最大1000℃まで耐熱！約15年間使える耐熱工業用ラベル

PR耐熱、耐薬品、耐久性とともに優れた耐衝撃性があり、自在にサイズと形状が…

セララベルＳＬは、ステンレス基板にセラミックスでバーコードパターンなどを焼成した高い耐熱性を持ったラベルです。 【特長】 ◆高い耐熱性（セララベル-300の場合、 最大1400℃まで） ◆セラミックのラベルにもかかわらず、約90度まで折り曲げても割れにくい。 ◆約15年相当の長期耐久性にも対応（生産現場に適しております） ◆耐薬品性も良好。（ただし、高温高濃度アルカリを除く） ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社シグマックス

ウルトラファインバブル水を使用した『MUFB温水洗浄機』

PRウルトラファインバブル水を使用した温水洗浄で、ボイラー燃料使用量を約3…

『 UP0814H』は、微細気泡（ウルトラファインバルブ）生成部を備える 温水洗浄機です。80℃の温水と比較して60℃のウルトラファインバルブ水 の方が洗浄（除塩・除油）効果が高く、温水温度を下げて使用可能です。 温水温度を80℃から60℃へ下げることでCO2を削減し洗浄時間短縮も短縮。 ボイラー燃料使用量は約30%削減でき、コストダウンに貢献します。 【特長】 ■微細気泡(ウ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社丸山製作所 産機営業部

低振動・低騒音ペルチェチラーThermoRack800

レーザーの温度制御に最適！

ThermoRack800は、高い信頼性がありレーザーアプリケーションに 最適です。 　冷却能力700～900WのThermoRack800は室温付近でさえも±0.05℃の温度精度を維持します。駆動部はわずか２か所なのでささやきのような静粛性・無振動を実現して、先進的光学・レーザーのアプリケーションにて要求される温度コントロールに対応できます。コアとなる電子温調モジ...

メーカー・取り扱い企業： エムエス機器株式会社

成膜 ⇔ エッチング装置『210D』

簡単なハードウエハ交換で、CVD及びRIEとして使用可。ご要望に応じて…

ます。 【特長】 ■簡単なハードウエハ交換で、CVD及びRIEとして使用可 ■グラフィックインターフェイスで操作が簡単 ■ご要望に応じて、特殊仕様対応可 ■導入コストの抑制 ■-20℃～150℃まで対応 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

[チラー]モジュール式チラー　M-Pakシリーズ

-70℃～+200℃まで幅広い温度管理を実現可能なチラ―！

ATSジャパン株式会社より、マルチチャンネルチラー「ENシリーズ」のご案内です。 ■最大4種類のモジュールの組み合わせが可能（-70℃～+200℃） ■各種循環液に対応可能 ■各種インターフェースに対応 ATSジャパン(株）のチラーは半導体業界を中心に導入実績があります。これまでの数千台の導入実績に基づき、食品業界、医療...

メーカー・取り扱い企業： ATSジャパン株式会社

【MiniLab-SA125A】 多元マルチスパッタ装置

高機能マルチスパッタリング装置 6元マルチスパッタ（Φ4inch用）…

プラズマ・スイッチング・リレー'モジュールでマルチカソードに自在に配置を組み合えることが可能、様々な用途に柔軟に対応 高温基板加熱ステージ（二重ジャケット水冷式）オプション -1) Max600℃（ランプ加熱） -2) Max1000℃（C/Cコンポジット） -3) Max1000℃（SICコーティング） ロードロック内逆スパッタステージ -1) 300W、又は -2) Soft-...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

小型・大流量PTFEガスフィルター「メガフロー」

最大1,000lpmまでの流量を確保

濾過精度 0.003μm 常用圧力 1MPa未満 最大許容正差圧 0.7MPa(20℃) 最大許容逆差圧 0.3MPa(20℃) 最高許容温度 120℃(不活性ガス) 外部漏量 2×10-11Pa・m3/sec以下 構成部材 ハウジング：SUS316L(電解研磨処理)　　内面...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ピー・ジェイ

高電圧パルス放電用セラミックコンデンサ

高電圧パルス放電用セラミックコンデンサ

○静電容量： 500〜4000pF ○静電容量誤差： ±20%以内（高精度モデル有） ○許容温度範囲： -30℃〜+50℃ ○エネルギー散逸： 最大0.5% (@1kHz) ○絶縁試験： 下記DCテスト電圧にて10秒間 ○絶縁抵抗： 20,000MΩ(最小値：@100VDC) ○温度係数： N...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社コムクラフト

イオンビームエッチング・成膜装置『QuaZar(TM)』

高いスループットを実現！大面積イオンソースと高度なモーションコントロー…

ープットを実現。 特にMarathon(TM)グリッドは、従来の方式に比べ、長期に渡り 良好な均一性を得ることが出来ます。 【仕様】 ■イオンビームシステム ■プロセス温度：-40℃～+60℃ ■傾斜角：+90度～-80度 ■ロードロック　又は、CtoC ■ウエハサイズ：100mm,150mm,200mm ※英語版カタログをダウンロードいただけます。 ※詳しくはP...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

ＲＦフィルタ

高性能でコンパクトなＲＦフィルタ(高周波フィルタ)です。複数チャンネル…

・チャンネル：1～8 ・RF周波数：1～50MHz ・インピーダンス：共振周波数で10kΩ以上 ・DCR：各チャンネルで25℃の場合に2MHzで100mΩ未満、13MHzより高い周波数で15mΩ未満 ・L：各チャンネル25℃で5μH～300μH(公称値) ・C：各チャンネル10～25pF(公称値) ・チャンネル間の絶...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社グローブ・テック

連続式熱処理炉

均一な温度での電子部品の連続熱処理に！多品種・小ロットにも対応した熱処…

【仕様】 ■常用温度：100～200℃（300℃MAX） ■昇温時間：15min（RT～300℃） ■温度分布：±2℃（温度安定時） ■熱電対：Kタイプ ■温度制御：温度調節計（PID制御） ■加熱方式：熱風循環方式、パイプヒ...

メーカー・取り扱い企業： 大村技研株式会社

アールエムテック　サービス案内

マザーテクノロジーで未来を拓く　アールムテック　サービスご紹介

【取扱い製品紹介】 ●温度信頼性試験装置 ハイタオ製サーマルショック装置は温度信頼性試験環境として －55℃→＋125℃まで10秒で昇温 ＋125℃→－55℃まで16秒で降温 急速温度変化環境を提供します。 ●サップコールド 弊社相模原サービスセンターにて全数出荷前検査を行い日本、台湾、中国、東南...

メーカー・取り扱い企業： アールエムテック株式会社

ナイトライドエッチ用　石英ナイトライド・リフラックス・システム　ACCUBATH

ナイトライドエッチ用　石英ナイトライド・リフラックス・システム　ACC…

信頼性と安定性に富んだナイトライドエッチ用　 石英ナイトライド・リフラックス・システム 【特徴】 ○適切な純水供給量により、安定した沸点管理を実現 ○±0.2℃の温度管理を実現 ○アクシアシールTM（オプション）によるシール部の冷却機構により長寿命化、 　30ヶ月の保証を実施 ○Si3N4エッチ（ナイトライドエッチ）のもっとも有効で、信頼性と...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ヒロテック 東京営業所

インライン　ECE型フッ素樹脂製薬液ヒーター

接液部がPFA樹脂製で温調レスポンスが良い薬液インラインヒーター

。 液流れの急変や停止に強い。 発熱体温度が低く、薬液の劣化を起こしません。 発熱体寿命１０年以上。 コンパクトで場所をとりません。 熱や機械的衝撃に強く丈夫です。 運転温度・圧力１５０℃×０．４ＭＰａ。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社セラ

[チラー]リークレス高温対応モデル　HTXシリーズ

最高180℃まで設定可能！リークレスの高温対応モデル

ATSジャパン株式会社より、高温対応モデル「HTXシリーズ」のご案内です。 ■安全装置の強化により、最高180℃まで安全に使用可能！ ■高い冷却能力でパワフル運転（22kW@180℃） ■高速昇温で省エネを実現 ■高速降温でメンテナンスにも便利 ATSジャパン(株）のチラーは半導体業界を中心に導入...

メーカー・取り扱い企業： ATSジャパン株式会社

中大物向け1200×1100×650ｍｍ5軸制御型立型MCを保有

最大加工サイズφ1000×500、工程集約による短納期対応、複数面アプ…

　測定精度：0.35＋Ｌ/1000（μｍ） 　　　　　　　　(プロ―ピング誤差 0.45μｍ以下) 　　　最小表示量：0.00001ｍｍ 　　　最小測定圧：0.03Ｎ 　　　　　恒温室：2２℃±0.5℃ 　・Bｒｉｇｈｔ910【三次元測定機】　1台 　　　測定サイズ：900×1000×600ｍｍ　メーカー：ミツトヨ 　・ＱＭ－Ｍｅａｓｕｒｅ353【三次元測定機】　1台 　...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社三栄精機工業

[チラー]スループット追求モデル　SXシリーズ

高い冷却能力、高速加熱・冷却を追求した温度管理システム

したシングルチャンネルチラー「SXシリーズ」のご案内です。 ■高い冷却能力 ■高速加熱・冷却によりスループットの向上 ■ジャグの改良により効率化、省エネを実現！ ■高温冷却水にも対応（+30℃） ATSジャパン(株）のチラーは半導体業界を中心に導入実績があります。これまでの数千台の導入実績に基づき、食品業界、医療業界、または理化学業界など他業種でのご利用につきましても、ご要望に応じたカ...

メーカー・取り扱い企業： ATSジャパン株式会社

グラッシーカーボン　加工品で納品もOK・石原ケミカル株式会社

高純度のカーボン素材でパーティクルがなく、気体を透過しません。しかも軽…

気抵抗率・・・ 42 μΩｍ 曲げ強度・・・ 147MPa(1500kgf/cm²) ショアー高度・・・ 120 灰分・・・ ＜2ppm 熱伝導率・・・5.8w/mK(5.0kcal/mhr℃) 熱膨張率・・・2.1 ×10⁻⁶/℃ ...

メーカー・取り扱い企業： 石原ケミカル株式会社 高機能材料

実験用ドライエッチング、成膜装置

ヨーロッパ発の技術から生まれた汎用性の高い装置！実験～量産に幅広く対応…

能 ■エッチングの速度と均一性を精密制御 ■BOSOH工程に対応可能 【成膜機種（一例）】 Shale Cシリーズ： ■ICP CVD（誘導結合プラズマCVD） ■低温条件（<120℃）で緻密な成膜を実現可能 ■プラズマによる損傷を低減でき、漏れ電流を抑える ■高アスペクト比の穴埋めに適用 ※詳しくはPDFダウンロード、またはお気軽にお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 日星産業株式会社

ＦＲＰ製　工業用ローラー　「ＦＰローラー」

エッチング工程に適した高耐食高耐久ローラー

さ ：７００～９００ kgf/cm2 曲 げ 強 さ ：１２００～１４００ kgf/cm2 曲げ弾性率：６５０００～７５０００ kgf/cm2 熱膨張係数：２５～３０×１０⁻⁶ cm/cm.℃ シャルピー：４０～５０ kgf/cm-cm2 　衝撃値...

メーカー・取り扱い企業： 富士化工株式会社

真空センサ『730シリーズ』

コンパクトサイズでローコスト。半導体製造ラインなどで活躍。静電容量型

【仕様】 ◎圧力範囲：0～1kPaから0～100kPa ◎精度：±0.5%読み値(±0.25%オプション) ◎補償温度：0～50℃ ◎使用電源：DC12～30V ◎長期安定性：±0.5％FS／年 ◎応答性：20msec ◎過負荷耐圧：300kPa ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

マイコン制御式 プリント基板用エッチングマシーン　ES-800M

マイコン制御により、短時間で高品質のエッチングを実現

　石英ヒーター×2本 排水用ドレンバルブ ：エッチング槽、水洗槽　各1個 安全装置：上蓋2重構造、緊急停止ボタン、液面センサ、液温センサ、漏電ブレーカー付き 本体材質：硬質PVC（耐熱　約50℃） 本体外形寸法：W925×D730×H1460mm（配管カバー、フィルター装着時） 電源 AC100V：1.4kVA　50/60Hz 本体乾燥重量：約130kg...

メーカー・取り扱い企業： サンハヤト株式会社

セトラ社　ウルトラクリーン圧力センサ　モデル２２４シリーズ

特殊ガスのモニターと制御用に開発されたウルトラクリーンセンサ

度で安定した出力信号を供給します。 オプションで多様なチューブ内径と面シール継手が用意されています。 堅牢な構造で配管のねじれ、溶接時の熱衝撃など組み付け時のトラブルを減少させます。 また８５℃までのベーキング処理が可能です。全品ヘリウムリークテストを実施しています。...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

Oリング FKM-90 (フッ素ゴム)

Oリングの桜シールによる「FKM-90 (フッ素ゴム)」材質

フッ素ゴム（2元系）による材質で、耐熱性や耐薬品性、耐油性、耐圧性に優れています。硬さA90±5。黒色。温度－10～230℃。...

メーカー・取り扱い企業： 桜シール株式会社 日本本社

ソフトエッチング装置【nanoETCH】＜30W低出力

＜30W（制御精度10mW）低出力RFエッチングによる、精細でダメー…

0（D） x 400（H）mm 電源：200V 単相 15A プロセスガス：0.17Mpa 99.99%推奨 ベントガス：34-41kpa 冷却水：1L/min, 400kpa, 18-20℃ 圧縮空気：413-550Kpa...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

【デモ実施中！】小型実験用イオンビームエッチング装置

【デモ実施中！】使用ニーズに合わせてカスタマイズできるイオンソースを搭…

イオンビームエッチング装置」は、DCイオンソースを使用し、基板回転冷却シングルステージを搭載した装置です。 Au、Pt、磁性材等を容易にエッチングし、テーパー加工も簡単にできます。基板表面温度80℃以下での処理が可能です。 微細加工に最適です。 【特徴】 ●有毒ガスを使用しないため、排ガス処理不要 ●エンドポイントディテクター搭載可能 ●イオンビームエッチング装置、イオン源、イオ...

メーカー・取り扱い企業： アールエムテック株式会社

小型イオンビームエッチング装置

イオンソースを使用し、加工対象物にイオンビーム照射をし、ドライエッチン…

ムエッチング（IBE）装置です。 微細加工、金属及び磁性体材料もエッチング可能です。 【特長】 ○Au, Pt, 磁性材等を容易にエッチング ○テーパー加工が容易 ○基板表面温度 ８０℃以下での処理が可能 ○有毒ガスを使用しないため、排ガス処理不要 ○エンドポイントディテクター搭載可能 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...

メーカー・取り扱い企業： アールエムテック株式会社

【独自のイオンアシスト蒸着法による超緻密な厚膜】酸化イットリウム

イオンアシスト蒸着法による超緻密で厚膜形成で半導体歩留と装置稼働時間が…

【その他の特長】 ■石英・アルミナ・金属アルミへの成膜可能 ■石英ガラス上で500℃耐熱性を実現 ■歩留まり改善＋装置メンテナンスサイクルの大幅削減 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： つばさ真空理研株式会社 横浜ラボラトリー

Oリング フロロパワーDEW (バイトンETP-白色)

Oリングの桜シールによる白色タイプのバイトンETP (FFKM-E)材…

バイトンETPによる白色材質で、優秀な耐薬品性を有していることから、強アルカリや強酸、極性溶剤などにも使用可能です。硬さA70±5。白色。温度0～180℃。...

メーカー・取り扱い企業： 桜シール株式会社 日本本社

パーフロOリング フロロパワーFFW (FFKM-白色)

Oリングの桜シールによる白色タイプのパーフロロエラストマー材質

パーフロロエラストマーによる白色材質で、極めて優秀な耐薬品性を有し、耐熱性にも優れています。硬さA75±5。白色。温度0～230℃。...

メーカー・取り扱い企業： 桜シール株式会社 日本本社

フロロパワーシリーズ【高機能フッ素ゴム材質】

Oリングの桜シールは、過酷な温度条件や強力な薬品にも耐えることが出来る…

フロ（FFKM）を頂点として様々な性能を有する高機能フッ素ゴムをシリーズ化したフロロパワー各種は、当社を特徴づける代替不能な特別グレードとして高い評価を頂いております。フロロパワーシリーズは、300℃を超える耐熱性や極性溶剤に対する耐薬品性など、極めて厳しい性能要求の数々にお応えいたします。...

メーカー・取り扱い企業： 桜シール株式会社 日本本社

耐プラズマ性Oリング フロロパワーDPR (特殊フッ素ゴム)

Oリングの桜シールによる配合材無使用の特殊（フッ素ゴム+フッ素樹脂）材…

フッ素樹脂とフッ素ゴムを結合させた特殊材質で、優れた耐プラズマ性を有しながら、価格が低く抑えられています。硬さA65±5。黒色。温度0～200℃。...

メーカー・取り扱い企業： 桜シール株式会社 日本本社

scia Cube 300/450/750

基板バイアス機構！当社のマイクロウエーブPECVD/エッチング装置をご…

ご用命の際は、当社へお気軽にご相談ください。 【特長】 ■300×300mm、450×450mm、750×750mm基板対応 ■基板バイアス機構 ■基板冷却加熱機構(-10～850℃) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイテック・システムズ

パーフロOリング フロロパワーFFS（FFKM-耐熱330℃）

Oリングの桜シールによる耐熱性パーフロロエラストマー（耐高温: 330…

パーフロロエラストマーによる耐熱材質で、極めて優秀な耐熱性と耐薬品性を兼ね備えています。硬さA75±5。黒色。温度0～330℃。...

メーカー・取り扱い企業： 桜シール株式会社 日本本社

低振動・低騒音ペルチェチラー『ThermoRack401』

低振動・低騒音・優れた温度安定性でレーザー装置の温度制御に最適！消費電…

ThermoRack401は、高い信頼性がありレーザーアプリケーションに 最適です。 　冷却能力400WのThermoRack400は室温付近でさえも±0.05℃の温度精度を維持します。駆動部はわずか２か所なのでささやきのような静粛性・無振動を実現して、先進的光学・レーザーのアプリケーションにて要求される温度コントロールに対応できます。コアとなる電子温調モジ...

メーカー・取り扱い企業： エムエス機器株式会社

多元マルチスパッタ装置【MiniLab-S125A】

高機能マルチスパッタリング装置 6元マルチスパッタ（Φ4inch用）…

プラズマ・スイッチング・リレー'モジュールでマルチカソードに自在に配置を組み合えることが可能、様々な用途に柔軟に対応 高温基板加熱ステージ（二重ジャケット水冷式）オプション -1) Max600℃（ランプ加熱） -2) Max1000℃（C/Cコンポジット） -3) Max1000℃（SICコーティング） ロードロック内逆スパッタステージ -1) 300W、又は -2) Soft-...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

サファイア製部品　Scube（エスキューブ）

広い透過特性、硬い、化学的に安定、熱に強い、熱伝導が良い サファイア製…

、 　・広い透過特性（UV～近赤外(約5μm)） 　・硬い　(ビッカース硬度：1750（a面）) 　・化学的に安定　(酸・アルカリにほとんど不溶、失透しない) 　・熱に強い　(融点：2040℃) 　・熱伝導が良い　(42W/mK, 25℃) 　といった特長があります。 　過酷な環境でも耐える強さと良好な光学特性を併せ持つ材料なため、ガラスやフッ化物の課題を解決する材料の一つです。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社信光社

レーザー装置に最適！ペルチェチラー『ThermoRack401』

低振動・低騒音・優れた温度安定性でレーザー装置の温度制御に最適！ 消…

ThermoRack401は、高い信頼性がありレーザーアプリケーションに 最適です。 　冷却能力400WのThermoRack400は室温付近でさえも±0.05℃の温度精度を維持します。駆動部はわずか２か所なのでささやきのような静粛性・低振動を実現して、先進的光学・レーザーのアプリケーションにて要求される温度コントロールに対応できます。コアとなる電子温調モジ...

メーカー・取り扱い企業： エムエス機器株式会社

消費電力大幅削減！ペルチェチラー『ThermoRack401』

低振動・低騒音・優れた温度安定性でレーザー装置の温度制御に最適！消費電…

ThermoRack401は、高い信頼性がありレーザーアプリケーションに 最適です。 　冷却能力400WのThermoRack400は室温付近でさえも±0.05℃の温度精度を維持します。駆動部はわずか２か所なのでささやきのような静粛性・無振動を実現して、先進的光学・レーザーのアプリケーションにて要求される温度コントロールに対応できます。コアとなる電子温調モジ...

メーカー・取り扱い企業： エムエス機器株式会社

真空蒸着装置『MiniLab-080』

蒸着・スパッタ・EB等ご要望によりフレキシブルに構成可能。 高さ570…

最大基板サイズ：Φ10inch ・抵抗加熱蒸着源 x 最大4源 ・有機蒸着源 x 最大4源 ・マグネトロンスパッタリングカソード x 4源 ・電子ビーム蒸着 ・基板加熱ステージ（標準500℃, Max1000℃） ・*プラズマエッチング/<30Wソフトエッチング ・CVD（熱CVD, PECVD） *プラズマエッチングはメインチャンバー、ロードロックチャンバーいずれも設置可能...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

□■□【MiniLab-090】フレキシブル薄膜実験装置□■□

グローブボックス収納可能 PVDフレキシブル薄膜実験装置 高さ570m…

最大基板サイズ：Φ10inch ・抵抗加熱蒸着源 x 最大4源 ・有機蒸着源 x 最大4源 ・マグネトロンスパッタリングカソード x 4源 ・電子ビーム蒸着 ・基板加熱ステージ（標準500℃, Max1000℃） ・プラズマエッチング/<30Wソフトエッチング...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

パーフロOリング フロロパワーFFN（FFKM：耐プラズマ）

Oリングの桜シールによる充填剤無使用の耐熱パーフロ（耐高温: 300℃…

パーフロロエラストマーによる耐熱ノンフィラー材質で、極めて優秀な耐熱性と耐薬品性を有しています。ノンカーボン・ノンメタル。硬さA70±5。灰色。温度0～300℃。...

メーカー・取り扱い企業： 桜シール株式会社 日本本社

パーフロOリング フロロパワーFFH90（FFKM：耐熱+耐圧）

Oリングの桜シールによる高硬度の耐熱性パーフロロエラストマー（耐高温:…

パーフロロエラストマーによる耐熱耐圧材質で、優秀な耐熱性と耐薬品性を兼ね備え、耐圧性にも優れています。硬さA90±5。黒色。温度0～280℃。...

メーカー・取り扱い企業： 桜シール株式会社 日本本社

パーフロOリング フロロパワーFFH (FFKM-耐熱-旧)

Oリングの桜シールによる耐熱性パーフロロエラストマー（耐高温-300℃…

パーフロロエラストマーによる耐熱材質の旧グレードで、極めて優秀な耐熱性と耐薬品性を兼ね備えています。硬さA75±5。黒色。温度0～300℃。...

メーカー・取り扱い企業： 桜シール株式会社 日本本社

パーフロOリング フロロパワーFFHW (FFKM：耐熱+白色)

Oリングの桜シールによる白色タイプの耐熱性パーフロロエラストマー（耐高…

パーフロロエラストマーによる耐熱白色材質で、優秀な耐熱性と耐薬品性を有しています。硬さA75±5。白色。温度0～280℃。...

メーカー・取り扱い企業： 桜シール株式会社 日本本社

プラスチック加工品～ポリイミド樹脂製半導体製造装置部品～

半導体製造装置のウェハキャリアに耐熱性に優れたポリイミド樹脂MELDI…

イミド樹脂、ナチュラルグレード MELDINメルディン7000シリーズは、優れた耐熱性と低温から高温にかけて 優れた機械的特性を維持する全芳香族ポリイミド樹脂であり、耐熱性は短時間で482℃での使用も可能です。 また、耐摩耗性、クリープ性、電気絶縁性等においても優れています。 採用理由 耐熱性　約270℃ 耐プラズマ性 キャリアの欠け破損防止...

メーカー・取り扱い企業： 八十島プロシード株式会社

実験用ドライエッチング、成膜装置

ヨーロッパ 発の技術から生まれた汎用性の高い装置！実験～量産に幅広く対…

の工程に対応可能； エッチングの速度と均一性を精密制御； BOSOH工程に対応可能 ・成膜機種 Shale Cシリーズ： ICP CVD（誘導結合プラズマCVD） 低温条件（<120℃）で緻密な成膜を実現可能 プラズマによる損傷を低減でき、漏れ電流を抑える 高アスペクト比の穴埋めに適用 ...

メーカー・取り扱い企業： 日星産業株式会社