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24件 - メーカー・取り扱い企業
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シリコンウエハ研磨用キャリア「短納期、少量ロット対応も可能」
シリコンウエハ製造のラッピング、ポリッシング工程でのウエハホルダーとし…
シリコンウエハ製造のラッピング、ポリッシング工程でウエハホルダーとして使用するキャリアを各種金属(SUS、SK)、樹脂で製作可能です。 【特徴】 ■各種金属(SUS、SK)、樹脂で製作可能 ■ワークホルダー内側にキズ防止 ・ワークホルダー内側にキズ防止の為に樹脂インジェクション成型します。 ■より品質の高い製品を提供 ・長年の経験に基づいた仕様提案、お客様のニーズに合った製品を提案し...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社渡辺商行
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2枚重ねが出ない構造になっています！
粗洗浄後の積み重なった、140μm～200μmのシリコンウエハを、特殊水中吸着ヘッドを使いながら上下の送りローラーにより、ウエハを1枚ずつ送り出し、ウエハキャリアに収納する装置です。 ...
メーカー・取り扱い企業： マック産業機器株式会社 テクノロジーセンター
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段積みされた太陽電池ウエハを１枚ずつ取り出し、供給する「太陽電池ウエハ枚葉供給装置」
段積みされた太陽電池ウエハを１枚ずつ取り出し、供給する「太陽電池ウエハ…
段積みされている太陽電池ウエハを１枚ずつ、高速にて損傷させることなく送り出し、供給します。 積層された太陽電池の上部に設けられた当社開発の非接触搬送装置「フロートチャックSK型」（特許）より空気を噴出させることにより最上部の太陽電池ウエハとの空間に負圧を発生させ、最上部の太陽電池ウエハを吸引浮上させる。 浮上した太陽電池ウエハは、「フロートチャックＳＫ型」と同調した移送機構により１枚ずつ前方に...
メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
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太陽電池・ソーラーウエハ非接触搬送装置
太陽電池ソーラーウエハ、シリコン太陽電池、アモルファス太陽電池、薄膜太陽電池セルを気体を空気を噴出することにより、太陽電池ソーラーセルを非接触にて搬送する。 ノズルより噴出する高速空気流が直接ソーラーセルに衝突しないようなノズルを装着し、高速の噴出空気流により薄い、脆いソーラーセルの破損、損傷を防いぐ機構になっております。 また「太陽電池ウエハ非接触搬送装置」 は使用空気量が少なく、...
メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
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石英管洗浄装置(HTC/VTCシリーズ)「薬液、純水削減に貢献」
縦型洗浄装置(VTCシリーズ)は省スペースで「薬液・純水削減」に貢献。…
に貢献 ・縦型式(VTCシリーズ)は、省スペースで「薬液・純水削減」に貢献 ■カスタマイズ対応可能 ■世界トップクラスの納入実績(400台以上) ・国内外 半導体デバイスメーカー/シリコンウエハメーカーへ世界トップクラスの 納入実績(400台以上)あり ■豊富な関連装置の取り扱い経験 ・石英ボート洗浄装置、石英パーツ洗浄装置、石英保管庫、石英搬送台車等の関連装置の ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社渡辺商行
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正確に、素早くソーティング。キャリアに挿入されたウエハを自動で取り出し…
当製品は、ローダーキャリアからウエハを取り出し、 シリコンウエハに印字された文字を読み取り、 オリフラ位置の位置合わせを行ったうえで アンローダーキャリアへ戻す、自動ソーティング装置です。 設計から製造・販売まで自社で行っているので、低価格を実現...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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１チャンバー型多目的スクラブ洗浄。１チャンバーで異物、金属汚染を取り除…
各種サイズ、各種ウエハの、界面活性剤、純水スクラブ、薬液スプレー、メガソニックスポットシャワー、スピン乾燥までを１チャンバーで行う枚葉装置です。 １つの洗浄層の中で洗浄が完結できる省スペース型のためスペースの限られた場所にも適しています。 単機能のスクラブ洗浄装置についてはご相談ください。 【特長】 ■洗浄・リンス・乾燥まで1か所で行える ■被洗浄対象ウエハ：シリコン、石英、酸化物、...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ゼビオス（XEVIOS CORP.,）
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デバイス・ウエハ・ガラス・部品等、材質や形状を問わず 、高純度のIPA…
特徴 ●材質や形状を問わず、高純度IPA を用いたクリーン乾燥が可能です。 ●実績が示す万全の安全対策 ●オールステンレスにより破損の危険性を排除 ●べーパーゾーン、ドライゾーンに分け持ち出しIPA を削減 ●お客様のワークに応じた仕様変更も可能です。...装置仕様：IPA を用いたウエハの洗浄及び乾燥 乾燥対象：６インチ １カセット相当 シリコン、ガラス、部品等 槽構成...
メーカー・取り扱い企業： 日精株式会社 本社
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半導体プロセス中の対象ウエハの放射率をリアルタイムに測定し補正を行うた…
当温度モニターは、今までに解決できなかった放射率に対する問題とシリコンウエハのプロセス中の測温に対する問題を一挙に解決できる、次世代の非接触半導体プロセス温度モニターです。 ウエハの放射率もリアルタイムにモニタリング。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイ・アール・システム
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試料にダメージを与えず高度な洗浄を可能にした、卓上型UV照射装置
大型基板の処理にも対応。試料にダメージを与えず 高度な洗浄を可能にした、卓上型UV照射装置 【特徴】 ○最大φ300mmのシリコンウエハ、ガラスなどの基板（試料）にUV照射を行い 表面の有機物を除去し、濡れ性を向上させることが可能 ○基板（試料）ホルダーの上下、または取替えが容易なため 厚みのある基板（試料)を処...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社メープル
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安全でクリーンな乾燥を実現！スピンドライヤー
実現 ●弊社独自のバランシングテクノロジーが静かな回転性能を実現 ●イオナイザー、ＵＬＰＡフィルターを標準装備 ●オプションとして、自動バランス修正機構・ウエハ割れ検出装置を御用意 ●シリコンウエハ以外のスピンドライヤーも対応可能です。ご相談ください。...
メーカー・取り扱い企業： 大宮工業株式会社 営業本部営業課
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LT・SiC等2〜6インチ小径ウェハ両面同時薬液スクラブ洗浄装置
ワーク表裏面に触れない搬送・乾燥と異物、金属汚染の除去を可能にした薬液…
ポリッシュ後の研磨スラリーをディスクスクラブ洗浄で除去し、薬液スプレー、メガソニックスポットシャワー、スピン乾燥できる枚葉洗浄装置です。 強固着物の除去と薬液スプレーによる金属汚染除去が可能で、オプションで端面同時のスクラブ洗浄も対応できます。 ■表裏側面を同時に洗浄可能 ■被洗浄対象ウエハ ： シリコン、石英、酸化物、化合物等 ■対応ウエハ口径 ：φ2”～φ4” 厚みについては応相...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクニカルフィット
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アモルファス太陽電池搬送装置
空気を噴出することによりアモルファス太陽電池・シリコン太陽電池・偏向板・ＦＰＣ・フィルムを空中に浮遊した非接触状態にて懸垂する非接触搬送装置「フロートチャック」（特許）にて構成される保持装置と「非接触支持走行装置」にて構成しております。 アモルファス太陽電池・ 偏光板、フィルム、シート、ウエハ、ガラス、紙等のシートを非接触搬送装置「フロートチャック」（特許）により積層したシートを１枚ずつ送り出し、...
メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
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シングルチャンバー型「ウェハ用多目的スピン・スクラブ洗浄装置」
1チャンバーで異物・金属汚染を取り除く省スペースな洗浄装置！洗浄方法の…
各種ウェハの界面活性剤・純水スクラブ洗浄、薬液スプレー、メガソニックスポットシャワー、スピン乾燥までの工程を１つのチャンバーで行う枚葉装置 ◇ シングルチャンバーで完結する省スペース型 ◇ Si（シリコン）、LT（リチウムタンタレート）やSiC（炭化ケイ素）他、 各種ウェハに対応 ◇ 異物（有機物・無機物）の除去、金属イオンの除去 ◇ 洗浄項目・装置構成の変更に柔軟に対応 ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ゼビオス（XEVIOS CORP.,）
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１チャンバー型多目的スクラブ洗浄。１チャンバーで異物、金属汚染を取り除…
各種サイズ、各種ウエハの、界面活性剤、純水スクラブ、薬液スプレー、メガソニックスポットシャワー、スピン乾燥までを１チャンバーで行う枚葉装置です。 １つの洗浄層の中で洗浄が完結できる省スペース型のためスペースの限られた場所にも適しています。 単機能のスクラブ洗浄装置についてはご相談ください。 【特長】 ■洗浄・リンス・乾燥まで1か所で行える ■被洗浄対象ウエハ：シリコン、石英、酸化物、...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクニカルフィット
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シングルチャンバー型「ウェハ用多目的スピン・スクラブ洗浄装置」
1チャンバーで異物・金属汚染を取り除く省スペースな洗浄装置！洗浄方法の…
各種ウェハの界面活性剤・純水スクラブ洗浄、薬液スプレー、メガソニックスポットシャワー、スピン乾燥までの工程を１つのチャンバーで行う枚葉装置 ◇ シングルチャンバーで完結する省スペース型 ◇ Si（シリコン）、LT（リチウムタンタレート）やSiC（炭化ケイ素）他、 各種ウェハに対応 ◇ 異物（有機物・無機物）の除去、金属イオンの除去 ◇ 洗浄項目・装置構成の変更に柔軟に対応 ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクニカルフィット
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シリコンウエハを搬送する際に使用するロボットに使われる部品です。クリー…
横型マシニングセンターを駆使した高精度アルミ切削加工の量産を得意としています。 加工工程にＣＮＣ測定を組み込み高精度を確保しながら、最高３万回転の主軸による高速切削と合わせ、作業者の多台持ちや昼夜連続運転など全てにおいて効率化を図り、他の追随を許さないコストパフォーマンスが実現できます。...▼取扱製品 産業用機械部品/工作機械部品/半導体装置部品/電子部品製造装置部品/医療用機器部品/環境関...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイパーウェブ
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本機械はφ8”シリコン製ウエハの厚さ測定を行う装置です
Siウェーハの厚さ及びSi段差部の各種測定を非接触、自動測定を行う装置です。...・前機種TME-06型より、操作性と機構等改善を行いました。 機構はシンプル化を行い、操作性はオペレータの利便性を優先項目として改善を行いました。 ・3種類のセンサを設けて多種多様な測定が可能になりました。 ・SECS通信、HSMS通信によるHOST通信に対応しています。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム
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低粘度～高粘度レジスト対応！小口径～大口径まで、どのウェハサイズの装置…
【特長】 ■低価格を実現 ■低～高粘度（1.7cP～10000cP）まで対応 ■2～12インチまで対応 ■複数サイズウエハを処理可能（例、3・4・5インチ兼用、8・12インチ兼用) ■ウエハサイズ自動認識システム ■多彩な薬液に実績あり ■フットプリントの低減（省スペース化） ■レジスト削減で多数のオプション ■生産量に合わせたラインアップ 【ASAPのコーター・デベロッパ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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ワークの表裏面に触れずに搬送、洗浄、乾燥が可能。
ポリッシュ後の研磨スラリーを界面活性剤、純水によるスクラブ後、メガソニックスポットシャワーによるリンス、スピン乾燥までを行う枚葉装置。ワーク表裏面に触れずに搬送、洗浄、乾燥が可能。同時に端面のスクラブ洗浄も行います。 ■表裏側面を同時に洗浄可能 ■被洗浄対象ウエハ ： シリコン、石英、酸化物、化合物等 ■対応ウエハ口径 ：φ2”～φ8” 厚みについては要相談 ■透明ウエハにも対応 ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクニカルフィット
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ワークの表裏面に触れずに搬送、洗浄、乾燥が可能。
ポリッシュ後の研磨スラリーを界面活性剤、純水によるスクラブ後、メガソニックスポットシャワーによるリンス、スピン乾燥までを行う枚葉装置。ワーク表裏面に触れずに搬送、洗浄、乾燥が可能。同時に端面のスクラブ洗浄も行います。 ■表裏側面を同時に洗浄可能 ■被洗浄対象ウエハ ： シリコン、石英、酸化物、化合物等 ■対応ウエハ口径 ：φ2”～φ8” 厚みについては要相談 ■透明ウエハにも対応 ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクニカルフィット
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小径ウェハ（LT・SiC等2〜6インチ）両面同時スクラブ洗浄装置
ワーク表裏面に触れずに搬送・乾燥が可能なスクラブ洗浄装置！独自機構の表…
ポリッシュ後の研磨スラリーを界面活性剤、純水によるスクラブ後、メガソニックスポットシャワーによるリンス、スピン乾燥までを行う枚葉装置。ワーク表裏面に触れずに搬送、洗浄、乾燥が可能。同時に端面のスクラブ洗浄も行います。 ■表裏側面を同時に洗浄可能 ■被洗浄対象ウエハ ： シリコン、石英、酸化物、化合物等 ■対応ウエハ口径 ：φ2”～φ8” 厚みについては要相談 ■透明ウエハにも対応 ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクニカルフィット
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ワークの表裏面に触れずに搬送、洗浄、乾燥が可能。
ポリッシュ後の研磨スラリーを界面活性剤、純水によるスクラブ後、メガソニックスポットシャワーによるリンス、スピン乾燥までを行う枚葉装置。ワーク表裏面に触れずに搬送、洗浄、乾燥が可能。同時に端面のスクラブ洗浄も行います。 ■表裏側面を同時に洗浄可能 ■被洗浄対象ウエハ ： シリコン、石英、酸化物、化合物等 ■対応ウエハ口径 ：φ2”～φ8” 厚みについては要相談 ■透明ウエハにも対応 ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクニカルフィット
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