搬送ロボット | イプロスものづくり

PRメカナムホイールを制御するサンプル動画あり！開発時間短縮に貢献します！

『DCブラシレスモータ用コントローラ』は、AGV（無人搬送車）や移動型ロボットなどのモータ制御の開発時間短縮に貢献します。シングルまたはデュアルチャンネルタイプをそれぞれ「SBLシリーズ」「FBLシリーズ」「GBLシリーズ」でラインアップ、高回転対応機種もございます。 CAN通信にも対応するほか、ホールセンサやエンコーダなど多くのロータ位置検出センサに対応しており、サーボモータ制御も可能...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アキュレイトシステムズ伊那事業所

電動バランサ『ムーンリフタ』＜導入事例付きカタログ進呈＞

PR重量物の搬送・精密位置決めをサポート。手作業と同じ流れでワークを移動で…

『ムーンリフタ』は、重いワークでも“手先の感覚”を活かしたハンドリングで、安全な作業とスムーズな位置合わせを実現する電動バランサです。両手でワークを持ち、軽い力で動かすことができるため、はめ込み中の引っかかり等、微妙な感触まで感じながら作業可能。接地するまでゆっくり降下したり、手をはなすと直ぐに止まるなど機能も充実。精密な位置決めが必要な組み付けや、ガラス等の繊細なワークの搬送に好適...

メーカー・取り扱い企業：ユニパルス株式会社

ウェーハ搬送ロボット(FIロボット)OH修理、コントローラ修理

交換部品は純正部品を使用し、純正手順で検査致します。また、短納期でOH…

半導体製造装置で使用されているウェーハ搬送ロボット(FIロボット)のOH修理、コントローラの修理を対応しております。 ■交換部品は純正部品を使用し、純正手順で検査致します。 ■短納期でOH修理を対応致します。 ■現場(現地)での点検サ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社渡辺商行

反りウェハも搬送！ベルト搬送式自動レジスト塗布装置（コーター）

ベルト搬送タイプのトラックシステムスピンコーターです。高スループットで…

【特長】 ■ベルト搬送で高スループット（処理能力が高い） ■反りウェハの搬送も可能！ ■低価格を実現 ■自動ウェハサイズ認識システム ■多彩な薬液に実績あり ■フットプリントの低減 ■省レジストで多数のオプション ■生産量に合わせたラインアップロボットを使わず、高スループットを実現！ベルト搬送でのスピンコーターです。トラックシステム（ベルト搬送）のため反りウェハの搬...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

厚さ100um！極薄ウェーハ搬送自動レジスト塗布装置　コーター

GaAs、LT、ガラスなどの脆くて薄いウェーハでの搬送・塗布での実績（…

ット：1組 ■センタリングユニット：1組 ■装置サイズ：（例）1200×1000×1800(Φ4"本体) 　　　　　　　　　 1600×2500×1800(Φ12"本体) ■ウェハ搬送ロボット：1組（ダブルアームクリーンロボット）その他オプション多数！ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

真空環境用ウエハ搬送ロボット『UTVW-R2800H』

【～300mmウエハ用】旋回軸にダイレクトドライブモータを採用！高…

■Z軸が標準搭載されているダブルアームタイプの真空用ウエハ搬送ロボット ■θ軸にダイレクトドライブモータを採用し、ウエハを低振動で搬送することでスループット向上に貢献 ■CVD装置、アニール装置など、高温プロセス装置に対応 ■可搬重量2kgの...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ダイヘン

シャーレ搬送ロボット

医療、バイオ関連施設などの無菌室、クリーン環境下での搬送が可能

医療、バイオ関連施設などの無菌室、クリーン環境下での搬送が可能マイクロプレート搬送も可能チルト機構によりシャーレを傾けて、培養液などの吸引可能当社各ロボットに搬送部を取り付け可能（本仕様は水平多関節型ロボットへの搭載としています）...ロボット仕様ロボット型式 GCR4210-300-AM 被搬送物シャーレφ90x21mm（ガラス）（※その他サイズ、マイクロプレートも対応可） ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

自動フォトレジスト塗布装置（スピンコーター）Coater

レジスト膜の面内均一性やウエハ間の平均膜厚の差が少ないコーターです。低…

ット：1組 ■センタリングユニット：1組 ■装置サイズ：（例）1200×1000×1800(Φ4"本体) 　　　　　　　　　 1600×2500×1800(Φ12"本体) ■ウェハ搬送ロボット：1組（ダブルアームクリーンロボット）その他オプション多数！ ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

高田工業所社製ダイシングフレーム洗浄装置『TFCシリーズ』

ダイシングフレームに付着したテープ糊痕や指紋等を高い洗浄能力を持つ独自…

サイズに対応）・処理ステーション数：1チャンバー（増設可）・スクラブ機能：高圧ジェット・処理液：有機系剥離液・純水・薬液供給：薬液の循環回収・濾過・処理能力：60枚/時・搬送ロボット：搬送ユニット・スピンチャック：メカニカルチャック・搬送ロボット：センタリング機能付スカラーロボット・装置寸法（WxDxH）：1,000x1,500x2,000mm ※詳しくは...

メーカー・取り扱い企業： JFE商事エレクトロニクス株式会社プロセスソリューション営業部実装プロセス営業室

半導体製造装置の周辺機器の修理、改善サービス

高周波電源、搬送ロボットや、RFマッチングボックスなどを修理、改善、オ…

。【修理・改善内容】 ■高周波電源：放熱効果の改善 ■RFマッチングボックス：過負荷や経年劣化する部品を定期交換⇒RF Matchingの機能を安定させ耐久性アップ ■搬送ロボットの修理：ロボット、コントローラーの分解、ウエハ搬送テスト ■ＰＣＢ基板の修理：各装置メーカーのPCB boardを修理 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ...

メーカー・取り扱い企業：アローズエンジニアリング株式会社

ロボットシステムソリューション『MOTOMAN-GPシリーズ』

生産現場の悩みをロボットシステムがスマートに解決！高い搬送能力を実現し…

当社は、株式会社安川電機のロボットシステムソリューション『MOTOMAN-GPシリーズ』を取り扱っております。最高速度が従来機種より最大30％UPした「GP25」をはじめ、「GP7」や、「GP8」、「GP12」をラインアップ。機内ケーブル交換時にバッテリ接続不要で原点データ保持。ケーブル・コネクタ数削減で作業性が向上します。【特長】＜GP7、GP8＞ ■可...

メーカー・取り扱い企業：株式会社TOSAMACHINE

全自動RTP（高速熱処理）装置

Premtek　RTP-1200A（SEC）（SEF）

4～8インチに対応した、シングルチャンバ全自動RTP装置です。搬送方式はオープンカセット・SMIFどちらかの選択で、カセットステーションは2台になります。ウェハをサセプタに格納してプロセス処理をするため、反り、厚さ、透過率等のウェハの特性に関わらず、抜群のRc・温度均一性を実現します。熱源はハロゲンランプで、上下両面配列です。温度測定範囲は20℃～1250℃となります。熱電対とパイロメータが...

メーカー・取り扱い企業：株式会社インターテック販売東京本社（拠点－関西営業所、熊本営業所）

2サイズ兼用自動レジストコーター・デベロッパー（塗布・現像）

段取り替え不要、2サイズのウエハ兼用装置です。低粘度～高粘度レジス…

ット：1組 ■センタリングユニット：1組 ■装置サイズ：（例）1200×1000×1800(Φ4"本体) 　　　　　　　　　 1600×2500×1800(Φ12"本体) ■ウェハ搬送ロボット：1組（ダブルアームクリーンロボット）その他オプション多数！ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

セラミックス製ウエハー搬送ハンド PeriZac（ペリザック）

パーティクル発生リスクを極限に抑えた、大気用セラミックス製搬送ハンドの…

半導体製造装置におけるエンドエフェクター（搬送ロボットの手の部分）には、より軽く、強く、たわみの少ない材料を要望頂くことが多くあります。一度に多くのウエハを処理したいプロセスには、クリアランスの小さいスリットにウエハを積載する必要があり、より薄いセ...

メーカー・取り扱い企業：アスザック株式会社ファインセラミックス事業部

自動塗布・露光・現像一貫プロセス装置（フルオートリソグラフィ）

レジスト塗布～露光～現像処理を一気通貫。自動で処理可能な装置です。フォ…

■オートアライメント機能搭載(FAST社製) ■装置サイズ：（例）1650×1350×1800(Φ4"本体) 　　　　　　　　　 3000×1500×1800(□4"本体) ■ウェハ搬送ロボット：1組（自走式ダブルアームクリーンロボット）その他オプション多数！ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

RSコマンダ

搬送ロボットの単独動作を再現できる動作再現ツールです。半導体製造装置，液晶製造装置，その他制御装置などで使用されている搬送ロボットの通信データを収集、その通信データをエクセル・シートのセル上に記述（レシピ感覚です。）する事で、搬送ロボットの単軸動作，シーケンス動作，繰返し動作等の任意動作が可能です。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイブル

両面プロセスに最適！両面自動フォトレジスト塗布装置　コーター

ウェハ反転ユニットを使うことでウェハの両面塗布を自動で行えます！

ット：1組 ■センタリングユニット：1組 ■装置サイズ：（例）1200×1000×1800(Φ4"本体) 　　　　　　　　　 1600×2500×1800(Φ12"本体) ■ウェハ搬送ロボット：1組（ダブルアームクリーンロボット）その他オプション多数！ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

スピン洗浄装置　自動フォトリゾ装置 JASC-1200AD型

対象ワークは200mm□基板又はφ300mm基板に適用します！

自動フォトリゾ装置はカセットからカセットでレジストスピンコート、真空ベーク、アライナー、スプレー現像を自動で行う装置です。勿論工程の選択も出来ます。ローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1人で作業が出来ます。工程間の搬送は多関節ロボットを採用しています。本機の対象ワークは200mm□基板又はφ300mm基板に適用します。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社

TAB・COF製造装置

有効パターンエリアを大きくとる事が可能であり、材料の有効活用ができます

『TAB・COF製造装置』は、連続搬送方式で製品リール巻出に同期して、ライン搬送に影響を与えず巻取ができます。テンションコントローラーで製品巻出リールの回転速度を一定に制御。巻出部テンションは製品幅により可変しますが96mm幅では、100g以下での搬送が可能です。またタクト搬送方式では、ニップローラー送り又は、1軸ロボットでチャックして送る方法で行い、微細品対応とし...

メーカー・取り扱い企業：株式会社SETO ENGINEERING 守谷事業所

処理装置の総合カタログ「枚葉式ウエハ処理装置総合カタログ」

【無料配布中】自動エッチング装置や自動基盤用現像装置の総合カタログ

2インチから18インチのウエハ及び300mm口基板をローダーより多関節ロボットを使用し各工程を経てアンローダーカセットまで自動で処理する「枚葉式ウエハ処理装置」の総合カタログを無料配布中です！デモも随時ご相談受付ておりますので、ぜひお気軽にお問合せ下さい！ ※詳しくはカタログをダウンロードもしくはお問合せ下さい。...【掲載内容】 ◆自動エッチング装置枚葉式のウエハ自動エッチング装...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社

高田工業所社製バッチ式ウエハー自動洗浄装置『TWSシリーズ』

クリーン化技術・搬送/制御技術を駆使し、各種薬液に対応したバッチ式洗浄…

■装置構成・薬液 APM、HPM、SPM等の無機薬品、IPA、現像液等の有機薬品及び各種洗浄液ならびに機能水・搬送状態カセット／ドラムならびにキャリアレス（※搬送ロボットは上部／下部の2種類があります。）・乾燥スピンドライヤー／リンサードライヤー／IPAドライヤー（※IPAは内製品です。） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ...

メーカー・取り扱い企業： JFE商事エレクトロニクス株式会社プロセスソリューション営業部実装プロセス営業室

オート式露光装置

190WPHの高スループットを実現したマスクアライナ

2インチのウエハサイズに対応する､全自動式露光装置です｡従来のウエハ搬送方式で用いられる多間接ロボットに代わり､自社開発の搬送ロボットを3台配置させたことで､毎時190枚(2インチウエハ)を処理する高いスループットを実現しました｡特に､新開発のアライメント画像処理には､任意座標指定のサーチおよび､インテリジェントθサーチと...

メーカー・取り扱い企業：ウシオライティング株式会社

搬送及び検査機専用設計取り扱いメーカー

当社では、ロボットや駆動装置を使用し、省人化のための搬送装置や検査装置…

当社の搬送及び検査機専用設計メーカーをご紹介いたします。当社では、ロボットや駆動装置を使用し、省人化のための搬送装置や検査装置を製作します。対象ワーク、サイクルタイムなどお客様のご要望に応じて、一から設計製作いたします。ご用命の際はお気軽にご相談ください。【製作実績】 ■無段替えで11種類の製品を画像にて判別、4台のマシニングセンタに　供給し簡易洗浄したあと箱...

メーカー・取り扱い企業：株式会社大成

SSY-10010　EFEM

EFEM

300mmウェーハをFOUPカセットより取出し、振り分けを行います。振り分けのパターンは任意に設定でき、お客様の仕様に対応した振り分けが可能です。振り分け以外にも装置のローダ/アンローダとして使用できます。水平多軸ロボット(GCR4210-500-AM)を搭載することにより走行軸なしで4カセットにアクセス可能 Z軸ストローク500mmの採用によりカセットを上下2段に配置可能ロ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

TSVCR3060N（2インチウェーハ搬送）

真空トランスファーチャンバーの小型化に寄与します。

業界最小クラス、装置の小型化が可能当社標準比真空ロボット：フットプリント65%（φ95mm）, 容積比75%ダウンアームの組み合わせにより任意の到達距離の設定が可能...ロボット仕様ロボット型式 TSVCR3060N-020-PM 被搬送物 2インチシリコンウェーハウェーハ保持方式落とし込みによるラフガイド方式機械構造形式円筒座標型制御軸 3軸モータタイプエンコー...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

ウエハチップ非接触搬送装置

微小ウエハチップ、微小レンズを非接触にて搬送する。

非接触である。微小なワークを非接触にて搬送可能。傷、汚れの付着がない。損傷がない。...微小ウエハチップ（１mm〜20mm角）、微小レンズを気体を噴出することにより非接触にて吸引保持し搬送するロボットハンド。...

メーカー・取り扱い企業：有限会社ソーラーリサーチ研究所大阪事業所

MAX400℃！高温ベーク対応レジスト塗布装置（スピンコーター）

BARCやその他薬液をスピン塗布後、MAX400℃でベーク可能！高温ベ…

ット：1組 ■センタリングユニット：1組 ■装置サイズ：（例）1200×1000×1800(Φ4"本体) 　　　　　　　　　 1600×2500×1800(Φ12"本体) ■ウェハ搬送ロボット：1組（ダブルアームクリーンロボット）その他オプション多数！ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

キャリアー用非接触ロボットハンド

ウエハをキャリアーへ非接触にて挿入・取り出しをするロボットハンド

非接触にてウエハを搬送可能。ハンドが薄いためキャリアーへのウエハの出し入れが可能。クリーンルーム内で使用可能。アライメントが可能。...「非接触キャリヤー用ロボットハンド」は、ウエハを空中に浮遊した非接触の状態にて懸垂保持します。このハンドは薄く製作されていますので、キャリアーへのウエハのローダ、アンローダに最適です。このハンドには排気回収装置が装着されていますので、クリーンルーム内にて使用可能で...

メーカー・取り扱い企業：有限会社ソーラーリサーチ研究所大阪事業所

GCR4210SN(クローズドループ制御)

・クローズドループ制御・アブソリュートエンコーダ搭載・バッテリ…

低価格、高速搬送、脱調レスを実現した2インチ～300mmウェーハ対応のスーパークリーンルーム用4軸水平多関節型クリーンロボットです。並列配置されたカセットに対して走行軸なしで搬送可能です。チャックの向きがカセットに対して直線移動し、エッジグリップによる搬送や角基板搬送も走行軸なしで対応可能。各ウェーハサイズ対応可能です。急激な負荷変動や急加速でも脱調しないクローズドループ制御を採用...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

厚膜塗布に高粘度専用スピンコーター！自動ポリイミド塗布装置

～10000cP程度の高粘度ポリイミドを均一に塗布する高粘度専用スピン…

ット：1組 ■センタリングユニット：1組 ■装置サイズ：（例）1200×1000×1800(Φ4"本体) 　　　　　　　　　 1600×2500×1800(Φ12"本体) ■ウェハ搬送ロボット：1組（ダブルアームクリーンロボット）その他オプション多数！マニュアル機やセミオート機のラインナップもあります！ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

スピン洗浄装置　自動フォトリゾ装置

【デモ機貸し出し可能！】ローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1…

自動フォトリゾ装置は、カセットからカセットでレジストスピンコート、真空ベーク、アライナー、スプレー現像を自動で行う装置です。勿論工程の選択も出来ます。ローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1人で作業が出来ます。工程間の搬送は多関節ロボットを採用しています。本機の対象ワークは、200mm□基板又はφ300mm基板に適用します。詳しくはお問い合わせ下さい。...【特徴】 ○...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社

自動レジスト現像装置（枚葉式）デベロッパー Developer

枚葉式のためプロセスの再現性が高く、薬液使用量も少なく済みます。品質向…

：2組 ■センタリングユニット：1組 ■装置サイズ：（例）1400×1100×1800(Φ4"本体) 　　　　　　　　　 400×900×1800(薬液供給＋電源BOX) ■ウェハ搬送ロボット：1組（ダブルアームクリーンロボット）その他オプション多数！ ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

ロール・スプレーコーターの置き換え！回転カップ式レジスト塗布装置

多彩な薬液に実績あり！低価格の理由は、設計から販売まで自社で行っている…

ット：1組 ■センタリングユニット：1組 ■装置サイズ：（例）1200×1000×1800(Φ4"本体) 　　　　　　　　　 1600×2500×1800(Φ12"本体) ■ウェハ搬送ロボット：1組（ダブルアームクリーンロボット）その他オプション多数！ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

非接触ロボットハンド

気体を噴出することによりエゼクタ効果及びベルヌーイ効果による負圧発生と圧力式エアクッション効果による正圧発生により、ワークを空中に浮遊した無接触・非接触状態にて懸垂保持し、搬送、反転、傾斜する。ベルヌーイチャックともいう。排気回収機構により超クリーンルーム内での使用も可能。半導体ウエハ、ＬＣＤ・ＰＤＰガラス基板、プリント基板、セラミック基板、フィルム、紙、不織布、極薄ワーク、通気性ワーク等に対応....

メーカー・取り扱い企業：有限会社ソーラーリサーチ研究所大阪事業所

SWCR3160CS (防水対応）

3軸円筒座標型クリーンロボット

防水対応3軸円筒座標型ロボットのSWCRシリーズです（300mmウェーハ対応反転+エッジグリップ機能付）。水がかかる環境やぬれたウェーハを搬送することができます。薬液などのため人が入れずウェーハを触ることができない環境でのウェーハ搬送ができます。保護等級IP64 LSI製造プロセスにおける、酸・アルカリの雰囲気中のウェーハ搬送に適していますアーム部は、テフロンコーティングにより耐蝕...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

Siナゲット洗浄装置

Siナゲット洗浄装置　専用バスケットで自動搬送　化学研磨・酸切・高品位…

＜主な仕様＞ 1.被洗浄物：　Siナゲット 2.処理方法：　水洗⇒薬液洗浄⇒リンス⇒予備乾燥 3.搬送方法：　搬送ロボットによる自動搬送 4.使用薬液：　フッ酸、硝酸...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ゼビオス（XEVIOS CORP.,）

有機EL用成膜装置

有機EL用の実験装置です。搬送系の操作は、PCより制御可能です。全自動…

有機EL成膜用の有機蒸着セル（KOD-Cell）が16台、金属材料蒸着の際には、金属蒸着セルが標準装備されます。有機用、金属用と共通して少量サイズのルツボにて構成されており、装置チャンバー内に極力チャンバー汚染をしない事に重点を置いた設計になっております。本システムは、全自動式である為、多種多様な研究が行える多目的研究開発用装置となります。...【特徴】・3軸ロボット機構にて、マスク及び試料搬...

メーカー・取り扱い企業：北野精機株式会社

段取り替えなし！複数ウエハサイズ兼用自動レジスト塗布装置コーター

現状のウエハサイズと将来的に使用したいウエハサイズを兼用した装置を作製…

ット：1組 ■センタリングユニット：1組 ■装置サイズ：（例）1200×1000×1800(Φ4"本体) 　　　　　　　　　 1600×2500×1800(Φ12"本体) ■ウェハ搬送ロボット：1組（ダブルアームクリーンロボット）その他オプション多数！ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

高田工業所社製試作用枚葉式ウェット処理装置『TWPmシリーズ』

リフトオフ・レジスト剥離プロセスによるウエハー表面処理を行う試作研究用…

圧ジェット／ 2 流体ジェット／超音波シャワー等・処理チャンバー数：2, 4チャンバー・処理液：有機系剥離液・リンス液 , 純水・薬液供給：薬液の循環回収・濾過・温調システム・搬送ロボット：搬送ユニット・スピンチャック：バキュームチャック　　　　　　　　※オプションにてメカニカルチャック対応可・装置寸法（WxDxH）：1,200x1,500x2,000mm ・自動消...

メーカー・取り扱い企業： JFE商事エレクトロニクス株式会社プロセスソリューション営業部実装プロセス営業室

自動現像/エッチング装置

簡単操作のCtoCロボット搬送付き現像/エッチング装置。用途によりデベ…

スピン・スプレー方式現像/エッチング装置に搬送ロボットを搭載することにより、セットされた基板カセットから自動的にローダー・アンローダーを行い連続処理を行ないます。...

メーカー・取り扱い企業：アクテス京三株式会社技術センター

『半導体ロボット設計製作』事業紹介

新しい可能性をカタチに！ものづくりをトータルコーディネートいたします

株式会社ソーワエンジニアリングでは、半導体搬送装置の開発設計から製作・組立までを一貫して承ります。半導体装置メーカーへの納入実績27年。真空雰囲気での搬送装置の為、高度な技術を必要とされます。また、部品検査、出荷検査を行い、ISO9000に準拠した品質保証体制を整えております。【製品例】 ■ロボットリンク部 ■半導体基板搬送ハンドラー ※詳しくはお気軽...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ソーワエンジニアリング

ＭＲ500　LSIチップ評価試験用全自動搬送装置

産業用イーサーネットに対応したＬＳＩチップ評価試験用全自動搬送装置です…

本装置はＬＳＩチップ評価試験を行う評価ボード上にＬＳＩチップを１つずつXYZ3軸ロボットで自動搬送する装置です。...LSIの入ったトレーをセットしトレーの1番目から順に評価ボードに搬送。評価が終了すると元の位置に戻します。次のチップを吸着し同じ操作を繰り返します。最後の動作を終了すると自動で停止します。...

メーカー・取り扱い企業：マック産業機器株式会社テクノロジーセンター

自動プログラミングシステム

電子機器の量産に適したデータ書込みと書込み作業の自動化、品質向上、作業…

メラの画像処理によりICソケット、トレイの位置情報を取得し、制御プログラムに設定を行う自動位置決め機能を搭載しています。取得したソケットとトレイの位置情報に基づき、位置補正をしながら搬送ロボットがデバイスを吸着し、トレイポケットに収納するので、ピン曲がりの発生を抑えることが可能です。作業の自動化、効率化、省人化、品質向上、作業履歴のトレースが可能です。その他、各種カスタ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社カナデン本社

逆テーパー角を一定に！PEB対応レジスト現像装置（デベロッパー）

逆テーパー角度を一定に！ネガレジストやイメージリバーサル用のレジストに…

ット：1組 ■センタリングユニット：1組 ■装置サイズ：（例）1200×1000×1800(Φ4"本体) 　　　　　　　　　 1600×2500×1800(Φ12"本体) ■ウェハ搬送ロボット：1組（ダブルアームクリーンロボット）その他オプション多数！ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

SSY-10000

ガラス、サファイア、SiC、GaN、等々のウェーハ対応　卓上ローダーシ…

ウェーハ検査ステージと搬送部分が一体化したコンパクトな卓上システム X軸190mm、Y軸200mmのロングストローク設計であり、どの位置でも手元のノブでウェーハの回転操作が可能 搬送ロボットは2本のチャックを持ち、検査ステージへのウェーハ入れ替え動作を短時間で完了可能ロボットと落とし込みアライメントステージの組み合わせで低コスト・省スペース・高機能なシステムを実現 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

半導体関連装置

ワークの外観検査を目視にて行う装置などを豊富に取り揃えております

株式会社ピクリングの取り扱う『半導体関連装置』についてご紹介します。浜松ホトニクス社製厚み計を使用し、ワークの厚みを測定出来る「厚さ測定機」をはじめ、搬送ロボットを搭載しておりますのでフルオートでの測定が可能な「膜厚測定機」や、ワークにレジストを塗布する事を目的とした「レジスト塗布(スピンコーター)装置」等をご用意。ご要望に合わせてお選び...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ピクリング

株式会社キョウワ　事業紹介

創造することに挑戦を続け常に進歩を追及し、環境対応型企業を目指します。

株式会社キョウワは、熱間鍛造ボルトの製造で操業を開始し、機械の部品製造・機械装置の製造と、お客様からのご指導を頂き時代の流れに合わせ事業転換を行い成長してきました。変化の激しいグローバルな環境で勝ち残る為には、環境の変化に対応し成長を続けることが必要です。お客様の満足を超える価値を提供し、私たち自身の存在価値を追及し続けるため常に謙虚で素直な姿勢を持ち、環境対応型企業として進歩を続けます。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社キョウワ