リモートプラズマ・イオンビームスパッタリング装置　

PRヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印…

ヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印加により高品質かつフレキシブルな成膜をする装置です。 イオン源、ターゲット、基盤それぞれに対して独立した電流制御を行います。 複数のターゲットを搭載し、切り替えての多層成膜も簡単に行えます。同時にターゲット付近、基盤付近に独立したガス供給も行えるため、酸化膜・窒化膜をはじめとした様々な多層光学薄膜も成膜可能。新たな素材探索や成膜...

メーカー・取り扱い企業： ティー・ケイ・エス株式会社

超音波複合振動接合機『Ellinker 20k-HP/20k』

PR狭いところに手が届く接合を実現。楕円形の軌跡により、高強度・低ダメージ…

『Ellinker 20k-HP/20k』は、振動拡大ホーンと 楕円形の軌跡を描く複合振動を生み出すスリット入りホーンを備えた超音波複合振動接合機です。 加圧・加振のムラや減衰が少なく、ワークへのダメージやバリの発生を抑えた高品質な接合が可能。 ロングホーンチップを使用でき、円筒型LiBの底部など様々な形状・接合位置のニーズに対応可能です。 はんだなどの介在物を使用せず、母材の変質リスクも少な...

メーカー・取り扱い企業： 千代田交易株式会社

スパッタ装置 QKG-Sputtering

フルオートで大気に曝されることなく成膜完了！ 〜サンプル測定実施中！…

従来のスパッタ装置では困難であった“1バッジ内での複数材料の成膜”をワークマスク採用で可能にし、フルオートモードで試料が大気に曝されることなく成膜完了します。 ○省スペースで作業スペースにメリット ○成膜の...

メーカー・取り扱い企業： 九州計測器株式会社

【３D溶接定盤】移動式リフティングテーブル

高さ調整、キャスター移動が可能な取り回しのよい溶接作業台。 少量多品…

れている大型キャスターは重量物用に設計された特別なキャスターです。 重たいワークを載せた状態でも軽々と水平移動できるので、ちょっとした水平移動がとても楽になります。 ■キズ・錆に強く！スパッタも付着しづらい！ 当社で取扱いのリフティングテーブルは全て表面にプラズマ窒化処理をされております。 キズ、錆に強く、さらに溶接スパッタが付着しづらいため、スパッタ除去にかかる手間も最小限に...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エステーリンク メタルエステ事業部

大気非暴露型多元スパッタ装置

硫化物対応も可　薄膜固体二次電池研究用専用成膜装置 ターゲット～成膜…

薄膜固体二次電池の研究用の専用スパッタ装置 後処理が可能。多元カソードによる負極・電解質・正極の一括形成と成膜後の大気非暴露による基板の封止が可能。 Ｌｉの専用ターゲットによる事前成膜テストも対応可能（有償） 材料（ターゲット）...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

空気圧機器用チューブ　ALE型エルフレックス型

エアに限らず冷却水配管にも使用可能！ 空気圧機器用耐スパッタ用3層チュ…

耐スパッタ用3層チューブです。エアに限らず冷却水配管にも使用可能です。 LEのインナーにアルミニュウムを被覆し、さらに耐スパッタ性を向上し、弊社スパッタ用インナーチューブでは最強仕様の三層チューブです。 ...

メーカー・取り扱い企業： 千代田通商株式会社

スパッタソース 「超高真空対応マグネトロンRFスパッタソース」

スパッタソースを超高真空に保持したまま、マグネットの取り外しが可能

「超高真空対応マグネトロンRFスパッタソース」は超高真空対応の汎用型小型マグネトロンスパッタソースです。 本体がすべてベーカブルであるため、反応性の高いターゲットでも、不純物の少ない成膜が可能です。 【特徴】 ○Oリングを使...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社

スパッタ成膜ユニット

スパッタ成膜ユニット

マグネトロンスパッタ源と基板回転機構を装備した スパッタ成膜ユニット 【特徴】 ○優れた膜厚分布を実現 ○DCスパッタリング、RFスパッタリングを切り替えて 　使用する事が可能 ○2種類のスパッタ源...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社メープル

ALNコーティング装置（高密度プラズマスパッタADMS装置）

高密度プラズマスパッタで結晶性ＡｌＮ膜を形成、立体形状への全面コーティ…

独自開発の高密度プラズマスパッタ　ADMS法（アーク放電型マグネトロンスパッタリング法）により従来に無い緻密なＡｌＮ膜を立体形状基板に成膜。 従来の10倍のイオン量の高密度プラズマスパッタを実現。他には無い高反応性スパッタで結...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

三元マグネトロンスパッタ装置『NS-023』

三元同時スパッタによる新素材の薄膜開発！実験内容や予算に応じてカスタマ…

『NS-023』は、三種のターゲットを同時に成膜可能な三元マグネトロン スパッタリング装置です。 多元同時スパッタ以外にも、白金ヒーターを採用することで、基板の高温活性化 （ヒータ温度：950℃）や反応性スパッタなど様々な使い方に対応しています。 また、アシスト...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社片桐エンジニアリング

水素フリーDLCコーティング装置（高密度スパッタＡＤＭＳ装置）

　独自技術で従来に無い水素フリーDLC膜を形成（水素含有量１％以下）優…

従来に無い水素フリーDLC膜（膜中水素含有量１％以下）を量産装置で実現 成膜プロセスに水素を使用しない高密度プラズマスパッタ技術を採用、新方式PVD装置（ADMS＝アーク放電式マグネトロンスパッタリング装置） 水素フリーの緻密なDLC膜は従来の水素含有DLC膜に比べＭｏ添加の潤滑油中の摺動特性を１／１５以下に低減（１...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

実験用スパッタ装置

簡易でありながらφ3インチターゲットのマグネトロンカソードと200L/…

ット　1元カソード ●　RF300W電源、自動マッチングボックス付 ●　ガス系統：1系統(オプションにて3系統まで対応可)、 　　マスフローコントローラーによる調整 ●　酸化物など絶縁体のスパッタが可能。 ●　オプションにて基板ヒーターの取付可。 ●　余分なものを省きながら使いやすいシンプルな構造。 ●　800W×600L×900Hの省スペース ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ヤシマ

レーザ溶接用スパッタモニタリングシステム

量産における品質管理の支援ツールとして威力を発揮！溶接の条件出しにも有…

当製品は、レーザ溶接中に発生するスパッタを常時監視する モニタリングシステムです。 監視できる測定機能は、溶融池から飛び出すスパッタの「数」 「飛散軌跡」「サイズ」です。 これにより溶接中のスパッタの発生状況を取得するこ...

メーカー・取り扱い企業： 前田工業株式会社 本社

【解析事例】マグネトロンスパッタリングシミュレーション

粒子法プラズマ解析ソフトウェアParticle-PLUSの活用により、…

Particle-PLUS は希薄気体中に発生する非平衡プラズマの数値解析に優れたシミュレーションソフトウェアです。 マグネトロンスパッタ、PVD、プラズマCVD、容量結合プラズマ ( CCP )、誘電体バリア放電 ( DBD ) などに活用可能です。 各種モジュール（下段の製品説明参照）のうち、スパッタ粒子モジュールを活用するこ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

グローブボックス付　多源RFスパッタ装置

酸素や水分を排除したい研究製膜環境！多層膜、化合物製膜、反応製膜に対応…

当製品は、電池、触媒材料や有機デバイス開発用のスパッタ装置です。 スパッタ室にロードロック室とグローブボックスを連結。 UHV対応スパッタカソードを4本装着することができます。 また、多層膜、化合物製膜、反応製膜に対応しております。 ...

メーカー・取り扱い企業： ケニックス株式会社

蒸着/スパッタ・デュアルチャンバーシステム【MiniLab】

2台の薄膜実験装置をロードロック機構で連結。異なる成膜装置（スパッタ、…

2台の薄膜実験装置をロードロック機構で連結。異なる成膜装置（スパッタ - 蒸着、など）をロードロックでシームレスに連結。Moorfield社独自のロードロックシステムにより、左右・後方へのプロセス室への連結も可能です。...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

スパッタや高温熱処理工程での歩留まり改善！ライン汚れ防止フィルム

【新開発】 ＩＴＯスパッタや高温熱処理工程におけるＰＥＴフィルムから…

『ライン汚れ防止フィルム』は、スパッタ加工や高温熱処理工程において、ライン停止、スタート時のオリゴマー析出によるクリーン環境の汚染を防止する効果があります。その為、清掃作業の削減や品質改善で、歩留まり改善に活躍します。 ※詳しく...

メーカー・取り扱い企業： アイム株式会社