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55件 - メーカー・取り扱い企業
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PR切断をはじめ、ポリッシング、積層などの工程をご紹介！当社の受託加工のご…
脆性材の端面ポリッシング、および、端面塗布の受託加工をご案内 ショーダテクトロンでは、脆性材加工用機械装置の技術を活かして、矩形、円形、その他形状の硝材の端面ポリッシング加工、および自由形状の端面樹脂塗布の加工を受託致します。また、端面研磨に関しましては、協力工場を通して、インゴットご支給からのスライス、芯出し、端面研磨といった一貫した加工も承ります。 試作品や小ロットの加工をお考えでしたら、...
メーカー・取り扱い企業： ショーダテクトロン株式会社
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コア・インゴットを美しく精密に仕上げる！全自動で行う化合物半導体研削機…
『SCY-200』は、半導体用化合物のコア（円柱状）円周を指定寸法に削り、 オリフラ加工を自動的に行う円筒・オリフラ研削装置です。 切削液はクーラントタンクを循環することで冷却とクリーニングを行います。 また、IoTシステムと連動して種々のセンサーを追加しデータセンシ...
メーカー・取り扱い企業： イーアールエス株式会社
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スキャン速度アップ！従来のアライメント速度が３秒以上向上！さらに、Si…
今お使いのオリフラ合わせ機でお困りの点はありませんか？ ・反りウェハやガラスウェハにも対応したい… ・導入を検討しているがコストが掛かり迷っている… テックスイージーのオリフラ合わせ機「WAシリーズ」...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社テックスイージー
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指定カセットに収納されたウェーハのノッチ及びオリフラの向きを整列させる…
ノッチ、オリフラ整列角度は3種類の設定が可能です。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム
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汚染物質の少ないFZ法で製造された高品質・高純度・高抵抗のFZシリコン…
納品時にはメーカーのCofCをおつけします。 仕様 方位: (1-1-1) ± 2 deg. 直径(mm) : 101,60 ± 0,20 長さ(mm) : 200 - 400 第一オリフラ(mm) : 30,5 - 34,5 (1-10) +/- 1 Deg. 第二オリフラ(mm) : N.A. タイプ: N-type/Phosphorous ライフタイム(microsec)...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社エナテック 東京本社
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半導体ウェーハ研磨機 ノッチ、ベベル、オリフラ研磨装置【日本製】
高品位研磨テープによる低Raの実現
Siウェーハ、化合物ウェーハのベベル、ノッチ、オリフラに対応したフルスペックのテープ式精密研磨装置です。...
メーカー・取り扱い企業： アイエムティー株式会社
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幅広い用途に期待！お客様の用途、スペックに合わせて供給いたします
【その他の仕様】 ＜2インチ＞ ■1次オリフラ長さ：16.0±0.8mm ■1次オリフラ方位：A-plain(11-20)±0.2° ■TTV：10um以下 ■LTV：10um以下 ■TIR：10um以下 ■BOW：10um以下 ...
メーカー・取り扱い企業： エムシーオー株式会社
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端面研磨・斜面研磨等ラウンドポリッシュ対応可能！処理能力は6インチ対応…
当社は、主に合成石英を使用しノッチ加工(ノッチ部にも面取りは可能)や オリフラ加工を任意で出来ます。 端面研磨・斜面研磨等ラウンドポリッシュ対応可能。 丸外形はφ1.20～φ380、角外形は□1.00～380X680、厚みは極薄60μ～120t、 その他穴加工...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ブル精密 (株)ブル精密 本社
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正確に、素早くソーティング。キャリアに挿入されたウエハを自動で取り出し…
当製品は、ローダーキャリアからウエハを取り出し、 シリコンウエハに印字された文字を読み取り、 オリフラ位置の位置合わせを行ったうえで アンローダーキャリアへ戻す、自動ソーティング装置です。 設計から製造・販売まで自社で行っているので、低価格を実現しました！ 【特長】 ■低価格を...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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傷・異物・クラックなどの欠陥の検査に。エッジの精細画像検査を実現
は、ウエハ外周の端面と上下の３面を同時に 高速光学画像検査により傷・異物・クラックなどの欠陥を検査します。（８”ウエハで検査時間６秒と高速です）ウエハを裏面吸着して形状をカメラ認識して外径偏芯とオリフラ位置／量を検出して検査機を制御します。新規開発のトリプル光学系とインテグレイト照明がエッジの精細画像検査を実現しました。外部もＰＩＯ制御が可能で自動機に組込むことができます。ウエハーサイズも４イン...
メーカー・取り扱い企業： アローズエンジニアリング株式会社
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化合物半導体ウェーハ研磨装置 小型ウェーハ用テープ式研磨装置
【日本製】精密研磨テープ使用
ベベル研磨、オリフラ研磨に特化した省スペース、ローコストタイプのテープ式精密研磨装置です。...
メーカー・取り扱い企業： アイエムティー株式会社
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信光社製サファイアキャリアウェハ
スルーホール加工、レーザーマーキング、面取り加工、オリフラ加工...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社信光社
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テープ剥がし機
■リトライ機能■ 離動作後、センサーにより剥離確認を行います。NGの場合再び剥離動作に入り、剥がし残しを防ぎます。（回数設定可） ■アライメント機能■ 剥離前にアライメントテーブルにて、オリフラ・ノッチの角度位置合せとセンタリングを行い、位置ズレによる剥離不良を防ぎます。 ■タクト調整機能■ テープ剥離速度、搬送速度等をタッチパネルにて設定可能。ワークにあわせた調整が可能です。 ■...
メーカー・取り扱い企業： 大宮工業株式会社 営業本部営業課
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ウエハ移載機
することも可能です。 ■特長 ・省スペースなコンパクトサイズを実現したことにより、容易に設置が可能です。 ・検査ユニットとのドッキングが可能です。 ・対象ウエハは、100mm〜200mm オリフラ・ノッチに対応可能です。 ・ロット分割・統合等、ユーザーのニーズに合わせた搬送モードを提供します。...
メーカー・取り扱い企業： レイリサーチ株式会社
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ウェーハ(シリコン、GaAs、ガラス)の位置決めを必要とする搬送に対応
光学式アライナ SAL4381シリーズは、半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ(シリコン、GaAs、ガラス)の位置決めを必要とする搬送に対応しております。シリコンウェーハのセンタリングとオリフラを高速、高精度に位置決めします。スピンドル側に0.1μmのフィルタを装備しています。制御方式はRS232C及びパラレルフォトI/Oです。オプションでGaAsウェーハやガラスにも対応が可能です。 ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル
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計測分解能を下げずに他社に比べて低価格！
ウエハ外周全周の端面と上下面の3面を同時に撮影して傷・異物・クラック・チップ欠陥の検査をします。 検査ウエハを吸着してカメラでノッチ／オリフラなどのウエハ形状を認識して最適な駆動制御をします。 新開発のトリプル光学系とインテグレイト照明が画像処理に最適な照明を実現しました。 検査時間は1枚に10秒と高速です。 外部通信機能でこのま...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイティ・テック
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6インチ用 ウェハローダー WR-100A
6インチ用、マニュアルタイプのウェハローダー 【特徴】 ○ウェハをカセットから顕微鏡の受け渡し位置へ渡し 作業終了後、カセットへ収納 ○検査するウェハは選択可能 ○オリフラ角度の設定が90度単位で可能（オプション） ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウイング
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用途に合わせた多様なラインナップ！真空蒸着時の物理膜厚を検知するセンサ…
たセンサーを提供しており、 5MHzと6MHzの2タイプが用意されています。 特殊品として、結晶の軸方向を特定することで水晶の温度特性や副振動を 改善し精度を向上させることが出来る「両面オリフラ加工品」や、 鏡面研磨をすることによって発振強度を高めることが出来る 「ポリッシュ加工品」があります。 【特長】 ■5MHzと6MHzの2タイプ ■両面オリフラ加工品やポリッシュ加工...
メーカー・取り扱い企業： ピエゾパーツ株式会社
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制御方式は、RS232C及びパラレルフォトI/Oです。
100mm～200mm対応光学式アライナ SAL4484シリーズは、半導体製造装置内、検査装置等のウェーハの位置決めを必要とする搬送に対応しております。シリコンウェーハのセンタリングとオリフラ・ノッチを高速、高精度に位置決めします。制御方式は、RS232C及びパラレルフォトI/Oです。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル
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UV-LED光源！半導体製造用自動露光装置|マスクアライナー
光源を水銀ランプからLEDへ置き換えた露光装置です。 自動平行調整、…
【主な仕様】 ■マスクサイズ：□3"～□7" ■ウエハサイズ：Φ2"～Φ6", 角基板 □2"～4" ■カセットステージ：2組 ■センタリングユニット オリフラ自動位置合わせ機能付き：1組 ■露光光源：i線LED光源(500W相当) ■オートアライメント機能搭載(FAST社製) ■装置サイズ：(例)1200×1200×1900(本体) ■搬送方法...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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自動塗布・露光・現像一貫プロセス装置（フルオートリソグラフィ）
レジスト塗布～露光～現像処理を一気通貫。自動で処理可能な装置です。フォ…
1組 ■バック・エッジリンス：1組/塗布CUP ■現像ノズル：1組 ■リンスノズル：1組 ■ベークユニット：3組（Max200℃） ■クーリングユニット：2組 ■センタリングユニット オリフラ自動位置合わせ機能付き：1組 ■露光ユニット：1組 ■露光光源：超高圧水銀灯(250W，500W) UV-LED光源も対応可能 ■オートアライメント機能搭載(FAST社製) ■装置サイズ：...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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ベルト搬送方式によるウエハ表面、裏面を同時に露光可能な装置です。 f…
【主な仕様】 ■マスクサイズ：□5"～□7" ■ウエハサイズ：Φ4"～Φ6" ■カセットステージ：ローダー、アンローダー各2組 ■センタリングユニット オリフラ自動位置合わせ機能付き：1組 ■露光光源：超高圧水銀灯(250W，500W) UV-LED光源も対応可能 ■装置サイズ：(例)1800×1000×1900(本体) ■搬送方法：ベルト搬送方式...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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スラリー不使用 濾過水、純水を媒体として鏡面研磨、粗研磨から洗浄まで行…
■対象物 ・薄い材料150～200μに好適 ・各種ウェハ：化合物、酸化物、ガラス、石英、シリコン、セラミック 対応 実機での評価・確認後に装置採用のご検討をお願いします。 オリフラ対応(Vノッチは出来ません) 自動化・仕様打合せによる特注設計製作に対応します。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ゼビオス（XEVIOS CORP.,）
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お客様のご要望に合ったシリコンウェハーを提供いたします！
の用途にご使用いただける『シリコンウェハー』を取り扱っております。 モニターウェハーはもちろんのこと、各種サイズ、各種厚み、 パーティクルウェハーにも対応可能です。 P型/N型・オリフラ/Vノッチ・結晶方位などお気軽にご相談ください。 【用途】 ■装置の条件出し ■ダイサーやBGのプリカット ■搬送テスト など ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽に...
メーカー・取り扱い企業： エムシーオー株式会社
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ウェーハ用アライナ
半導体製造装置内、検査装置等のウェーハの位置決めを必要とする搬送に対応 小径ウェーハ対応で省フットプリント化を実現 小径ウェーハのセンタリングとオリフラ・ノッチを高速、高精度に位置決めします...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル
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Mipox WaferEdgePolisherはSIウエハメーカー、再…
ルフリー加工 ・ユーティリティーの接続が簡単 ・様々なエッジ形状の成形が可能 ・粗削りも細かい研磨も可能 ・トップエッジ研磨が可能 ・SiCやGaNなどの難削材料も研磨可能 ・ノッチ、オリフラにも対応可能...
メーカー・取り扱い企業： 兼松ＰＷＳ株式会社
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ウェハーダウンサイジングが可能、ウォータージェットレーザー加工。
熱影響が少なくSiCなどの難削材を得意とするウォータージェットレーザー…
N等各種ウェハーのダウンサイジングを受託加工致します。 ウォータージェットレーザーを用いて追加工すれば熱影響が少ない為ダメージレス、また裏表にカケ等ありません。 SEMI規格に準拠したノッチやオリフラを付ける事も可能です。 本来、難削材であるはずのSiCにおいても、レーザーの吸収率が高い事から従来の機械加工では実現不可能な追加工を可能としております。 まずは御気軽にお問合せ下さい。...
メーカー・取り扱い企業： ナラサキ産業株式会社 メカトロソリューション部 機能材料課
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25枚のウェハを、１度にキャリアやボートに移載させる装置
キャリアに挿入された25枚のウェハを、１度にキャリアやボートに移載させる装置です。※オリフラあわせ機能内蔵。異なるウェハ厚さ（275～600um）混在可能で、高速スループット25秒／回を実現しました。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。...
メーカー・取り扱い企業： 玉川エンジニアリング株式会社
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切断をはじめ、ポリッシング、積層などの工程をご紹介！当社の受託加工のご…
します。 加工形状例：コーナーR付スマホサイズやタブレットサイズ、樹脂膜付き平板350ｘ400×ｘ1t、560ｘ260ｘ6.5t、Φ500ｘ6t、Φ300ｘ0.7~1ｔ、Φ200ｘ0.7~1t、オリフラ付きΦ150ｘ1t、Φ180ｘ20t、他。 ■端面塗布（UV硬化樹脂の塗布） 加工材：各種ガラス基板、PCB基板（ガラエポ、アルミ基板）、他。 加工寸法：50ｘ50～120ｘ170、板厚...
メーカー・取り扱い企業： ショーダテクトロン株式会社
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極単純構造で製造コストを削減！4インチウェハ対応エッジグリップ仕様アラ…
【仕様】 ■被搬送物：4インチ GaAsウェハ、SiCウェハ ■位置決め精度 ・センタリング：±0.2mm以内 ・オリフラ：±0.1度以内ないしは±0.15度以内 ■位置決め時間：約15秒以内ないしは約10秒 ■クリーン度：ISO クラス2 ■供給源 ・電源 DC24V 3A以上 ・圧空 0.5MPa ...
メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社
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2インチ,3インチ,100～150mmウェーハのアライメントが可能です
のウェーハ接触部はPEEK材、Oリング(特殊フッ素ゴム)を採用 ○その他、ウェーハ形状に合わせカスタマイズ 【仕様】 ○被搬送物：2インチ,3インチ,100～150mmウェーハ 第一オリフラ、ノッチ仕様 無処理品 ○位置決め精度：センタリング:±0.2mm以内 オリフラロケート:±0.2度以内 ○位置決め時間：ノッチサーチ 3秒以内(持ち直し動作無しの場合) ○センサ：可視半導...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル
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リンス、乾燥を専用のチャンバーで行うことにより、精密洗浄が可能
はMAXφ12″) マスク □4″～□6″（ 同 MAX□9″) ■オプション ワーク反転機構 FOUPロードポート対応 レチクルケース対応 SMIF POD対応 オリフラ／ノッチ合わせ機構 イオナイザー オゾン水供給ユニット 高圧ポンプユニット 薬液供給ユニット 機能水供給ユニット エキシマUVユニット 帯電防止器 □その他詳細についてはカタロ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社カナメックス 厚木工場
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【50～300mmウエハ用】 業界最短アライメント時間を達成する吸着…
■上位コマンドにより、複数サイズのウエハアライメントが可能 ■オリフラ部及びノッチ部を指定位置に停止可能（ウエハID読取り利用） ■石英ウエハにも対応可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダイヘン
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ファイバセンサ搭載！卓上型6、8インチ対応アライナ付ソータ装置
『SYAR110』は、卓上型ロボットとアライナ、カセットステージを 組み込んだソータ装置です。 ウェハをカセットから抜き取り、アライナでセンタリングと オリフラ位置決め後に、他方のカセットに移し替えができます。 また、帯電防止塩ビカバー、各種インターロックを装備しています。 【特長】 ■パソコン画面のレシピ選択によって移載するパターンの選択...
メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社
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ガラスの種類・外寸/形状/板厚・開口径/ピッチ・平坦性・オリフラ加工な…
当社は、『ガラス面凸凹加工＆貫通穴付キャビテー加工サービス』を 行っています。 フォトリソとケミカルエッチング技術を組み合わせ製作された ガラス微細加工の一例では、ケミカルエッチング加工する事で端面形状が 滑らかでマイクロクラックレスで仕上がります。 また、極めて薄いガラスを提供する「ガラススリミング加工サービス」も 承っていますので、ご用命の際はお問い合わせください。 ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社KISO WAVE
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トリプル光学系とインテグレイト照明で最適照明を実現！
【特長】 1. エッジ部3面の同時検査可能 2. 欠陥と異物の識別機能 3. トリプル光学系とインテグレイト照明で最適照明を実現 4. オリフラ部を含めた全集検査が可能 5. ウエハ全周撮像と欠陥部レビューファイル機能 ◎「カタログをダウンロード」から仕様等の詳細がご覧いただけます。 ご興味のある方はカタログをダウンロード...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイティ・テック
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ウエーハ材質に影響を受けない新型アライナ
ウェーハサイズ、材質にあわせてスピンドルの径、形状、材質の変更も対応可能 ベルヌーイスピンドルも搭載可能 制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O SEMI規格にない形状のノッチ、オリフラ等への対応も可能 ウェーハ持ち直し動作が可能なZ軸付きも製作可能...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル
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ロード/アンロードシステム
をはじめとする新しい搬送方式のウェーハ用搬送システムで、複数枚処理用のサセプタ・トレイへのウェーハの自動供給、自動回収が可能です。 ウェーハ用、サセプタ用にそれぞれアライナを搭載し、ウェーハのオリフラ位置やサセプタのセンタリング及びインデキシングを行います。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル
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シリコンウエハのセンタリングとオリフラ・ノッチを高速、高精度に位置決め
150mm～300mm対応光学式アライナ SAL46C6シリーズは、半導体製造装置内、検査装置等のウェーハの位置決めを必要とする搬送に対応しております。シリコンウェーハのセンタリングとオリフラ・ノッチを高速、高精度に位置決めします。制御方式は、RS232C及びパラレルフォトI/Oです。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル
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個体差を極力抑えた真空膜厚時の物理膜厚を検知するセンサー
ーを提供しており、 5.0MHzと6.0MHzの2タイプが用意されています。 特殊品として、結晶の軸方向を特定することで水晶の温度特性や副振動を 改善し精度を向上させることが出来る「両面オリフラ加工品」や、 鏡面研磨をすることによって発振強度を高めることが出来る 「ポリッシュ加工品」があります。 【特長】 ■5.0MHzと6.0MHzの2タイプ ■両面オリフラ加工品やポリッ...
メーカー・取り扱い企業： ピエゾパーツ株式会社
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小径ウェーハ対応で省フットプリント化を実現しました。
イナ SAL2241シリーズは、半導体製造装置内、検査装置等のウェーハの位置決めを必要とする搬送に対応しております。小径ウェーハ対応で省フットプリント化を実現しました。小径ウェーハのセンタリングとオリフラ・ノッチを高速、高精度に位置決めします。スピンドル側に0.1μmのフィルターを装備しています。制御方式はRS232C及びパラレルフォトI/Oです。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧く...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル
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半導体製造装置内、検査装置等のウェーハの位置決めを必要とする搬送に対応
光学式アライナ SAL38C2/SAL3361シリーズは、半導体製造装置内、検査装置等のウェーハの位置決めを必要とする搬送に対応しております。シリコンウェーハのセンタリングとオリフラ・ノッチを高速、高精度に位置決めします。スピンドル側に0.1μmのフィルタを装備しており、制御方式はRS232C及びパラレルフォトI/Oです。従来機種SAL46C6、SAL4484に対して約50%...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル
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