搬送ロボット | イプロスものづくり

PR【空飛ぶロボットハンド】運搬の不便を解消したい製造現場必見！無人搬送車…

【導入・共同開発事例が増えてきました！】空中搬送ロボット『ゴクー』は4本のワイヤーで先端に取り付けたユニットを上下左右自在に動かしながら作業することができる搬送型システムです。ドローンと違い安全・無音で長時間稼働（直接給電可能）を実現しました。大きな重量への対応や床面を占有せず天候に左右されないことで大規模な工場での導入や、無人搬送＋ロボット稼働で物流の効率化に貢献します。...

メーカー・取り扱い企業：ダブル技研株式会社座間事業所

【新製品】吸着搬送の電力削減に貢献！電動吸着ハンド「e-VEE」

PR電力削減率最大77％！エジェクタからの切替で吸着搬送を省エネ化・カーボ…

電動吸着ハンド「e-VEE」は吸着搬送に役立つロボット用エンドエフェクタです。真空ポンプ内蔵のため圧縮空気の供給は不要、どこでも使用可能です。コンプレッサの吐出圧力・流量を抑制することで、電力削減に貢献します。入出力信号方式はPNP方式・NPN方式があります。ご確認の上、ご選択ください。また、ロボットへ取付けの際は、弊社製「ねじ込み式ツールフランジ」または株式会社コスメック製「マニュ...

メーカー・取り扱い企業：日東工器株式会社

ウェーハ搬送ロボット(FIロボット)OH修理、コントローラ修理

交換部品は純正部品を使用し、純正手順で検査致します。また、短納期でOH…

半導体製造装置で使用されているウェーハ搬送ロボット(FIロボット)のOH修理、コントローラの修理を対応しております。 ■交換部品は純正部品を使用し、純正手順で検査致します。 ■短納期でOH修理を対応致します。 ■現場(現地)での点検サ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社渡辺商行

真空環境用ウエハ搬送ロボット『UTVW-R2800H』

【～300mmウエハ用】旋回軸にダイレクトドライブモータを採用！高…

■Z軸が標準搭載されているダブルアームタイプの真空用ウエハ搬送ロボット ■θ軸にダイレクトドライブモータを採用し、ウエハを低振動で搬送することでスループット向上に貢献 ■CVD装置、アニール装置など、高温プロセス装置に対応 ■可搬重量2kgの...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ダイヘン

シャーレ搬送ロボット

医療、バイオ関連施設などの無菌室、クリーン環境下での搬送が可能

医療、バイオ関連施設などの無菌室、クリーン環境下での搬送が可能マイクロプレート搬送も可能チルト機構によりシャーレを傾けて、培養液などの吸引可能当社各ロボットに搬送部を取り付け可能（本仕様は水平多関節型ロボットへの搭載としています）...ロボット仕様ロボット型式 GCR4210-300-AM 被搬送物シャーレφ90x21mm（ガラス）（※その他サイズ、マイクロプレートも対応可） ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

高田工業所社製ダイシングフレーム洗浄装置『TFCシリーズ』

ダイシングフレームに付着したテープ糊痕や指紋等を高い洗浄能力を持つ独自…

サイズに対応）・処理ステーション数：1チャンバー（増設可）・スクラブ機能：高圧ジェット・処理液：有機系剥離液・純水・薬液供給：薬液の循環回収・濾過・処理能力：60枚/時・搬送ロボット：搬送ユニット・スピンチャック：メカニカルチャック・搬送ロボット：センタリング機能付スカラーロボット・装置寸法（WxDxH）：1,000x1,500x2,000mm ※詳しくは...

メーカー・取り扱い企業： JFE商事エレクトロニクス株式会社プロセスソリューション営業部実装プロセス営業室

半導体製造装置の周辺機器の修理、改善サービス

高周波電源、搬送ロボットや、RFマッチングボックスなどを修理、改善、オ…

。【修理・改善内容】 ■高周波電源：放熱効果の改善 ■RFマッチングボックス：過負荷や経年劣化する部品を定期交換⇒RF Matchingの機能を安定させ耐久性アップ ■搬送ロボットの修理：ロボット、コントローラーの分解、ウエハ搬送テスト ■ＰＣＢ基板の修理：各装置メーカーのPCB boardを修理 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ...

メーカー・取り扱い企業：アローズエンジニアリング株式会社

セラミックス製ウエハー搬送ハンド PeriZac（ペリザック）

パーティクル発生リスクを極限に抑えた、大気用セラミックス製搬送ハンドの…

半導体製造装置におけるエンドエフェクター（搬送ロボットの手の部分）には、より軽く、強く、たわみの少ない材料を要望頂くことが多くあります。一度に多くのウエハを処理したいプロセスには、クリアランスの小さいスリットにウエハを積載する必要があり、より薄いセ...

メーカー・取り扱い企業：アスザック株式会社ファインセラミックス事業部

RSコマンダ

搬送ロボットの単独動作を再現できる動作再現ツールです。半導体製造装置，液晶製造装置，その他制御装置などで使用されている搬送ロボットの通信データを収集、その通信データをエクセル・シートのセル上に記述（レシピ感覚です。）する事で、搬送ロボットの単軸動作，シーケンス動作，繰返し動作等の任意動作が可能です。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイブル

スピン洗浄装置　自動フォトリゾ装置 JASC-1200AD型

対象ワークは200mm□基板又はφ300mm基板に適用します！

自動フォトリゾ装置はカセットからカセットでレジストスピンコート、真空ベーク、アライナー、スプレー現像を自動で行う装置です。勿論工程の選択も出来ます。ローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1人で作業が出来ます。工程間の搬送は多関節ロボットを採用しています。本機の対象ワークは200mm□基板又はφ300mm基板に適用します。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社

TAB・COF製造装置

有効パターンエリアを大きくとる事が可能であり、材料の有効活用ができます

『TAB・COF製造装置』は、連続搬送方式で製品リール巻出に同期して、ライン搬送に影響を与えず巻取ができます。テンションコントローラーで製品巻出リールの回転速度を一定に制御。巻出部テンションは製品幅により可変しますが96mm幅では、100g以下での搬送が可能です。またタクト搬送方式では、ニップローラー送り又は、1軸ロボットでチャックして送る方法で行い、微細品対応とし...

メーカー・取り扱い企業：株式会社SETO ENGINEERING 守谷事業所

高田工業所社製バッチ式ウエハー自動洗浄装置『TWSシリーズ』

クリーン化技術・搬送/制御技術を駆使し、各種薬液に対応したバッチ式洗浄…

■装置構成・薬液 APM、HPM、SPM等の無機薬品、IPA、現像液等の有機薬品及び各種洗浄液ならびに機能水・搬送状態カセット／ドラムならびにキャリアレス（※搬送ロボットは上部／下部の2種類があります。）・乾燥スピンドライヤー／リンサードライヤー／IPAドライヤー（※IPAは内製品です。） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ...

メーカー・取り扱い企業： JFE商事エレクトロニクス株式会社プロセスソリューション営業部実装プロセス営業室

オート式露光装置

190WPHの高スループットを実現したマスクアライナ

2インチのウエハサイズに対応する､全自動式露光装置です｡従来のウエハ搬送方式で用いられる多間接ロボットに代わり､自社開発の搬送ロボットを3台配置させたことで､毎時190枚(2インチウエハ)を処理する高いスループットを実現しました｡特に､新開発のアライメント画像処理には､任意座標指定のサーチおよび､インテリジェントθサーチと...

メーカー・取り扱い企業：ウシオライティング株式会社

SSY-10010　EFEM

EFEM

300mmウェーハをFOUPカセットより取出し、振り分けを行います。振り分けのパターンは任意に設定でき、お客様の仕様に対応した振り分けが可能です。振り分け以外にも装置のローダ/アンローダとして使用できます。水平多軸ロボット(GCR4210-500-AM)を搭載することにより走行軸なしで4カセットにアクセス可能 Z軸ストローク500mmの採用によりカセットを上下2段に配置可能ロ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

TSVCR3060N（2インチウェーハ搬送）

真空トランスファーチャンバーの小型化に寄与します。

業界最小クラス、装置の小型化が可能当社標準比真空ロボット：フットプリント65%（φ95mm）, 容積比75%ダウンアームの組み合わせにより任意の到達距離の設定が可能...ロボット仕様ロボット型式 TSVCR3060N-020-PM 被搬送物 2インチシリコンウェーハウェーハ保持方式落とし込みによるラフガイド方式機械構造形式円筒座標型制御軸 3軸モータタイプエンコー...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

ウエハチップ非接触搬送装置

微小ウエハチップ、微小レンズを非接触にて搬送する。

非接触である。微小なワークを非接触にて搬送可能。傷、汚れの付着がない。損傷がない。...微小ウエハチップ（１mm〜20mm角）、微小レンズを気体を噴出することにより非接触にて吸引保持し搬送するロボットハンド。...

メーカー・取り扱い企業：有限会社ソーラーリサーチ研究所大阪事業所

キャリアー用非接触ロボットハンド

ウエハをキャリアーへ非接触にて挿入・取り出しをするロボットハンド

非接触にてウエハを搬送可能。ハンドが薄いためキャリアーへのウエハの出し入れが可能。クリーンルーム内で使用可能。アライメントが可能。...「非接触キャリヤー用ロボットハンド」は、ウエハを空中に浮遊した非接触の状態にて懸垂保持します。このハンドは薄く製作されていますので、キャリアーへのウエハのローダ、アンローダに最適です。このハンドには排気回収装置が装着されていますので、クリーンルーム内にて使用可能で...

メーカー・取り扱い企業：有限会社ソーラーリサーチ研究所大阪事業所

GCR4210SN(クローズドループ制御)

・クローズドループ制御・アブソリュートエンコーダ搭載・バッテリ…

低価格、高速搬送、脱調レスを実現した2インチ～300mmウェーハ対応のスーパークリーンルーム用4軸水平多関節型クリーンロボットです。並列配置されたカセットに対して走行軸なしで搬送可能です。チャックの向きがカセットに対して直線移動し、エッジグリップによる搬送や角基板搬送も走行軸なしで対応可能。各ウェーハサイズ対応可能です。急激な負荷変動や急加速でも脱調しないクローズドループ制御を採用...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

スピン洗浄装置　自動フォトリゾ装置

【デモ機貸し出し可能！】ローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1…

自動フォトリゾ装置は、カセットからカセットでレジストスピンコート、真空ベーク、アライナー、スプレー現像を自動で行う装置です。勿論工程の選択も出来ます。ローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1人で作業が出来ます。工程間の搬送は多関節ロボットを採用しています。本機の対象ワークは、200mm□基板又はφ300mm基板に適用します。詳しくはお問い合わせ下さい。...【特徴】 ○...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社

非接触ロボットハンド

気体を噴出することによりエゼクタ効果及びベルヌーイ効果による負圧発生と圧力式エアクッション効果による正圧発生により、ワークを空中に浮遊した無接触・非接触状態にて懸垂保持し、搬送、反転、傾斜する。ベルヌーイチャックともいう。排気回収機構により超クリーンルーム内での使用も可能。半導体ウエハ、ＬＣＤ・ＰＤＰガラス基板、プリント基板、セラミック基板、フィルム、紙、不織布、極薄ワーク、通気性ワーク等に対応....

メーカー・取り扱い企業：有限会社ソーラーリサーチ研究所大阪事業所

SWCR3160CS (防水対応）

3軸円筒座標型クリーンロボット

防水対応3軸円筒座標型ロボットのSWCRシリーズです（300mmウェーハ対応反転+エッジグリップ機能付）。水がかかる環境やぬれたウェーハを搬送することができます。薬液などのため人が入れずウェーハを触ることができない環境でのウェーハ搬送ができます。保護等級IP64 LSI製造プロセスにおける、酸・アルカリの雰囲気中のウェーハ搬送に適していますアーム部は、テフロンコーティングにより耐蝕...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

Siナゲット洗浄装置

Siナゲット洗浄装置　専用バスケットで自動搬送　化学研磨・酸切・高品位…

＜主な仕様＞ 1.被洗浄物：　Siナゲット 2.処理方法：　水洗⇒薬液洗浄⇒リンス⇒予備乾燥 3.搬送方法：　搬送ロボットによる自動搬送 4.使用薬液：　フッ酸、硝酸...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ゼビオス（XEVIOS CORP.,）

高田工業所社製試作用枚葉式ウェット処理装置『TWPmシリーズ』

リフトオフ・レジスト剥離プロセスによるウエハー表面処理を行う試作研究用…

圧ジェット／ 2 流体ジェット／超音波シャワー等・処理チャンバー数：2, 4チャンバー・処理液：有機系剥離液・リンス液 , 純水・薬液供給：薬液の循環回収・濾過・温調システム・搬送ロボット：搬送ユニット・スピンチャック：バキュームチャック　　　　　　　　※オプションにてメカニカルチャック対応可・装置寸法（WxDxH）：1,200x1,500x2,000mm ・自動消...

メーカー・取り扱い企業： JFE商事エレクトロニクス株式会社プロセスソリューション営業部実装プロセス営業室

自動現像/エッチング装置

簡単操作のCtoCロボット搬送付き現像/エッチング装置。用途によりデベ…

スピン・スプレー方式現像/エッチング装置に搬送ロボットを搭載することにより、セットされた基板カセットから自動的にローダー・アンローダーを行い連続処理を行ないます。...

メーカー・取り扱い企業：アクテス京三株式会社技術センター

『半導体ロボット設計製作』事業紹介

新しい可能性をカタチに！ものづくりをトータルコーディネートいたします

株式会社ソーワエンジニアリングでは、半導体搬送装置の開発設計から製作・組立までを一貫して承ります。半導体装置メーカーへの納入実績27年。真空雰囲気での搬送装置の為、高度な技術を必要とされます。また、部品検査、出荷検査を行い、ISO9000に準拠した品質保証体制を整えております。【製品例】 ■ロボットリンク部 ■半導体基板搬送ハンドラー ※詳しくはお気軽...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ソーワエンジニアリング

ＭＲ500　LSIチップ評価試験用全自動搬送装置

産業用イーサーネットに対応したＬＳＩチップ評価試験用全自動搬送装置です…

本装置はＬＳＩチップ評価試験を行う評価ボード上にＬＳＩチップを１つずつXYZ3軸ロボットで自動搬送する装置です。...LSIの入ったトレーをセットしトレーの1番目から順に評価ボードに搬送。評価が終了すると元の位置に戻します。次のチップを吸着し同じ操作を繰り返します。最後の動作を終了すると自動で停止します。...

メーカー・取り扱い企業：マック産業機器株式会社テクノロジーセンター

SSY-10000

ガラス、サファイア、SiC、GaN、等々のウェーハ対応　卓上ローダーシ…

ウェーハ検査ステージと搬送部分が一体化したコンパクトな卓上システム X軸190mm、Y軸200mmのロングストローク設計であり、どの位置でも手元のノブでウェーハの回転操作が可能 搬送ロボットは2本のチャックを持ち、検査ステージへのウェーハ入れ替え動作を短時間で完了可能ロボットと落とし込みアライメントステージの組み合わせで低コスト・省スペース・高機能なシステムを実現 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

株式会社キョウワ　事業紹介

創造することに挑戦を続け常に進歩を追及し、環境対応型企業を目指します。

株式会社キョウワは、熱間鍛造ボルトの製造で操業を開始し、機械の部品製造・機械装置の製造と、お客様からのご指導を頂き時代の流れに合わせ事業転換を行い成長してきました。変化の激しいグローバルな環境で勝ち残る為には、環境の変化に対応し成長を続けることが必要です。お客様の満足を超える価値を提供し、私たち自身の存在価値を追及し続けるため常に謙虚で素直な姿勢を持ち、環境対応型企業として進歩を続けます。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社キョウワ

自動スピン洗浄装置

クリーンユニット搭載の自動スピン洗浄装置

オプション内容を選んで頂くクリーンユニット搭載のカセット式自動装置(写真はスクラブ洗浄+UV洗浄＋ホットプレート) =============================================== ＜仕　様＞ワークサイズ…Φ2インチ〜Φ8インチ搬送…大気3軸クリーンロボットクリーンユニット…ＨＥＰＡフィルター洗浄…ブラシ、MS標準装備オプション…高圧ジェットノ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社トービ

ウエハー自動洗浄装置　枚葉式自動洗浄装置　ディップタイプ

【デモ機貸し出し可能！】Φ300まで対応可能なディップタイプの枚葉式洗…

本機はディップ型の枚葉処理機であり、ローダー部でワークを縦に起し、搬送ロボットで各処理を行います。最終洗浄が終わったのち、反転機構によりワークを横に戻し、スピン乾燥を行う、カセットtoカセットの洗浄機です。詳しくはお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社

ウェーハインスペクション装置　(MWL-01型)

ウェーハのマクロ検査及び、顕微鏡によるミクロ検査を行う装置です

・マクロ検査は、外周チャックを採用し、ジョイスティックにてウェーハ傾き,水平回転操作を行うことにより、ウェーハ表裏面の検査が可能です。・ミクロ検査では、レシピにて検査ポイント指定が可能です。・ウェーハのカセットからの取出し、各検査部への搬送、カセットへの収納はウェーハ移載ロボットによる自動搬送で行います。・ウェーハ移載ロボットはベルヌーイ式ハンドを採用し、薄く、ソリのあるウェーハの搬送...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジャステム

Revolution セミオートウェットプロセッサー

省スペースなマルチステップウェットプロセッサー

RENAのマルチステップウェットプロセッサー、Revolutionは回転式ロボット設計と精密工学を採用し、プロセスコントロールの操作性をアップさせました。省スペースでありながら、強力かつ柔軟性の高い設計となっております。 Advancerシリーズは、モジュール式で設置が容易なロボット搬送の半自動ウェットプロセッサーです。【省スペースな回転式ロボット】 ■ 2-5ポジション、2軸設計 ■ プ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社インターテック販売東京本社（拠点－関西営業所、熊本営業所）

UV-LED光源！半導体製造用自動露光装置|マスクアライナー

光源を水銀ランプからLEDへ置き換えた露光装置です。自動平行調整、…

当製品は、UV-LED光源搭載の自動一括等倍露光装置（マスクアライナー）です。弊社の特徴として、フォトマスクとウエハを完全非接触でステージとマスクの自動平行調整が行えます。超精密UVW駆動ステージを搭載し高性能画像処理を行う事でフォトマスクとウエハのアライメントも正確に行います。露光方式としてプロキシミティ、ソフト、ハードコンタクトにも対応。マニュアル機～フル...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

Advancer セミオートウェットプロセッサー

省スペースながら精密なパフォーマンス

Advancerシリーズは、モジュール式で設置が容易なロボット搬送の半自動ウェットプロセッサーです。【生産性】低コストながら高いパフォーマンス ■ 前後側面マウントロボット ■ 大きな薬液容量 ■ 薬液投入、タンク内で混合 ■ 素早いリンス【生産性】最適なパフォーマンスのための各種モデル ■ 洗浄、エッチング、剥離など多様なアプリケーション ■ タンク数1-6によって3種類のプラットフ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社インターテック販売東京本社（拠点－関西営業所、熊本営業所）

SSY-11000

450mmウェーハ搬送システム

450mmウェーハの高速搬送に使用できます。走行軸使用により、カセットのポート数に応じたストロークでご提案します。 ACサーボモータを採用し、動作軌跡最適化により高速、高精度に搬送します。ベルヌーイチャックの搭載可能（オプション）。 Z軸 (昇降軸) 500mmまで対応可能。走行軸を採用し、高速で4FOUP（450mmウェーハ）へアクセス可能可搬重量：アーム第3関節換算5k...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

ベルヌーイチャック（非接触タイプ）

反りのあるウェーハ、薄物ウェーハに対応したベルヌーイチャックです。

反りのあるウェーハ、薄物ウェーハに対応し、コストパフォーマンスに優れたベルヌーイチャックです。弊社の大気環境用搬送ロボットであればどのタイプのロボットにも搭載可能です。サンプルウェーハによる検証を行い、お客様の任意の形状で各種サイズ、反り量、ウェーハ厚みに対応した設計を行います。基板に対してベルヌーイの...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

半導体製造装置用アーム　厳しいキズ管理のできるサプライヤー

シリコンウエハを搬送する際に使用するロボットに使われる部品です。クリー…

横型マシニングセンターを駆使した高精度アルミ切削加工の量産を得意としています。加工工程にＣＮＣ測定を組み込み高精度を確保しながら、最高３万回転の主軸による高速切削と合わせ、作業者の多台持ちや昼夜連続運転など全てにおいて効率化を図り、他の追随を許さないコストパフォーマンスが実現できます。...▼取扱製品産業用機械部品/工作機械部品/半導体装置部品/電子部品製造装置部品/医療用機器部品/環境関...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ハイパーウェブ

全自動RTP（高速熱処理）装置

Premtek　RTP-1200A（SEC）（SEF）

4～8インチに対応した、シングルチャンバ全自動RTP装置です。搬送方式はオープンカセット・SMIFどちらかの選択で、カセットステーションは2台になります。ウェハをサセプタに格納してプロセス処理をするため、反り、厚さ、透過率等のウェハの特性に関わらず、抜群のRc・温度均一性を実現します。熱源はハロゲンランプで、上下両面配列です。温度測定範囲は20℃～1250℃となります。熱電対とパイロメータが...

メーカー・取り扱い企業：株式会社インターテック販売東京本社（拠点－関西営業所、熊本営業所）

固体ソースECRプラズマ成膜装置『AFTEX-8000シリーズ』

均一性に優れた多層膜を形成できる！全自動多層膜形成装置

室: TMP 350L/sec ドライポンプ: 250L/min ■ロードロック室手動扉: 1式カセットエレベータ機構: 1式試料検出機構：1式 ■トランスファー室真空搬送ロボット：1式試料検出機構：1式フェイスダウン搬送方式 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： JSWアフティ株式会社

中型タッチパネル/OLED露光装置

独自の光学系と照明、、画像処理で、高いアライメント能力を提供！！！

<特徴> 2G～3.5Gまでの水平形露光装置をラインアップしています。搬送は、高速シャトル搬送または、ロボット搬送にて、ハイスループットで生産に寄与します。また、見えづらいITOマーク、メタルの被ったマークに対しても、独自の光学系と照明、、画像処理で、高いアライメント能力を提供します。マスクとワークの温度制御にて、トータルピッチ±3-5μｍ ...<仕様> 適用サイズ：...

メーカー・取り扱い企業：株式会社清和光学製作所

線材形成品ＳＵＳバスケット／スラッジＢＯＸ

豊富な経験と匠の技で、貴社のニーズにお応えします。

洗浄用バスケットでは多数実績あります！小物部品や整列投入など、簡単な略図を頂ければお見積もりさせて頂きます。また、装置導入計画時から洗浄・搬送効率の向上を見込みながらの構想も承っております。【特徴】 ○精密部品洗浄・搬送用（部品の出し入れはロボットのため、打痕防止に樹脂コーティング加工） ○遠心型洗浄機用（バスケット底面をテーパ状にすることにより、洗浄効率をアップ） ○洗浄する製...

メーカー・取り扱い企業：株式会社そうぎょう

3D-01661吸着チャック

Y型の真空吸着チャックです。

ウェーハサイズ300mmの搬送に適しています。（ランダムアクセス対応）大気環境用ロボットに多く使用され、ワークの裏面を真空吸着（負圧）により保持します。チャック表面に導電性テフロンコーティングを施すことにより、搬送ワークを帯電による損傷および傷から防止します。...被搬送物 SEMI規格300mm 主にシリコンウェーハなど材質高純度アルミナセラミックス焼結体表面処理導電性テフロ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

抵抗率測定機（RTS-02型）

抵抗率別かつ厚さ別の区分に分類

シリコンウェーハの厚さと抵抗の測定を行い、指定された抵抗率の区分または、抵抗率別かつ厚さ別の区分に分類する装置です。 ...・カセットはローダ側12個アンローダ側15個設置可能です。・搬送はローダ、アンローダの搬送はシングルアームロボットを使用し真空吸着方式で搬送します。・測定データはパソコンに転送されます。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジャステム

『クロムマスク自動現像機』

現像／エッチングを完全に自動化！一貫した良質の製品の生産を保証します

当社では、コレンタ社製が開発した『クロムマスク自動現像機』を取扱っています。当製品は、あらかじめ露光されたクロムマスクを「ハンガー」に装填、レジスト現像-水洗-クロムエッチング-水洗-レジスト剥離-クリーニング-乾燥の各工程をオペレーターの関与を最小限に抑え、クロムマスクの処理を行います。適切な化学薬液処理（補充、抗酸化プログラム）を備えた循環および濾過システム標準...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ラットコーポレーション本社：営業部・業務部

ウェハソーター

正確に、素早くソーティング。キャリアに挿入されたウエハを自動で取り出し…

～Φ8" ■印字読み取り　COGNEX製ユニット搭載 ■センタリングユニット：1組　オリフラ位置合わせユニット搭載 ■装置サイズ：（例）700×1000×1200(Φ6") ■ウェハ搬送ロボット：1組（シングルアームクリーンロボット） ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

非接触エンドエフェクター

ウエハカセットローダ・アンローダ非接触ロボットハンド

　「非接触エンドエフェクター」は、気体を噴出することによりベルヌーイ効果により負圧を発生し、ウエハを空中に浮遊した非接触の状態にて懸垂保持します。　このハンドは薄く製作されていますので、キャリアーへのウエハの　ローダ・アンローダに最適です。　このハンドには排気回収装置(特許）が装着されていますので、クリーンルーム内にて使用可能です。　また位置決め機構が付いておりますのでアライメント...

メーカー・取り扱い企業：有限会社ソーラーリサーチ研究所大阪事業所

ウエハー自動洗浄装置　カセットレス自動洗浄装置

【デモ機貸し出し可能！】各種デザインもユーザーの仕様にあわせて製作致し…

カセットレス自動洗浄装置は、ワーク投入から乾燥までを一貫して行う精密洗浄処理装置です。機器はカセットレス、ボート搬送方式を選択でき、各種デザインもユーザーの仕様にあわせて製作致します。詳しくはお問い合わせ下さい。...【特徴】 ○ワーク投入から乾燥までを一貫して行う精密洗浄処理装置 ○機器はカセットレス、ボート搬送方式を選択可能 ○各種デザインもユーザーの仕様にあわせて製作致します ...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社