スパッタ | イプロスものづくり

PR狭いところに手が届く接合を実現。楕円形の軌跡により、高強度・低ダメージ…

『Ellinker 20k-HP/20k』は、振動拡大ホーンと楕円形の軌跡を描く複合振動を生み出すスリット入りホーンを備えた超音波複合振動接合機です。加圧・加振のムラや減衰が少なく、ワークへのダメージやバリの発生を抑えた高品質な接合が可能。ロングホーンチップを使用でき、円筒型LiBの底部など様々な形状・接合位置のニーズに対応可能です。はんだなどの介在物を使用せず、母材の変質リスクも少な...

メーカー・取り扱い企業：千代田交易株式会社

3次元レーザ統合システム『ALCIS-1008e』

PR【変わる世界に、光でこたえを。】高出力Blueレーザによる高速・高品質…

『ALCIS』日々進化する素材や工程に対応する柔軟な加工機高出力Blueレーザ発振器/ファイバーレーザ発振器を搭載「高出力Blueレーザ」高出力BLUEレーザ（３kW/４kW）により、高速・スパッタレスの銅溶接を実現します。「スキャナヘッド」スキャナヘッドにより多数の加工点の高速加工を実現。コンビ加工、オンザフライ加工、スキャナ加工の三つの加工方法で、好適な加工方法を選択可能で...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アマダ（アマダグループ）

【資料DL可/EBSD】EBSD を用いたアルミスパッタ膜の評価

電子線後方散乱回折法EBSDはアルミスパッタ膜の性能評価や下地材料の選…

とで以下が可能です ●微小領域の結晶粒の形状および方位の測定 ●基準方位に対する結晶の配向の確認 ●結晶方位差の情報から材料内部の歪の測定本事例では「EBSD を用いたアルミスパッタ膜の評価」を紹介していますこの測定技術は、アルミスパッタ膜の性能評価、下地選択に役立ちます磁石の方位評価や結晶性があればセラミック材料にも応用可能ですぜひお試しくださいな...

メーカー・取り扱い企業：セイコーフューチャークリエーション株式会社

ロードロック式スパッタ装置　RAS-1100BＩＩ

独自開発のRAS(Radical Assisted Sputtering）方式により波長シフトのない高品質な光学薄膜を低温で再現性良く実現でき、装飾膜、窒化膜などの機能性薄膜を実現できる中型量産用モデルです。...独自開発のRAS(Radical Assisted Sputtering）方式により波長シフトのない高品質な光学薄膜を低温で再現性良く実現でき、装飾膜、窒化膜などの機能性薄膜を実現できる...

メーカー・取り扱い企業：株式会社シンクロン

立体物用スパッタリング装置

立体物成膜での高いカバレッジを実現！最大3台のスパッタカソードを搭…

『立体物用スパッタリング装置』は、当社独自のスパッタカソードを搭載しています。ワークステージに4軸機構（昇降、公転、自転、チルト）を搭載し、立体物成膜での高いカバレッジを実現。加熱機構、バイアス電源...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社

自動車ボディーの溶接後のスパッタ除去をブラシ研磨で高速自動化

自動車産業での実績が改善実績の証明書。ホワイトボディーのスポット溶接ス…

ASK ブラッシングキット。主用途は自動車産業用の溶接スパッタ除去、ブラシ研磨、クリーニング。 ASK301，401 ボディインホワイトやシートメタルの理想仕上げ百聞は一見に如かず！です。ぜひ当社HP or YouTube(FerRobotics...

メーカー・取り扱い企業： FerRobotics Compliant Robot Technology GmbH 日本リモートオフィス

イオンビームスパッタ装置『scia Coat 200/500』

最大5(220mm径)又は4(300mm径)ターゲット搭載！イオンビー…

『scia Coat 200/500』は、最大200mmウエハ基板又は 300mm×500mm基板対応の製品です。プロセスは、イオンビームスパッタリング(IBS)、イオンビームエッチング(IBE)、デュアルイオンビーム スパッタリング(DIBS)となっております。ご用命の際は、お気軽にご相談ください。【特長】 ■最大...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ハイテック・システムズ

『SSP2500G グローブボックス付きスパッタ装置』

不活性ガス雰囲気中で基板・ターゲットの交換ができる、研究開発用小型スパ…

『SSP2500G グローブボックス付きスパッタ装置』は、不活性ガス雰囲気中で基板交換およびターゲット交換ができる、高品質と低価格を実現した研究開発用小型スパッタ装置です。小型ながら2インチカードを2基備え、真空を破らずにターゲット基板...

メーカー・取り扱い企業：株式会社菅製作所

スパッタリング装置『MiniLab-026』

小型、省スペース! 研究開発に最適蒸着・スパッタ・アニール等目的に合…

をPlug&Play感覚で19"コンパクトラックに組込む事により無駄が無く、小型省スペース・シンプル操作・ハイコストパフォーマンスを実現した、フレキシブルR&D用薄膜実験装置です。マグネトロンスパッタ（最大3源）もしくは抵抗加熱蒸着（金属源最大4、有機材料x4）に対応します、又基板加熱ステージを設置しアニール装置、プラズマエッチングも製作可能。グローブボックス収納タイプもございます（*要...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社

【導入事例】スパッタ付着防止剤の自動塗布システム

システムの導入で、飛散がなく均一かつ適量の塗布を実現した事例のご紹介

某メーカーの自動車組み立て工場へ、スパッタ付着防止剤の自動塗布システムを導入した事例をご紹介いたします。溶接ラインに粒子径が大きく飛散しづらい一流体方式を採用。また、過剰な塗布を防ぎ適量をスプレーするため、塗布量を精密制御...

メーカー・取り扱い企業：スプレーイングシステムスジャパン合同会社

ロードロック式スパッタ成膜装置 RAS-1100C

光学薄膜から機能性装飾膜まで成膜が可能！スパッタ成膜装置

≪独自に開発したＲＡＳ方式はさらに進化し、高規格の光学薄膜から　　　　　　　　機能性装飾膜まで広範囲の成膜が可能になりました≫ ●波長シフトの無い高密度な光学薄膜形成が可能 ●中間屈折率を利用し光学薄膜設計が容易に ●再現性の良い２０nm以下の薄膜を利用し、　光学薄膜設計どおりの成膜が可能 ●色の再現性が良い、ＲＧＢカラー着色が可能 ●低温処理によるプラスチックスへの成膜可能...

メーカー・取り扱い企業：株式会社シンクロン

量産対応バッチタイプスパッタリング装置　（STH10311型）

φ４１０基板×４枚の自公転基板台を４枚備えたバッチ型のスパッタリング装…

複数の自公転基板台の採用により、量産用としての処理量と優れた膜厚均一異性を両立したバッチタイプスパッタリング装置です。サイドスパッタ方式により1ｍを超えるチャンバ系でありながら、基板やターゲットの着脱作業、真空層内のメンテナンスの簡易性を実現しました。量産用途に最適なデータロギングシステム...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

デスクトップクイックコーター「SC-701MkII」

SEM用試料の前処理用として最適！シリーズ最小のコンパクトコーターです…

「SC-701MkII」は、シリーズ最小のコンパクトコーターです。デバイスの電極膜付けにも使用可能で、シンプル＆イージーオペレーションです。イオンダメージを軽減する間欠スパッタ機能を標準搭載。試料ブロックを用いて簡単にT-S間距離を変更できます。 SEM用試料の前処理用として最適です。【特長】 ○シリーズ最小のコンパクトコーター ○低価格／小型軽量タイ...

メーカー・取り扱い企業：サンユー電子株式会社

シストナビ社　サービス概要　パターニング加工　研究開発・実験・試作・外注量産　

アシストナビ社の『パターニング加工』

社の『パターニング加工』ご案内です。【特長】 ■Large-wafer Foundry 8,12インチデバイスラインにて各プロセスの加工をアシストします。 <代表的な加工設備> ・スパッタ・ＣＶＤ・ＫｒＦ／ＡｒＦ露光、イオン注入、CMP等 ■MEMS-wafer Foundry MEMSデバイスラインにて各プロセスの加工をアシストします。 <代表的な加工設備> ・ス...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アシストナビ

コンビナトリアル・マグネトロンスパッタシステム CMS-3200

単一基板に数100条件の組成分布を形成。有効成膜エリアは1辺25mmの…

『CMS-3200』は、2元・3元のコンビナトリアル組成傾斜成膜に対応する 3元コンビナトリアル・マグネトロンスパッタ装置です。有効エリアは1辺25mmの正三角形。2インチウエハを標準基板とするため、パターン描画・エッチングなどのライン後工程に投入でき、成膜のみならず解析までをハイスループット化で...

メーカー・取り扱い企業：株式会社コメット

PIG式 DLCコーティング装置

優れた膜の密着性と高面圧耐性を実現！スパッタカソードを標準装備していま…

『PIG式 DLC膜形成装置』は、独自開発によるPIGプラズマガンを採用し、極めて平滑で相手攻撃性の低いDLC膜を高速で形成できる高密度プラズマCVD装置です。 スパッタカソードを標準装備しており、スパッタ膜との積層構造により優れた膜の密着性と高面圧耐性を実現しています。自動車部品の表面処理用途に豊富な実績を持っており、多くの用途に採用。また新開発...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

表面処理装置　スパッタ用イオン銃　「40C1型」

表面処理装置　スパッタ用イオン銃

試料表面をクリーニングするためのコンパクトで簡便なイオン銃です。 ...【特徴】 ◯取付フランジは外径70mmで、容易に装着が可能 ◯真空内のソース長は標準の63mmのほか、要望対応も可能 ◯酸素、水素、ハイドロカーボンのような活性ガスの導入も可能 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社テクノポート