リモートプラズマ・イオンビームスパッタリング装置　

PRヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印…

ヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印加により高品質かつフレキシブルな成膜をする装置です。 イオン源、ターゲット、基盤それぞれに対して独立した電流制御を行います。 複数のターゲットを搭載し、切り替えての多層成膜も簡単に行えます。同時にターゲット付近、基盤付近に独立したガス供給も行えるため、酸化膜・窒化膜をはじめとした様々な多層光学薄膜も成膜可能。新たな素材探索や成膜...

メーカー・取り扱い企業： ティー・ケイ・エス株式会社

超音波複合振動接合機『Ellinker 20k-HP/20k』

PR狭いところに手が届く接合を実現。楕円形の軌跡により、高強度・低ダメージ…

『Ellinker 20k-HP/20k』は、振動拡大ホーンと 楕円形の軌跡を描く複合振動を生み出すスリット入りホーンを備えた超音波複合振動接合機です。 加圧・加振のムラや減衰が少なく、ワークへのダメージやバリの発生を抑えた高品質な接合が可能。 ロングホーンチップを使用でき、円筒型LiBの底部など様々な形状・接合位置のニーズに対応可能です。 はんだなどの介在物を使用せず、母材の変質リスクも少な...

メーカー・取り扱い企業： 千代田交易株式会社

スパッタ付着防止剤　「タセトスパノン」

スパッタ付着防止効果に優れた、スパッタ付着防止剤「タセトスパノン」

溶接業界では省力化合理化が最大の急務ですが、溶接時に発生するスパッタは製品の仕上り外観に悪影響をおよぼすだけでなく、スパッタ除去に要する時間も無視することはできません。弊社ではこれらの問題を解決して頂く為に、スパッタ付着防止剤「タセトスパノン」を各種取り揃えており...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社タセト

射出成形機連動型高速スパッタ・重合システムSPP-SERIES

樹脂基板への金属膜、保護膜が全自動で成膜可能！

新しく開発された射出成形機連動型高速スパッタ・重合システムSPP-SERIESは、自動車・装飾部品などで用いられる樹脂基板への金属膜、保護膜の自動成膜が可能です。 射出成形された基板を全自動で真空成膜（スパッタリング及び重合）することが可...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社昭和真空

RFスパッタ装置『SP-3400』

逆スパッタも可能！500Wの高周波電源を1台搭載し、金属・酸化物・絶縁…

『SP-3400』は、3インチ用カソードを3源搭載したRFスパッタ装置です。 電源は500Wの高周波電源を1台搭載しており、金属・酸化物・絶縁物等の 成膜が可能となっています。 整合器は自動整合器を2台搭載することにより切替にて逆スパッタもでき、 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社サンバック 本社

配管 配線 耐熱 脱着式カバー 火花 火傷防止 スパッタシート

工場内や工事現場等の配管や配線を脱着式の耐熱カバーにより守ります。マジ…

溶接等で火花が出るような作業現場ではその周辺の配管や配線等または機器に耐熱カバーを巻くことにより、工場設備を保護する用途で使用されています。 配管が高温の場合は、その配管に巻く事により作業環境の改善と作業員の方の火傷防止につながる効果もあります。 特長 ・弊社製作のカバーに規格サイズはありません。 ・全てご希望内容に合わせオーダーメイドで製作します。 ・製品サイズ、径や長により製作内...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社日商

卓上型マグネトロンスパッタ装置『FDS/FRSシリーズ』

初期導入コストを抑え、拡張で高性能化が可能！研究ステージに合せてグレー…

『FDS/FRSシリーズ』は、必要な機能を備えた研究開発用の 卓上型マグネトロンスパッタ装置です。 基本仕様は、DCスパッタ/シングルカソード/ロータリーポンプで 構成される金属薄膜用スパッタ。 RF化、カソード増設、ターボ分子ポンプ仕様などの 拡張オプションにより、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社FKDファクトリ

小型スパッタ装置『SS-DC・RF301』

小型設計ながら性能はキープ！高温での基板加熱が可能なスパッタ装置

『SS-DC・RF301』は、2"マグネトロンカソードと基板加熱機構をそれぞれ 1基搭載した小型スパッタ装置です。 シンプルな設計により、事務机の約半分のスペースに設置可能。 基板上下機構を採用し、ターゲットと基板間の距離を任意に設定できます。 基板加熱を高温で行えるほか、電気とガスの...

メーカー・取り扱い企業： アリオス株式会社

スパッタ付着防止剤『タセトスパノン』

作業合理化、製品の品質向上に！直接塗装用と後洗浄用を豊富にラインアップ…

溶接業界では省力化合理化が急務ですが、溶接時に発生するスパッタは 製品の仕上り外観に悪影響をおよぼすだけでなく、スパッタ除去に要する 時間も無視することはできません。 当社では、これらの問題を解決して頂く為に、スパッタ付着防止剤 『タセトスパノン...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社本瀬商会

油圧機器　アンチスパッタ油圧シリンダ　「手動ポンプセット」

超高圧油圧機器　アンチスパッタ油圧シリンダ・手動ポンプ

【特徴】 ◯特殊形状の鋳物製カバーがスパッタを防止し、シリンダの損傷を防ぐ ◯ダストシールが更に粉塵を防止 ◯シリンダ内部への粉塵混入を、Ｏリングが防止 ◯ベースプレートでシリンダ底部の強度をアップ ●詳しくはお問い合わせ下さい...

メーカー・取り扱い企業： エナパック株式会社 本社　営業部

耐スパッタ用黄銅製ワンタッチ継手　チューブフィッティングブラス

火花の出る環境用の黄銅製ワンタッチ継手！

耐スパッタ性に優れたオール金属製ワンタッチ継手です。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社日本ピスコ

圧力勾配式スパッタ装置『PGS model』

低ダメージ高品質薄膜を高ルートで形成することが可能な装置についてご紹介…

『PGSモデル』は、圧力勾配現象を採用した画期的なスパッタ装置です。 高真空域でのスパッタ成膜が可能。 また、低ダメージ高品質薄膜を高ルートで形成することが可能です。 九州大学・名城大学・岡山理科大学との共同研究成果の製品と なっておりま...

メーカー・取り扱い企業： ケニックス株式会社

多源同時マグネトロンスパッタ装置『FRS-HGシリーズ』

放電操作が容易！RF電源にオートマッチングを採用したコンパクトな設計

『FRS-HGシリーズ』は、2源/3源の同時スパッタ機能を搭載した 研究開発用の多源同時マグネトロンスパッタ装置です。 据付タイプながらコンパクト且つスタイリッシュな設計。 成膜ソース導入ポートは3ヶ所用意されており、スパッタリングカ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社FKDファクトリ

スパッタ・蒸着複合装置

1インチUHV対応スパッタカソード2源！ロードロック室は増設することが…

当製品は、RFスパッタと抵抗加熱蒸着をあわせもつ製膜装置です。 ロードロック室増設可能。2インチ基板対応加熱・回転基盤ホルダーの 仕様です。 また、1インチUHV対応スパッタカソード2源で、3源切替式抵抗...

メーカー・取り扱い企業： ケニックス株式会社

スパッタ用シート『ジンタ24』

溶接時の火花に対し優れた防火性能をもったスパッタ用シート！

『ジンタ24』は、炭化繊維織物にシリコンを両面コーティングした スパッタ用シートです。 スパッタ性に優れており、一般汎用品として数多くの 現場で使用されております。 また、シリコンを片面コーティングした『#4001S』もご用意しています。 【特長】...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪製作所

ロールtoロール方式のスパッタ技術を使った反射防止フィルム

【技術資料を無料進呈】当社の反射防止フィルムのしくみ、生産方法、メリッ…

分けて「ウェット工法」と「ドライ工法」の 2種類の工法があります。ウェット工法はその名のとおり、液体の材料をベースフィルムに塗工し、 乾燥させて膜を成形します。 ドライ工法は「蒸着」と「スパッタリング」に分かれ、デクセリアルズではスパッタリングによる 製造を行っています。 スパッタリングは成膜のための代表的な技術で、真空チャンバー内で膜の材料となるターゲット材に 高電圧下でイオ...

メーカー・取り扱い企業： デクセリアルズ株式会社

スパッタの基礎と装置の改善策 ～トラブルから見た膜厚分布改善

★スパッタプロセス時に要求される、膜厚分布の改善、パーティクルの低減改…

講　師 株式会社アルバック 　半導体電子技術研究所　研究部　部長　様　 対　象 スパッタリング、薄膜技術に関心のある技術者・研究者・担当部門・初心者など 会　場 東京中央区立産業会館 4F　第2集会室【東京・日本橋】 都営新宿線 馬喰横山駅 地下通路経由　　B4出口 5分　(道...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社AndTech