インチサイズ | イプロスものづくり

PR「液晶」「LCDコントローラIC」でお困りのお客様、お気軽にご相談下さ…

◆必見◆ ・LCDコントローラICの入手でお困りのメーカー様・他社製LCDコントローラICの生産中止等でお困りのメーカー様・液晶の生産中止や仕様変更などでお悩みのメーカー様〇小ロット、長期生産のお客様向けの製品です。〇液晶の生産中止、LCDコントローラICのデバイスの生産中止に対して強力な解決案となっています。〇弊社製品は基本的に1pcsからご購入可能です。【S...

メーカー・取り扱い企業：有限会社ケニックシステム東京オフィス

4インチ対応ウェハーワックス貼付装置『TEC-1006ZR』

セラミックプレートへの多数枚ウェハー貼付作業を自動化に！

『TEC-1006ZR』は、4インチ対応のウェハーワックス貼付装置です。ウェハーの貼付平坦度の安定化を実現。多数枚ウェハーに対応できます。 2インチは最大10枚、3インチは最大5枚、4インチは最大3枚まで貼り付けが可能です。【特長】 ■ウェハーの貼付平坦度の安定化を実現（当社実績2.5um） ■多数枚ウェハーに対応可能 ■ヒーター、WAX塗布、プレス、冷却などの...

メーカー・取り扱い企業：株式会社くまさんメディクス MPSD事業部　大津第1工場

ICチップトレイ

サイズ豊富に金型をご用意！特注トレイも加工を承っております

『ICチップトレイ』は、半導体製造装置の消耗パーツやピックアップツールの開発・製造しているオルテコーポレーションの製品です。サイズ豊富に金型をご用意しています。既存形状では収まらない特殊形状の場合も要求サイズに設計して対応いたします。【特長】 ■サイズが豊富 ■材質：PS樹脂 ■常用耐熱温度：70℃～90℃ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合...

メーカー・取り扱い企業：有限会社オルテコーポレーション本社

高田工業所製超音波カッティング装置『CSX-400シリーズ』

SiC・LTCCなどの難切材からガラス・樹脂などの複合材など多様な材料…

『CSX-400シリーズ』はSiC、LTCC、ガラス、樹脂などの難切材・複合材をはじめとする広範囲な材料を高品質に切断し、ブレードライフの向上により高い生産性とコストパフォーマンスを実現した超音波カッティング装置です。 ■特長・超音波の効果により高品質・短時間での切断を実現！・操作性に優れたユーザーインターフェースにより、誰でも簡単に操作可能！・異ピッチカット、千鳥カットなど多彩...

メーカー・取り扱い企業： JFE商事エレクトロニクス株式会社プロセスソリューション営業部実装プロセス営業室

陽極接合装置

【仕様】・加熱したシリコン基板等とガラス基板に高電圧を印加して容易に接合可能・研究、開発に適したコンパクト&エコノミータイプ・アライメント部は小型設計の卓上型・試料サイズは標準で4インチ、オプションで最大6インチまで可能用途・各種センサー・マイクロマシン・生体材料・各種光学用途...【仕様】・加熱したシリコン基板等とガラス基板に高電圧を印加して容易に接合可能・研...

メーカー・取り扱い企業：アトーテック　株式会社

卓上ホットプレート 2モデル＜250℃仕様/350℃仕様＞

コンパクトでありながら、高性能。幅広いプロセスに対応。

ホットプレートの性能は、フォトリソグラフィープロセスの精度を決める重要なファクターです。特に、膜厚・線幅・膜質の高い均一性が要求される先端プロセスや、温度依存性の高い材料でのプロセス開発においては、ホットプレートの性能が、プロセスパフォーマンスを見極める大きな要因となります。タイマー制御のピンアップ機構により、正確な時間管理を実現。ウェーハ間の均一な熱処理を可能にしまし...

メーカー・取り扱い企業：株式会社 SCREEN SPEサービス

研究開発向け枚葉式レジスト剥離・リフトオフ装置『高田工業所製』

昇温した有機薬液による化学反応と高圧ジェットの物理的アシスト利用した剥…

通常ストレートノズルと、高圧ジェットノズルを併用した研究開発向けメタルリフトオフ処理装置。コンパクトなTWPmから、搬送ユニットを省いてさらに小型化とコストメリットを追求したモデル。レジスト剥離・リフトオフ、リンス、乾燥までをひとつのチャンバーで行う、1チャンバー完結タイプはハイスループットだけでなく、省フットプリント化にも貢献致します。また、使用した薬液を分離回収し再利用することも可能で...

メーカー・取り扱い企業：日精株式会社本社

耐熱トレー、耐熱温度700℃～800℃のICチップトレイ

SUS（ステンレス）製で作ることが出来る、耐熱ICチップトレイを提供で…

「サイズ」豊富なサイズを取り揃えています。既存形状では収まらない、特殊形状の耐熱トレーも設計します。 2インチ/4インチのチップトレイは既存品のラインナップを豊富に取り揃えています。...トレーについては一般的に900℃を超えて使われることはないため、耐熱性が700～800℃程度のトレーでも対応できます。最低でも500℃前後は保障されていますので、一般的な利用範囲内でしたら安心で...

メーカー・取り扱い企業：有限会社オルテコーポレーション本社

フィルム貼付装置｜セミオートマウンター FM-664シリーズ

プリカットテープとノーマルテープ両方に対応できる装置

【FM-664シリーズ】は、プリカットテープとノーマルテープ両方に対応できる装置として開発されました。ウェハーサイズは、下記２タイプを用意 ■FM-6648：8インチまで ■FM-6643：12インチまでシリコンウェハ、ダイシングフレームに各種テープを気泡なしで瞬時に貼りつけることができる装置。プリカットテープとノーマルテープ両方に対応できる装置として開発。プリカットテープ専用...

メーカー・取り扱い企業：株式会社テクノビジョン本社

レーザー直接描画装置『DWL 66＋』

研究開発向け高性能レーザーリソグラフィ装置

『DWL 66＋』は、研究開発用途および小ロット生産やマスク作成やマスクレス露光に適した、高解像度のレーザー直接描画装置です。マイクロストラクチャの製作と分析に必要な機能を、標準システムとして装備。処理能力が高く、また、対応範囲も広いため、MEMSやマイクロ光学などマイクロストラクチャ製作が必要なアプリケーションの研究開発に貢献します。【特長】 ■マスクレス露光や...

メーカー・取り扱い企業：ハイデルベルグ・インストルメンツ株式会社

両面同時露光マスクアライナー『BS425』『BS620』

ウェハ表裏同時露光！セミオート動作で中ロット生産に対応

両面同時露光マスクアライナー『BS425』『BS620』は、研究開発から小中ロット製造用として多くの出荷実績がある両面同時露光式マスクアライナーです。一次露光は両面同時、二次露光以降は片面づつ露光する方法を採用するため、シンプルで応用が利き、ニーズに合わせたカスタマイズも承ります。二次露光以降は片面露光となるので別途「試料台」が必要です。お気軽にお問い合わせください。【...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ナノテック

自動スピン洗浄装置

クリーンユニット搭載の自動スピン洗浄装置

オプション内容を選んで頂くクリーンユニット搭載のカセット式自動装置(写真はスクラブ洗浄+UV洗浄＋ホットプレート) =============================================== ＜仕　様＞ワークサイズ…Φ2インチ〜Φ8インチ搬送…大気3軸クリーンロボットクリーンユニット…ＨＥＰＡフィルター洗浄…ブラシ、MS標準装備オプション…高圧ジェットノ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社トービ

卓上式マニュアルスピンナー

シンプルデザインの卓上式マニュアルスピンナー

◆シンプルデザイン、コストパフォーマンス ======================================== ＜仕　様＞試料サイズ…Φ2インチ〜 Φ6インチカップ径…Φ300mm 回転範囲…100〜5000rpm 回転精度…±1rpm スピンドルモータ…ACサーボモーター回転表示…デジタル回転数設定…液晶タッチパネルレシピ設定…10プログラム×50パタ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社トービ

UV(紫外線)フィルム硬化装置｜LED光源仕様「UVC-708」

波長365nmのUV-LEDを使用、常温照射、低ランニングコストです！

『UVC-708』は、波長365nmのUV-LEDを使用した、コンパクトな LED光源UVフィルム硬化装置です。 UV-LEDの特長である常温照射、低ランニングコストはそのままに、 8インチウェハに対して全面照射を可能としました。【特長】 ■365nmのUV-LEDを使用し、常温照射、低ランニングコスト ■小型、テーブルトップサイズ ■簡単ボタン操作 ■LEDユニット...

メーカー・取り扱い企業：株式会社テクノビジョン本社

半導体PKG試作マニュアルモールド装置　Fusion-MEP30

減圧成形にも対応！既存金型部品を流用した設計により加工時期を短縮

『Fusion-MEP30』は、試作/実験に特化したモールド装置です。トランスファー低圧制御により細かな設定が可能。対話型の条件設定画面を設置し、10インチタッチパネルでユーザー視点の簡単操作ができます。オプションで、減圧成型仕様の対応が可能です。ご用命の際は、当社へお気軽にお問い合わせください。【特長】 ■プランジャクリーニング、ワンタッチ操作 ■ショート...

メーカー・取り扱い企業：ローム・メカテック株式会社

多目的処理装置（スピンエッチャー）

温度管理、廃液選択機能が搭載！多目的処理装置

温度管理、廃液選択と様々な機能を付加可能(写真はテフロン+PVCボディー) =============================================== ＜仕　様＞ワークサイズ…Φ2インチ〜Φ8インチエッチング液…酸、アルカリタイプオプション…廃液選択２〜４液、薬液用ノズル等電源…AC100v or 200v CDA…0.5MPA.以上 DIW.…0.2M...

メーカー・取り扱い企業：株式会社トービ

手動スピン洗浄装置

シンプルデザインの手動スピン洗浄装置

シンプルデザインの多目的応用手動装置 ==================================== ＜仕　様＞ワークサイズ…Φ2インチ〜Φ6インチ洗　浄…ディスクブラシ、1.1MS標準装備オプション…高圧ジェットノズル、薬液ノズル等電源…AC100v or 200v CDA.…0.5MPA.以上純水…0.2MPA.以上その他恒温水槽内 ...シンプル...

メーカー・取り扱い企業：株式会社トービ

オート式露光装置

190WPHの高スループットを実現したマスクアライナ

2インチのウエハサイズに対応する､全自動式露光装置です｡従来のウエハ搬送方式で用いられる多間接ロボットに代わり､自社開発の搬送ロボットを3台配置させたことで､毎時190枚(2インチウエハ)を処理する高いスループットを実現しました｡特に､新開発のアライメント画像処理には､任意座標指定のサーチおよび､インテリジェントθサーチとの複合サーチを行うオートアライメントを採用しました｡また､安定した視...

メーカー・取り扱い企業：ウシオライティング株式会社

12インチ対応ウェハーワックス貼付装置『TEC-1001MB』

化合物半導体ウェハーなど、様々なワークに対応可能です！

『TEC-1001MB』は、高品質な研削・研磨工程を実現するウェハーワックス貼り付け専用の装置です。ウェハーの特性に合わせ、圧力や温度、時間の条件設定が可能で、デバイスへのダメージも抑制できます。加熱・冷却機構の適正化と高剛性な機構設計により、均一な温度分布や安定した荷重分布を実現し、精度悪化に影響するワックス厚みムラの発生を防ぎます。【特長】 ■ウェハーの特...

メーカー・取り扱い企業：株式会社くまさんメディクス MPSD事業部　大津第1工場

多目的処理装置（スピンプロセッサー）

洗浄、現像、エッチング等カスタマイズ可能な、低価格多目的処理装置

研究・開発に最適なコンパクトサイズの卓上型多目的処理装置です。【特長】・エッチング、洗浄、現像、剥離、乾燥など用途に合わせてカスタマイズ可能。・ＰＶＣボディー素材で酸、溶剤に対応。・卓上型なので場所を取らず、低価格にてご提供可能。【仕様】ワークサイズ：Φ8インチ、もしくは200×200までクリーンユニット：ＨＥＰＡフィルター洗浄方式：スピン洗浄＋ブラシ又...

メーカー・取り扱い企業：株式会社トービ

スピンドライヤー　SFシリーズ

【デモ機貸し出し可能！】シリコン又は化合物半導体ウエハーの少量処理用。…

SFシリーズは、シリコン又は化合物半導体ウエハーの少量処理用として、コンパクトな卓上型の乾燥用に広く使用されています。操作は極めて簡単で、ウエハーを回転盤上にセット後、上蓋を降ろし、スタートボタンを押すだけで、安全なスピンドライ仕上げを行います。詳しくはお問い合わせ下さい。...【特徴】 ○シリコン又は化合物半導体ウエハーの少量処理用 ○コンパクトな卓上型の乾燥用 ○操作は極めて簡単...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社

大型機・自立型スピンコーター

大型基板にも対応！研究、実験用にも適したアクティブの自立型スピンコータ…

アクティブのスピンコーターは大型基板にも対応可能です。対応基板サイズ（カップ径）が大きくなると装置サイズも大きく重くなります。卓上にのせると作業高さが使いにくくなるのもあり、自立型として製作しております。自立型はアジャスターを縮めることでキャスターが接地するので移動も楽です。対応基板サイズ（カップ径）の小さい卓上型スピンコーター同様、インターロックセンサー付き安全カバー、基板吸着圧...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アクティブ

IPA蒸気乾燥装置

IPAの蒸気によって水分を置換し被対象物を乾燥、4～8インチウェハ用、…

IPA蒸気を使用したウェハ乾燥装置です。スタンドアローン型・洗浄機組込型をラインナップしています。【特徴】　・4インチ～8インチウェハ用IPA蒸気乾燥装置　・ウォーターマークフリー　・各種洗浄機に組み込み・ドッキング可能　・微細パターンへ対応可能　・高スループット対応 ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧下さい。...IPA蒸気を使用し...

メーカー・取り扱い企業：株式会社渡辺商行

高精度セミオートFCボンダ『CB-700（アスリートFA製）』

幅広いユーザーニーズに応えるセミオートFCB（フリップチップボンダ）

『CB-700（アスリートFA製）』は、R&D向けのオールインワンFCボンダです。インターフェースには進化した対話型MMIFを採用し操作性が向上。高精度搭載（±0.5μm[3σ]）及び広荷重域（0.05～1000N）を基軸に、様々なアプリケーションに対応し、R&Dのニーズに幅広くお応えします。【特長】 ■極低荷重対応、高精度ボンディング ■高精度Z軸制御を生かしたツ...

メーカー・取り扱い企業：日精株式会社本社

高田工業所社製試作用枚葉式ウェット処理装置『TWPmシリーズ』

リフトオフ・レジスト剥離プロセスによるウエハー表面処理を行う試作研究用…

試作研究用『TWPmシリーズ』は以下の特長を備えた装置になります。 ■特長・高い剥離性能をもつ独自のジェットリフトオフ機構・多品種少量・生産量の変動への対応に向けた、フレキシビリテイの向上とランニングコストの削減・枚葉化による品質・歩留り向上（クロスコンタミの無い精密処理の実現と面内の均一性・制御性の向上）・高い剥離性をもつ独自のジェットリフトオフ機構 ...

メーカー・取り扱い企業： JFE商事エレクトロニクス株式会社プロセスソリューション営業部実装プロセス営業室

4軸同時駆動スピンコーター『ACT-220AII-4axis』

生産性UP！　4軸同時駆動の卓上型スピンコート機ACT-220AII-…

4軸同時駆動の卓上型スピンコート機『ACT-220AII-4axis』のご紹介です。 2軸、3軸、4軸同時処理（起動）が可能で、枚様式でありながら4枚同時にスピンコートできます。処理する基板が小型（丸基板の場合はφ100、四角基板の場合は□70mmまで）の場合は是非ご検討下さい。 1分間の回転数を0～6000の範囲で設定でき、その精度は±1rpm以下ととても良いです。1ステップ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アクティブ

高田工業所社製ダイシングフレーム洗浄装置『TFCシリーズ』

ダイシングフレームに付着したテープ糊痕や指紋等を高い洗浄能力を持つ独自…

『TFCシリーズ』は、ウエハー切断（ダイシング）工程で使用されるダイシングフレームに付着した、テープ糊や手脂などをジェットを使用し除去します。ブラシ等の接触物がない為、糊等の2次付着による洗浄性の劣化がありません。 ■特長・高い洗浄性能をもつ独自のジェットノズルを採用した非接触方式洗浄機構 →ブラシ洗浄及びウエス等の布を使用しないので、目づまりによる洗浄力低下、及び再付着があり...

メーカー・取り扱い企業： JFE商事エレクトロニクス株式会社プロセスソリューション営業部実装プロセス営業室

12インチ(300mm)ウエハ対応　LED　UV照射器

卓上で使えるコンパクトなLED硬化装置。照射が可能で、手ごろな価格も魅…

本製品は、紫外線照射装置です。小型でリーズナブルながら、費用対"硬化"（=効果）をとことん追求しています。半導体、樹脂材料、フィルム、接着剤などの研究開発等、さまざまな分野でご利用いただいています。また、蛍光灯タイプ（※本製品は、LED照明）もご用意しております！【特長】 ■ランプの方向を変えることでUV照射が可能 ■小型かつ軽量 ■ランプの寿命は20,000時間をクリア ...

メーカー・取り扱い企業：日精株式会社本社

外観検査装置　Prestige V

８インチWafer専用に開発したPrestige IIのコストダウンモ…

PRESTIGE Vは既存PRESTIGE IIの廉価版製品。装置のサイズを50%ダウンし、省スペース化しました。カメラアングルは評価段階で設定し、工場出荷時に固定し、ウェハサイズに制限はあるものの検査機能はPRESTIGE IIを継承した廉価版製品になります。 ...● 高解像度仕様7μm、高スループット仕様38μmの画素分解能を用意、幅広い検査に対応 ● 照明にRGB 3色LEDを採用...

メーカー・取り扱い企業： CCTECH Japan CCTECH Japan（株）- 　日本法人

ダブルフェルール継手(くいこみ継手）『LET-LOKシリーズ』

品質を落とさないでコスト削減を実現。ステンレス316製ダブルフェルール…

倒的シェアを持っているS社継手との互換性をドイツTUVにて確認ずみ。既存の資産を活かしながらコストダウン可能・材質：ステンレス鋼316、真鍮、モネル400、ハステロイ C-276に対応・インチサイズ：1/16インチ〜1・1/2インチ、　ミリサイズ：2ｍｍ〜25ｍｍと幅広い製品を多数ご用意しております・クロマトグラフ用継手もご用意しております・37° フレア継手の変換アダプタも...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ハムレット・モトヤマ・ジャパン

簡易型マスク洗浄装置｜簡易洗浄ユニット

簡易洗浄ユニットは、最大7インチマスクサイズまで対応できる簡易洗浄ユニ…

お客様のご使用環境から必要なユニットをチョイスしマスク洗浄を行えます。 ■主な特長・7インチまでのマスク洗浄に使用できます・研究開発用途や少量のマスク洗浄に最適・既存の装置と併用し必要なユニットを選択・設備投資で予算が厳しい場合にもおすすめ ※カスタム対応等、詳細はお気軽にお問い合わせください。 ...各ユニットは『ケミカルユニット』『スクラブユニット』『...

メーカー・取り扱い企業：株式会社テクノビジョン本社

パネルマウント用継手「パネルタッチ・トップタッチ」

パネル面に穴を空け、ビス留めするだけで簡単に取付けができるパネルマウン…

ねじ込み継手などの配管部品をパネルに取り付けることが出来るフランジ付きソケットです。溶接不要で配管したいパネルに穴を開けるだけで取り付けが可能。ボルトによる取り付ける構造のため取り付けや取り外しが簡単でメンテナンスもスムーズに行えます。サイズ（インチ）：1/4, 3/8, 1/2, 1 ...ねじ込み継手などの配管部品をパネルに取り付けることが出来るフランジ付きソケットです。溶接不...

メーカー・取り扱い企業：株式会社リガルジョイント

自立型スピンコーター（スピンコート機）『ACT-700AII』

□360mm、20インチ基板まで対応の自立型スピンコート機ACT-70…

アクティブの『自立型スピンコーターACT-700AII』はφ500mm基板まで対応する汎用性の高い手動滴下用の装置です。 1分間の回転数を0～3000の範囲で設定でき、その精度は±2rpm以下ととても良いです。1ステップの動作に「回転数」「加減速時間」「キープ時間」を同時に設定することができ、10ステップ100パターンのプログラム（事前連絡で、20ステップ50パターン、50ステップ20パター...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アクティブ

ダイシングリング洗浄装置『株式会社高田工業所製』

ジェット洗浄タイプ（非接触式）と、スクラブ洗浄タイプ（接触式）の2種類…

今まで手作業での洗浄や、業者へ洗浄を依頼していたりとランニングコストや作業面でお困りではありませんか？本装置はダイシングフレームを自動搬送で洗浄処理致します。　・ジェット洗浄タイプ（ランニングコスト低減に特化したタイプ）　・スクラブ洗浄タイプ（洗浄力に特化したタイプ）上記の2種類をラインナップしております。お客様でご使用のフレーム汚れに合った仕様を選んで頂くことで品質や、コスト...

メーカー・取り扱い企業：日精株式会社本社

ポーラスシリコン形成装置（陽極酸化装置）

従来の陽極酸化装置をさらに応用したポーラスシリコン形成装置。使用薬液・…

陽極酸化装置は従来、電流を流し酸化膜を形成させる装置でしたが、さらに応用したポーラスシリコン形成装置は使用薬液・電流密度を変えることで多孔質シリコンを形成する装置です。 ※詳しくはPDF（カタログ）をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。...【特長】 ■多孔質シリコンを全自動にて形成します。 ■裏面保護用治具を使用しない為カセットto カセットを可能にしました。 ■N...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ダルトン

ウエハ搬送機Inline対応

ご希望の測定機、検査機を搭載可能です。

ウエハ受けステージからウエハを取出し、測定ユニットまで自動搬送を行います。測定終了後は、ウエハを指定されたアンロードカセットに収納可能です。お客様ご希望の測定機、検査機に対応します。【特徴】　■ご希望の測定機、検査機を搭載可能　■8インチ・12インチウエハに対応　■測定条件、測定結果を上位転送可能...【参考仕様】　■ウエハサイズ：8インチ、12インチ　■構成要素 ...

メーカー・取り扱い企業：レイリサーチ株式会社

高田工業所製超音波カッティング装置『CSX501』

全自動&装置機能UP&遠隔監視機能を搭載！ダイシング工程の生産性向上に…

『CSX501』は高速切断を実現可能とする両端支持機構を備えた超音波スピンドルを搭載し、生産性向上や新たな機能を追加した超音波カッティング装置です。装置監視機能を追加し、不測のトラブルが発生した際も遠隔サポートにて最小限の装置停止時間での復旧が可能となりました。 ■特長・SiC、アルミナ、PZTなどの難切材からガラス、樹脂などの複合材など広範囲な材料の高速で高品質な切断を実現！ ...

メーカー・取り扱い企業： JFE商事エレクトロニクス株式会社プロセスソリューション営業部実装プロセス営業室

固体ソースECRプラズマ成膜装置『AFTEX-9000シリーズ』

低温プロセス　高屈折率制御　高速反応性成膜　緻密・平坦膜

『AFTEX-9000シリーズ』は、低温・低ダメージで高品質なナノ薄膜形成を実現可能な装置です。基板サイズ8インチ対応、ECRプラズマ源を3基まで搭載可能で、これらを同時に稼動することにより生産性を大幅に向上することができます。ナノ薄膜形成には是非当社製の装置をお使い下さい。【特長】 ■8インチ対応のECR成膜モジュールを最大３基接続可能な　本格的マルチチャン...

メーカー・取り扱い企業： JSWアフティ株式会社

積層薄膜作製装置

多層塗りによる厚膜の作製！スピンコータに液だれ防止が工夫されている装置

『積層薄膜作製装置』は、化学溶液法による積層薄膜作製プロセスである、スピンコーティング、乾燥、焼成、冷却の各工程の繰り返しをロボットを用いて行い、多層塗りによる厚膜の作製を自動で行う装置です。コンピュータコントロールによるプログラム設定により、スピンコーティング、乾燥、焼成、冷却の各工程の詳細な条件設定並びに、工程の省略、工程フローの変更、工程の保存が任意に出来るプログラム...

メーカー・取り扱い企業：株式会社和泉テック

EFEM（Equipment Front End Module）

本装置は、2ステーションFOUP/FOSB対応EFEM（Equipment Front End Module）です。ウエハサイズは、200/300mm（8/12インチ）に対応しています。スループット：　150wph OCR / 450wph transfer（プロセス除く）...本装置は、2ステーションFOUP/FOSB対応EFEM（Equipment Front End Module）で...

メーカー・取り扱い企業：株式会社リバティー

FOUP/FOSB対応ウエハ移載機（300mmウエハ対応移載機）

本装置は、2ステーションFOUP/FOSB対応ウエハソーター（移載機）です。ウエハサイズは、200/300mm（8/12インチ）に対応しています。スループット：　350wph OCR / 850wph transfer...本装置は、2ステーションFOUP/FOSB対応ウエハソーター（移載機）です。ウエハサイズは、200/300mm（8/12インチ）に対応しています。スループット：...

メーカー・取り扱い企業：株式会社リバティー

ウエハーリングカセット　設計・加工・製造サービス

切削・押出し加工のウエハーリングカセット！

当社では、アルミ製『ウエハーリングカセット』の設計・加工・製造を行っております。 12インチ、8インチ、6インチ。各サイズでの製品がございます。面取り加工（入口テーパー加工）、各種ストッパー加工、各種表面処理まで全て承ります。材質や処理、加工でお困りの事があればご連絡下さい。また、ウエハーリングフレームの製作も行っております。 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ファーストメタル

SMIF対応ウエハソーター（SMIF対応ウエハ移載機）

本装置は、SMIF対応3ステーション対応ウエハソーター（移載機）です。ウエハサイズは、200mm（8インチ）以下に対応しています。スループット：　300wph OCR / 750wph transfer...本装置は、SMIF対応3ステーション対応ウエハソーター（移載機）です。ウエハサイズは、200mm（8インチ）以下に対応しています。スループット：　300wph OCR / 75...

メーカー・取り扱い企業：株式会社リバティー

ウエハ移載機（ウエハソーター）

本装置は、2ステーションオープンカセット対応ウエハソーター（移載機）です。ウエハサイズは、200mm（8インチ）以下に対応しています。スループット：　350wph OCR / 850wph transfer...本装置は、2ステーションオープンカセット対応ウエハソーター（移載機）です。ウエハサイズは、200mm（8インチ）以下に対応しています。スループット：　350wph OCR ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社リバティー

ウェハソーター

正確に、素早くソーティング。キャリアに挿入されたウエハを自動で取り出し…

当製品は、ローダーキャリアからウエハを取り出し、シリコンウエハに印字された文字を読み取り、オリフラ位置の位置合わせを行ったうえでアンローダーキャリアへ戻す、自動ソーティング装置です。設計から製造・販売まで自社で行っているので、低価格を実現しました！【特長】 ■低価格を実現 ■2～8インチまで対応可能 ■フットプリントの低減（省スペース化） ※詳しくは、お...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

フラットパネル露光装置＜超大型縦型露光＞

大型パネルのマスクの撓みを大幅に削減！！

<特徴> 大型パネルのマスクの撓みを最小限に抑えたマスク縦型の露光装置です。多面取、大型パネルをXステップで露光。高い継ぎ精度で露光します。マスクとパネルの精密温度制御を行い、トータルピッチを抑えた装置になっています。 ...<仕様> 適用サイズ：150インチ対応Xステップ露光：50インチ12面Xステップ：42インチ8面1括方式：マスク縦型 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社清和光学製作所

バッチ式洗浄装置

クリーン化技術・搬送／制御技術を駆使し、各種薬液に対応したバッチ式洗…

長年の経験に裏打ちされた、クリーン化技術・搬送／制御技術等を駆使し、トータルエンジニアリング力で、お客様に最適な装置を設計・製作して参ります。 3D CADをはじめ、各種エンジニアリングツールにより、省スペースで使い勝手の良い装置をお届いたします。 ...装　置　仕　様【洗浄対象】～12 インチカセット（※対象サイズはご相談ください）【槽構成】ローダー（水中も可）→処理槽（...

メーカー・取り扱い企業：日精株式会社本社

セラミックス製ウエハー搬送ハンド PeriZac（ペリザック）

パーティクル発生リスクを極限に抑えた、大気用セラミックス製搬送ハンドの…

半導体製造装置におけるエンドエフェクター（搬送ロボットの手の部分）には、より軽く、強く、たわみの少ない材料を要望頂くことが多くあります。一度に多くのウエハを処理したいプロセスには、クリアランスの小さいスリットにウエハを積載する必要があり、より薄いセラミックス製のエンドエフェクターが使用されます。吸着機構を備えた搬送ハンド（エンドエフェクターのこと）には内部に流路を設ける必要がありますが、接着剤を使...

メーカー・取り扱い企業：アスザック株式会社ファインセラミックス事業部

φ300mm（12インチ）ウェハー用全自動両面露光装置

各工程インテグレードで効率生産！！！

<特徴> MLCSP、Ｃ-MOSno裏面配線用両面アライメント露光装置です。エンバイロメント（Foup）を装備し、GEM300、OHTも対応スピンコーター、デベロッパーもインテクレード可能、レジストコートから露光、現像まで全自動でパターニングが可能（オプション）レチクル自動交換（オプション） ...ワークサイズ：φ200、300mm 露光方式　　：バキュームコ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社清和光学製作所

架台　鈑金　機械加工　溶接　塗装

今回は鈑金製品加工について紹介します。機械加工・溶接・塗装工程が必…

【架台　鈑金　機械加工　溶接　塗装】業　　　　界　　　半導体仕　　　　様　　　素材：　SS400 　　　　　　　　ロット：　20 　　　　　　　　　　精度：　1/10 使用用途　工場内用備品（運搬用台車）使用機械　レーザー加工機・フライス製品サイズ　800ｍｍ ...相手部品の製作も一括（10種類）で請け負いました。製作前にイ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社中村製作所

紫外ウエハースクライビング装置『ULTRA SCRIBER』

高速加工による高効率！LD励起固体UVレーザー搭載のレーザーシステム

紫外ウエハースクライビング装置『ULTRA SCRIBER』は、LD励起固体UVレーザーを搭載しており、主にウエハの精密微細スクライビング加工に適用しています。 X-Y-Z-θの4軸プラットフォームシステムを搭載、X-Yステージは120mmストローク、 0.1μmの解像度を持っています。【特長】 ■特別なV型切り口 ■高速加工による高効率 ■4インチに対応（拡張可） ■...

メーカー・取り扱い企業：株式会社デルファイレーザージャパン

小型ウエハー自動露光装置

LED/水晶デバイスに最適な、全自動露光装置です！

<特徴> LED/水晶デバイスに最適な、全自動露光装置です。生産性を重視した高剛性設計、ベースと支柱に石定盤を採用。ダブルハンドロボットにて、高スループットアクセスランダム制御。　オリフラアライナーも装備 ...ワークサイズ： φ2.4インチ（6インチ対応もラインナップ）露光方式：バキュームコンタクト、ハードコンタクト、プロキシミティランプハウ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社清和光学製作所

インライン式周波数調整装置「SFE-X2012」

コンパクト設計・高精度・低価格・高安定・高再現性

インライン式周波数調整装置「SFE-X2012」は、処理室と取出室を別にし、イオンソースもＨ／Ｌを各々搭載したことで、アイドルタイムの少ない効率的な動作が可能になりました。ＳＦＥ‐Ｂ０３に搭載したＩＧＦ－２０１型１００ｍｍビームのイオンソースを２基搭載しています。イオンソース１台あたり最大２４個、計４８個同時処理が可能です。ＳＦＥ－Ｂ０３で実績のある高精度・高安定・高再現性の搬送機...

メーカー・取り扱い企業：株式会社昭和真空

リワークシステムＲＤ-５００Ｖ　デンオン機器

リワーク訪問デモ★アンダーフィル付SMT部品も設定対応可能︕オールイン…

リワークシステムならデンオン機器へ『RD-500V』は、あらゆるSMT部品を1台でカバーできる多彩な機能と自由度の高いプロファイリング機能を備えたリワークシステムです。高度なリワークも個別設定で柔軟に対応。デバイスに合わせてワンクリック設定もできます。　　★現在、無料で訪問デモンストレーションを実施中です！★ 　　ご希望の方は下記よりお申し込みください。全国各地で対応可能...

メーカー・取り扱い企業：デンオン機器株式会社

高純度ライン用面シール継手／溶接継手『HTCシリーズ』

半導体製造装置等真空機器の要求する高純度・超高純度用に特別に製造された…

ハムレットHTCシリーズは、SEMIスタンダードに準拠した素材、品質管理の高純度ライン用の面シール／溶接継手です。下記ラインナップでお客様の要求にお応えします。 ■グランド（スリーブ） ■ミニタイプ溶接継手 ■エルボ/ティ/クロス形状コネクタ ■ロングタイプ溶接継手 ■ストレート形状コネクタ ■キャップ/ナット/プラグ ■スイベル式溶接アセンブリ ■ガスケット ■ハイフロー仕...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ハムレット・モトヤマ・ジャパン

ECRプラズマ成膜装置『AFTEX-6000シリーズ』

複数材料の多層膜が成膜可能！高品質・高結晶性の薄膜形成ができる成膜装置…

『AFTEX-6000シリーズ』は、低圧で高密度のECRプラズマ流と、スパッタ粒子を直接反応させることにより、低温・低ダメージで高品質の薄膜を形成します。 ECRプラズマ源2基を搭載し、全自動搬送・成膜ができ、多層膜形成に最適。【特長】 ■広範囲な膜種による多層成膜 ■高屈折率制御が可能 ■高速で成膜が可能 ■低温・低ダメージで高品質、高結晶性 ■基板および成長面のクリ...

メーカー・取り扱い企業： JSWアフティ株式会社

超精密洗浄機　QUAVA（クオーバ）

半導体、HDD、FPDなどの超精密洗浄に完全対応

4種類の特殊発振モ−ド選択により従来以上の高精度を実現した、超精密洗浄機...【特徴】 ○0.1Wパワー設定可能。高電力安定性実現　ダメージレス洗浄のコントロールが容易に ○ミックス＆マッチ機能で組み合わせ調整不要 ○振動子を交換するだけで、違う周波数で作動できる ○用力はフリー電源方式方式のため工場の電源電圧に左右されない ○サイズは19インチラックに収納できる　規格化された...

メーカー・取り扱い企業：株式会社カイジョー ODM事業部

固体ソースECRプラズマ成膜装置『AFTEX-2300』

低温で高い結晶性薄膜を得ることが可能！価格を抑えたプラズマ成膜装置

『AFTEX-2300』は低価格ながらマイクロ波分岐結合型ECRイオン源を搭載するとともに、ロードロック機構、ターボ分子ポンプを装備した高性能な固体ソースECRプラズマ成膜装置です。 10-30eVの低エネルギーに制御された高密度イオンの照射下で薄膜が成長するため、原子レベルの平滑性で緻密・高品質な薄膜が形成されます。イオンアシスト効果により、高温の加熱を行うことなく...

メーカー・取り扱い企業： JSWアフティ株式会社

ブルー半導体レーザ『LDMblue/LDFblueシリーズ』

高反射材料の加工に好適！非常にスムーズで堅牢かつスパッタの無い溶接プロ…

『LDMblue/LDFblueシリーズ』は、様々な方法で銅・金及びそれらの合金への加工プロセスに革命をもたらす高出力ブルー半導体レーザです。吸収率が数倍以上となる為、投入強度を大幅に下げ、且つ大きなスポットサイズでのレーザ加工が可能。また新製品の「LDFblueシリーズ」は、「LDMblueシリーズ」で実証された多くの利点をさらに活かし、445nmでCW出力3000W...

メーカー・取り扱い企業：レーザーライン株式会社

SSY-10010プロトスワーク自動移載システム

プロトスケース内の薄物ウェーハを安全、確実に搬送することを実現しました…

プロトス、カセット間をダメージなく自動移載ベルヌーイチャックを搭載し、薄物ウェーハにも対応ウェーハとプロトススペーサを自動識別ワークの高さも自動認識複数カセット及び各インチサイズにもカスタマイズ対応...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

低価格Ｗｅｔ処理装置

○2インチ等小口径にも対応○　1枚あたり0.5リッタの純水で洗浄可能！

～高性能はいいな。でも、手が届かないと思っている方へ～ＭＴＫのＷｅｔ処理装置は、わずかな隙間でも設置できるコンパクト設計でありながら、わずかな薬液・純水で洗浄できる高性能な洗浄装置です。【特徴】・パーティクル数が極めて少ない（ウエハ表面上）・純水・薬液の使用量が少ない ※純水…0.5 リッタ（１枚当り）、薬液…20 リッタ（１日当り）・コンパクトな装置サイズ ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ＭＴＫ