設計 | イプロスものづくり

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解説資料開発元監修『見積段階から機械動作を可視化する3D構想』

PR複雑する装置仕様を見える化！受注率UPと手戻り削減に貢献する3DCAD…

機械設計向け3次元CAD「iCAD SX」の開発元が監修しました。複雑化する装置仕様の摺合せが難しい理由や問題点を洗い出し、 "装置仕様（動き）の可視化"について解説した資料を無料進呈中です。　【資料概要】　　■製造業を取り巻く環境と、装置の複雑化　　■仕様説明時における取組と課題、目指す姿　　■打ち合わせ初期から一連の動作フローを可視化する効果　　※ 本ページのPDFダウンロード...
メーカー・取り扱い企業： i CAD株式会社 - 機械設計向け3DCAD（3次元CAD）開発元 -
独自の安全機構でガス充満による酸欠事故を防止『グローブボックス』

PR真空装置メーカーの技術・経験を結集！自社設計により柔軟な仕様変更とリー…

当社では、不純物ガス濃度1ppm以下の高純度環境を実現する『グローブボックス』を設計・製造・販売しております。内部のガス圧力が一定範囲になるよう制御するAPC機構や、グローブ・圧力計の破損時に異常を検知してガス供給を停止するセイフティ機構を標準搭載。グローブボックスの豊富な知識・経験を活かし、各種カスタマイズも承ります。【特長】 ■自社設計により柔軟な仕様変更とリ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイエルエステクノロジー
真空装置設計・製作からサポートまで短納期でご対応

真空装置の設計・製作から保守作業までお任せを！

各種真空成膜装置の設計・製作を行っております。装置完成後の現地搬入・立ち上げ、稼働後の保守を含めたトータルでのサービスが可能な体制となっております。各種実験補助設備の設計や真空設計の応用に豊富な経験があり、仕様検討の段階...

メーカー・取り扱い企業：株式会社コスモ・サイエンス
GaN半導体 MOCVD用機能部品

高温アンモニアに耐性があり、容易に高温が得られる機能部品、高温用ヒータ…

成長やエピタキシャル装置の機能部品として多くの実績を有しております。 ■超高温ヒータ・超高温（1500℃以上）での使用が可能・腐食性ガス雰囲気に耐性がある・色々な形状にも対応でき、設計の自由度が高い ■その他機能部品・MOCVD、HVPEなどの高温プロセスに対応・客先仕様に応じての専用設計 ※詳しくはカタログをご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。...

メーカー・取り扱い企業：モメンティブ・テクノロジーズ・ジャパン株式会社
『事例』半導体製造装置　排気系ラインの省スペース化 ※無料進呈中

デバイスメーカーの求める装置の価値基準とは？　KITZSCTは排気系ラ…

"貴重な設計時間をレイアウト検討に取られていませんか？メイン配管の大口径化に伴ないレイアウト設計は複雑化しています。また各種要件が厳しくなっており、施工性やメンテナンス性を考慮した配管設計が難しくなっています。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社キッツエスシーティー
高周波RF電源・高効率パルスRF電源

高効率高周波電源【ローコスト・省電力・コンパクト設計】600W以上の耐…

対して、実に600W以上の耐反射能力を持ち、短絡・開放の急激な負荷変動に耐えます。また、各種保護回路を設けており、NRFが自信をもってお勧めできる1台です。＝特長＝ ■コンパクト設計 ■高耐反射 ■高電力マージン ■ハンディーコンによる操作 ■安全設計 ■各種保護回路 ■高効率カタログでは、特長の詳細情報や型式別の仕様がご覧頂けます。　↓↓↓　詳しく...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ノダRFテクノロジーズ営業本部
乾式除害装置(MAKシリーズ)

大気放出できない装置から排出される有害排気ガスを安全に除害処理します。…

　各種処理剤がラインナップされており、各種プロセスの排気ガスに　最も適した処理剤の選定ができます。　また、弊社横浜研究所の現地分析により、　フィールドでの排気分析結果に基づいた処理剤設計も可能です。【低圧損】　圧力損失の少ない処理剤充填方法を採用し、　装置内の圧力損失を0.1KPa以内に制御。　これにより専用排気ブロワーを不要化、ランニングコストを低減します。 ...
メーカー・取り扱い企業：株式会社巴商会管理部署：企画営業部
緊急除害装置(S-CDシリーズ)

毒性ガス漏洩の緊急時に無害化します。（高圧ガス保安法一般則第55条第1…

「S-CDシリーズ」は、高圧ガス保安法に対応した緊急用乾式除害設備です。（高圧ガス保安法一般則第55条第１項） ● 特殊高圧ガス（７種）の他、アンモニア、塩素など、各種ガスの仕様に合わせた安全設計 ●排気ブロワーのインバーター制御による省エネ設計 ●ガス漏洩信号など、外部信号入力により緊急運転切替 ●屋内仕様など様々なニーズに対応...
メーカー・取り扱い企業：株式会社巴商会管理部署：企画営業部
RIBER社分子線エピタキシー（MBE）装置

パッシベーション用MBE装置は、レーザーファセットパッシベーション等の…

パッシベーション用MBE装置は、表面パッシベーションまたはレーザーファセットパッシベーションのために特別に設計された各種チャンバーで構成されております。表面やファセット面を保護するために、さまざまなコーティングを使用することが可能です。代表的な材料としてZnSe、SiN、酸化物等がある。構成例として、ク...

メーカー・取り扱い企業：伯東株式会社本社
半導体材料　ＡＬＤ／ＣＶＤ材料

高・強誘電材料、電極材料、配線材料等で多くのオリジナル製品を開発

た。その結果、高・強誘電材料、電極材料、配線材料等で多くのオリジナル製品を開発、国内外のお客様より高い評価を得ております。これらは、合成から一貫してクリーンルーム内で作業が行われ、スピーディーな製品設計が可能であると同時に、試作から量産へのスムーズなシフトも実現できる専用工場で生産されております。詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ADEKA
スリットバルブシール

スリットバルブシール

●半導体、液晶をはじめ多岐の業界で使用されている真空機器のシール材に対し、総合シールメーカーとして長年にわたり培った経験、豊富な材料、独自の最適形状設計を組み合わせ、様々な御要求にお応えし、ソリューションをご提供しております。 ●半導体業界向けには、低発塵性、耐プラズマ性、耐薬　品性、低固着特性に優れた製品を、液晶業界向けには、基板大型化に対...

メーカー・取り扱い企業：三菱電線工業株式会社
酸化シリコン成膜CVD装置

3インチウェハ対応！コンパクトな設計となっており省スペース化を実現しま…

当製品は、酸化シリコンを成膜する為のCVD装置です。コンパクトな設計となっており省スペース化を実現。内面処理は電解研磨、チャンバー材質はSUS316です。また、3インチウェハ対応となっております。【特長】 ■酸化シリコンを成膜 ■コンパクトな...

メーカー・取り扱い企業：株式会社和泉テック
クラスター装置『Morpher』

デバイス量産へ、優れたプロセス品質、信頼性、高スループットを提供！

Morpher ALDシステムは、業界標準の枚葉ウエハ真空クラスタプラットフォームを組み込み、ウエハバッチを完全自動処理するように設計されています。米国特許取得済みのウエハバッチフリップ機構により、他の半導体製造ラインとのシステムの統合が可能で、またSEMI S2/S8認定により、当システムが業界の最も厳しい規格と互換性がある...

メーカー・取り扱い企業： PICOSUN JAPAN株式会社
300mmバッチクラスタ装置「Sprinter」

枚葉プロセスレベルの成膜品質をバッチ装置で！クラスタシステムにより生産…

MI S2 / S8認定は、システムが業界の厳しい規格と互換性があることを保証します。完全に分離されたプリカーサ供給配管と注入口を備えた特許取得済みのデュアルチャンバ、ホットウォールリアクタ設計により、優れた歩留まり、低パーティクルレベル、優れた電気特性・光学特性を備えた高品質のALD膜を作成します。コンパクトで人間工学に基づいた設計により、メンテナンスを簡単かつ迅速に行えるため、...

メーカー・取り扱い企業： PICOSUN JAPAN株式会社
CVD・MOCVDカスタマイズ装置

多彩なプラズマソースが搭載可能！CVD、MOCVDやALD装置をカスタ…

当社では、研究開発や小規模バッチ量産向け装置である、「CVD・MOCVDカスタマイズ装置」を取り扱っております。 CVD、MOCVDやALD装置をカスタマイズ設計で、 PLUM、FLARION及びMIRENIQUEシリーズの多彩なプラズマソースが搭載可能。また、FLOCONシリーズのフロー管理システムを搭載しております。【特長】 ■研究開...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ハイテック・システムズ
液体ソースプラズマCVD装置

小型でスペース効率の優れた装置！基板はφ4インチ対応で、加熱機構・T/…

リンダーキャビネット付きプラズマCVD装置です。液体ソースに対応したベーカブルMFC、各種ベーキング機構を備えており、内部異常放電防止対策や安定プラズマ生成目的の独自のプラズマ電極を設計開発。上蓋開閉により基板交換、内部メンテナンスでき、小型でスペース効率の優れた装置です。【特長】 ■シリンダーキャビネット付き ■液体ソースに対応したベーカブルMFC、各種ベ...

メーカー・取り扱い企業：ケニックス株式会社
Oリング寸法規格（サイズ）

Oリングの桜シールは、JIS規格サイズは勿論のこと、中間・延長・派生サ…

って、極小のマイクロOリングから大口径の特大Oリングに至るまでを製造販売いたしております。日本工業規格JIS B2401によるサイズは元より、幅広い産業によって細分化された様々なサイズを取り揃え、溝設計と併せて適切なサイズ選定をサポートさせて頂きます。...

メーカー・取り扱い企業：桜シール株式会社日本本社
微少流量超小型セラミックガスフィルター

SPCシリーズは超小型（φ21×84mm）、軽量（90g）に設計されて…

【特徴】 ○濾過精度は0.003μmです。 ○推奨流量は10L/minです。 ○設計圧力は17MPa（2,465PSIG）at20℃です。 ○最高連続使用温度は120℃です。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ピー・ジェイ
【コストダウン】機能性アルミフレームと豊富なアクセサリー

最大5800ｍｍまでのアルミフレームの販売が可能！また、外装ブース…

アルミフレーム及びアクセサリー類の材料・加工品の単品販売はもちろん、お客様のニーズに合わせた設計・加工・組立・梱包・輸送納入まで承ります。また、現地での設置工事・アフターサービスに至るまで、一貫した工程でご満足頂ける体制を整えております。社内に在庫を保有しており、短納期での...
メーカー・取り扱い企業：株式会社タイトウトレーディング草津本社工場
カルレッツ／パーフロロエラストマーパーツ

パーフロロエラストマー！！耐熱性、耐薬品性に優れたパーフロロエラストマ…

◆三菱電線工業は２０年以上にわたりカルレッツ(R)正規代理店として日本のお客様にカルレッツ(R)の販売及びサービスを行なってきました。 ◆標準規格サイズOリングに限らず成形品シールの設計・用途技術開発に関する長年の経験とノウハウより、複雑な金型成形品についてもお客様の多様なニーズに対して的確な用途相談、製品設計、機能評価などの技術サービスをカルレッツ(R)製造メーカーのデュポンエラ...

メーカー・取り扱い企業：三菱電線工業株式会社
多結晶サーマル

1,000W/mKから2,000W/mK以上までの熱伝導率を設計！多結…

した熱伝導率と高い電気抵抗率は、マイクロプロセッサの周波数向上、高出力化、部品の小型化、長寿命化を可能にします。【特長】 ■1,000W/mKから2,000W/mK以上までの熱伝導率を設計 ■電気的に絶縁し、良好な機械的強度 ■低重量、毒性、誘電率 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：合同会社SUPERHARD JAPAN
固着対策シール

固着対策シール

●半導体、液晶、太陽電池をはじめ多岐の業界で使用されている真空機器のシール材に対し、総合シールメーカーとして長年にわたり培った経験、豊富な材料、独自の最適形状設計を組み合わせ、様々な御要求にお応えし、ソリューションをご提供しております。 ●半導体・液晶製造装置向けには、低発塵性、耐プラズマ性、耐薬品性はもちろんのこと、低固着特性に優れた製品を製造・販売...

メーカー・取り扱い企業：三菱電線工業株式会社
CVD装置向けモジュールヒーター

CVDコーティング装置向けモジュールヒーター

ルヒーター　・既に超硬チップ用CVDコーティング装置に導入した実績がございます。　・特に出力の高い５ゾーン目の置換えでは、寿命、コストともに満足頂いております。炉の仕様に合わせた電気設計、構造設計が可能のため、様々な形状のCVD装置用に、お客様のご希望の形状でモジュール化したヒーターを提供させて頂きます。 □■用途■□ ○超硬チップや金型のCVDコーティング用ヒーター ...

メーカー・取り扱い企業：アレイマジャパン株式会社カンタルカンパニー
プラズマCVD装置

プラズマCVD装置

●コンパクトな設計でありながら、試料は3インチウエハーなら5枚、4インチウエハーなら3枚、8インチウエハーなら1枚が対応可能。 ●最大100ステッププロセスが可能。 ●ロードロック室を装備しているため安定したプロ...

メーカー・取り扱い企業：サムコ株式会社
大口径シール

大口径シール

●総合シールメーカーとして、長年にわたり培った経験、豊富な材料、独自の最適形状設計を組み合わせ、様々なご要求にお応えできるよう取り組んでおります。 ●特に液晶業界向けには、低パーティクル、耐薬品性　等にすぐれたシール製品、および基板大型化に対応した製品を、ご提供しております...

メーカー・取り扱い企業：三菱電線工業株式会社
アルミフレーム(TFシリーズ)・アクセサリー

機能性アルミフレームと豊富なアクセサリーのコストダウン【単品はもちろん…

アルミフレーム及びアクセサリー類の材料・加工品の単品販売はもちろん、お客様のニーズに合わせた設計・加工・組立・梱包・輸送納入まで承ります。また、現地での設置工事・アフターサービスに至るまで、一貫した工程でご満足頂ける体制を整えております。...
メーカー・取り扱い企業：株式会社タイトウトレーディング草津本社工場
セトラ社　ウルトラクリーン圧力センサ　モデル２２４シリーズ

特殊ガスのモニターと制御用に開発されたウルトラクリーンセンサ

ガスのモニターと制御用に開発されたウルトラクリーンセンサです。　モデル２２４はパージ効果の高い流線型のセンサチャンバを持ち、ガスの流れによる瞬時の温度変化の条件下でも優れた安定性を実現するように設計されています。...

メーカー・取り扱い企業：エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部
真空蒸着フィラメント、ボート

少量パックのオンライン販売で必要な分を必要なときに！

規格品も取り揃えていますが、オリジナル、特注への対応が得意です。コスト対策、改善したい面を改良して設計から相談に乗ります。...

メーカー・取り扱い企業：有限会社ビット･テック
Aera Transformer　デジタルマスフローコントローラ

コスト削減に寄与する汎用性に優れたMFC

特長・マルチガス・マルチレンジ・高速応答性・100％メタルシール・高純度設計・フィールドでプログラム可能＊・再校正をしなくても様々なガス選択が可能＊・DeviceNet、RS-485、アナログ制御対応・多彩な警告・診断機能・RoHS適合＊マルチ...

メーカー・取り扱い企業：日立Astemo＆ナガノ株式会社
MOCVD装置　VEECO K465i G2用排気フィルター

MOCVD装置　VEECO　K465i G2

VEECOフィルターシリーズ製品はＶＥＥＣＯ　ＭＯＣＶＤ装置の専用の排気ろ過のために設計し、アメリカＲＡＮＤ社の高級耐高温不織布と中国産ＳＵＳ３０４を構成した製品、不織布材料はアメリカから直接輸入、耐高温、耐高圧、高精度、ろ過効果がいいなどの特徴があり、K465i G２シリーズは2回...

メーカー・取り扱い企業：愛鋭精密科技（大連）有限公司（AIRY TECHNOLOGY CO., LTD.) 中国大連本社
立体物対応実験用プラズマCVD装置

対応可能膜種はDLC、アモルファスSiC等！基板加熱機構付き（最高設定…

対応可能膜種はDLC、アモルファスSiC等。 PC操作（シーケンサー制御）で、全自動、データロギングが可能です。当社では実験装置から生産装置まで、お客様のご要望、ご予算に合わせて装置を設計、製造いたします。ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。【特長】 ■立体物に成膜可能な実験用プラズマCVD装置 ■対応可能膜種：DLC、アモルファスSiC等 ■基板加熱機構付き（最...

メーカー・取り扱い企業：株式会社DINOVAC
プラズマCVD装置

漏洩マイクロ波検出用も付属！試料の取付は、下部よりモーターによる上下機…

実験用に極端に簡素化して製作 ■マイクロ波導波管を上下できる機構を備えている ■試料の取付は、下部よりモーターによる上下機構で交換 ■漏洩マイクロ波検出用も付属 ■内部機構は全てコンパクトに設計されており省スペース化を実現 ※詳しくは外部リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社和泉テック
表示器デジタルストレインゲージメーター

小型・軽量でありながら３-３/４桁(３９９９)の表示ができ、上下限２接…

圧力センサー　ＰＣ‐３０２、５０１、６０１とあわせてご使用いただけます。また、電源回路と信号系はアイソレーションされていますので、１台の電源で複数の表示器を駆動した場合にもノイズ等の影響を受けにくい設計となっております。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ピー・ジェイ
高濾過精度オールメタルガスフィルター

コンパクトサイズでより高流量のガスを処理

【特徴】 ○濾過精度は０.００３μｍです。 ○推奨流量は１５〜２５０Ｌ/ｍｉｎ各種です。 ○設計圧力は１７ＭＰａ（２,４６５ＰＳＩＧ）ａｔ２０℃です。 ○最大許容差圧は１５ＭＰａ（２,１７５ＰＳＩＧ）ａｔ２０℃です。 ○最高許容温度は４６０℃です。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ピー・ジェイ
粗取り用オールメタルガスフィルター

幅広い濾過精度に対応

【特徴】 ○濾過精度は０.１、０.５、１.０、５.０、１０μｍ各種となります。 ○推奨流量は４０Ｌ/ｍｉｎ、６０Ｌ/ｍｉｎです。 ○設計圧力は１７ＭＰａ（２,４６５ＰＳＩＧ）ａｔ２０℃です。 ○最高使用温度は４００℃です。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ピー・ジェイ
活性炭ガス精製器

高清浄度活性炭を内蔵

【特徴】 ○設計圧力は０.９８ＭＰａです。（１４２ＰＳＩＧ） ○最高使用差圧は０.６８ＭＰａです。（９８.６ＰＳＩＧ） ○内蔵フィルターエレメント濾過精度は０.００３μｍ以上です。（９９.９９９９９９９％） ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ピー・ジェイ
グラフェンCVD成膜装置

炉のスライド移動による急冷機構を搭載

・熱電対センサーを炉内に導入、試料温度を直接モニター可能・3系統のマスフローガス流量制御系、正確なガス制御が可能・コンパクトでしっかりした筐体設計、卓上実験台などに簡単設置 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社マイクロフェーズ
高耐圧用ＰＴＦＥガスフィルター

濾過膜はＰＴＦＥ製２層構造で経年や振動などでの伸びが殆どなく、安定した…

【特徴】 ○濾過精度は０.００３μｍです。 ○推奨流量は４０Ｌ/ｍｉｎ、１５０Ｌ/ｍｉｎ各種です。 ○ハウジング設計圧力は２０.６８ＭＰａ(３,０００ＰＳＩＧ、２１０ｋｇｆ/ｃｍ２)ａｔ２０℃です。 ○最高使用圧力は０.９８ＭＰａ（１４２ＰＳＩＧ）ａｔ２０℃です。 ○最高使用温度は１２０℃です。 ●詳し...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ピー・ジェイ
低圧力損失インラインセラミックガスフィルター

濾過精度

【特徴】 ○濾過精度は０.０１μｍです。 ○推奨流量は１０〜１６０L/minです。 ○設計圧力は１７MPa（2,465PSIG）at20℃です。 ○パーティクル０.０１μｍ除粒子性能９９.９９９９９９９９９９％です。 ○低圧力損失です。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログを...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ピー・ジェイ
常圧CVD装置

省スペース設計で、バキュームポンプ・モジュールはプロセス・モジュールか…

本装置は、4/5/6 及び 8 インチ・ウェハーに対応しており、プラズマ CVD 法によってウェハーに酸化シリコン膜及び窒化シリコン膜を形成するものです。基本構成は、プロセス・モジュール及び RF ジェネレータ・モジュール（高周波,低周波各 1Set ）、バキュームポンプ・モジュールの 3 モジュールで構成されます。...※詳しくは外部リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社インターテック販売東京本社（拠点－関西営業所、熊本営業所）
小型ガス精製器用ジャケットヒーター

ピュアロン製小型ガス精製器を効率良くヒーティングするために専用で開発致…

【特徴】 ○４００℃までの高温に対応可能です。 ○各サイズに合わせて設計されていますのでジャストフィットします。 ○外装はポリエステルクロス製です。 ○発塵の心配がありません。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ピー・ジェイ
MOCVD排気濾過用フィルター　（AIXTRON装置用）中国産

MOCVD、フィルター、AIXTRON、LED、中国産、高温真空粉塵濾…

ＳＵＳ３０４のステンレース網を使用、専用工程によりプレス成形、純正品の螺旋熔接よりもっと構造強度が丈夫、耐圧力、耐高温性がアップ、更に外観もきれいになっています。特徴：１、 24折の折畳設計を採用、ろ過面積は１５％増加、耐汚染能力は強く、交換期は長くなります。２、専用アメリカ産ガラス繊維制濾過材使用、ろ過均一、換気性がよく、差圧が安定、ＭＯＣＶＤ装置にも優しい。３、機械構造...

メーカー・取り扱い企業：愛鋭精密科技（大連）有限公司（AIRY TECHNOLOGY CO., LTD.) 中国大連本社
ALD/MOCVD容器

50CCから60L容量までのALDやMOCVD用途、SUS製カスタマイ…

少量の評価用サンプルから量産用タイプまで設計から製造、洗浄や容器管理まで承ります。...

メーカー・取り扱い企業：黒岩ステンレス工業株式会社
高電圧リレー

高電圧リレー

キロバックの高電圧真空リレーは、その高真空技術により高電圧、大電流切替回路の超小型化を実現しました。また、スイッチングの高速化、高電圧接点の真空封入による安全設計を特長として、半導体製造装置のDC/RFスイッチングにも最適な製品です。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社コムクラフト
腐蝕性特殊ガス対策用ハステロイC-22ハウジング製

ハロゲン系反応性腐蝕性特殊ガスに対し、耐蝕性が非常に高く極めて優れた性…

【特徴】 ○濾過精度は0.003μｍです。 ○推奨流量は40〜200L/minです。 ○設計圧力は17MPa（2,465PSIG）at20℃です。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ピー・ジェイ
原子層堆積（ALD）デモ成膜/導入サポート

原子層堆積（ALD）プロセス装置の老舗、PICOSUNによるコンサルテ…

ALD成膜の研究開発は市場にも浸透しつつありますが、目的とする性能の膜をどのように作ればいいのか、お悩みになる方も多いのではないでしょうか。そこで設計段階でのお悩みの方には、材料選定やレシピ設定、評価方法についてアドバイスをいたします。 ALD法の開発最初期から現在までノウハウの蓄積があるPICOSUNだからこそご提案できるサービスで、技術...

メーカー・取り扱い企業： PICOSUN JAPAN株式会社
シャッター

ビューイングポートへの蒸着保護および光・ビームの遮断にご利用ください。

ビューイングポートへの蒸着保護および光・ビームの遮断にご利用ください。真空機器向けに設計したシャッターです。手動タイプと自動タイプ(エアー駆動)の2タイプを用意しています。...

メーカー・取り扱い企業：入江工研株式会社