーター『SPM-300シリーズ』

有機ELの高分子膜など実績多数の成膜コーター

■装置寸法：1000mm(W)×1000ｍｍ(D)×1650ｍｍ(H) ■装置重量：概略300Kg程度 ■液供給方式：シリンジポンプによる液供給システム 1系統 50ml標準 ■塗布方法：2流体ノズルによる微粒化噴霧 1個 ■制御：主制御にシーケンサ、表示スイッチ類はタッチパネルを使用 ・塗布速度：1～500mm／sec ・アトマイズエア流量設定：5～12l／min N2使用可 ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社浦野技研

液晶レジスト　成膜コーター『SPM-300シリーズ』

レジストやハードコートなど実績多数の成膜コーター

■装置寸法：1000mm(W)×1000ｍｍ(D)×1650ｍｍ(H) ■装置重量：概略300Kg程度 ■液供給方式：シリンジポンプによる液供給システム 1系統 50ml標準 ■塗布方法：2流体ノズルによる微粒化噴霧 1個 ■制御：主制御にシーケンサ、表示スイッチ類はタッチパネルを使用 ・塗布速度：1～500mm／sec ・アトマイズエア流量設定：5～12l／min N2使用可 ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社浦野技研

化合物半導体の成膜等に　成膜コーター『SPM-300シリーズ』

高輝度LEDや半導体レーザー用成膜など実績多数の成膜コーター

■装置寸法：1000mm(W)×1000ｍｍ(D)×1650ｍｍ(H) ■装置重量：概略300Kg程度 ■液供給方式：シリンジポンプによる液供給システム 1系統 50ml標準 ■塗布方法：2流体ノズルによる微粒化噴霧 1個 ■制御：主制御にシーケンサ、表示スイッチ類はタッチパネルを使用 ・塗布速度：1～500mm／sec ・アトマイズエア流量設定：5～12l／min N2使用可 ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社浦野技研

自動車ランプの膜処理など　成膜コーター『SPM-300シリーズ』

自動車ランプの着色や、フロントガラスの防曇膜に好適な成膜コーター

■装置寸法：1000mm(W)×1000ｍｍ(D)×1650ｍｍ(H) ■装置重量：概略300Kg程度 ■液供給方式：シリンジポンプによる液供給システム 1系統 50ml標準 ■塗布方法：2流体ノズルによる微粒化噴霧 1個 ■制御：主制御にシーケンサ、表示スイッチ類はタッチパネルを使用 ・塗布速度：1～500mm／sec ・アトマイズエア流量設定：5～12l／min N2使用可 ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社浦野技研

メッキ塗装に好適な成膜コーター『SPM-300シリーズ』

膜厚均一、自動車ボディカラーなど実績多数の成膜コーター

■装置寸法：1000mm(W)×1000ｍｍ(D)×1650ｍｍ(H) ■装置重量：概略300Kg程度 ■液供給方式：シリンジポンプによる液供給システム 1系統 50ml標準 ■塗布方法：2流体ノズルによる微粒化噴霧 1個 ■制御：主制御にシーケンサ、表示スイッチ類はタッチパネルを使用 ・塗布速度：1～500mm／sec ・アトマイズエア流量設定：5～12l／min N2使用可 ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社浦野技研

燃料電池に好適な成膜コーター『SPM-300シリーズ』

燃料電池の電極など実績多数の成膜コーター

■装置寸法：1000mm(W)×1000ｍｍ(D)×1650ｍｍ(H) ■装置重量：概略300Kg程度 ■液供給方式：シリンジポンプによる液供給システム 1系統 50ml標準 ■塗布方法：2流体ノズルによる微粒化噴霧 1個 ■制御：主制御にシーケンサ、表示スイッチ類はタッチパネルを使用 ・塗布速度：1～500mm／sec ・アトマイズエア流量設定：5～12l／min N2使用可 ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社浦野技研

プリント基板の成膜に好適　成膜コーター『SPM-300シリーズ』

銅膜形成、レジスト、埋め込み、平坦化など実績多数の成膜コーター

■装置寸法：1000mm(W)×1000ｍｍ(D)×1650ｍｍ(H) ■装置重量：概略300Kg程度 ■液供給方式：シリンジポンプによる液供給システム 1系統 50ml標準 ■塗布方法：2流体ノズルによる微粒化噴霧 1個 ■制御：主制御にシーケンサ、表示スイッチ類はタッチパネルを使用 ・塗布速度：1～500mm／sec ・アトマイズエア流量設定：5～12l／min N2使用可 ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社浦野技研

MEMSのレジスト膜等に　成膜コーター『SPM-300シリーズ』

MEMSのレジスト膜など実績多数の成膜コーター

■装置寸法：1000mm(W)×1000ｍｍ(D)×1650ｍｍ(H) ■装置重量：概略300Kg程度 ■液供給方式：シリンジポンプによる液供給システム 1系統 50ml標準 ■塗布方法：2流体ノズルによる微粒化噴霧 1個 ■制御：主制御にシーケンサ、表示スイッチ類はタッチパネルを使用 ・塗布速度：1～500mm／sec ・アトマイズエア流量設定：5～12l／min N2使用可 ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社浦野技研

防曇膜など多数実績あり　成膜コーター『SPM-300シリーズ』

レンズ表面のハードコートや防曇膜に好適な成膜コーター

■装置寸法：1000mm(W)×1000ｍｍ(D)×1650ｍｍ(H) ■装置重量：概略300Kg程度 ■液供給方式：シリンジポンプによる液供給システム 1系統 50ml標準 ■塗布方法：2流体ノズルによる微粒化噴霧 1個 ■制御：主制御にシーケンサ、表示スイッチ類はタッチパネルを使用 ・塗布速度：1～500mm／sec ・アトマイズエア流量設定：5～12l／min N2使用可 ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社浦野技研

成膜コーター『SPM-300シリーズ』

塗布材料の塗着効率が高く、微少流量での成膜に適した成膜コーター

■装置寸法：1000mm(W)×1000ｍｍ(D)×1650ｍｍ(H) ■装置重量：概略300Kg程度 ■液供給方式：シリンジポンプによる液供給システム 1系統 50ml標準 ■塗布方法：2流体ノズルによる微粒化噴霧 1個 ■制御：主制御にシーケンサ、表示スイッチ類はタッチパネルを使用 ・塗布速度：1～500mm／sec ・アトマイズエア流量設定：5～12l／min N2使用可 ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社浦野技研

枚葉自動マルチスピンプロセッサー

リンス、乾燥を専用のチャンバーで行うことにより、精密洗浄が可能

スイングアームの仕様は、ケミカル、ブラシ、2流体ジェット、メガソニック等の各種処理アイテムの中から各チャンバー2系統お選び頂けます。本体両側面に薬液供給タンク又は廃液タンク(20L)を2本内蔵可能 【特徴】 ■装置寸法 　 2700W×1...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社カナメックス 厚木工場

ウエハー洗浄装置（スピン式）※テスト可能機種あり

生産規模に応じて複数チャンバーに対応。ウエハーの均一なエッチングを実現…

自動酸・アルカリ洗浄装置。 対応ワークサイズ　φ2～12インチ。角型基板などの特殊サイズもご相談ください。 2流体混合ノズルにより直接2種類の原液を使用した洗浄処理を実現。混合比率を調整することにより反応熱で狙いの温度に昇温することが可能。 【その他特長】 ■ブラシ洗浄機能付き装置の製作が可能。 ■...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

プラズマクリーナー（小型）

業界最小サイズ！小型・低コスト卓上型プラズマ処理装置

小型・低コスト・業界最小サイズ、卓上型プラズマ処理装置です。ラボ・研究開発向けに設計。光学材料のクリーニングはもちろん、ポリマー・生体材料などの材料改質、歯科・医学材料(器具)の滅菌、マイクロ流体工学などにも対応。あらゆる材料のクリーニングと表面処理に活用されており、各分野で多くの販売実績あり。真空ポンプ、クオーツチャンバー、サンプルトレー、プラズマフローなど、オプション品も幅広くラインナップ。 ...

メーカー・取り扱い企業： 三洋貿易株式会社 科学機器事業部