• 小型真空蒸着装置『HVE-100』【クリーンな成膜を実現!】 製品画像

    小型真空蒸着装置『HVE-100』【クリーンな成膜を実現!】

    PRクリーンな成膜が可能な小型真空蒸着装置!シャッタを具備しているので安定…

    『HVE-100』は省スペースな小型蒸着装置です。基板成膜面は下向きで 設置、抵抗加熱源からの蒸発で上向きに成膜する配置(デポアップ)です。 シャッタを具備しているので安定した状態で蒸着が可能です。 【特長】 ■高真空排気系:<10^-4Paの到達真空度でクリーンな成膜が可能 ■チャンバはメンテナンスしやすいようにSUS製で内部に防着板を配置 ■省スペース/小型化:W500×D39...

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    メーカー・取り扱い企業: 株式会社ハイブリッジ 東京営業所

  • 全自動連続粉末・粉体成形機『プログラム成形機』 製品画像

    全自動連続粉末・粉体成形機『プログラム成形機』

    PRタッチパネル搭載!荷重/時間曲線を自由に設定でき、安定した連続運転が可…

    プレス機・成形機メーカーであるエヌピーエーシステム製「プログラム成形機」は、 ニューセラミックス・金属粉末等成形用の全自動連続粉末・粉体成形機です。 タッチパネル(デジタル設定・表示)によるプログラム設定が可能。 荷重/時間曲線を自由に設定でき、安定した連続運転ができます。 真空成型(成形)は真空チャンバー方式で均一に成形可能。 上パンチがワーク(成形体)に当たり荷重がかかると、フローティング...

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    メーカー・取り扱い企業: エヌピーエーシステム株式会社

  • 固体ソースECRプラズマ成膜装置『AFTEX-2300』 製品画像

    固体ソースECRプラズマ成膜装置『AFTEX-2300』

    低温で高い結晶性薄膜を得ることが可能!価格を抑えたプラズマ成膜装置

    『AFTEX-2300』は低価格ながらマイクロ波分岐結合型ECRイオン源 を搭載するとともに、ロードロック機構、ターボ分子ポンプを装備した 高性能な固体ソースECRプラズマ成膜装置です。 10-30eVの低エネルギーに制御された高密度イオンの照射下で 薄膜が成長するため、原子レベルの平滑性で緻密・高品質な薄膜が 形成されます。 イオンアシスト効果により、高温の加熱を行うことなく...

    メーカー・取り扱い企業: JSWアフティ株式会社

  • 真空プラズマ表面処理装置『V6-G』 製品画像

    真空プラズマ表面処理装置『V6-G』

    高性能卓上システム!簡便な操作のタッチスクリーンと判りやすい指示表示

    『V6-G』は、少量量産から研究開発までの広い製造範囲をサポート可能な 真空プラズマ表面処理装置です。 装置は表面処理、高度クリーニング及び活性化に用いることが可能。 内蔵の専用制御PLCは、自由に設定を行うことの出来る各プロセスと 各パラメーターを保存しておくことができます。 【特長】 ■高性能卓上システム ■少量量産から研究開発までの広い製造範囲をサポート可能 ■装...

    メーカー・取り扱い企業: ピンク・ジャパン株式会社

  • ドライエッチング装置 製品画像

    ドライエッチング装置

    RIEモードとDPモードの切り替えが可能!特殊表面処理によるメタルコン…

    『ドライエッチング装置』は、最大φ12インチ基板を全自動で 連続処理することができる量産装置です。 2周波独立印加方式で、特殊表面処理によるメタルコンタミ低減。 マルチチャンバ仕様や各種オーダーメイドも製作いたします。 ガス種およびプラズマモードの切り替えによりエッチング、アッシング及び イオンクリーニングを可能とする汎用性に優れた装置です。 【特長】 ■RIEモードとD...

    メーカー・取り扱い企業: ジャパンクリエイト株式会社

  • 多角形真空チャンバー 製品画像

    多角形真空チャンバ

    好適な切削工具を選択、治具を考案し、技術の進化と加工時間の短縮を図って…

    当社の「加工部門」についてご紹介いたします。 大型薄物が大得意で、技術と経験をもって、薄板を自由自在に操り、多様な 機械設備で大型部品からの小物まで様々な大きさの加工が可能。 また、アルミはもちろんのこと、ステンレス、鉄、銅など多種の材質の 加工ができ、4高速マシニング機と独自の加工方法で、高精度の品物を 短時間で加工することも可能です。 【加工技術】 ■大型薄物が大得意...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社草川精機

  • ナノインプリント装置 LTNIP-5000 製品画像

    ナノインプリント装置 LTNIP-5000

    LTNIP-2000の上位機種。プレス圧最大20MPa。

    【主な特徴】 ○低圧対応 熱光ハイブリットナノインプリント装置 ○プレス圧20MPa/真空チャンバ対応 ○加圧温度最大250℃ ○露光波長248mm,365mm,436mm ○最大Φ6インチ/モールド□40mm 【その他の特徴】 ○低圧で精密なプレスを実現するため、プレス機構に...

    メーカー・取り扱い企業: リソテックジャパン株式会社

  • Free Chamber Order System 製品画像

    Free Chamber Order System

    多彩なバリエーションでお応えする真空チャンバ設計システム

    『Free Chamber Order System』は、当社が蓄積した、 数々のノウハウを柔軟に組み合わせる事を前提として企画された 真空チャンバ設計システムです。 数々のテクニカルソースを組み合わせる事で、より安価且つ短納期での ご提供を可能にします。 【装置(一部抜粋)】 ■排気系  ・ロータリポンプ  ・ターボ分...

    メーカー・取り扱い企業: いちよしエンジ株式会社

  • 京都タカオシン 真空チャンバー 製品画像

    京都タカオシン 真空チャンバ

    工程を経てはじめて製品としての価値をもつと考えます

    ULVAC TECHNO suspika表面処理を施した超高真空部品を、弊社独自のノウハウでさらにプリベーク処理を行った後ヘリウムリーク検査を行いデータ取得後必要に応じ不活性ガス置換真空パック包装で出荷いたします。...【特徴】 ○不動態化処理を行っています 〇クリーンな環境を提供 ○プリベーク処理 ●その他機能や詳細については、お問い合わせください...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社京都タカオシン

  • COY製 嫌気性チャンバー <ビニールタイプ> 製品画像

    COY製 嫌気性チャンバー <ビニールタイプ>

    多様な研究に対応!あつかいやすく、導入・維持コストを抑えることができま…

    当社では、使い勝手に優れるフレキシブル強化塩化ビニール製の 『嫌気性チャンバー』を取り扱っております。 外気を遮断しチャンバー内のガス供給と排気、物の出し入れをする エントリーボックス。チャンバー内の作業に応じて、真空レベルや サイクル数などのプログラム設定ができます。 研究現場に求められる性能を追求した製品です。 【特長】 ■使い勝手に優れるフレキシブル強化塩化ビニール...

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    メーカー・取り扱い企業: 東洋紡エムシー株式会社/東洋紡エンジニアリング株式会社

  • プロセスガスモニタ『M-080QA-HPM』 製品画像

    プロセスガスモニタ『M-080QA-HPM』

    真空チャンバの到達圧力から、スパッタプロセス圧力までの広範囲(1~80…

    プロセスガスモニタ『M-080QA-HPM』は、測定質量範囲1~80amuであり、2.0Pa以下(差動排気系不要)の圧力から測定可能な四重極型質量分析計です。 プロセス中のガス分圧を監視し、プロセスガス異常・リークなどの不具合を検知し、プロセス安定性を提供いたします。 プロセス中の品質管理や残留ガス分析などにご活用ください。 【特長】 ■プロセス中に高感度で水素を検出 ■広い圧力...

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    メーカー・取り扱い企業: キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

  • 卓上型マグネトロンスパッタ装置『FDS/FRSシリーズ』 製品画像

    卓上型マグネトロンスパッタ装置『FDS/FRSシリーズ』

    初期導入コストを抑え、拡張で高性能化が可能!研究ステージに合せてグレー…

    『FDS/FRSシリーズ』は、必要な機能を備えた研究開発用の 卓上型マグネトロンスパッタ装置です。 基本仕様は、DCスパッタ/シングルカソード/ロータリーポンプで 構成される金属薄膜用スパッタ。 RF化、カソード増設、ターボ分子ポンプ仕様などの 拡張オプションにより、研究ステージに合せて グレードアップしていただくことが可能です。 【特長】 ■初期導入コストを抑え、後の...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社FKDファクトリ

  • 顕微鏡型レーザドップラ振動計『KV100シリーズ』 製品画像

    顕微鏡型レーザドップラ振動計『KV100シリーズ』

    S/Nの良好な測定波形を出力!導入コストが従来の顕微鏡システムに対し、…

    ステムです。 必要十分な機能をコンパクトボディに装備。研究用途や生産ライン等、 微小構造物(MEMSなど)の振動測定に威力を発揮します。 測定物までのクリアランスを確保することで、真空チャンバなどを 使用時でもセッティングが容易です。また、レーザ光の照射方向は 垂直方向の他、水平方向へ照射することも可能です。 【特長】 ■測定距離(WD)の長い対物レンズを各種ご用意 ■...

    メーカー・取り扱い企業: 協立電機株式会社

  • 半導体・液晶関連製造装置 真空チャンバー 製品画像

    半導体・液晶関連製造装置 真空チャンバ

    精度と美しさにこだわったアルミ精密部品

    半導体・液晶関連製造装置向け真空チャンバーです。 シール面、Oリング を切削加工だけで表面粗さ1.6Sに仕上げます。 ポケット部 コーナーR12、最大深さ230mm 同時5軸マシニングセンタで工程を集約し、効率よく製作致しま...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社ミズノマシナリー

  • 量産用プラズマクリーニング装置(大型プラズマクリーナー) 製品画像

    量産用プラズマクリーニング装置(大型プラズマクリーナー)

    自動化量産ラインに対応。インラインタイプ、枚葉タイプ、柔軟なハード構成…

    先端薄膜デバイスで実績豊富なチャンバ構成をクリーニング用途に展開。 高いクリーニング効果を各種基板で実現。 基板と生産量に合わせて柔軟なハード構成と高いプロセス能力 クリーニング・ディスカム・アッシング・親水処理、撥水膜処理、各種用途に対応。 基板実装から素材表面処理まで実績豊富な大型プラズマ装置...平行平板型高周波真空プラズマによる各種基板のクリーニング・親水化に実績 プリント基板、...

    メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店

  • アッシング装置 製品画像

    アッシング装置

    エッチング、アッシング及びイオンクリーニングを可能とする汎用性に優れた…

    『アッシング装置』は、最大φ12インチ基板を全自動連続処理することが できる量産装置です。 ガス種およびプラズマモードの切り替えによりエッチング、アッシング 及びイオンクリーニングを可能とする汎用性に優れた装置です。 【特長】 ■RIEモードとDPモードの切り替えが可能 ■特殊表面処理によるメタルコンタミ低減 ■省フットプリント ■2周波独立印加方式 ■超低温冷却ステージ...

    メーカー・取り扱い企業: ジャパンクリエイト株式会社

  • 超小型ガスアトマイズ装置 製品画像

    超小型ガスアトマイズ装置

    【操作簡単、ワンサイクル60分】超小型型により一般の実験室に設置可能!…

    【超小型ガスアトマイズ装置】 真空排気後の不活性ガス雰囲気中又は大気中において 試料の溶解を行い、ガスアトマイズ法により粉末を作製 【特徴】 ○真空溶解及び噴射室真空排気による酸化防止 ○粉末は100μm以下で高回収率(平均粒径20〜60μm) ○高温材料のガスアトマイズが可能(Max1800℃) ○ガスジェットノズルの上下調整機構 ○合金溶解噴射が可能 ○石英管タイプ(1〜4kg) ○チャンバ...

    メーカー・取り扱い企業: 日新技研株式会社

  • プラズマクリーニング装置「POEM」(プラズマクリーナー) 製品画像

    プラズマクリーニング装置「POEM」(プラズマクリーナー)

     多機能型プラズマクリーニング装置。 サンプルテスト受付中 クリー…

    半導体製造装置のチャンバをシンプル化・低コスト化しプラズマクリーニングに応用 プラズマモード切替機構(RIE,DP)とマルチガス(Ar、N2,O2,H2)プロセスにより従来にない表面処理を実現。 基板洗浄(酸化物・有機物除去・微細異物除去) 親水性処理(メッキ前処理、半田濡れ性向上) 撥水性処理(ウェット工程前処理) リフロー前処理に実績豊富 半田濡れ性向上効果大 ハイエンド製品(高密...

    メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店

  • 簡単に生産設備の状況がわかる!工場設備のIoT可能なソフトウェア 製品画像

    簡単に生産設備の状況がわかる!工場設備のIoT可能なソフトウェア

    生産性の向上と顧客満足度向上に貢献! 設備に繋げることで生産管理システ…

    【活用イメージ】 ■生産設備汎用用途 ・機械の異常履歴(リアルタイム計測) ・サーボモータの負荷率 ・エア圧力 ・洗浄水、ケミカル類の流量 ・真空チャンバの圧力 ・ポンプ、ブロワ、コンプレッサ、真空ポンプ等の付帯設備の稼働監視 ■プレス用途 ・プレス時のピーク荷重 ・押し込み終了位置のデータを採取・保存 ・プレス結果とワーク情報を紐...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社石山製作所

  • 卓上型蒸着装置『Mebius』 製品画像

    卓上型蒸着装置『Mebius』

    卓上で簡単に使えるコンパクトな蒸着装置

    『Mebius』は、学生向けの実験や教材作りに適した、コンパクトな 蒸着装置です。 電源は一般家庭のAC100V壁コンセントから導入が可能。 チャンバは分割方式により多くの用途に応じたサブチャンバを 搭載可能です。 【概要】 ■蒸発源はタングステンボート2個搭載 ■排気系はターボ分子ポンプ、電磁フォアバルブ、油回転ポンプの組合せ ■操作不要のマルチ真空ゲージ採用により、...

    メーカー・取り扱い企業: テクノウェーブ株式会社

  • 90度回転鋳造式真空・ガス置換チャンバー Ver1.0~5.0 製品画像

    90度回転鋳造式真空・ガス置換チャンバー Ver1.0~5.0

    加熱・溶融・撹拌・鋳込・取出をスピーディーに!!

    チャンバー本体はオールアルミ製で電磁誘導の影響を受け難く、小型・軽量設計。 誘導加熱装置や周辺機器と共に架台に組み込むことで使い勝手のよいコンパクトな一体型装置です。 【特徴】 ○加熱・溶融・撹拌・鋳込・取出をスピーディーに 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...【特徴】 ○チャンバー本体はオールアルミ製で電磁誘導の影響を受け難く、小型・軽量設計 ...

    メーカー・取り扱い企業: SKメディカル電子株式会社

  • ギ酸還元リフロー装置『真空ソルダリングシステム』 製品画像

    ギ酸還元リフロー装置『真空ソルダリングシステム』

    1チャンバに加熱冷却システムを備えたコンパクトなバッチ式システム

    ギ酸還元と圧縮法によりクリーンで高品質なはんだ付けを実現します。 ■はんだフラックスやフラックス洗浄が不要 ■ボイドとはんだ飛散を同時に抑制 【特長】 ■ギ酸の直接気化(当社特許取得技術) ■輻射熱による高速昇温 ■安全なギ酸供給・排出(当社特許取得技術) ■各種カスタム対応(搬送、生産管理など) ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。......

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社オリジン メカトロニクス事業部 営業部

  • 金属蒸着装置『ESE-09』 製品画像

    金属蒸着装置『ESE-09』

    容易に基板セットや蒸着用試料補充と交換が可能!大規模集積回路用の装置で…

    『ESE-09』は、高真空領域での使用を目的とした抵抗加熱式の蒸着装置です。 アルミ蒸着も想定してBNコンポジットの選択が可能。また、チャンバ開閉は 上下分割駆動式で、ウェハを公転させる機能を装備しています。 なお、排気系はドライな真空状態を得るために、磁気浮上式広帯域 ターボ分子ポンプとドライポンプの組み合わせによる排気システムです。 【特長】 ■基板サイズ 6インチ ■蒸着源は抵抗加熱式...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社日本シード研究所

  • 多目的スパッタリング装置 製品画像

    多目的スパッタリング装置

    研究開発から量産までサポート!

    信頼性の高い標準型のハードウェアと豊富な実績に支えられ、神港精機は1967年に1号機を世に送り出して以来、多くの分野で活躍しています。柔軟で先進的なソフトウェアにより常に最先端を切り開く最新型の装置の装置を提供しています。...【特長】 ●金属・合金・絶縁膜など広範囲な材料や反応性成膜の形成が可能です。 ●基板固定での高速成膜や、基板回転での大面積成膜が可能です。 ●タッチパネルによる操作性...

    メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店

  • 『液晶潤滑剤』機械の耐久性向上及び超低発塵性 製品画像

    『液晶潤滑剤』機械の耐久性向上及び超低発塵性

    集合体潤滑で高耐久性を実現。蒸発しにくく低発塵・高耐熱。粘度・固さ調整…

    『液晶潤滑剤』は液晶潤滑剤分子の集合体により金属表面を保護するため、 フッ素系真空用グリースと比較して約20倍の高耐久性を実現した製品です。 蒸発しにくく、高真空環境や高温環境でも安定した性能を発揮。 また、発塵が極めて少なく、半導体製造装置や液晶、 ELディスプレイ製造装置などへの使用にも適しています。 ご要望に応じて粘度・硬さなどの調整も可能です。 まずはお気軽にお問い合わ...

    メーカー・取り扱い企業: グローバル・コーティング株式会社 第一工場

  • 標準コンダクタンスエレメント(SCE) 製品画像

    標準コンダクタンスエレメント(SCE)

    従来の校正リークの代替に

    クテストの回数頻度が多い場合、それらの解消が、生産性を向上させる上では課題となることもあります。  ピュアロンのSCEシリーズは、各種ガスを粘性流の状態から中間流を 介さずに直接分子流として真空チャンバ内に導入することを可能にした製品であり、従来の校正リークに代わる機器として使用することができます。  ピュアロンが長年培ってきた超高精密フィルターの技術を応用しており、 破損・目詰まり等がし...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社ピー・ジェイ

  • 半導体製造装置 課題解決事例集 製品画像

    半導体製造装置 課題解決事例集

    トレンド情報から当社が解決してきた課題!装置や製造工程からみつかる解決…

    【その他の掲載製品(一部)】 ■ご要望例 ・真空チャンバ内でコンタミが発生しないかじり防止のねじがほしい ・ハステロイより耐蝕性の高いねじが欲しい ・洗浄液で腐食せず樹脂より強度が高いねじが欲しい ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、東京...

    メーカー・取り扱い企業: テックトレーディング株式会社

  • 粉末用イオン注入装置 製品画像

    粉末用イオン注入装置

    IonPOWDERによる粉体の革新的な表面処理。 粉体へのイオン注入…

    特徴 ・多種のガスが使用可能(Ar, He, N2, O2, SiH4, 混合ガス) ・装置はレシピで動作可能 ・PVD(physical vapor deposition)機構も、増設できます。 プロセスの利点 低温表面処理:元の材料特性が保持されます。 コーティング不要:イオンが深部までで注入されるため、表面は剥がれません。 部品の形状を尊重:追加の加工が不要です。 精密で...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社マツボー

  • クラスター装置『Morpher』 製品画像

    クラスター装置『Morpher』

    デバイス量産へ、優れたプロセス品質、信頼性、高スループットを提供!

    Morpher ALDシステムは、業界標準の枚葉ウエハ真空クラスタプラットフォームを組み込み、ウエハバッチを完全自動処理するように設計されています。 米国特許取得済みのウエハバッチフリップ機構により、他の半導体製造ラインとのシステムの統合が可能で、またSEMI S2/S8認定により、当システムが業界の最も厳しい規格と互換性があることが保証されています。 Morpher ALDシステムは、...

    メーカー・取り扱い企業: PICOSUN JAPAN株式会社

  • 量産対応バッチタイプスパッタリング装置 (STH10311型) 製品画像

    量産対応バッチタイプスパッタリング装置 (STH10311型)

    φ410基板×4枚の自公転基板台を4枚備えたバッチ型のスパッタリング装…

    複数の自公転基板台の採用により、量産用としての処理量と優れた膜厚均一異性を両立したバッチタイプスパッタリング装置です。 サイドスパッタ方式により1mを超えるチャンバ系でありながら、基板やターゲットの着脱作業、真空層内のメンテナンスの簡易性を実現しました。 量産用途に最適なデータロギングシステムや装置制御や管理を容易にする制御インターフェースソフトなど量産用装置に必須な細かな配慮が組み込まれてい...

    メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店

  • 非接触光学面粗さ測定機 nanoCam 製品画像

    非接触光学面粗さ測定機 nanoCam

    測定物の大きさや環境・場所を選ばない振動に強い3次元粗さ測定器!

    axなどの設計データを読み込んで計測データのリアルタイム評価をすることで、研磨加工に対するフィードバックをかけることも可能。超小型で可搬性がありリモートコントロールが可能なため、クリーンルームや真空チャンバ内なども含めた加工現場へも導入できる。...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社アイ・アール・システム

  • 簡単に生産設備の状況がわかる低価格のソフト※生産設備汎事例掲載中 製品画像

    簡単に生産設備の状況がわかる低価格のソフト※生産設備汎事例掲載中

    機械の異常履歴や、サーボモータの負荷率を監視! 生産管理システムが無く…

    トビットを1secクロックに設定し、 ・機械の異常履歴(リアルタイム計測)  ・サーボモータの負荷率   ・エア圧力                ・洗浄水、ケミカル類の流量       ・真空チャンバの圧力 等の監視したい情報をデータエリアにまとめることで、装置の状態を記録することができます。 生産設備だけでなく、ポンプ、ブロワ、コンプレッサ、真空ポンプ等の付帯設備の可動監視にも活用でき...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社石山製作所

  • 小型スペースシミュレーション・チャンバー 製品画像

    小型スペースシミュレーション・チャンバー

    省スペースのスペースシミュレーションチャンバーは宇宙空間における各種研…

    NDT-4000は、真空状態や制御可能な均一熱・冷熱サイクル条件でデバイスやサンプルを試験するためのデバイス試験システムです。NDT-4000は、コンピュータ制御、安全インターロック、パスワード制限付きの複数レベルのアクセス権を備えています。このシステムは、レシピで定義された温度条件を変化させながら、36時間を超える長時間にわたって、自動化された熱・冷却サイクルでデバイスやサンプルをテストするため...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社マツボー

  • 超微小押し込み硬さ試験機『ENT-NEXUS(ネクサス)』 製品画像

    超微小押し込み硬さ試験機『ENT-NEXUS(ネクサス)』

    充実した解析機能を搭載!振動の多い環境においても、安定した測定が可能

    価くぼみ深さ硬さ ■変位制御試験 ■吸着力測定 ■ビッカース硬さ換算(HV) ■トリニティ(他装備とのコンビネーション) ■水中測定 <表面力測定オプション(低荷重ユニット)> ■真空チャンバ(雰囲気制御) ■除電 ■水中測定 ■ベーキング ■上面基準ホルダ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

    メーカー・取り扱い企業: エフ・アイ・テック株式会社

  • ECRプラズマ成膜装置『AFTEX-6000シリーズ』 製品画像

    ECRプラズマ成膜装置『AFTEX-6000シリーズ』

    複数材料の多層膜が成膜可能!高品質・高結晶性の薄膜形成ができる成膜装置…

    『AFTEX-6000シリーズ』は、低圧で高密度のECRプラズマ流と、スパッタ粒子を 直接反応させることにより、低温・低ダメージで高品質の薄膜を形成します。 ECRプラズマ源2基を搭載し、全自動搬送・成膜ができ、多層膜形成に最適。 【特長】 ■広範囲な膜種による多層成膜 ■高屈折率制御が可能 ■高速で成膜が可能 ■低温・低ダメージで高品質、高結晶性 ■基板および成長面のクリ...

    メーカー・取り扱い企業: JSWアフティ株式会社

  • カーボンナノチューブ合成装置 製品画像

    カーボンナノチューブ合成装置

    優れた膜厚分布および再現性を実現!基板プラズマクリーニングシステム搭載

    『カーボンナノチューブ合成装置』は、優れた基板温度分布および ガスフロー方式を実現します。 全自動でCNT合成が可能。 基板プラズマクリーニングシステム搭載しています。 マルチチャンバ仕様や各種オーダーメイドも製作できますので、 ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■全自動でCNT合成が可能 ■基板プラズマクリーニングシステム搭載 ■優れた基板温度分...

    メーカー・取り扱い企業: ジャパンクリエイト株式会社

  • 加圧RTA装置 製品画像

    加圧RTA装置

    基板加熱温度最高1000℃!基板表面加熱プロセス特有の元素抜けを軽減!

    『加圧RTA装置』は、減圧プロセスから加圧プロセス(0.9MPaG)まで対応 することができる製品です。 加熱源はハロゲンランプ、昇温レートは最大150℃/secとなっており、 優れた基板温度分布およびガスフロー方式を実現します。 半導体、MEMS、電子部品といった用途に使用できる装置で、基板表面の 高速熱酸化、結晶化、アニーリング処理等が可能です。 【特長】 ■加熱プロ...

    メーカー・取り扱い企業: ジャパンクリエイト株式会社

  • チャンバー 製品画像

    チャンバー

    真空チャンバーを製作いたします

    当社では、チャンバー内部が超高真空から大気圧やプラズマ環境、希薄な活性ガス環境などの特殊な環境になるチャンバーの製作をいたします。...高い溶接技術により、仕切りバルブや架台まで含めた複雑な形状の対応が可能...

    メーカー・取り扱い企業: 入江工研株式会社

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    ペルチェ 温度チャンバー 「PG-1506」

    窒素ガス、乾燥空気導入チャンバーにより、低温試験時での結露がありません

    ペルチェ 温度チャンバー 「PG-1506」は、上面が耐熱ガラスの透明扉ですので、視認性がよく、また、発光デバイスの試験、顕微鏡観察、カメラ観察による評価に適しております。 窒素ガス、乾燥空気導入チャンバーにより、低温試験時での結露がありません。 【特徴】 ○温度範囲 -40~150℃ 対応 ○扉はフリーストップ構造により、任意の角度で保持している ○MSA デジタル温度コントローラ...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社MSAファクトリー

  • 魔法のニップル 製品画像

    魔法のニップル

    300℃までのベーキング可能!真空計のガス放出が1/7に減るニップルを…

    『魔法のニップル』は、当社が独自に開発した0.2%BeCu合金材料の 特性を生かしたアイディア製品です。 ヌードBAゲージまたはEXゲージのヘッドを当製品に入れてチャンバに 取り付けるだけでご使用いただけます。 当製品でゲージ周囲を囲むと、フィラメントから放射された熱線は、 壁の表面で97%の割合で反射されるようになります。 【特長】 ■真空計のガス放出が1/7に減る ...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社ヤチダ

  • セミオートボンディングマシン  KBM-150 製品画像

    セミオートボンディングマシン KBM-150

    ボンディングの工程を1台で行い、安定したボンディングが可能!

    【特徴】 ○固形ワックスを使用し、ランニングコストを抑制 ○シンプルで正確なボンディングが可能 ○真空チャンバ内で本押し工程を行い、ウェハ内にエアーが残ることを軽減 ○冷却はチラーユニットが標準装備 ●その他機能や詳細についてはお問い合わせください。...

    メーカー・取り扱い企業: 秀和工業株式会社

  • 真空蒸着装置『MiniLab-026』 製品画像

    真空蒸着装置『MiniLab-026』

    小型、省スペース! 研究開発に最適 蒸着・スパッタ・アニール等目的に合…

    必要最小限のモジュール・コントローラをPlug&Play感覚で19"コンパクトラックに組込む事により無駄が無く、小型省スペース・シンプル操作・ハイコストパフォーマンスを実現した、フレキシブルR&D用薄膜実験装置です。 マグネトロンスパッタ(最大3源)もしくは抵抗加熱蒸着(金属源 最大4、有機材料x4)に対応します、又基板加熱ステージを設置しアニール装置、プラズマエッチングも製作可能。 グローブ...

    メーカー・取り扱い企業: テルモセラ・ジャパン株式会社

  • 真空対応3軸円筒座標型クリーンロボット SVCR3000シリーズ 製品画像

    真空対応3軸円筒座標型クリーンロボット SVCR3000シリーズ

    真空チャンバ内でのウェーハの搬送にご使用頂けます。

    真空対応3軸円筒座標型クリーンロボットSVCR3000シリーズは、真空チャンバ内でのウェーハの搬送にご使用頂けます。SVHRに比べ、可搬重量が2倍になり、コストパフォーマンスに優れます。更にSVHRと取付互換がありますので、乗せ替えに際してもスムーズに行えます。被搬送物、...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル

  • 加圧ガス冷却横型真空炉『PQシリーズ』 製品画像

    加圧ガス冷却横型真空炉『PQシリーズ』

    高い保持温度精度を実現する真空熱処理炉

    『PQシリーズ』は、幅広い冷却ガス圧に対応可能な横型真空炉です。 加熱室内面はシールド板で被覆することで断熱材の飛散を抑制。 オプションとしてモリブデン板で被覆することで、加熱室内の放射効率を高め 温度分布均一性および均一加熱性を向上します。 また、低温度から高温度までの広範囲において、熱処理品の均一加熱と 分布の均一性を最良にするため、ヒータを上下および両サイドの4面に配置し、...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社IHI機械システム 本社 セールスグループ

  • 真空ホットプレートチャンバー PH-224型 製品画像

    真空ホットプレートチャンバー PH-224型

    金属、ウエハ等の真空雰囲気および低酸素濃度雰囲気下での高速昇温加熱プロ…

    「PH-224型」は最高温度400℃ 対応の真空ホットプレートチャンバーです。小型バッチ炉タイプで、少量品、研究開発に最適です。 加熱源に薄型ヒータを採用しており、高速温度プロファイルプロセスに対応いたします。また、観察窓により、ワークの状態が視認できます。 温度コントローラーは、専用タイプによりプロセスの確認に必要なデータを取得(アナログ出力)できます。空冷にて、最高温度400℃対応...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社MSAファクトリー

  • 半自動真空ホットプレートチャンバー「PH-224S-200型」 製品画像

    半自動真空ホットプレートチャンバー「PH-224S-200型」

    最高温度400℃!小型バッチ炉タイプで、少量品、研究開発に最適です。

    半自動真空ホットプレートチャンバー「PH-224S-200型」は、加熱源にセラミックヒータを採用しており、高速温度プロファイルプロセスに対応いたします。 温度コントローラーは、専用タイプによりプロセスの確認に必要なデータを取得(アナログ出力)できます。 【特徴】 ○空冷にて、最高温度400℃対応 ○小型バッチ炉タイプで、少量品、研究開発に最適 ○観察窓により、ワークの状態が視認できる...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社MSAファクトリー

  • 【オーダーメイド製作実績】各種真空装置 製品画像

    【オーダーメイド製作実績】各種真空装置

    デモ機にてサンプル処理を実施!「研究開発用アニール装置」などの実績を保…

    。 ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。 【製作実績(抜粋)】 ■研究開発用アニール装置 ■バッチ式プラズマ処理装置 ■ZnS処理装置 ■極低温成膜実験装置 ■分析用超高真空チャンバ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

    メーカー・取り扱い企業: ジャパンクリエイト株式会社

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