半自動真空枚葉貼合装置『R-ACSE430aa』

PRアライメントマークありの場合、位置合せ精度±0.05mm！スリッター機…

『R-ACSE430aa』は、コンベア式、カメラ位置数値制御タイプの 半自動真空枚葉貼合装置です。 300万画素カメラ4台による画像処理自動位置合わせ方式で、 上吸盤仕様は旋回式AL吸着パネル、下吸盤仕様は貼合コンベアベルト バックアックパネル仕様。 また、オプションでスリッター機能追加が可能です。 【仕様(一部)】 ■装置名称：R-ACSE430aa(コンベア式・カメラ...

メーカー・取り扱い企業： クライムプロダクツ株式会社

【VOCを低減】悪臭・有害ガスを撃退！強力脱臭装置※事例集進呈中

PR電源があれば設置可能！大掛かりな配管工事が不要で、煙草、シンナーや有機…

シューマンの脱臭装置（脱臭機）は、アンモニア臭や硫化水素はもちろんのこと、活性炭では除去しにくい高濃度の「アルデヒド類」を低濃度まで吸収します。工場などの広い作業場、オフィスや店舗などに導入実績あります。お客様の工場にてデモ機による脱臭実験も行っております。 【特長】 ■大掛かりな配置工事が不要 ■ほぼすべての悪臭物質・有毒ガスを吸着 ■「なるほど」と実感できる脱臭力 ■シンプルな構...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社シオガイ精機

吸着コレットを改善して、半導体チップを確実に搬送

多彩な先端形状に対応するオルテのコレット。独自で複雑な設計や加工も可能…

吸着コレットは多様な材質や形状に対応し、ピックアップツールとして利用されます。 ゴム、樹脂、金属、セラミックなど、要件に応じた素材を選択できます。 デバイスへの傷対策や吸着力向上に貢献し、交換が容易で経済的です。 さらに、弊社の設計ノウハウによりカスタム設計も可能です。...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社オルテコーポレーション 本社

ヴァキューム・ワンド用吸着カップ

豊富なラインアップをご用意！使用箇所や大きさに合わせてお選びいただけま…

『ヴァキューム・ワンド用吸着カップ』は、リードフレームや パッケージのピックアップに使用する製品です。 使用箇所や大きさに合わせてお選び下さい。ホルダーやワンドも製作いたします。 【特長】 ■リードフレームやパ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社オルテコーポレーション 本社

液晶ガラスの手動搬送に吸着ツール

液晶ガラスの手動搬送に吸着ツール

◎ 液晶ガラスの手動搬送に最適です。 ◎ 外部配線、配管なしで作業性がよいです。 ◎ 真空源（真空ポンプ、エジェクタ）が不要です。 液晶メーカ様からの御要望でこの吸着ツールを開発しました。人による液晶製造装置への液晶ガラスの搬送に多数採用されています。この吸着ツールは、真空源（真空ポンプ、エジェクタ）が必要なく、民生の吸盤のように液晶ガラスを吸着搬送できます。 ...

メーカー・取り扱い企業： 大谷技研株式会社

吸着テーブル　ポーラスカーボンチャック

ダイシングソー、ボンディングマシーン、テープマウンターなどの用途に最適

「ポーラスカーボンチャック」は、テーブル表面にカーボンポーラスを使用した吸着テーブルです。多孔質体の為、ワーク全面で吸着可能で、フィルム等薄い材質でも吸着可能です。また、耐酸性、耐薬品性が必要な場所での真空吸着も可能です。さらに、導電性がある為、帯電を嫌う装置での真空吸着が...

メーカー・取り扱い企業： マック産業機器株式会社 テクノロジーセンター

Zeta Plus(TM) 吸着デプスフィルターECシリーズ

微量金属、微量コロイド除去用、エレクトロニクス・ファインケミカル業界用…

Zeta Plus(TM) 吸着デプスフィルターECシリーズは、ろ材自体がゼータ電位による吸着能力を持っており、通常のフィルターではほとんど除去不可能と考えられる様々な微細粒子、コロイド等を取り除きます。 【特長】 ・エレ...

メーカー・取り扱い企業： スリーエムジャパン株式会社 フィルター製品事業部

吸着プレート(ヘッド)

積層金網フィルターは目開き(メッシュ)厚み(積層枚数)の選択肢が増えま…

金属フィルター使用時では素材自体が尖っている為、柔らかい・薄い素材には刺さりかねない問題を解消・表面処理する事により滑り性（耐摩耗性）を格段に向上させ、さらに静電気の発生を抑制できる ・エアーで吸着させるので磁石に付かないような素材(樹脂・セラミックス・カーボンetc…)にも使用でき、チャッキングに治具を作成する必要はありません。...

メーカー・取り扱い企業： 焼結.com

3D-01661吸着チャック

Y型の真空吸着チャックです。

ウェーハサイズ300mmの搬送に適しています。（ランダムアクセス対応） 大気環境用ロボットに多く使用され、ワークの裏面を真空吸着（負圧）により保持します。 チャック表面に導電性テフロンコーティングを施すことにより、搬送ワークを帯電による損傷および傷から防止します。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

セラミックス製ウエハー搬送ハンド PeriZac（ペリザック）

パーティクル発生リスクを極限に抑えた、大気用セラミックス製搬送ハンドの…

ない材料を要望頂くことが多くあります。一度に多くのウエハを処理したいプロセスには、クリアランスの小さいスリットにウエハを積載する必要があり、より薄いセラミックス製のエンドエフェクターが使用されます。吸着機構を備えた搬送ハンド（エンドエフェクターのこと）には内部に流路を設ける必要がありますが、接着剤を使用するSUS貼りは、異物混入のリスクを増加させます。メタルコンタミネーションやパーティクルの混入リ...

メーカー・取り扱い企業： アスザック株式会社 ファインセラミックス事業部

4軸同時駆動スピンコーター『ACT-220AII-4axis』

生産性UP！　4軸同時駆動の卓上型スピンコート機ACT-220AII-…

き、10ステップ100パターンのプログラム（事前連絡で、20ステップ50パターン、50ステップ20パターンも可能）で求める条件をだしやすいのも特徴です。 インターロックセンサー付で基板への真空吸着圧力を感知しないと回転せず、回転中も安全カバーが開くと自動で即回転停止、と安全面にも配慮しています。また、フリーランで止まる仕様の非常停止ボタンも装備しております。 操作パネルがシンプルで簡単...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アクティブ

ポーラスチャック

反りのあるウェーハなど吸着チャックでリークするウェーハの搬送に適してい…

反りのあるウェーハなど吸着チャックでリークするウェーハや薄物ウェーハの搬送に適しています。 チャック本体は高純度アルミナセラミックスを使用し、ワーク吸着面のみに多孔質セラミックスを使用しています。 平均細孔径20μm...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

自立型スピンコーター（スピンコート機）『ACT-700AII』

□360mm、20インチ基板まで対応の自立型スピンコート機ACT-70…

ターン、50ステップ20パターンも可能）で求める条件をだしやすいのも特徴です。 キャスター付きで移動も楽な自立型で、使いやすい作業高さとなります。 インターロックセンサー付で基板への真空吸着圧力を感知しないと回転せず、回転中も安全カバーが開くと自動で即回転停止、と安全面にも配慮しています。また、フリーランで止まる仕様の非常停止ボタンも装備しております。 操作パネルがシンプルで簡単...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アクティブ

半導体チップの不良に頭を抱えている担当者様へ

チップ持ち帰り不良の多さの原因がわからない方などにオススメ！

形状は丸形、正方形、長方形のフラット形標準仕様のほか、対象物に合わせて 　半球形状、ゲタ形、R形、長穴、2穴、3穴等カスタムメード品の設計、製作 ■全てチップ持ち帰り対策用に開発 ■薄形ダイ用吸着面ミゾ付コレット（CGコレット）（正方形、長方形）も 　標準仕様で提供可能 ■イオナイザー雰囲気対応品 ■狭ピッチ用先端鋭角ゴムコレット ■フリップチップボンディング用ハンダバンプチップ、B...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社オルテコーポレーション 本社

ハンディタイプ静電チャック「ソフトパーム」

薄型化するウェハー、ガラス基板、金属箔、フィルムなどの搬送に最適！従来…

『ソフトパーム』は、クーロン力にて対象物を接触吸着し、ハンドリング するハンディタイプの静電チャックです。本製品は面吸着のため、薄い部材に対して局所的ストレスがかからないのが最大の特長です。また、電池駆動（充電可）のコードレスタイプと、専用コント...

メーカー・取り扱い企業： 筑波精工株式会社

ピックアップ搬送装置付きサーボダイセット　SSD500-SC-P

ワークの搬送装置で半オートメーション化を実現！搬送装置はフレキシブルな…

【その他の特長】 ■搬送装置は、材料の搬入および打ち抜き後の製品の搬出を行い、搬入出それぞれ個別に 　吸着用パッドが設置されている ■材料の搬入・金型搭載位置、及び打ち抜き後の製品の搬出・格納位置は任意に設定可能 ■搬入部は機械的に金型中心の設計なので、位置データは一度設定すれば基本的に変更不要 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社関口製作所

静電気対策専用 DLCコーティング『THORスリック』

低温処理による高い被膜密着性と低発塵性！表面抵抗値別製品をラインアップ

ESD対策専用DLC コーティング『THORスリック』は、帯電によって起こるダスト等吸着による生産性低下 などの不具合対策に活用できる製品です。 低温処理で高い被膜密着性と低発塵性。色調は黒色で、耐摩耗性や耐食性、 耐焼付性を有しています。 半導体製造前工程のウエハホルダやウエハ搬...

メーカー・取り扱い企業： 日本コーティングセンター（ＪＣＣ）株式会社

高性能枚葉式常圧CVD(APCVD)装置 (A200V)

少量・多品種向け　NSG(SiO2)/PSG/BPSG膜成膜用　枚葉式…

密閉式チャンバー内で、ウェハを成膜面を下に向け裏面を吸着した状態で加熱させ、プロセスガスを下部より吹き上げながら成膜するFace-down成膜方式の採用により、低パーティクルで安全かつ高品質な成膜を実現しました。特許取得済のウェハ反り矯正機能により、Si...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社渡辺商行

HL-720　チューブ搭載IC３次元外観検査装置

HL-720　チューブ搭載IC３次元外観検査装置

率的かつ精密にリードの外観検査、マーク検査、表面検査を行うシステムです。システムの工程は次に通りです。まず、チューブ側にあるICのマークと表面をヘッドに搭載された移動CCDで２次元スキャンし、ICを吸着後、固定CCD上で３次元外観検査を行い、アウト側のチューブにICを格納します。チューブ院とアウトが交互に動くので、IC吸着、格納時の時間のロスが軽減されます。また、チューブの装脱着も簡単な操作で行え...

メーカー・取り扱い企業： ファルコン電子株式会社 横浜本社、台湾、香港、蘇州書込み工場

多孔質製品ラインアップのご紹介　※短納期でのご提供可能！

ガラス・フィルム吸着プレートや精密浮上テーブルをはじめ、精密ポーラスチ…

・ヂー・ダブリューが取り扱う『多孔質製品』のご紹介です。 高精度・非接触で、ガラス基板・フィルムを加工搬送できる「精密浮上テーブル」をはじめ、 ワークの切断加工を行っても、ワークがずれること無く吸着固定を持続する 「円形精密ポーラスチャック」などをラインアップしています。 当社では、高品位天然石にて精密さの限界に挑み、1/1000ミリ単位の 要求精度にお応えします。 【ラインア...

メーカー・取り扱い企業： ピー・ヂー・ダブリュー株式会社

⾼精度花崗岩真空吸着プラットフォーム

気道の負圧を個別また同時ににON/OFF切り替えることができます

当社で取り扱う「⾼精度グラナイト吸着定盤」についてご紹介いたします。 外形寸法: 900x600mm。 【特徴】 1. 全体の寸法、内径、側面の空気チャネルと表面の細孔の数は、ニーズに応じてカスタマイズできます。 2. 使用中...

メーカー・取り扱い企業： ND GROUP 日本支社

スルーホール基板・ＦＰＣ基板の移載装置

穴あきセラミック基板・ＦＰＣ基板を穴の位置に関係なく非接触にて移載可能…

１．スルーホール穴あき基板、フィルム基板　吸着可能 ２．基板の大きさ、穴の位置に関係なく吸着可能 ３．段積み基板を１枚ずつ吸引 ４．吸着器の段取り替えが不要 ５．傷、汚れパッド跡を付着しない ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

スピンコーター ACT-300A2 レンタル

株式会社リブテラステクノロジーズでは、アクティブ社製スピンコーターほか…

外形寸法：W350×D450×H扉閉325(扉開640)mm 電源：1Φ 100V-10A　50 / 60Hz 回転制御速度：0～6000rpm 回転精度：±1rpm以下 (負荷時) 基板吸着圧力：-70 ～ -80kPa 真空ポンプ排気量：12L/min以上 プログラムステップ数：10ステップ パターン数：100パターン（プログラムメモリ機能標準） 本体外装カバー・カップ材質：...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社リブテラステクノロジーズ

大型機・自立型スピンコーター

大型基板にも対応！研究、実験用にも適したアクティブの自立型スピンコータ…

作しております。自立型はアジャスターを縮めることでキャスターが接地するので移動も楽です。 対応基板サイズ（カップ径）の小さい卓上型スピンコーター同様、インターロックセンサー付き安全カバー、基板吸着圧力のインターロックで安全対策がなされています。 ACT-700AII（カップ径700）でスピンコートできる基板サイズはφ500mm（□360mm）になりますが、これ以上の基板サイズに対応する...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アクティブ

SSY-10010　EFEM

EFEM

/sec 300mm/sec 搬送速度 (最大速度) アーム 旋回角度 (θ軸) 上下ストローク (Z軸) 900mm/sec 400度/sec 450mm/sec 反転ユニットなし 吸着搬送時 アーム 旋回角度 (θ軸) 上下ストローク (Z軸) 1800mm/sec 540度/sec 500mm/sec 繰り返し精度 ±0.1mm以内 <システム> ワーク保持方式...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

インナーカップ式スピンコーター

インナーカップ方式による面内分布の向上と塗布液の軽減 安価な価格設定…

・ カップ材質 ：SUS＋ミガキ#400 ・ カップ処理 ：オプション　テフロンコーティング 　　　　　　　　　（カップ＆インナーカップ内面） ・ 基板固定方法：真空吸着方式 ・ テーブル　　： オプション ※別途サイズ・材質をご相談下さい ・ スピンモータ： ＡＣサーボモータ ・ 回転数 ： MAX２０００rpm （基板サイズ、厚みに...

メーカー・取り扱い企業： ブルーオーシャンテクノロジー株式会社

テープ剥がし機

テープ剥がし機

は、ウエハー上に貼られた保護フィルムを剥離する装置です。カセットで供給されたウエハーをアライナーで位置決めし、テープ剥離後同一カセットに排出します。 ■薄厚ワーク対応■ 独自の剥離機構と全面吸着テーブルの採用によりウエハへのストレスを最小限に抑え、薄ウエハにも対応可能。 ■リトライ機能■ 離動作後、センサーにより剥離確認を行います。NGの場合再び剥離動作に入り、剥がし残しを防ぎます。（...

メーカー・取り扱い企業： 大宮工業株式会社 営業本部営業課

マニピュレータシステム

マニピュレータシステム

・微小部品を数μｍ精度で位置決め組み立てる装置。 ・新開発把持機構（マイクロハンド）と高精度測定顕微鏡との合体により、ミクロンの『見ながら作業』を可能にしました。 ・真空吸着コレットではピックアップできないワークを精密対象把持動作がワークにダメージを与える事無くピックアップする事を保証します。 ・モノコック式高剛性軽量の顕微鏡ベースが、従来の２倍の剛性と速い振動収束を...

メーカー・取り扱い企業： アクテス京三株式会社 技術センター

セラミックス（アルミナ）製多孔質（ポーラス）焼結体

セラミックス(アルミナ)球体を使用したフィルターです。球体を使用してお…

ですので、バインダー（焼結助材）は使用しておりません。画像の様なパイプに蓋を付けたようなコップ形状も可能ですし、もちろん棒状・パイプ状も製作可能です。フィルター（濾過）としてはもちろん、バブリング・吸着盤・防爆・サイレンサー・etc…用途は無数にございます。...

メーカー・取り扱い企業： 焼結.com

チップソーター　

チップソーター　

【マニピュレータハンドによる微細チップ用オートマチックチップソーター】 ・自社開発の把持ピックアップ方式が吸着ピックアップ方式による不良（チッピング・汚れ）軽減を実現 ・ウェハーtoトレー、トレーtoウェハー、ウェハーto GEL Pack　等のチップ移載に対応 ・８インチウェハー対応で巾６００ｍｍの超...

メーカー・取り扱い企業： アクテス京三株式会社 技術センター

エンボスキャリアテープ自動テーピング装置

電子部品等の供給をトレー自動交換ユニットで実施

ＰＳ−７００Ｔは電子部品等の供給をトレー自動交換ユニットで行い、デバイスを吸着搬送、アライメント補正をした後にエンボスキャリアテープを挿入し、ポケット内で表裏前後方向の判別を行い、カバーテープシーリング、リール巻取りを自動で行うテーピング装置です。 ●幅広いテープ幅範囲...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社極東商会

【デモ機貸出中！】卓上型スピンコーター

省スペースなスピンコーター　排気装置もこの一台に内包　インナーカップ方…

【製品の特長】 ■ディペンサーユニット付属可能 ■吸着用真空ポンプは別見積 ■φ300以上のものも製作OK ■フィルム用吸着台やピン受け方式の試料台もご用意可能 ■自動式スピンコーター応相談...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

加熱・冷却機能付きポーラスチャック

吸着しながら、加熱・冷却実験が可能！！

吸着しながら加熱実験（プローブ実験、加熱耐久実験等）を行えるユニットとなります。その他、ウェーハマウンターなどにも応用が期待されています。加熱温度としては、最大で２５０℃の加熱ができ、冷却機能を持たせているため、大気冷却より急勾配での冷却を行うことも可能であります。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社吉岡精工

直動形電磁弁

直動形電磁弁

小形４ポート３位置　直動形電磁弁 真空吸着、真空破壊制御に最適 応答時間　２ms 作動回数　５億回超 禁油仕様標準、安定作動、異物トラブル防止 真空・正圧の両用可能、大流量、インターロック回路標準...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社フロー・ジョイント

6in・8inウエハ両用非接触ピンセット

６ｉｎと８ｉｎウエハを同じ非接触ピンセットにて掴むことができる

せました。 「6in・8inウエハ両用非接触ピンセット」のハンドルの先端の非接触搬送装置「フロートチャック」（特許）をハンドルを持つ手の操作により空気供給のＯＮ－ＯＦＦを行い、ウエハを非接触にて吸着し、脱着を行います。 ◎特徴 １．６ｉｎと８ｉｎウエハが同じピンセットでハンドリング出来る。 ２．手操作である ３．傷･汚れの付着がない。 ４．簡便である。 ◎適応 １．６ｉｎおよび８...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

クリーンルーム対応5mm角ウエハ用小型ベルヌーイチャック

排気を上方向に排出する機構を採用。周囲のチップを噴出気体により吹き飛ば…

エアクッション効果による正圧を生じ、小さく 裁断されたウエハチップを空中に浮遊した非接触（非接触） 状態にてチャックし、所定の場所に搬送します。 　　　　　 　この新機構として吸着パッドの周囲に排気路を変更する 回路を設けており、排気方向を変更します。そのため排気 が周囲のチップを吹き飛ばすことはありません。...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

３次元磁場解析

３次元磁場解析

様の多様なニーズに対応出来るよう、コンピューターシミュレーションによる ３次元磁場解析を用いて、仕様に合わせた製品のご提案や設計を行っています。 これにより、製品化した時の磁力の出方や磁力の値・吸着力等を設計の段階で推定することができ、その設計がお客様の仕様に副った設計であるのかといった判断をすることが出来ます。 また、設計段階で製品のおおよその性能を知ることが出来るので、試作品の数を減らす...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社下西製作所

半導体チップの移載装置に取り付ける、ピックアップ製品作ります

もうチップにキズはつかない、チップを確実に移載する技術

半導体の移載には、精密なピックアップツールが必要です。 交換式ゴムコレットは、多種多様なアプリケーションに対応できるピックアップツールであり、デバイスへの傷対策や吸着力アップにも寄与します。 また、樹脂コレットは複雑な形状の加工が可能であり、3次元実装のデバイスにも対応できます。 さらに、超硬製や金属製のダイコレットは強度、温度、耐摩耗が要求されるシーンで採...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社オルテコーポレーション 本社

ウェーハハンドリング装置（CHI-02型）

シリコンウェーハのP/N判定・外観検査を行うためにハンドリングする装置…

ウェーハを真空吸着方式で取り扱います。 従来、作業者が手で行っていたウェーハのハンドリング作業を、この装置を使用することで、品質の向上を図ることができます。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム

反転ユニット

両面処理等が必要な装置に適しています。

を実現 高速反転:従来品に対して速度20%upを実現(300mmウェーハ比) (小型ウェーハの場合速度50%upを実現) 低振動:新開発のモータドライバと制御方式により、低振動化を実現 真空吸着、エッジクリップ、ベルヌーイ等各種ウェーハ保持方式に対応...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

排ガス処理セット　ES-F1

エッチング中に発生するガスや蒸気を除去

塩化第2鉄エッチング液用活性炭が異臭や酸を吸着する、排ガス処理セット...

メーカー・取り扱い企業： サンハヤト株式会社

落とし込みチャック

反りのあるウェーハなど吸着チャックでリークするウェーハの搬送に適してい…

反りのあるウェーハなど吸着チャックでリークするウェーハの搬送に適しています。 外周裏面及びエッジ部が接触可能なウェーハ等の搬送用チャックです。 ウェーハの自重によってテーパ状のガイドを利用し、一定範囲にウェーハを落とし込...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

研究開発用スリットダイコーター『卓ダイ』

操作が簡単！薄膜から厚膜まで、低粘度から高粘度まで1台で塗工可能

■操作が簡単で、一人で全ての塗工操作が可能 ■塗工液量数CC塗工可能（タンク、ポンプ等が無い） ■液供給部が塗工幅と同一な為、平行流状態で液吐出が可能 ■ガラス、フィルム等どんな基材にも全面吸着可能な定盤を使用 ■スリットはシムを使用しない固定タイプ、再現性あり ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 伊藤忠マシンテクノス株式会社

超高速回転スピンコーター『ACT-200SM-S』

スピード重視ならMAX6万rpmの超高速回転！スピンコート機ACT-2…

【特長（一部抜粋）】 ・MAX6万rpmの超高速回転仕様 ・1ステップ×1パターン ・回転時間設定は0.1-999.9secか1-9999sec ・両面テープによる基板保持(真空吸着による保持方法はなし) 【仕様（一部抜粋）】 ■基板サイズ：Φ3～Φ50（試料台の外径サイズと最大回転数について要相談） ■カップ（内径）：Φ200（アルミ製、オプション：テフロンコーティ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アクティブ

自動プログラミングシステム

電子機器の量産に適したデータ書込みと書込み作業の自動化、品質向上、作業…

ICソケット、トレイの位置情報を取得し、制御プログラムに設定を行う自動位置決め機能を搭載しています。 取得したソケットとトレイの位置情報に基づき、位置補正をしながら搬送ロボットがデバイスを吸着し、トレイポケットに収納するので、ピン曲がりの発生を抑えることが可能です。 作業の自動化、効率化、省人化、品質向上、作業履歴のトレースが可能です。 その他、各種カスタム機能やカスタム装置...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社カナデン 本社

GCR4210SN(クローズドループ制御)

・クローズドループ制御 ・アブソリュートエンコーダ搭載 ・バッテリ…

ロボット型式 GCR4210SN-300-CM 被搬送物 ～300mm ウェーハ ウェーハ保持方式 チャックによる真空吸着で保持 機械構造形式 水平多関節型 制御軸 4軸 モータタイプ ステッピングモータ（クローズドループ） 動作範囲 ワーク中心到達距離 旋回角度(θ軸) 上下ストローク(Z軸) 760mm 3...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

半導体製造関連　【半導体ウェハ自動搬送装置】

検査機に対して半導体ウェハを自動供給する装置です。除振機構を採用、検査…

正し、検査部にウェハを供給します。検査後、ウェハを自動退出させ、キャリアの元の位置へウェハを格納します。 ◇プリアライメント機構　XY軸ストローク：±2mm以上、θ軸ストローク角度：±15度以上、吸着テーブル 当社は、開発・設計から組立、そして納品後のメンテナンスまで、一貫したサービスをご提供します。大切な設備に付加価値を与えて、お客様の省エネ化、省人化をサポートします。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ライズワン

さまざまな種類のコレットを提供、半導体製造で活躍間違えなし！

当社では、様々なアプリケーションに対応できるコレットを提供しています。

以下は、当社の代表的なコレットの種類です。 交換式ゴムコレット デバイスへの傷対策や吸着力アップに寄与するピックアップツールです。NBR、FKM、シリコンゴムの3種類を用意しており、それぞれ異なる特性を持っています。また、弊社の設計ノウハウを活かし、貴社のアプリケーションと目的に合わせ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社オルテコーポレーション 本社

アルミ・鋼の金属部品加工＜事例集進呈＞

高品質・高精度の製品を製作。アルミ部品は平行・平坦度2/100mmに対…

【加工事例集の内容（抜粋）】 ■ボディ（加工内容：横型マシニング加工） ■吸着テーブル（立型マシニング加工/白アルマイト/上下面仕上/平坦度0.1以内/傷厳禁の製品） ■枠受フレーム（立型マシニング加工/無電解ニッケルメッキ/上下面研磨/平行度0.01/平坦度0.01） ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジーエスピー

ガラス基板成膜装置「低温成膜」「フレキシブル基板対応」

FPDなどリジット/フレキシブルデバイスに対応した4.5世代ガラス基板…

成膜有効幅760mmのガスヘッド2基を搭載し、吸着式加熱ステージの採用により、温度制御性±3％以内を実現しました。 4.5世代ガラス基板に250℃で100nmのSiO2膜をスループット 25枚/h以上で成膜が可能で、膜厚均一性10％以内を確保でき...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社渡辺商行

バキュームホットPRO

半導体・FPD分野における、最先端の技術者が選ぶホットプレートです

◆目的の時間だけ、ワークを吸着して加熱しますので、プロセス確認に最適です。 ◆ワークのサイズ別に吸着できます。 ◆非常に薄いワークでも、プレートから容易に取り外せます。 ◆使いやすさを追求し、最小限の操作...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社八光電機

産業機器を使用した半導体製造プロセスの最適化方法

半導体製造の効率を従来より60%アップ！消耗品の産業機器を最適化かつ長…

産業機器取り扱いリスト ・コレット（ゴム、樹脂、超硬制、その他） ・サクションカップ ・突き上げニードル ・吸着ステージ ・ニードルホルダー ・エポキシディスペンスノズル ・ディスペンスノズルカスタム品 ・スパンカーヘッド ・ワイヤーボンディング用スパーク電極 ・EFOトーチアッセンブリー ・ウ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社オルテコーポレーション 本社

イノラス社製　ウェーハマーキング装置　IL2000

InnoLas Semiconductor社はドイツのミュンヘンに本社…

・対応ウェーハ：２インチ～200ｍｍ ･光源（レーザー）を変えることにより多種類の素材に印字可能 ・4つのカセットステーションで高スループットを実現 ・吸着式又はエッジハンドリングによるウェーハのロボット搬送 ・精度の高いアライナーによる高い印字位置精度 ・印字後、印字文字の読取及び位置計測（オプション）...

メーカー・取り扱い企業： 兼松ＰＷＳ株式会社

アルカリ対応スピン洗浄装置

有機EL基板洗浄に最適！アルカリ対応スピン洗浄装置

本装置はワークを本体に手動でセットし、真空吸着させスピン回転させながら二液体洗浄、超音波洗浄、N2ブロー乾燥を行う装置です。...

メーカー・取り扱い企業： マック産業機器株式会社 テクノロジーセンター

MB-2000 太陽電池用シリコンウエハセパレーター

2枚重ねが出ない構造になっています！

粗洗浄後の積み重なった、140μm～200μmのシリコンウエハを、特殊水中吸着ヘッドを使いながら上下の送りローラーにより、ウエハを1枚ずつ送り出し、ウエハキャリアに収納する装置です。 ...

メーカー・取り扱い企業： マック産業機器株式会社 テクノロジーセンター

成膜関連製品　TELEMARK 真空蒸着用コンポーネント

蒸着用電子銃など真空蒸着のことならお任せください。

に取り除くことは、真空蒸着にとって必須の課題です。 TELEMARKのクライオトラップ TVPシリーズは、真空チャンバー内に設置したクライオコイルに-150℃の冷媒を循環させることにより、水蒸気を吸着排気し、水蒸気分圧を効果的に下げ、また排気時間を劇的に低減します。 【ラインナップ】 ○電子銃 ○電子銃電源及びアクセサリー ○水晶膜厚モニター／膜厚コントローラー ○クライオトラップ...

メーカー・取り扱い企業： VISTA株式会社

ディップコーターレンタル

超低速ディツプコーター(ディップコーティング装置) ナノレベルの膜厚…

ンタルをお奨め ○従来料金から大幅にご奉仕 ○週単位にてご利用可能 【ナノスピードディップコーターの特徴】 ○従来の超低速垂直塗布可能 ○θ角を調整することで角度引き上げ可能 ○交互吸着などの異液による塗布が可能 ○各軸での独立および複合での動作可能（2軸） ○新機能として連続ポイント運転可能 ○ガラス、アクリル、銅箔、チューブ状の物質に超低速のナノ単位の速度 　 (1nm...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＳＤＩ

枚葉式スピンスプレー洗浄装置　SRC-15001

2流体ノズルより高圧純水をスプレー、メガソニックによる仕上げ洗浄！

行 ○スピン乾燥実行 【仕様】 ○外形寸法：W900×D645×H500 ○構造：鉄フレームに防錆塗装後 PVC張り ○蓋：透明 PVC　手動開閉 ○ウエハー受台：材質 PVC　真空吸着又は外周ピン受け ○流し：PVC ○ノズルアーム：1本　モーター駆動　スイング動作 ○メガソニック：950kHz　60W ○スピンモーター：ACサーボモーター　400W ○回転数 →メガ...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

FOUPロードポート『TAS450』

ロードポートは新たなステージへ。可動部はパーティクル性能を向上させた構…

面より） ・重量：115kg（マッパー以外の各種オプションを含まず） ■ドッキングメカニズム ・FOUP クランプ：Hold Down Feature（エア駆動） ・FOUP ドア保持：真空吸着 ・ドッキング時のウエハ位置：BOLTS インターフェース面より254mm ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： TDK株式会社 テクニカルセンター

高精度スプレーコーター API-300OGS

カバーガラス一体型タッチパネル（OGS）用レジストコーター

( 1,000mm/sec) 流量範囲：1cc - 20cc/min程度 ノズル：当社独自のLPVNノズル（外部混合型２流体ノズル） 基板固定：リフトアップピンによるロボットとの受け渡し/真空吸着 霧化圧：最大800kPa (元圧が800kPa以上必要となります） その他機能　 自動脱泡、薬液自動供給、自動洗浄、各種アラーム、防爆、 レシピ登録（最大100個）、データログ、塗布状態の...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アピロス 本社

卓上型パルスヒート熱圧着装置　BD-02

パルスヒートによる柔軟な温度プロファイルを実現するパルスヒート熱圧着装…

ワーク上の1ヶ所を熱圧着する装置です。ステージにワークを吸着固定し、圧着位置まで前進、圧着ヘッドが下降してワークを熱圧着します。パルスヒート方式により、高速昇温・降温が可能で、熱伝導性の高いワーク等も安定して加熱することが可能です。 [仕様抜粋] ・...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大橋製作所 機器事業部

マスクレス露光装置PALET『DDB-701シリーズ』

トライ＆エラーが必要不可欠な研究・試作用途に好適なマスクレス露光装置

上で、手軽に、思いのままに行えるマスクレス露光装置です。 装置サイズを徹底的に小型化し、A3サイズの設置面積を実現。 フローティング構造を採用することで振動を抑制し、 防振台不要・真空吸着用エア源内蔵を実現し、 導入に際して障害となりやすい圧縮エアなどのユーティリティを取り除きました。 【特長】 ■設置場所に困らない卓上型 ■業界の常識を覆す低価格設定 ■ユーザフレンド...

メーカー・取り扱い企業： ネオアーク株式会社 東京営業部