【防災・BCP対策】非常用LPガス発電機

PR防災・停電対策・BCP対策向け非常用電源には災害に強いLPガス発電機を…

豊富なラインナップからお客様に適した発電機をご提案。 【LPガス発電機のメリット・優位性】 ■ガソリン発電機のように使用後放置してもキャブレターが詰まらない ■スズがでず、大気汚染物質の排出量が少なく、CO2も削減できる ■燃料の保管が容易のため、必要な量に応じて備蓄可能。72時間も対応可能。 【LPガスのメリット・優位性】 ■分散型エネルギーで復旧が早い。 ■国土強靭化計画で「エネルギー供給...

メーカー・取り扱い企業： 富士瓦斯株式会社（フジガス）

「2024国際ウエルディングショー」出展のお知らせ

PRダブルワイヤーで最大ウィービング幅8mmを実現した手持ち式溶接機を体験…

当社は、4月24日(水)からインテックス大阪で開催される 「2024国際ウエルディングショー」に出展します。 電源と溶接ガスの供給だけですぐにお使いいただける、軽量・小型の ハンディファイバーレーザ溶接機などを展示しますので、ぜひお越しください。 【主な展示物】 ■ダブルワイヤーフィーダー対応型ハンディファイバレーザ溶接機「HW-2000」 　◎最大8mmのウェービング幅を実現...

メーカー・取り扱い企業： レーザ技術サービス株式会社

プラズマクリーナー　G1000

ボンディングパッドの洗浄(ボンダビリティ向上)、表面改質・親水化(モー…

G1000 / G500は、ガスプラズマのエッチング効果を利用して低圧環境下で洗浄対象物の表面をクリーニングするシステムです。 ご用途に合わせて使用するガス(アルゴン、酸素、水素＋アルゴン等)を選択することにより、有機質のみなら...

メーカー・取り扱い企業： ハイソル株式会社

スピン洗浄装置　高性能型減圧式スピンコーター

【デモ機貸し出し可能！】N2置換、溶剤ガス導入、真空状態、等自動で行い…

式スピンコーターは、各種基板にレジスト液を自動でスピンコートする装置です。 チャンバー内の雰囲気をコントロールして、均一な高精度のコートができる様、技術が盛り込まれています。 即ちN2置換、溶剤ガス導入、真空状態、等自動で行います。 詳しくはお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

耐薬品性ふっ素ゴムシール「サンエラストI」

耐薬品性フッ素ゴムシール！従来のフッ素ゴムに比べ耐薬品性が大幅UP

●半導体、液晶、化学プラント、食品、および塗装などの業界では、溶剤、薬品、腐食性ガス等多くの流体が使用されております。 ●これらの流体をシールするには従来ふっ素ゴムが使用されておりますが、膨潤あるいは溶解などの問題で使用範囲が限られていました。 ●サンエラスト（3301...

メーカー・取り扱い企業： 三菱電線工業株式会社

キズがつかない！精密洗浄システム『スノーガンII』※デモ試用可能

廃液処理が不要！超微細ドライアイスパウダーでパーティクル・オイルを徹底…

精密洗浄システム『スノーガンII』は、純度99.99％以上の液化炭酸ガスで ノズルから、サブミクロンの超微細ドライアイスパウダーを噴射。 対象物にキズをつけず、パーティクル・オイル等の汚れを引きはがします。 また、ドライクリーニングのため、洗浄液の洗浄度管理・...

メーカー・取り扱い企業： オーテックス株式会社

卓上型ＵＶ照射装置　MUV

試料にダメージを与えず高度な洗浄を可能にした、卓上型UV照射装置

の処理が出来、表面改質やウエ 　ハ洗浄等の処理プロセスの開発に最適 ○ウエット洗浄とは異なり廃液を出さず、試料に物理 　的ダメージを与える事なく高度な洗浄効果が得られる ○有機汚染物質はガス化して排気される為 　有機汚染物質の再付着が起こらない ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社メープル

ECRプラズマ成膜装置『AFTEX-6000シリーズ』

複数材料の多層膜が成膜可能！高品質・高結晶性の薄膜形成ができる成膜装置…

ズマ源：マイクロ波分岐結合型ECRプラズマ源 ・プラズマチャンバ：内径Φ150mm、水冷ジャケット構造 ・円筒ターゲット部：円筒型　内径Φ100x巾40mm、バッキングチューブ直接冷却方式 ■ガス導入系：マスフローコントローラ：3系統 ・ガス種：アルゴン、酸素、窒素 ■操作 ・排気：自動 ・基板搬送：自動 ・成膜：自動／手動（切り替え） ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽...

メーカー・取り扱い企業： JSWアフティ株式会社

固体ソースECRプラズマ成膜装置『AFTEX-8000シリーズ』

均一性に優れた多層膜を形成できる！全自動多層膜形成装置

ctron Cyclotron Resonance)プラズマ源を用い、プラズマ引き出し部にターゲットを配置することによって固体ソースによるECRプラズマ成膜を実現しています。 CVDのような危険なガスを用いる必要がないため排ガス処理の必要もなく、地球環境に優しい成膜技術です。 【特長】 ■高絶縁膜特性 ■多層膜 ■緻密・平坦膜 ■低ダメージ ■長期安定稼働 ※詳しくはカタロ...

メーカー・取り扱い企業： JSWアフティ株式会社

ボールバルブ（ボール弁）『BCシリーズ』

標準で禁油・禁水対応のボールバルブ。LET-LOK（食い込み継手）接続…

ガス関連装置、一般的なガス配管等に最適なSUS316製ボールバルブ（ボール弁）です。 ＜特長＞ ・標準で禁油・禁水に対応し低コスト ・コンパクト設計 ・禁油・禁水でありながら軽い操作トルク ・パネルマウント対応 ・真空引き対応（カタログ記載リークレートご参照下さい） ・豊富な国内在庫で対応 サイズは1/4"、3/8"、1/2"、3/4"の4種類をご用意し、継手で実績のあるLET-...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハムレット・モトヤマ・ジャパン

ヒューズテクノネット　ガスコントロールユニット集積タイプ

ガスコントロールユニット集積タイプで、ガス漏れを監視します

半導体、液晶工場向け装置ガス、液体材料供給システムの設計、製作を行っております。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ヒューズテクノネット

チャンバーなどの半導体製造装置部材のコーティングに！シリカコート

金属に高純度シリカガラスをコーティング！酸化が抑えられ耐食性が向上！金…

Quartzace』では、 基材は金属、樹脂、ゴム、生体など、様々な基材に対応でき、基材の特長を活かしたまま、表面のみシリカガラスの特性が得られます。 例えば、金属にコーティングすれば、塩酸ガスなどに対してシリカガラスの優れた耐食性が得られます。 また、高温での金属の酸化も防ぐことが可能。 金属表面が合成石英並みのSiO2になることにより、メタルコンタミの問題を解決できます。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社コンタミネーション・コントロール・サービス

高耐久性ドライ真空ポンプ　SDEシリーズ

高耐久性ドライ真空ポンプ　SDEシリーズ

トを低減 あらゆるプロセスに対応する高耐久性ドライ真空ポンプ 【特徴】 ○独自のスクリュー圧縮技術により 　ハードなプロセスでの安定稼動を実現 ○ポンプ構造材は耐食材料を使用。腐食性ガスの排気にも対応 ○スクリュー形状、及び駆動系の改良により 　従来製品に対し、消費電流を40%低減 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 樫山工業株式会社

分析・解析機器　薬液中金属不純物分析システム

半導体製造ラインで用いられている洗浄薬液やガス中の金属不純物を測定する…

洗浄薬液槽近くに設けられたサンプリングモジュールで生成した微細のエアロゾルを アルゴンガス気流に乗せて長距離（100mまで）を移送し、 ICP-MS近くに設けられた切替えバルブにて薬液を選択し、ICP-MSにて自動分析するシステムです。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社IAS Inc. IAS Inc.

縦型減圧CVD装置

10種類以上の半導体ガスを自在にコントロール可能！カスタマイズ可能

縦型、枚葉、ウェハーサイズ、ガス種、フットプリントなど多くの使用に対応。汎用性を重視したハイグレード縦型減圧CVD装置です。標準仕様を基にカスタマイズを施し、より安価に製造することも可能です。 【特長】 ■スモールフットプ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ハイテクノサービス

スパッタリング装置『nanoPVD-S10A』

高機能 コストパフォーマンスに優れた研究開発用RF/DCマグネトロン式…

◉ 対応基板：2"（1〜3源）、もしくは4"（1源） ◉ 2"カソード x 最大3源 ◉ 7"タッチパネル簡単操作 PLC自動プロセスコントロール ◉ MFC搭載高精度プロセス制御 ◉ Arガス1系統（標準） + N2, O2 最大3系統まで増設 ◉ USB端子付 Windows PCに接続し、最大1000layer, 50filmのレシピを作成・保存。PCでデータロギング。 ◉ 他、...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

省エネ、フロンガス対策チラー　※置き換え事例ハンドブック進呈

省エネ効果でカーボンニュートラル、カーボンプライシング対策に！ 温室…

、半導体、レーザー装置、分析機器、医療機器、ストレージ、航空技術、軍事産業など、特にシビアな温度制御が要求されるマーケットで豊富な納入実績があります。 ＜ペルチェチラーの特徴＞ 　・温室効果ガスフリーで環境に対する悪影響が無い 　・小型・軽量で騒音・振動が極めて少ない 　・消費電力を最小限に抑えた使い方が出来る 　・温度応答性がよく、優れた温度安定性 　・機械部品が少ないため、故障...

メーカー・取り扱い企業： エムエス機器株式会社

超小型マイクロ波プラズマ源　SMPS-201

超小型マイクロ波プラズマ源　SMPS-201

ガスラインや排気ラインの途中に取り付けて 使うことを想定して開発された、超小型のマイクロ波励起プラズマ源 【特徴】 ○プラズマ室は、高純度アルミナ製で、放電を目視観測可能 ○無電極放電。新方式のマイクロ波供給方式により高密度プラズマを実現 ○完全シールド構造により、マイクロ波漏洩に対して極めて安全 ○完全空冷式で冷却水は不要 ○各種活性ガスの使用が可能 ○マイクロ波は同軸ケーブルにて...

メーカー・取り扱い企業： アリオス株式会社

フィルム連続成膜装置

フィルム連続成膜装置

ロール状フィルムを連続成膜する装置 ■□■特徴■□■ ■スパッタ・EB・抵抗加熱蒸着に対応 ■テンションピックアップフィードバック制御 ■フィルム放出ガス排気用コールドトラップ ■差動排気システム（任意設置） ■基板クリーニング機構 ■抵抗値透過率モニター機構 ■成膜ローラー冷温媒装置 ■表裏連続成膜にも対応します（右記イメージ図参照） ...

メーカー・取り扱い企業： ケニックス株式会社

RFプラズマ源　ERFS-500

RFプラズマ源　ERFS-500

度のプラズマ分光等が可能 ○自動マッチング機構により 　操作が簡単かつ長時間安定な動作が可能です。 ○空冷仕様になっており冷却水の心配がなく 　既設装置等へ気軽に取り付けられる ○活性ガス導入時でも長時間安定動作が行え 　かつクリーンな原子・ラジカルビーム等を得ることが可能 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。 ...

メーカー・取り扱い企業： アリオス株式会社

マイクロ波ラジカル源　EMRS-211Q

マイクロ波ラジカル源　EMRS-211Q

を目視確認可能 ○完全金属シール構造により、MBE装置など 　各種超高真空装置に使用可能 ○ラジカル源用途以外に加速用高圧電源（オプション）の 　使用によりイオン加速が可能 ○各種活性ガスの導入が可能 ○マイクロ波は同軸ケーブルにて供給されるため 　面倒な導波管接続が不要 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。...

メーカー・取り扱い企業： アリオス株式会社

半導体産業工程用フィルタ

半導体製造工程に使用される材料の精製から、デバイス製造工程に使用される…

APES膜、PTFE系膜、金属除去膜 CMPスラリー技術 　ロール、メルトブロー型デプスフィルタ 　ナイロン、PES膜 リソグラフィ技術 　UPE、ナイロン、多層膜 純水、各種薬液用 ガス材料用 ...

メーカー・取り扱い企業： 日本コベッタ株式会社

米国mott社製ガスケットフィルターGSGシリーズ

不活性ガスをはじめ、特殊ガスも対応可能な高性能・簡易型フィルター

半導体ガス供給システムのマスフローコントローラー、レギュレーター、バルブなどの重要なコンポーネントを保護。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクメイション

【国産】ペン型大気圧プラズマ装置

表面改質・洗浄・親水処理・接着強化に優れた低温電荷ダメージ無し！ペン型…

程度に) ■コロナ放電のような電流集中したアーク状態ではありません。 →処理対象物へ電荷のダメージを与えません。 ■窒素のみをプラズマ化。※アルゴンは導入できます。 →ArやHeなどの高価なガスは必要としません。 【R&D実用例】 ・異材料の接着力を強化　　有機薄膜の除去　　ガラスの洗浄 ・フィルムの接着強化　　　電子部品の洗浄　　薄膜の密着強化 ・各種塗工の濡れ性UP　 など...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社魁半導体

装置製作事例

真空装置の設計・製造ならお任せください！

スパッタ装置（金・白金・チタン・SiO2） ◆蒸着装置 　ドアミラー蒸着装置、シールド膜蒸着装置、有機ＥＬ実験用蒸着装置、アルミ膜蒸着装置 ◆脱気装置 ◆関連機器、加工部品 　ガスBOX、ガス配管、真空配管、真空フランジ等製作品 ◆真空チャンバー 　実験用チャンバー、グローブBOX 　 ◆その他 　プラズマＣＶＤ装置、ＥＣＲ成膜装置（ＣＶＤ）、中性子加速器用チャ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社コスモ・サイエンス

半自動型高速汎用メッキ装置プレリュード

半自動型高速汎用メッキ装置プレリュード

が残りません。専用治具はワークの形状によりフレキシブルに対応できます。装置構造の工夫により従来品と比べて薬品の持ち出し量を劇的に削減して薬品コストを低減できます。装置全体がカバーリングされており有害ガスの作業環境への排出を防止します。...

メーカー・取り扱い企業： 木田精工株式会社

グリッドイオンソース　仕様詳細

カウフマン&ロビンソン社製の各種グリッドイオンソースの仕様を掲載してい…

ス取り扱っています。 各種グリッドイオンソースの仕様を細かく掲載していますので、この機会に是非ご覧ください。 【掲載内容】 ●放電/放電電流/放電電力 ●グリッド ●ビームタイプ ●ガス流量 ●ガス ●圧力 ●イオンガン高さ/イオンガン直径 ●ニュートライザー その他詳細は、カタログをダウンロード、もしくはお問合せ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： アールエムテック株式会社

IPA蒸気乾燥装置VD-200CBT　ＩＰＡベーパー

CO2ガスによる自動消火システムを装備

【特徴】 ■保安装置 　 ガス濃度検知器により空気中のIPAの濃度を監視し、設定値を超えると警報を 　発し、ヒーター電源を切る ■IPAの供給/廃液 　 内蔵されたキャニスターにより、IPAの自動供給を行う。 　ワー...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社カナメックス 厚木工場

バルブ部門

半導体製造や貯蔵設備など！厳しい環境の中で高度の品質が要求される設備の…

西谷商事株式会社の『バルブ部門』をご紹介します。 超低温の液体窒素、液体酸素を扱う宇宙開発関連設備や エレクトロニクスの半導体製造、液化天然ガスの貯蔵設備などに対応。 いずれも厳しい環境の中で高度の品質が要求される設備のバルブを扱っております。 ご用命の際は、当社へお気軽にご相談ください。 【特長】 ■超低温の液体窒素、液体...

メーカー・取り扱い企業： 西谷商事株式会社

特殊炭素製品　半導体製造用プロセス装置

メルセン・エフエムエー株式会社では、半導体製造用プロセス装置やその他の…

グラファイトは耐熱性及び耐腐食性が必要な用途に最適な材料です。 特に液体薬品や化学ガスを使用する用途では、耐腐食性の高いグラファイトの使用が不可避です。...

メーカー・取り扱い企業： メルセン・エフエムエー株式会社 本社

薬液用マニュアルバルブ MMD※03RNシリーズ

選びやすさと使いやすさを追求！

使用流体：薬液、純水、空気、N2ガス 流体温度：5〜120℃ 耐圧力：1.0MPa...

メーカー・取り扱い企業： ＣＫＤ株式会社

高田工業所社製IPA蒸気洗浄装置『TIDシリーズ』

IPA蒸気による洗浄乾燥装置！デバイス・ウエハー・ガラス・部品などのク…

』は、IPAの品質管理システムおよび、種々の安全システムが装備されています。 ■特長 ・ デバイス・ウエハー・ガラス・部品等、材質や形状を問わず高純度のIPAを用いたクリーン乾燥が可能 ・ガス監視やN2パージ等の保安システム、万一の際の自動消火システムや緊急注水システム等万全の安全対策 ・材質や形状を問わず、高純度IPAを用いたクリーン乾燥が可能 ・オールステンレスにより破損の危険...

メーカー・取り扱い企業： JFE商事エレクトロニクス株式会社 プロセスソリューション営業部 実装プロセス営業室

ステンレス製チューブ継手 T-LOK（ティーロック）

バリューインパクト有限会社は『つなぐ』に価値をご提案します。 真空配…

ステンレス製チューブ継手は、多くのメーカー様で作られていますが、私たちが取り扱うチューブ継手「T-LOK」は、締結互換性耐久試験を実施し、スウェージロック社、その他のチューブ継手との互換性を確認しております。 「締結互換性耐久試験」を実施し、その結果に基づいて、寸法などの 仕様について他社製品との互換性があることを証明し、他社と変わらない品質で優れた製品であることを保証しております。 ...

メーカー・取り扱い企業： バリューインパクト有限会社

パイロリティックボロンナイトライド（PBN）

高純度、高熱伝導、軽量で靭性があり、高い耐熱衝撃性を発揮する高温セラミ…

【その他特長】 ■非多孔性（ガス不透過性） ■高絶縁強度（既知物質中でも特に高い絶縁破壊強度） ■高熱伝導性（ヒータとして熱均一性を向上） ■高温下で引張強度が増加（>1000℃でも安定して使用可能） ■耐熱衝撃性（過激な...

メーカー・取り扱い企業： モメンティブ・テクノロジーズ・ジャパン株式会社

水溶性パーツ洗浄機『トレント』

圧力･温度･水溶性洗剤の組み合わせにより強力に素早くパーツ洗浄が可能

●人体に無害な水溶性洗剤を使用 ●水洗浄可能なあらゆる金属とパーツ洗浄が可能 ●洗浄液の油分を分離し、洗浄液を長寿命化 ●廃棄物量を低減し、リサイクル費用を削減 ●有害なガスと火災発生リスクを回避 ●面倒なメンテナンスが不要 【用途】 自動車、鉄道車両、特殊車両、建機・農機の整備工場、金型や砥石を多用する工具・金属製品の製造工場、 食品工場など...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社カナデン 本社

RFラジカルビーム源　IRFS-503

RFラジカルビーム源　IRFS-503

放電部、引き出し部は高純度PBNで製作され 活性ガス導入時でも長時間安定動作が行え かつクリーンな原子・ラジカルビームを得ることが可能な、ラジカルビーム源 【特徴】 ○ICPタイプのRF放電により化学的に活性なラジカルを形成し 　差圧に...

メーカー・取り扱い企業： アリオス株式会社

フレーム溶射装置『MK61-FS』

柔らかい結合皮膜から非常に硬い耐磨滅皮膜とするまでモリブデンを溶射可能…

『MK61-FS』は、鋼、ブロンズ、銅と重要なモリブデンの皮膜を作る 肉盛り溶射用に使用される、酸素－アセチレン燃料ガスの フレ－ム溶射ガンシステムです。 軽量で頑丈なガンにより小さな部品から中程度寸法の用途で破損した 部品の肉盛り、補修が可能。 さらに、柔らかい結合皮膜から非常に硬い耐磨滅皮膜とする...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社澤村溶射センター

ペン型大気圧プラズマ装置P500-SM

【国産】超小型、微細な加工やラボ用途に適した、ペン型タイプの大気圧プラ…

てはサンプル表面を40℃程度に。) ■コロナ放電のような電流集中したアーク状態ではありません。 →処理対象物へ電荷のダメージを与えません。 ■窒素のみをプラズマ化。 →ArやHeなどの高価なガスは必要としません。 ■AC100Vのコンセントで動作しますので、様々の状況での使用が可能です。 ※デモ処理、装置のレンタルもいたします。詳細は、『ダウンロード』から 　ご確認下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社魁半導体

フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

ための難しいプロセスに対応可能なハイスペックなエッチャーをお探しの方 【仕様】 ・サイズ：W ～800mm x D 1700mm x H 1500mm（本体・標準、構成によって異なる） ・ガス配管：最大12ライン（プロセスガス11ライン+パージ用N2） ・対応ウエーハサイズ：最大φ200mmフルウェハ、クーポンタイプ、パッケージ化ダイ等 ・対応プロセス：成膜（PECVD、ICP-CV...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

フレーム溶射装置『MK66E-PC』

外部の自動装置と連動して生産を停止することが可能！分散型I/Oがついた…

【その他の特長】 ■酸素・プロパン燃料ガス・エヤーのマスフロー制御＝再現度が高い ■キーボード制御か操作者インターフェイス装置かのオプション ■ワイヤー径は1.5～4.76mm ■非常に高い信頼背の為に分散型I/OがついたPC制御 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社澤村溶射センター

高周波超音波洗浄機（メガソニック）　UMCシリーズ

精密洗浄に適する高い周波数洗浄機（500kHz、1MHzHz）----…

タル詳細設定が可能で、エラー表示機能 ３、10 %から100 %まで1 % 刻みで出力調整可能 ４、調整可能なスイープ機能で、連続的な超音波周波数変調で均一な音場分布を実現 ５、洗浄液中の溶存ガスを追い出す脱気（DEGAS）モードを搭載 ６、高精度のデジタル調整可能な照射時間と間隔の制御機能 ７、ファームウェアのアップデート等に利用できるUSBポット付 ...

メーカー・取り扱い企業： 新科産業有限会社

樹脂溶射装置『PG550』

取扱操作が容易！様々な種類のプラスチック材質が溶射可能、歩留性も向上！

『PG550』は、プロパン、アセチレン、水素、天然ガスを使用できる 樹脂溶射装置です。 使用するプラスチック材料は、プラスチック化用の物質や溶剤等の 添加物を含まず、純粋な材料の形で用います。よく選別された粉末粒度の ものを用い、必要とする...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社澤村溶射センター

おすコネクタ＠くいこみ継手／ダブルフェルール継手【無償サンプル】

おすコネクタ（くいこみ継手／ダブルフェルール継手）768LRSS1/4…

世界中の半導体製造装置等の真空機器、ガス設備用の配管、プラントエンジニアリング用計装配管等で採用実績のあるHam-Let社『LET-LOK継手』の無償サンプルをご用意しました。 これまでHam-Let社をご存じなかったお客様や、海外...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハムレット・モトヤマ・ジャパン

米国mott社製フローリストリクターシリーズ (高純度向け)

多孔質金属技術を用いた流量制御器 (高純度向け)。

流量条件が比較的一定に維持されるマスフローコントローラー、ニードルバル ブ、およびその他の流量制御装置の費用対効果の高い製品。 流量を調整するニードルバルブやオリフィスに比べ、ガスの乱流を起こすことなく流量を制御します。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクメイション

イットリアコーティング装置（ＡＦ－ＩＰ装置）

耐プラズマ性に優れたイットリア（Ｙ２Ｏ３）膜をＰＶＤ法で形成。 新開…

電子ビームによる各種材料の蒸発とアークフィラメント式イオン化法により安定して反応膜生成膜（窒化膜・酸化膜・炭化膜）を形成。 成膜レートも反応ガス流量のみで制御。シンプルで信頼性の高いハードにより最新の成膜プロセスを提供 充実の成膜プロセス ・耐プラズマ性イットリア膜（１０μｍ） ・耐酸化性硬質膜ＳｉＣ（７μｍ） その他従来型硬質...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

『事例』プラズマや熱による センターリングの劣化対策　無料進呈中

真空配管設備の不安を解消！プラズマや熱によるセンターリングの劣化対策の…

お困りではありませんか？ プラズマや高温、ガスによる影響で連結部に使用しているセンターリングが劣化してしまうなどの問題にたいする改善策をまとめた事例集です。 センターリングの検討をされている方、選定の一助までにご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

米国mott社製インラインガスフィルターPentaシリーズ

ニッケルエレメントを使用した低価格・低圧損インラインフィルター

腐食性ガスをはじめ、様々なガス種へ対応可能な製品を多数ラインナップ。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクメイション