【自動化対応】ルーター式基板分割機『SAM-CT34XJ』

PR〈国内製〉基板の供給・分割・排出を自動化（最大400×300mmに対応…

当社のルーター式基板分割機に、高速・高精度で切断でき、 自動化（マニュアルでの操作も可能）にも対応した『SAM-CT34XJ』が新製品としてラインアップに加わります。 基板の供給・切断・排出を自動で行えるのはもちろん、 カメラで基板を表示しながら簡単にティーチングが可能。 画像処理機能による、切断位置の自動補正にも対応しています。 【特長】 ■ルータービットの高さを自動で切り替...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社サヤカ

空気圧駆動圧力制御弁　AS260【サーボミニコンポ】

PR空気圧駆動　アンプ・圧力センサ内蔵型圧力制御弁

当社の『アンプ・圧力センサ内蔵型圧力制御弁AS260シリーズ』のご紹介です。 ある程度大きな流量を比較的ゆっくりとした応答で圧力制御を行うことに適した とても使い勝手の良いお勧めの新製品です。 精密な遠隔操作が可能な他、ブースタと組み合わせて精密大流量弁とすることもできます。 ■特徴 ・ノズルフラッパ型空気圧サーボ弁、圧力センサ、アンプ（制御基板）を一体化した圧力制御弁 ・電気信号に比例してパ...

メーカー・取り扱い企業： ピー・エス・シー株式会社

噴流式ガラス基板温調システム『クリスタルジェット』

温度管理の高精度化！大型基板への対応が可能な噴流式ガラス基板温調システ…

『クリスタルジェット』は、液晶パネル生産を支えるキーデバイスとして 広く世界中で採用されている噴流式ガラス基板温調システムです。 新たな空調システム“高効率顕熱空調機”を採用し、冷却のみでの 精密温度制御を実現。 レイアウトに合わせたカスタマイズが可能なほか、全面層流タイプや 小風量タイプな...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社朝日工業社 本店　エンジニアリング企画開発部

【エッチング、スパッタリングの冷却水温調】チラーPCUシリーズ

アピステのチラーはノンフロン・高耐久・超ワイドレンジの3シリーズ展開！…

【エッチング、スパッタリングの冷却水温調】 基板冷却のプレートや真空チャンバ内の冷却水の温度と流量、吐出圧力を一定に保ちます。 ーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーー 【選べる3シリーズのチラー】 1.PCU-NEシリ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アピステ

【プラズマCVD 装置】アピステのチラーPCUシリーズ

アピステのチラーはノンフロン・高耐久・超ワイドレンジの3シリーズ展開！…

【プラズマCVD 装置】 冷却水温を一定に温調することで、反応室やプラズマ電極、基板の最適温度を保ちます。 ーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーー 【選べる3シリーズのチラー】 1.PCU-NEシリーズ：ノンフロン冷媒を使用し、フロン排出抑制法の対象外 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アピステ