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65件 - メーカー・取り扱い企業
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2件 - カタログ
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半自動リフトオフ装置（セミオートリフトオフ機）Lift-off
自動機よりも安く、マニュアル装置より使いやすいセミオートタイプのリフト…
ウェハ（基板）をセットするだけで自動で搬送・リフトオフ・リンスを行う装置です。 リフトオフはASAP特殊ノズルによる高圧ジェットによりバリも除去し、メタル剥離を行います。 カセット（キャリア）でセットをすることはできませんが、マニュアル...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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研究開発向け枚葉式レジスト剥離・リフトオフ装置『高田工業所製』
昇温した有機薬液による化学反応と高圧ジェットの物理的アシスト利用した剥…
通常ストレートノズルと、高圧ジェットノズルを併用した研究開発向けメタルリフトオフ処理装置。 コンパクトなTWPmから、搬送ユニットを省いてさらに小型化とコストメリットを追求したモデル。 レジスト剥離・リフトオフ、リンス、乾燥までをひとつのチャンバーで行う、1チャンバー完...
メーカー・取り扱い企業： 日精株式会社 本社
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【複数サイズのウエハを段取り替えなしで処理！】複数サイズ兼用装置はダウ…
えがなく、生産性UP！ 製品の種類によってインチサイズが違う、将来的に大きいサイズのウエハを処理したいというご要望が大変多いです。 そこで、段取り替えをしないで複数サイズ処理が可能なリフトオフ装置をご提供します。 【複数サイズ兼用の例】 「2・3」、「2・4」、「3・4」、「4・6」、「6・8」インチ 【薄型ウェハにも対応！】 高圧ジェットはウェハ（基板）が薄いと割れ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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短時間剥離！手動リフトオフ装置（マニュアル機）Lift-off
短時間剥離！当社独自の特殊ノズルによる高圧ジェットで、枚葉による高速処…
研究開発用途で活躍するマニュアルリフトオフ装置をご紹介します！ アセトンや専用剥離液で一晩浸漬した後に超音波やスプレーでリフトオフをするような長時間工程を短くできます。 当社独自の特殊ノズルを使用した高圧ジェットにより、枚葉...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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有機剥離にもご使用可能！サイクロンや複合金網でフィルター負荷の大幅低減…
当装置は、リフトオフ処理時に発生する多量の剥離メタルゴミの 再付着汚染等の各種問題点に対応したリフトオフ専用の枚葉処理装置です。 剥離Dip槽ではダウンフロー/QDR/噴流/シャワー/側面US/揺動、 洗...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ソフエンジニアリング
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枚葉式・バッチ式のラインナップから、各工程及び仕様を選択し装置をカスタ…
ダルトンのリフトオフ装置は６種のラインナップと６種類のオプションを有し、用途やウエハーの性質に合わせて使用をご選定頂けます。 【ラインナップ】 ・HU型（量産向け）…バッチ、枚葉の併用仕様。より早く、確実な...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン
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フットプリント・購入コストの大幅低減とスループットUp・基板品質大幅向…
■エッチング、RCA洗浄、現像といった各種WETプロセスに好適 ■超音波を使わない有機剥離/リフトオフ処理に好適 ◎高圧Jetやスプレー処理に対応 ◎リフトオフ時のDry-Etch残差やバリ除去に有効な超音波使用時には、 「Spin Dipプロセッサー」をリコメンド。 ■1-チャン...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ソフエンジニアリング
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《新型》SpinDipプロセッサー リフトオフ・有機剥離・バリ取
ウルトラソニック超音波をスピン枚葉装置に搭載実用化！
■リフトオフ・有機剥離プロセスで豊富な導入実績 ■種々の基板状態に応じたプロセスマージンの広いシステムを構築可能 ■多種の剥離/リフトオフツールの同時搭載可能 基板状態（品種/工程等）で、ツールの選択/併...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ソフエンジニアリング
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金リフトオフ工程で95％以上の回収率でコスト低減！LED用の洗浄装置
『BEUGA（ビューガ）』は、金リフトオフ、レジスト剥離ができる、 多連式超音速ノズル搭載の蒸気2流体洗浄装置です。 高価な薬液を必要としないため、コスト低減に繋がるほか、 金リフトオフ工程では95％以上の金回収率が可能です。...
メーカー・取り扱い企業： HUGパワー株式会社
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高田工業所社製試作用枚葉式ウェット処理装置『TWPmシリーズ』
リフトオフ・レジスト剥離プロセスによるウエハー表面処理を行う試作研究用…
試作研究用『TWPmシリーズ』は以下の特長を備えた装置になります。 ■特長 ・ 高い剥離性能をもつ独自のジェットリフトオフ機構 ・多品種少量・生産量の変動への対応に向けた、 フレキシビリテイの向上とランニングコストの削減 ・枚葉化による品質・歩留り向上 （クロスコンタミの無い精密処理の実現と面内の均...
メーカー・取り扱い企業： JFE商事エレクトロニクス株式会社 プロセスソリューション営業部 実装プロセス営業室
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メンテナンス性・作業性が簡便！リフトオフ成膜機構には特殊遮熱機構を採用…
当製品は、金属材料を対象とし、リフトオフ成膜可能な電子ビーム蒸着装置です。 3連式EBガンはスライド移動機構により、メンテナンス性・作業性が簡便。 基板寸法は最大φ3インチで、リフトオフ成膜機構には特殊遮熱機構を 採用し...
メーカー・取り扱い企業： ケニックス株式会社
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新 高耐久はんだ合金クリームはんだ『HR6A58-G820N』
しなやかな強さを実現する 高耐久はんだ合金クリームはんだ
新高耐久はんだ合金クリームはんだです。 冷熱サイクル時の応力を緩和させることにより、CTEミスマッチによる 部品破損を低減。 また、ピンインペースト工法での挿入部品接合部に発生するリフトオフを 防止します。 【特長】 ■「Sb」「In」「Co」によるハイブリッド合金強化 ■応力を緩和し、部品ダメージを低減 ■リフトオフしない高耐久はんだ ■冷熱サイクルでのクラック進...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社弘輝（KOKI）
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多様なプロセス技術を用いて製作されるエレクトロニクス向け薄膜製品
種ガラス基板やシリコンウエハ上に様々な金属膜による多層パターンを形成した製品をご提供しております。 独自の図形データ生成技術、高精度マスク描画装置や半導体用ステッパーの利用、フォトエッチング、リフトオフ、メッキ、サンドブラストなど最先端の加工技術を利用して最適のプロセスをご提案いたします。 又、フォトマスク製造装置を用いて基板上に直接パターンニングすることにより超高精度な加工を可能にしており...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社エクア
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コーティングの上からでも高精度な測定が可能！
ck』は、航空機検査、機械保守、材料判別、貴金属鑑定などの材質 チェックに適した、渦流式導電率計です。 温度センサーを内蔵しており、温度補正を自動で行うので、測定の工数を大幅に削減。 リフトオフ機能や10種類の材料登録ができ、材料名で表示させる事が可能です。 【特長】 ■温度センサー内蔵：温度自動補正、温度測 ■リフトオフ測定機能：塗膜等のリフトオフを自動補正、塗膜厚測定可能...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社レックス
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MAX300mm×300mmまでのガラス基板へ加工可能！Si、Pt、T…
当社では、『リフトオフ加工』を承っております。 エッチング加工が困難な薄膜をパターン加工する技術で、必要とする逆の パターンをレジスト形成し、必要膜の成膜実施。成膜後、レジスト除去します。 有効エリアが...
メーカー・取り扱い企業： テクノプリント株式会社
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先端光デバイスに最適な専用蒸着装置。低温・低ダメージ成膜で平滑な膜表面…
豊富な６連式電子銃は高融点金属を含む多層膜電極形成に対応しています。また安定した蒸着が特徴でマイクロアークによる基板ダメージやドロップレットによる膜表面の異常を排除 プロセスや生産量に合わせてリフトオフ蒸着にも対応いたします。リフトオフ蒸着時は厚膜電極に対応した基板背面よりの水冷機構により貴金属厚膜電極の形成が可能です。 ...
メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店
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シリコンから化合物半導体、マニュアル機から量産機まで！取扱製品をご案内…
当カタログでは、株式会社エイ・エス・エイ・ピイが取り扱う 製品をご案内しております。 センター4軸ロボットを採用した「自動レジスト塗布装置」をはじめ、 「マスクアライナー」や「自動リフトオフ装置」などを掲載。 すべての装置においてサンプルテストが可能ですので、 いつでもお気軽にお声をお掛け下さい。 【掲載内容】 ■製品ラインアップ ■参考外観図 ■営業・サービス...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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RCAは勿論、現像、エッチング、洗浄、剥離、リフトオフなど！各種プロセ…
装置です。 フットプリントやコストの大幅な削減ができ、《特許取得成立済み》 丸形状の基板は勿論、角形状基板にも対応可能。 「RCA」は勿論、「現像」「エッチング」「洗浄」「剥離」「リフトオフ」 と言った各種プロセス処理に対応実績多数です。 【特長】 ■洗浄やエッチング等多種の薬液処理プロセスを一つの トータルシステムに纏める事が可能 ■大幅な装置購入コストやフットプ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ソフエンジニアリング
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軽量薄型堅牢といった特徴を持つフレキシブルディスプレイ、さらに低コスト…
ィスプレイより低コストに製造出来る可能性がある。特にバックプレーンに関しては、低コストの可能性が非常に高くなっている。 バックプレーンのフレキシブル化(フィルム化)はポリイミドワニスによるリフトオフ法により量産が既に始まっており、さらなる開発も進展している。同製造技術によって低コスト化が進もうとしている。ポリイミドワニスはガラス基板に比べ、部材コストとして圧倒的に低コストとなっている。 ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ネットブレイン
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電解メッキ
テムを導入 ■蒸着による成膜は通常は1μm以下だが、メッキでは数μmの膜を形成する ことができる ■立体形状の物への加工に適している ■金属膜としては、膜の厚みが要求される回路形成やリフトオフの犠牲膜として 使用、パターンの一部を隆起させることで微細バンプの形成も可能 ■その他機能や詳細については、カタログダウンロード もしくはお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業： フォトプレシジョン株式会社
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高精度・高機能・安定性・信頼性、使い易い操作性
導電率計 「シグマチェック」は、航空機、保守検査、材料判別に最適です。 導電率％IACS,MS/ｍ、リフトオフ測定、温度測定／自動温度補正、材料名の表示も可能です。 材質判別・材質評価、熱処理評価、熱影響部検査、アルミ経年劣化評価、非導電体コーティング厚さ測定などの用途に適しています。 【特徴】...
メーカー・取り扱い企業： 日本マテック株式会社
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エア駆動式のため防火・防爆対策が必要な箇所でも使用可能な高圧ポンプ
『SSBL-XXシリーズ』は、純水、IPA、NMPなどをウエハ等に高圧噴射して 膜を除去するリフトオフ装置等に適したポンプです。 エア駆動式のため防火・防爆対策が必要な箇所でも使用可能。 昇圧部シール材としてフッ素系高分子ポリエチレン（FKM仕様）や カルレッツ（KLZ仕様）を採用...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノメイト
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お客様の要望に合わせたレーザー発振器を選択し、さまざまなレーザー加工用…
素)、 LT(リチウムタンタレイト)/LN(リチウムナイオベイト)、GaN(窒化ガリウム)、各種ガラス、ポリイミド、ペットなど ◎加工事例 スクライブ(溝堀)、切断、穴あけ、トリミング、リフトオフ 詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽に問合せ下さい。...
メーカー・取り扱い企業： 西進商事株式会社
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用途や目的に応じて任意にカスタマイズ可能な真空蒸着装置
ンバード蒸着源、抵抗加熱蒸着源を選択でき、任意に組み合わせて複数台搭載することが可能。 ・電子銃＋反射電子トラップ、またはボンバード蒸着減により、低温・低ダメージ蒸着が可能。特にレジストを用いるリフトオフ蒸着に有効。 ・アルミの安定蒸着ができ、繰り返し使用できるライナーもご提供。 ※詳細はPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。...
メーカー・取り扱い企業： アズサイエンス株式会社 松本本社
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逆テーパー角を一定に！PEB対応レジスト現像装置（デベロッパー）
逆テーパー角度を一定に！ネガレジストやイメージリバーサル用のレジストに…
枚葉式で現像、全面露光（反転露光、イメージリバーサル）、ベーク、クーリング機能を搭載。 リフトオフ用レジストで逆テーパーの角度を決める重要なPEB。 当社独自プログラムで逆テーパー角度を安定させます！ また、ネガレジストの露光後ベークに使用することで安定プロセスが得られます。 ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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基板実装・はんだ付けの不具合｜はんだクラックに関する 『事例集』
はんだの“クラック”にフォーカスし、解析事例を含めモード別にご紹介！
一冊です！ 詳しくは、PDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 【事例集の内容】 ■はんだクラックとは ■はんだ接合界面のクラック ■はんだ組織のクラック ■リフトオフ ■その他 ※こちらのPDF資料はダイジェスト版です。全編ご希望の方はお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社弘輝（KOKI）
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ナノリソグラフィシステム『NanoFrazor Scholar』
卓上型ナノリソグラフィ直描システム
術は、複雑なナノパターンの描画およびイメージングに使用される超シャープな加熱可能なプローブにあります。 加熱されたチップは、レジストの局所昇華によって任意の高解像度ナノ構造を作成します。その後リフトオフやエッチングのような標準的なパターン転送方法を適用することができます。 またプローブ先端近傍に備えられたセンサーでイメージングを行いながら、パタニングへのフィードバックとトポロジー情報を取得で...
メーカー・取り扱い企業： ハイデルベルグ・インストルメンツ株式会社
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化学薬品の代わりに水蒸気を使った洗浄機「蒸気2流体洗浄装置」
半導体業界から生まれた新技術！蒸気を超音速で噴射することで「汚れ」を除…
■非接触なので消耗品が少ない ■油性マジック及び油汚れも除去可能 【応用・実績例】 ■フォトレジストの剥離（半導体、LED） ■ポリマー及びパーティクル除去（半導体） ■金膜のリフトオフ（半導体、LED） ■研磨後の洗浄（半導体、樹脂加工） 他 ※製品の詳細は別途お問い合わせいただくか、ダウンロードからPDFデータをご覧下さい。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社メイコー
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高品質基板を安価に得られるスピン枚葉装置
《新型》のスピンプロセッサーに発展応用させて搭載済みです。 ■SPM、APM、HPM、DHFといったRCA処理に最適。 ■塩化第2鉄、HF/HNO3等のエッチングプロセスにも対応 ■リフトオフ・レジスト剥離にも対応。 ■従来型平置きSpin枚葉として、安価システム構築可能 ■薬液の掛捨て処理に最適 ■クロスコンタミフリー ◎SPM処理時は基板直上で新液の硫酸と過水の混合ミキ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ソフエンジニアリング
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8mm、12.5mmプローブ付のアルミニウム、銅などの 非磁性の非鉄金…
50 ℃) で安定した測定 ・試験周波数は60KHz(航空機産業の標準)を使用し、%IACS またはMS/mの2種類のデータで読み取り可能 ・金属の電気伝導度と抵抗率を測定可能 ・プローブリフトオフ:プローブは0.25mmリフトオフし、人為的なエラーを減少 ・テストデータを500のグループに保存可能 ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社キューブイノベーション 測定キューブ
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2011フレキシブル電子デバイス開発現状と参入メーカリファレンス
太陽電池、ディスプレイ、固体照明、RF-ID、電池、センサー等のフレキ…
イのフレキシブル化にはバックプレーンのフレキシブル化が課題であった。従来は金属箔、あるいは有機TFTの採用等による開発が多かったものの、実用化には課題が多かった。そのなか最近注目を集めているのがリフトオフ法によるバックプレーン製造技術である。同技術によりポリイミドベースでありながら、従来のLCDラインでのフレキシブルバックプレーンの製造が可能となっている。同技術を採用したOLED、EPDの開発、...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ネットブレイン
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リフトオフ・厚膜・低温成膜対応 昭和真空の技術を結集させた最上位モデ…
多機能型・真空蒸着装置 「SEC-22C」は、蒸発源として電子ビーム式蒸発源を採用しています。 高融点金属や酸化物を成膜する事ができます。 蒸発速度の制御と膜厚の制御は水晶発振式膜厚計により行います。 主ポンプはクライオポンプを搭載しています。 操作制御系は全自動式になっています。 【特徴】 ○良好な膜厚分布が得られるように蒸発源と基板治具が配置されている ○電子ビーム式蒸発源は...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社昭和真空
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渦電流式継目検出器 SEAM DETECTOR MSD-03
シンプル操作！精度よく検出する渦電流式の継目検出器です。
位相の判別等に用いられてきた従来型センサー(光学系)を置き換え、より厳しい環境下での動作を可能としています。 判定は閾値方法ではなく、1本毎にサンプリングして継ぎ目位置を検知する方法で、機構のリフトオフの変動やパイプの個体差に影響され難く、検出精度が大幅に向上しています。 【特徴】 ○過電流応用技術で導電性パイプ等の継目を非接触で検知 ○塗装や鍍金の上からでも検出可能 ○水や油の影...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社マイクロフィックス
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CVD室、蒸着室、プラズマクリーニング室等の組み合わせも対応可能です！
ードを搭載 ■ムービングマグネットにも対応し全面エロージョンが可能 ■当社独自の急速昇降温基板加熱機構を搭載し基板温度900℃を実現 ■高速かつ安定したリアクティブスパッタ成膜が可能 ■リフトオフ等低温プロセスも対応可 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社
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フォトファブリケーションを駆使！ファインパターンが形成可能！
各種ガラス、金属等 ○表面処理 →AL、Cr、Cu、Au等の各種金属膜コーティング、誘電体膜コーティング →ガラスエッチング、サンドブラスト処理等 ○パターニング法 →薄膜エッチング、リフトオフ、 ガラスエッチング、サンドブラスト等 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...
メーカー・取り扱い企業： 豊和産業株式会社
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約20m/minの高速検査スピードで、配管の欠陥を高精度で検出可能！
知が可能な パイプスキャナーです。 電源供給システムが装置ペリケースの「P9」や、TCP、RS422によって データー収集可能な「P13」、同一のホイールホルダー上で6種類の異なる リフトオフ設定ができる「P19」をラインアップしております。 【特長】 ■配管の欠陥を高精度で検出 ■約20m/minの高速検査スピード ■平均精度は+/- 10% ■炭素鋼、ステンレス、二...
メーカー・取り扱い企業： Advantec-IS株式会社
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マスクの製作からパターニングまでの一貫製作 「パターニング」
小数枚の加工への対応可。シリコンウエーハ以外の基板投入可能。
ォトエッチング ○Crフォトエッチング ○ITOフォトエッチング ○Siピラー形成 ○CSP、WCSP ○石英フォトエッチング ○Cuフォトエッチング ○Auフォトエッチング ○リフトオフ加工 ●その他詳細は、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業： 大村技研株式会社
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高出力・短パルス制御！下地にダメージレスで表面のみ瞬間的に加熱が可能な…
【アプリケーション】 ■Agペーストの焼結 ■OLEDのリフトオフ ■LEDチップのsoldering ■Cuペーストの焼結～加圧 ■フィルムリフトオフ ■圧電膜の乾燥・焼結 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社日立ハイテク
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スラリー同時噴射で加工パワーの大幅アップを実現する洗浄機！
【洗浄アプリケーション】 ■GaAs,Fe-RAM,GMR-Head等リフトオフ、エッチング後のバリ取り ■メタル種類：Pt,Ir等高高度貴金属系及びNiFe、Crなどの多層膜 ■有機,無機ELのITO上(EL素子成膜前)の有機、メタルパーティクルの除去 ■ダークスポ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社フェムテック
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シーム溶接部の検査、欠落、欠陥部を検査します！
・材質：ＳＵＳ３０４ Φ１３８ ｔ１．５ｍｍ ・検査方法 センサを溶接線上に設置し（リフトオフ１．５ｍｍ程度・非接触）平行移動させる。 欠陥部で発生する磁力線の乱れを検出する。 当社は当社にしかできない技術力で 様々な難しい検査にも対応いたします。 詳細はお問い合わせください。 PD...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社偕成ハイテック
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光導波路ウェハ受託製造及び各種ウェハ受託加工サービス！世界トップクラス…
解堆積(FHD)、高温アニール ■フォトリソ技術： 縮小ステッパー露光、非接触等倍露光、コーターデベロッパー ■微細加工技術： ガラスRIE、メタルRIE、ガラス・Si-Deepエッチング、リフトオフ ■ウェハ後工程技術： ダイシング、端面研磨、光ファイバ接続、薄膜波長板(λ/2、λ/4) ■評価技術： 走査型電子顕微鏡、ガラス膜厚屈折率測定、精密寸法測定、導波路光学特性評価 【適...
メーカー・取り扱い企業： NTTデバイスオプテック株式会社
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MEMS向けゲッター「PageWafer / PageLid」
デバイスの長期安定性を向上！ MEMS真空パッケージ向けにデザインさ…
○ 高真空パッケージに対応 ○ 長期信頼性の確保 ○ 活性ガスに対する高い吸着性能 ○ ほぼ全ての封止プロセスに適応した活性化温度 ○ 二種類のパターニング方式に対応可（メタルマスク/リフトオフ） パーティクルフリー...
メーカー・取り扱い企業： サエス・ゲッターズ・エス・ピー・エー 日本支店
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開発から量産まで、あらゆるニーズにお応えします
CF貼り機、COG仮圧着機など） ・スリットコーター（インク塗布装置） ・バッチ式多槽洗浄機 ・減圧蒸留再生装置 ・パネル外観検査装置 ・画像処理関係装置 ■その他各種設備 ・リフトオフ（ウェハー洗浄機） ・フィルム貼付装置 ・真空滴下装置 ・自動半田付け装置 ・各種外観検査装置 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社リードテック 本社
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多種多様の膜構成、エッチングパターンの作成が可能な加工技術『薄膜パター…
ーンの作成が可能です。 成膜条件、パターン条件を正確に調整することにより、最薄7.5μmのフィルム基板に成膜・パターン形成の実績があります。 コーティングはもちろん、パターニングのみの加工、リフトオフ加工なども行います。...
メーカー・取り扱い企業： ジオマテック株式会社
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高圧ジェットで驚きの剝離能力！当社独自の特殊ノズルで、枚葉による高速処…
物理力と化学力のW（ダブル）効果リフトオフ！ W効果リフトオフとは？ ・当社独自の特殊ノズルを使用した高圧ジェット（MAX20MPa）により、物理力による剥離 ・溶剤にNMPやDMSOなどの有機溶剤を使用し、化学的な力で剥離 ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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量産向け枚葉式自動レジスト剥離・リフトオフ装置『高田工業所製』
昇温した有機薬液による化学反応と、高圧ジェットの 物理的アシスト利用…
通常ストレートノズルと、高圧ジェットノズルを併用した量産向けレジスト剥離・メタルリフトオフ処理装置。 レジスト剥離・リフトオフ、リンス、乾燥までをひとつのチャンバーで行う、1チャンバー完結タイプはハイスループットだけでなく、省フットプリント化にも貢献致します。また、使用した薬液を分...
メーカー・取り扱い企業： 日精株式会社 本社
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試作開発 枚葉式自動レジスト剥離・リフトオフ装置『高田工業所製』
昇温した有機薬液による化学反応と、高圧ジェットの 物理的アシスト利用…
通常ストレートノズルと、高圧ジェットノズルを併用した研究開発や、少量生産向けレジスト剥離・メタルリフトオフ処理装置。 手狭なスペースでも設置可能なコンパクト設計（従来機から約40％コンパクト化） レジスト剥離・リフトオフ、リンス、乾燥までをひとつのチャンバーで行う、1チャンバー完結タイプはハイス...
メーカー・取り扱い企業： 日精株式会社 本社
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【超高圧ジェットでメタル＆レジスト除去】ASAP専用ノズルで、枚葉によ…
【特長】 ■最大20MPaの超高圧ジェットを噴射 ■リフトオフ時のバリの除去 ■メタルの再付着なし！ ■薄いウエーハでも割れる心配なし ■レジスト、ポリマー、 マスクの洗浄としても使用可能 ■薬液のリサイクルシステム （オプション） 超高圧ジ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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【枚葉式でDIP並みの膨潤】リサイクル式循環ヒーターにより、高温・高剥…
・微細パターンの奥深くのレジスト また、DIP処理で問題となるバリやメタルの再付着がありません！ 厚膜のメタル、酸化膜など、エッチングで困難な厚膜のパターニングに好適な超高圧ジェットリフトオフ装置です。 ●薄型ウェハにも対応！ 高圧ジェットはウェハ（基板）が薄いと割れるのではないか？という声をよくお聞きします。 弊社では厚さ120umのGaAsのリフトオフの実績もござい...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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セミオートSPINDipスピン枚葉装置 リフトオフ・レジスト剥離
《新型》社内デモ機でさまざまなサイズや基板種、デバイスパターン状態に対…
本装置は、40KHz帯の[ホーン型超音波]、[BLT型超音波]に加え、 [高圧ジェットノズル]、[スプレーノズル]等の多種多様なツールを 搭載し各種基板表面状態に応じた有機剥離リフトオフのデモに対応します。 社内デモ機で様々なサイズや基板種、デバイスパターン状態に対応。 そして得られた各種知見・ノウハウを盛り込み、好適な形に カスタマイズされた実装置化を行います。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ソフエンジニアリング
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高田工業所社製量産用枚葉式ウェット処理装置『TWPシリーズ』
リフトオフ・レジスト剥離プロセスによるウエハー表面処理を行う量産用枚葉…
量産用『TWPシリーズ』は以下の特長を備えた装置になります。 ■特長 ・ 高い剥離性能をもつ独自のジェットリフトオフ機構 ・多品種少量・生産量の変動への対応に向けた、 フレキシビリテイの向上とランニングコストの削減 ・枚葉化による品質・歩留り向上 （クロスコンタミの無い精密処理の実現と面内の均...
メーカー・取り扱い企業： JFE商事エレクトロニクス株式会社 プロセスソリューション営業部 実装プロセス営業室
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新 高耐久はんだ合金ソルダーペースト『HR6A58-G820N』
しなやかな強さを実現する 高耐久はんだ合金ソルダーペースト
高耐久はんだ合金ソルダーペーストです。 冷熱サイクル時の応力を緩和させることにより、CTEミスマッチによる 部品破損を低減。 また、ピンインペースト工法での挿入部品接合部に発生するリフトオフを 防止します。 【特長】 ■「Sb」「In」「Co」によるハイブリッド合金強化 ■応力を緩和し、部品ダメージを低減 ■リフトオフしない高耐久はんだ ■冷熱サイクルでのクラック進...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社弘輝（KOKI）
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新 高耐久はんだ合金はんだペースト『HR6A58-G820N』
しなやかな強さを実現する 高耐久はんだ合金はんだペースト
新高耐久はんだ合金はんだペーストです。 冷熱サイクル時の応力を緩和させることにより、CTEミスマッチによる 部品破損を低減。 また、ピンインペースト工法での挿入部品接合部に発生するリフトオフを 防止します。 【特長】 ■「Sb」「In」「Co」によるハイブリッド合金強化 ■応力を緩和し、部品ダメージを低減 ■リフトオフしない高耐久はんだ ■冷熱サイクルでのクラック進...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社弘輝（KOKI）
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