『熱硬化型焼結銅ペースト』半導体パッケージの高集積化に貢献

PR低抵抗・高放熱を実現する銅ペースト。200℃以上の加熱で焼結し、大気硬…

当社の『熱硬化型焼結銅ペースト』は、半導体パッケージに対し 低抵抗・高放熱といった優れた性能を付与できる樹脂含有型ペーストです。 さらに200℃以上の加熱で焼結するほか、大気硬化も可能です。 半導体パッケージの高集積化などへの対応に必要な特性を備えています。 【特徴】 ■銀ペーストと同等の電気的特性を保持しながら、イオンマイグレーションを低減 ■独自の特殊処方で硬化中の酸化を防ぎ、大気硬化によ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ADEKA

冷水冷却ユニット『RDHX PRO』

PR最大限の可用性と迅速な修理に対応！より長い寿命と顧客の生産性を保証

『RDHX PRO』は、データセンターの局所的でエネルギー効率の高い 冷却を実現するよう設計されている冷水冷却ユニットです。 データセンターの局所的でエネルギー効率の高い冷却を実現、 800Wモデルで78kW、600Wモデルで59kWの冷却能力。 ツールレス、ホットスワップ可能なコンポーネントにより、 最大限のアップタイムとより長い寿命と顧客の生産性を保証。 HPCおよび温水冷...

メーカー・取り扱い企業： エヌヴェントジャパン株式会社 エンクロージャー事業部

耐熱トレー、耐熱温度700℃～800℃のICチップトレイ

SUS（ステンレス）製で作ることが出来る、耐熱ICチップトレイを提供で…

トレーについては一般的に900℃を超えて使われることはないため、耐熱性が700～800℃程度のトレーでも対応できます。 最低でも500℃前後は保障されていますので、一般的な利用範囲内でしたら安心です。...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社オルテコーポレーション 本社

【SHシリーズ基板加熱ヒーター】真空成膜用 Max1100℃

CVD, PVD（蒸着, スパッタ, PLD, ALD等）均熱性・再現…

プレート）：φ1.0〜φ6.1inch 真空・O2・活性ガス用 ◎ SH-BN（BNプレート, Moカバー）：φ2.1〜φ6.1inch 真空・不活性ガス用 【特徴】 ◎ 最高温度1100℃（SH-BN）, 850℃（SH-IN） ◎ 短時間昇温 ◎ 面内温度分布 ±2%以内 ◎ 制御精度・再現性±1℃ ◎ 低価格 ◎ 短納期（標準約2週間 *フランジ付き, 回転・上下機構,...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

卓上ホットプレート 2モデル ＜250℃仕様/350℃仕様＞

コンパクトでありながら、高性能。 幅広いプロセスに対応。

ートの性能が、プロセスパフォーマンスを見極める大きな要因となります。 タイマー制御のピンアップ機構により、正確な時間管理を実現。 ウェーハ間の均一な熱処理を可能にしました。 標準250℃モデルに加え、高温350℃モデルもご用意。 また、処理前後に均一な冷却が必要な場合は、卓上クールプレートも ご利用いただけます。 【特長】 ■高精度な面内温度均一性。 ■タイマー制御に...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社 SCREEN SPEサービス

テフロン フッ素樹脂　PTFE　PFAの違いとは？　

【資料進呈中】テフロン フッ素樹脂「PTFE」と「PFA」樹脂やコーテ…

テフロン フッ素樹脂”PTFE”と”PFA”の特長の違い ■樹脂名 　PTFE（ポリテトラフルオロエチレン） ■特長 　フッ素樹脂の中で最初に発見されて開発された樹脂です。連続使用温度が 　260℃で耐熱性のほか、低摩擦特性、非粘着性に優れています。溶融粘度が 　高く、射出成形は難しい樹脂ですが、フライパンやホットプレートなどの 　コーティングとしても利用されています。 ■樹脂名 　PFA（...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社吉田ＳＫＴ

テフロンとフッ素樹脂の違いとは？

混同されやすいテフロンとフッ素樹脂の違いについて詳しく解説します。

付着しにくい性質のことです。 ■撥水・撥油性 表面に水や油がついても良く弾きます。よって汚れがつきにくく簡単に洗浄できます。 ■耐熱性・耐寒性 樹脂の中では耐熱性が高く、高温（260℃）に耐えます。また－260℃の低温にも耐えます。 ■低摩擦性 滑りやすく低い摩擦係数をもっています。また、潤滑性に非常に優れています。 ■耐薬品性 酸やアルカリ等の化学薬品に侵された...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社吉田ＳＫＴ

フッ素樹脂とテフロンの違いとは？

フッ素樹脂とテフロンに違いについて解説します。

か、または、付着しにくい性質のことです。 ■撥水・撥油性 表面に水や油がついても良く弾きます。よって汚れがつきにくく簡単に洗浄できます。 ■耐熱性・耐寒性 樹脂の中では耐熱性が高く、高温（260℃）に耐えます。また－260℃の低温にも耐えます。 ■低摩擦性 滑りやすく低い摩擦係数をもっています。また、潤滑性に非常に優れています。 ■耐薬品性 酸やアルカリ等の化学薬品に侵されたり、腐食する...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社吉田ＳＫＴ

マントルヒータ　Mantle heater

配管部品の均一加熱を実現！CVDエッチング・アッシング装置に適していま…

ルヒータ』は、配管・容器加熱用に ご使用いただけます。 発熱体を使用しない断熱材、保温材の設計製作も承っており、 クロス材質も複数ご用意しているので、ご希望の仕様で製作が可能。 （400℃以上のご希望の際はご相談ください。） また、サーモスタット、ヒューズ等の過昇温防止素子、及び熱電対、 Ptセンサ等の温度制御素子の取り付けなどオプションで承ります。 【特長】 ■最高...

メーカー・取り扱い企業： ワッティー株式会社

耐水性・耐薬品性の高い業務用LEDベースライト

次亜塩素酸やアルコールを使用する場所にも使用できるLED！ステンレス金…

『X-powerシリーズ』は、-40℃までの冷凍庫や冷蔵庫にも使用可能であり、 非常に適用範囲が広い汎用タイプの防水（IP65）LED照明器具です。 食品工場または冷凍倉庫用として幅広い分野へ使用可能となりました。 （魚、食肉...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社電費半分 本社、埼玉営業所

ガス加熱用高効率ヒータ『WEXシリーズ』

小型・軽量で高効率！熱電対、サーモスタットを標準装備し、IN/OUTの…

配管など接ガス部は オールステンレス(SUS316L)製のガス加熱用高効率ヒータです。 サイズ別に適した仕様を実現し、最小流量10L/min～最大流量100L/min、 最高使用温度300℃まで可能な製品をラインアップ。 温度制御、過昇温防止への配慮も標準装備しており、結線も簡単です。 標準継手はUJR 1/4 Femaleサイズで、 1/4～1/2サイズまでの入口/出口サイズ...

メーカー・取り扱い企業： ワッティー株式会社

断熱材『ヒートカバリングス』【貼るだけで大きな省エネ効果！】

設備の上から貼るだけで約１０％の省エネ効果を実現。工場を止めることなく…

天然ゼオライト粒子に含まれる空気と、シート状に成形することにより生まれる空気層を最大限に活用した画期的な天然素材系断熱材です。 【製品情報】 ○HC-F7（平面用） →使用温度範囲：150℃以下 →熱伝導率（参考値）：0.04344W/mk（20℃・平板熱流計法） ○HC-P11（配管用長尺タイプ） →使用温度範囲：150℃以下 →熱伝導率（参考値）：0.04146W/mk（2...

メーカー・取り扱い企業： 富士工業株式会社

ＡＬＤプロセス用高速高耐久バルブ『TDFシリーズ』

高速開閉・高い応答安定性！特殊面間寸法や弁形状、耐腐食性材料ボディなど…

、ＡＬＤ（原子層堆積）プロセスに必要な高速開閉、高耐久、耐食性、耐熱性、Cv安定性を兼ね備えた高純度ガス対応ダイヤフラムバルブです。 アクチュエータへの熱伝導を低減する構造を採用し、最高220℃までの 高温流体に使用可能。 工場出荷時に全数Cv値を調整しており、使用時のCv値変動率が少なく 安定したガス流量が得られます。 【特長】 ■高速開閉・高い応答安定性　＃高速応答 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

Microchipバッファ付き高精度参照電圧生成器MCP1501

8種類の電圧に対応する製品を提供！バッファ付きの参照電圧生成器

に関する、 Microchip社のソリューションの紹介動画です。 その中の1つとして"MCP1501"の紹介がされております。是非、ご覧ください。 【特長】 ■温度誤差：50 ppm/ ℃以下(-40 ～ +125℃) ■低消費電流：140 μA(typ.) ■AEC-Q100 Grade1認定 ■8種類の電圧に対応する製品を提供 　・1,024V・1.250V・1.800V...

メーカー・取り扱い企業： グローバル電子株式会社

フッ素系溶媒対応チラー　ペルチェ式チラー・冷凍機式チラー

昨今入手困難で貴重なフッ素系溶媒の使用量を抑えることができるチラーです

＜ThermoRack 1201 / 1801＞ 設定温度 : -10～80℃ / -15℃~70℃ 冷却能力 @20℃：1320W / (H)1600W (M) 1800W 1 (L) 2000W ポンプ：14Lpm@0.21MPa 外寸法(WxDxH)mm：48...

メーカー・取り扱い企業： エムエス機器株式会社

省エネ、フロンガス対策チラー　※置き換え事例ハンドブック進呈

省エネ効果でカーボンニュートラル、カーボンプライシング対策に！ 温室…

＜ThermoRack 1201 / 1801＞ 設定温度 : -10～80℃ / -15℃~70℃ 冷却能力 @20℃：1320W / (H)1600W (M) 1800W 1 (L) 2000W ポンプ：14Lpm@0.21MPa ＜Thermo Cube＞...

メーカー・取り扱い企業： エムエス機器株式会社

『事例集』固体材料供給における高温化の課題への提案※無料進呈中

半導体材料メーカー様　必見！固体材料供給における高温化の課題への提案の…

250℃の供給プロセスでオールメタルバルブを使用しているが、耐久回数に不満がある。 200℃の供給プロセスでシート交換できないバルブを使用しているため、バルブを交換しなければならず、ランニングコストがかさ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

高硬度フラッシュめっき『クロアモール』

硬質クロムめっきの約２倍の硬度(HV1800)を実現した、世界初のアモ…

えています。 【特徴】 ●アモルファス構造を有し、通常の結晶構造のめっきとは異なる特性を有する。 ●熱処理により、硬度が硬質クロムめっきの約倍の最大Ｈｖ１，８００にまで達する。 ●400℃で急激に軟化し600℃ではHv200ほどの硬さしかない硬質クロムめっきと比較し、一旦硬化したクロアモールは600℃においてもHv１，０００を保ち、耐熱性は極めて良好です。 ●表面に存在する酸化皮膜...

メーカー・取り扱い企業： オテック株式会社

恒温槽内用ホットプレート「PA2509-HI型」

恒温槽内での使用を想定した高耐熱ホットプレートです。

恒温槽内用ホットプレート「PA2509-HI型」の最大の特徴は、最大180℃までの優れた耐熱性です。 すべての部品が耐熱性を持っているため、そのまま恒温槽内に入れてお使い頂けます。 設置面からプレート上面までわずか40mmの薄型ボディは、設置する場所を選ばず様々なアプリ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社MSAファクトリー

標準型シリコーンラバーヒーター

被加熱物の形状に合わせ、様々な形状が製作可能。 1枚からでも製作致し…

で、熱応答性に優れています。 　※シートを積層する事により厚みの調整も可能です。 ・シリコーンラバーの柔軟性をいかし、被加熱物のどんな形状にも完全に 　フィット可能です。 ・低温度から200℃まで使用可能。 ・低電圧から100V・200V・240Vなど、各種電圧設計に対応可能。 ・シリコーンラバーヒーターの材料はUL規格ファイルNo.E54153を使用。 ・標準タイプはUL-94H...

メーカー・取り扱い企業： 新日電熱工業株式会社

OLED恒温恒湿環境評価装置　ELS-100A

有機ELディスプレイデバイスを恒温恒湿環境下で発光させて、輝度及び発光…

【装置概要】 チャンネル数：４チャンネル、トップエミッション／ボトムエミッション兼用治具 駆動条件：定電流制御 輝度測定：コニカミノルタ製輝度計 温湿度設定範囲：温度　＋15℃～＋85℃（設定0.1℃単位） 　　　　　　　　湿度　30～95%RH（設定1%単位） 電源：　100Ｖ／15Ａ2系統 重量：　約260kg、 キャスターアジャスター付き ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社イーエッチシー

全自動RTP（高速熱処理）装置

Premtek　RTP-1200A（SEC）（SEF）

ウェハをサセプタに格納してプロセス処理をするため、反り、厚さ、透過率等のウェハの特性に関わらず、抜群のRc・温度均一性を実現します。 熱源はハロゲンランプで、上下両面配列です。 温度測定範囲は20℃～1250℃となります。熱電対とパイロメータがリアルタイムの温度測定をし、その結果をスマートPIDおよびマルチゾーンSCRが制御することで、優れた温度コントロールを可能にします。 真空チャンバ内には...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社インターテック販売 東京本社（拠点－関西営業所、熊本営業所）

セトラ社　腐食性ガス対応　微圧センサ　２０１

接ガス部はインコネル６００シリーズとＳＵＳ３１６を採用し全溶接構造で堅…

の心配がない構造になっています。 接ガス部の材質はインコネル６００シリーズを採用、継手部はＳＵＳ３１６を採用して耐腐食性に優れます。ローコストで微圧の計測を行う事が出来ます。 補償温度範囲も－７℃～８０℃と広く作られ厳しいアプリケーションで長期の安定性に優れます。 精度　±０．５％ＦＳ 一方向レンジは０～１０ｋＰａで３レンジを用意 ニ方向レンジは０～±５ｋＰａで３レンジを用意 ...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

SUSS MicroTec社製インクジェット塗布装置『LP50』

半導体、PCB、プリンテッドエレクトロニクス向け、卓上型インクジェット…

【装置仕様】 寸法：770×620×410mm（PC/モニタを除く） 重量：90kg 最大基板サイズ：227×327mm 最大基板厚さ：25mm 基板温調機能：～90℃　※オプションで4℃までの冷却機能追加可 可動軸：プリントヘッド/XZθ　基板ステージ/Yθ 基板ステージ位置決め精度：±15um(3σ) プリントヘッドスピード：最大500mm/s プリン...

メーカー・取り扱い企業： 兼松ＰＷＳ株式会社

高速熱処理装置(RTP/RTA) AccuThermoシリーズ

高速熱処理装置（RTP/RTA装置）　AccuThermo シリーズ

度な温度制御 ○広域レンジパイロメータ（ERP）による高精度温度計測（オプション） ○パイロメータまたは熱電対温度センサーによる 　クローズドループ温度コントロール ○温度制御範囲+100℃ 〜 +1,250℃ ○高速加熱100℃/sec，高速冷却100℃/sec ○高いウェハ間プロセス再現性 ○特定のプロセス条件に対応した温度−時間プロファイル ○省スペースかつ、高いエネルギ...

メーカー・取り扱い企業： ハイソル株式会社

卓上型表面改質装置

独自の技術でプラズマを発生/高周波、マイクロ波電源等は使いません。 …

　：W850mmｘＤ476mmｘH530mm 装置重量　　　：約52Kg 用力　　　　　：AC100V　50/60Hz　10A 温度変化　　　：処理中のチャンバー内温度は処理時間10分で5℃以内の上昇 　　　　　　　　それ以上の温度上昇無し 　　　　　　　：真空・大気の断熱変化による温度変化は室温±約3℃...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社イーエッチシー

高速昇温ホットプレート「PA6010型 ハイパワータイプ」

最高温度600℃！昇温速度に優れたハイパワータイプホットプレートです。

010型 ハイパワータイプ」は、従来の設計を1から見直して、プレートを可能な限り軽量化し、AC100V電源で動作するぎりぎりのところまで出力を上げることで高速昇温を実現致しました。 室温から600℃までを、わずか5分30秒程で昇温させてしまうことが可能で、従来のホットプレートと比べると、その差は一目瞭然です。 【特徴】 ○高速昇温型のホットプレート ○室温から600℃まで、わずか5分...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社MSAファクトリー

多段式HP-CP装置

【高精度な温度精度を実現】同一フレーム内で複数の基板を同時に加熱/冷却…

【特徴】 ■ホットプレート、コールドプレートによる各種基板の均一加熱、冷却を行います。 ■ホットプレートは基板最高温度150±3.0℃、ゴールドプレートは23±1.0℃の制御が可能です。 ■プロキシミリティピン（近接ピン）は取り外しや、交換が可能です。 ■ホットプレート、コールドプレートは弊社独自の表面処理により、静電除去が可...

メーカー・取り扱い企業： クリーン・テクノロジー株式会社

スタッドバレル

スタッドバレル

率が40%となりめっき析出効率が向上しメッキ成膜時間を短縮。また電気効率が向上し消費電力を削減。2つのメリットにより電気代を大幅削減 ★耐熱温度向上 　従来のバレルはPVC素材であったために60℃以上のメッキ温度では溶解する問題がありました。スタッドバレルはPP素材なので90〜100℃までのメッキ温度でも利用可能です。 ★バレルメンテナンス費用・期間削減 　従来バレルでは一部破損した場合...

メーカー・取り扱い企業： 木田精工株式会社

Microchip　マイクロコントローラ『ATtiny1607』

tinyAVR 0シリーズ！ コンパクトで多機能、幅広いアプリケーショ…

ださい。 【特長】 ■最大で16KBのフラッシュメモリ, 1024バイトのSRAM, 256バイトのEEPROMを内蔵 ■20MHzの動作周波数 ■1.8~5.5Vの電源電圧範囲・-40℃~125℃の温度範囲で動作 ■消費電力と処理速度のバランスを取る3つの低消費電力モード ■最大64サンプリングの積算が可能なADC内蔵 ※英語版カタログをダウンロードいただけます。 ※詳...

メーカー・取り扱い企業： グローバル電子株式会社

Microchip　8Chアナログフロントエンド　MCP3914

多相エネルギー測定と電力監視に使用可能！高精度な電力計測ができるアナロ…

【仕様】 ■最大サンプリング周波数：4 MHz ■最大マスタクロック：16 MHz ■動作電圧範囲：2.7V~3.6V ■パッケージ：40-Lead UQFN ■温度範囲：-40℃~+125℃ ※英語版カタログをダウンロードいただけます。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： グローバル電子株式会社

小型圧力ゲージ　ＰＧ−２０

半導体のガス供給系の集積化システムに対応した小型圧力ゲージ

一体構造 ■RoHS指令に対応・CEマーキング適合、UL認証取得予定 ＜主な仕様＞ 1.定格圧力レンジ：0.5MPa、1MPa(正圧／連成圧) 2.使用温度範囲　：-10〜50℃(動作温度),0 〜 50℃（補償温度） 3.電圧出力　　 ：1〜5V DC(駆動電圧12〜24VDC±10%) 4.電流出力 　　 ：4〜20mA DC(駆動電圧24VDC±10%) ...

メーカー・取り扱い企業： ニデックコンポーネンツ株式会社 (旧社名: 日本電産コパル電子株式会社)

MAT21 多孔加工

難削材MAT21 (ハステロイでも製作可能)

MAT21の特徴 ⇒高耐食ニッケル基合金 ・Ni-Cr-Mo系合金にTaを加え耐局部性腐食を高めた新合金です ・孔食発生温度（℃）　max150℃ ・孔食,隙間腐食や溶接部の腐食に強い ・非酸化性の硫酸や塩酸溶液中での耐食性に優れる ...

メーカー・取り扱い企業： 高洋電機株式会社

フッ素樹脂熱収縮チューブ

【フッ素樹脂熱伸縮チューブ】耐熱性！耐薬品性！電気絶縁性！高周波特性

物に収縮チューブをかぶせて、熱風（ホットエアーガン）で均一に加熱します。 ■FEP熱収縮チューブはホットエアーガンで簡単に収縮するので、高温炉などを必要としません。 ■100〜200℃の温度範囲で収縮させることができます。 ■径方向の収縮率は150℃で25〜30％です。 □■□■□■□■□■□■□■□■□■□■□■□■□■□■□■ 　詳しくは「お問い...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ユニバーサル

窓交換式高真空用ビューイングポート（ビューポート）

窓材の交換が簡単にできます！

【特長】 ○交換式の低コストグラスを使用 ○窓材を簡単に交換できます ○窓材のみの販売も行います 【仕様】 ○バイトン Oリング： ～150 ℃　／　カルレッツ O リング： ～250 ℃ ○真空：1 × 10^ - 8Torr　 ○温度：　～350℃ ●詳しくは、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社テクサム

フラックスレス蟻酸リフロー装置

200mm/300mmウェーハ、ガラス、250mmのサブストレートPK…

【フラックスレス蟻酸リフロー】 ■処理時間：60~100枚/時 ■プロセス温度：100~260℃ (最大450℃) ■温度分布：±3℃以下 (9-point 測定) ■省スペースフットプリント: 4.95m2 / L x W x H =1.8 x 2.75 x 2.55 m 4層シン...

メーカー・取り扱い企業： Yield Engineering Systems, Inc.

『４連基板反り修正機：SS-450-4N』

様々な厚みや大きさに対応した、使用範囲の広いマシン！min１００～ma…

ータ・プレス時間を最大50個まで登録でき、段取り替えの時間短縮が可能です。（オプション） 【特長】 ■各プレス上下プレートは単独で温度設定ができる。 　・加熱プレス 設定範囲　　　：140℃～200℃×2 　・エアー冷却プレス 設定範囲：50℃～120℃×1 　・水冷却プレス 設定範囲　　：15℃～50℃×1 基板別温度データ･プレス時間を最大50個まで登録でき、段取り替えの...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ラットコーポレーション 本社：営業部・業務部

液体加熱用ホットプレート「PA6015型 バスタイプ」

プレート部が槽になっている、液体加熱向けのホットプレートです。

液体加熱用ホットプレート「PA6015型 バスタイプ」の最高温度は600℃と、従来の液体加熱器では到達しづらかった温度まで液温を加熱することが出来ます。 プレート部分がそのまま、液体を入れることの出来る槽になっており、750ccの大容量を実現しております。 配線部が液...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社MSAファクトリー

12インチ対応 ウェハーワックス貼付装置『TEC-1001MB』

化合物半導体ウェハーなど、様々なワークに対応可能です！

【主要仕様】 ■ウェハーワックス貼り付け部 ・貼付対応プレートサイズ：φ180～φ320mm、厚さ5～30mm ・加熱/冷却設定温度範囲：周囲温度～160℃ ・設定単位：1℃ ・温度分布精度：±5℃以内 ・温調精度：±3℃以内 ■ウェハー加圧部 ・設定単位：1kPa ・最大圧力：300kPa ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社くまさんメディクス MPSD事業部　大津第1工場

隔膜式真空計（バラトロン真空計）

150℃/200℃対応！バイオ医薬品製造に最適な隔膜式真空計。

150℃/200℃対応！　バイオ医薬品製造、半導体製造プロセスに最適なバラトロン真空計 バラトロン631Bは、高温制御型真空計を10年以上にわたり供給してきたMKSの最新コンパクトモデルです。 ...

メーカー・取り扱い企業： 日本エム・ケー・エス株式会社

高温対応バルブ　SCVサブマージブルバルブ『TD-Sシリーズ』

高温環境(最高200℃)で多種多用なガスに使用可能な集積化ガスシステム…

『TD-Sシリーズ』は、独自の技術を取り入れ高温環境下で使用が可能な 集積化ガスシステム対応のダイヤフラムバルブです。 バルブ全体を最高200℃までの高温環境で使用できることにより 効率の良いヒーティングが可能。 流量の再現性が求められる原子層堆積（ALD）プロセスのプリカーサ （前駆体）供給に適しています。 【特長】 ■...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

ICチップトレイ

サイズ豊富に金型をご用意！特注トレイも加工を承っております

サイズ豊富に金型をご用意しています。 既存形状では収まらない特殊形状の場合も要求サイズに設計して対応いたします。 【特長】 ■サイズが豊富 ■材質：PS樹脂 ■常用耐熱温度：70℃～90℃ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社オルテコーポレーション 本社

コントローラ組込型ホットプレート「PA2025-Em型」

コントローラが組み込まれているため配線がシンプルで設置スペースを取りま…

使い頂けます。 また、通信機能が搭載されており、装置への組み込み、外部からの制御が可能となっております。 【特徴】 ○コントローラが組み込まれた、一体型のホットプレート ○最高温度200℃（250℃はオプションにて対応可） ○配線がシンプルで設置スペースを取らない ○通信機能が付いており、装置への組み込みに最適 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社MSAファクトリー

スピン洗浄装置　フルオートスピンナー JASC-150型

現像液温度精度±1℃。φ4"φ5"φ6"を治具交換にて対応！

JASC-150型は、現像液温度精度±1℃のフルオートスピンナーです。φ4"φ5"φ6"を治具交換にて対応します。高精度のロボット採用により、高スループット化を実現しました。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

樹脂(PEEK、PTFE)製 無脈動定量ポンプ及び安全弁

無脈動定量ポンプと安全弁がメタルフリーに！ 金属と反応したり腐食させ…

タルフリー仕様】 ●最大吐出量　108.6ml(/min)　※それ以上も制作可能 ●最大吐出圧　2.0～8.0(MPa) ●粘度範囲　～10,000(mPa.s) ●温度範囲　-20～70(℃) ※接液部の素材として、PEEKまたはPTFEを使用していますがそれぞれの仕様に違いがありますのでご注意ください。 ※5R.P.M.以下でのご使用は、ご相談ください。 ※粘度100mPa・s...

メーカー・取り扱い企業： 富士テクノ工業株式会社

チャンバーなどの半導体製造装置部材のコーティングに！シリカコート

金属に高純度シリカガラスをコーティング！酸化が抑えられ耐食性が向上！金…

ため、チャンバー、チャンバー回りパーツ、フランジ類などへコーティングすることでメンテナンスサイクルが大きく改善します。 【概要】 ■組成：SiO2 ■膜厚：0.1～3μｍ ■耐熱：350℃（-196℃～900℃） ■目的：腐食対策、メタルコンタミ対策（F系のガス以外） ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社コンタミネーション・コントロール・サービス

高圧対応ニードルバルブ（グローブバルブ）　『H-99シリーズ』

ステンレス316製、高温・高圧対応ニードルバルブH-99シリーズ。耐圧…

耐圧(Max)：　69MPa 耐熱(Max)：　204℃（PTFEパッキン使用） 　　　　　　　260℃（PEEKパッキン使用） 　　　　　　　648℃（GRAFOILパッキン使用） 接続：LET-LOK継手、NPTネジ、PTネジ等 サイズ：1/...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハムレット・モトヤマ・ジャパン