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小型真空蒸着装置『HVE-100』【クリーンな成膜を実現!】
PRクリーンな成膜が可能な小型真空蒸着装置!シャッタを具備しているので安定…
『HVE-100』は省スペースな小型蒸着装置です。基板成膜面は下向きで 設置、抵抗加熱源からの蒸発で上向きに成膜する配置(デポアップ)です。 シャッタを具備しているので安定した状態で蒸着が可能です。 【特長】 ■高真空排気系:<10^-4Paの到達真空度でクリーンな成膜が可能 ■チャンバはメンテナンスしやすいようにSUS製で内部に防着板を配置 ■省スペース/小型化:W500×D39...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ハイブリッジ 東京営業所
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メーカー・取り扱い企業: 株式会社松和産業 本社
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、DCモーター、ステッピングモーター、圧搾空気方式があります。 ●3種類のベアリングが特注で選択できます。 ●標準型回転導入機と2種類の中空型回転導入機を組み合わせる事により3軸の試料や基板の制御が出来ます。 ●標準型回転導入機にはマニュアル方式で目盛ダイアル付やグリップ付が準備されています。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社テクノポート
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