T型真空計『NMT-2000-01/02/05』

PR豊富な機能・計測画面を有したタッチパネル式卓上型の製品をご紹介！

『NMT-2000-01/02/05』は、中真空領域(1.0×10^-1～2.0×10^3Pa)が 測定可能な気体の熱伝導を利用した熱伝導式の真空計です。 表示画面は読み取りやすいタッチパネルTFTカラーLCD表示。 画面をアナログ表示、トレンドグラフ表示などへ切替可能。 計測値はメモリーカードへ保存でき、PCへも接続ができます。 乾電池でも駆動するため電源がとれない場所でもご使...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社岡野製作所

従来の横型真空ポンプに比べ、省スペース化、低コスト化を実現

PR立型構造の為、従来の横型に比べ圧倒的な省スペース化。又、同じ動力であれ…

『TRVシリーズ』は、凝縮性ガスに強い真空ポンプとして独自に開発した汎用ドライ真空ポンプ（ルーツ真空ポンプ）です。 ガス流路が上部から下部へ流れるDown-Flowとなるように配置されているため、ガスと共に吸引したミストやポンプ内部で凝縮した液体は、吐出口まで流下し大気圧力下において容易に排出・回収することができます。 このためミストの流入やガスの凝縮液に対して極めて強靭なポンプです。 材質...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社宇野澤組鐵工所

恒温槽内用ホットプレート「PA2509-HI型」

恒温槽内での使用を想定した高耐熱ホットプレートです。

恒温槽内用ホットプレート「PA2509-HI型」の最大の特徴は、最大180℃までの優れた耐熱性です。 すべての部品が耐熱性を持っているため、そのまま恒温槽内に入れてお使い頂けます。 設置面からプレート上面までわずか40mmの薄型ボディは、設置する場所を選ばず様々なアプリケーションに適合致します。 温度コントローラーは、PCCシリーズとワンタッチコネクタで接続可能です。 【特徴】 ○恒...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社MSAファクトリー

液体加熱用ホットプレート「PA6015型 バスタイプ」

プレート部が槽になっている、液体加熱向けのホットプレートです。

液体加熱用ホットプレート「PA6015型 バスタイプ」の最高温度は600℃と、従来の液体加熱器では到達しづらかった温度まで液温を加熱することが出来ます。 プレート部分がそのまま、液体を入れることの出来る槽になっており、750ccの大容量を実現しております。 配線部が液体加熱に最適な簡易防水構造になっているため、安心してご使用頂けます。 【特徴】 ○プレート部が槽になっている、液体加熱向...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社MSAファクトリー

コントローラ組込型ホットプレート「PA2025-Em型」

コントローラが組み込まれているため配線がシンプルで設置スペースを取りま…

コントローラ組込型ホットプレート「PA2025-Em型」の最大の特徴は、一体型ならではのシンプルさです。 そのため様々なカスタマイズが可能な、装置への組み込みに適したホットプレートです。 コントローラが組み込まれた一体型のため、煩雑な配線が一切存在せず、電源ケーブルを繋ぐだけでお使い頂けます。 また、通信機能が搭載されており、装置への組み込み、外部からの制御が可能となっております。 【...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社MSAファクトリー

大型・簡易防水ホットプレート「PA1560-WP型」

スプレーコーター内での使用、薬液関係等、水のかかる環境での加熱工程に最…

大型・簡易防水ホットプレート「PA1560-WP型」は、配線部が簡易防水構造になっており、スプレーコーター内等の水がかかる環境下でもご使用頂くことができます。 プレート面の穴の大きさ、位置、数の変更や、取り付け方法の変更等、様々なカスタマイズにお応え致します。 【特徴】 ○大型、防水タイプのホットプレート ○最高温度150℃ ○プレートサイズ：620×500mm ○電源電圧：AC2...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社MSAファクトリー

高速昇温ホットプレート「PA6010型 ハイパワータイプ」

最高温度600℃！昇温速度に優れたハイパワータイプホットプレートです。

高速昇温ホットプレート「PA6010型 ハイパワータイプ」は、従来の設計を1から見直して、プレートを可能な限り軽量化し、AC100V電源で動作するぎりぎりのところまで出力を上げることで高速昇温を実現致しました。 室温から600℃までを、わずか5分30秒程で昇温させてしまうことが可能で、従来のホットプレートと比べると、その差は一目瞭然です。 【特徴】 ○高速昇温型のホットプレート ○室温...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社MSAファクトリー

B-A真空計『ミニチュアイオンゲージ　IG-10（NW25）』

センサー・回路部・ディスプレイが一体型のコンパクトな熱陰極電離真空計で…

広帯域（1.33×10-7Pa）?（6.65Pa）の高真空領域までを 高精度測定ができる『イオンゲージ真空計』です。 ディスプレイは高照度・高精細有機ELを採用し高視認性で、多様なデータを 簡単操作で呼び出し、コントロ...

メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社

プロセスガスモニタ『M-080QA-HPM』

真空チャンバの到達圧力から、スパッタプロセス圧力までの広範囲（1～80…

プロセスガスモニタ『M-080QA-HPM』は、測定質量範囲1～80amuであり、2.0Pa以下（差動排気系不要）の圧力から測定可能な四重極型質量分析計です。 プロセス中のガス分圧を監視し、プロセスガス異常・リークなどの不具合を検知し、プロセス安定性を提供いたします。 プロセス中の...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

高温ホットプレート「PA4007型」

最高温度400℃！小型、高温のホットプレートです。

高温ホットプレート「PA4007型」は、全体サイズが158×106mmと小型のため、様々な場面でご使用頂けます。 また、最高で400℃まで加熱出来ますが、温度分布も±0.8%と大変優れています。 MSAファクトリーのデジタル温度コントローラ PCCシリーズとワンタッチで接続頂けます。 【特徴】 ○最高温度：400℃ ○プレートサイズ：70×80mm（カスタマイズ対応可） ○MSAフ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社MSAファクトリー

ピラニ真空計　PG-20

小型なボディで装置組込みの省スペース化！

帯域（1.0×10-1Pa）?（1.0×10　4Pa）の低真空を測定できる、ピラニ真空計です。 熱伝導を圧力に変換して、真空計測を行えます。 （特長） 　●（1.0×10-1Pa）?（1.0×10　4Pa）の測定範...

メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社

定温度型ピラニゲージコントローラ　PG-30

熱伝導を圧力に変換して、真空計測を行えます。

帯域（1.0×10-1Pa）?（1.0×10　4Pa）の低真空を測定できる、ピラニ真空計です。...

メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社

マイクロコンタクトプリンター　PA400

シンプルな構成で、多方面での応用が利くマイクロコンタクトプリンター

◆マイクロプリントや露光装置以外の目的でも多方面から採用されています。...●本装置は、ハーバード大学のG．Whitesidesによって提唱された「マイクロコンタクトプリンティング(micro contact printing)」法に対応するマイクロコンタクトプリンター装置です。 ●マイクロコンタクトプリンティング法は急速に展開してきた有機エレクトロニクス分野で次世代デバイス製造法として注目...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ナノテック

真空計『コンビネーションゲージ　CC-10（NW25）』

大気圧から高真空までの広帯域の計測をこの1台で！センサー・回路部・ディ…

えます。 構造の単純化により、センサークリーニング、センサー交換をお客様自身で行っていただく事ができ、生産復帰までの時間短縮を可能にしました！ 【特長】 ■広い測定範囲を実現（10＾5Pa ～ 10＾-7Pa） ■真空計設置スペースを節減 ■低真空部はクリスタルゲージの採用により大気圧検出、低真空側での抜群の安定性を実現 ■高真空部は耐久性の高い新しい構造のCCGを採用 ■イ...

メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社

スパッタリング装置『nanoPVD-S10A』

高機能 コストパフォーマンスに優れた研究開発用RF/DCマグネトロン式…

高機能 ハイパフォーマンス RF/DCマグネトロンスパッタリング装置 ● 到達圧力5 x 10-5Pa（*1x10-4Paまで最速30分！） ● スパッタ源 x 3：連続多層膜膜制御, 同時成膜 ● 膜均一性±3% ● 多彩なオプション：上下・回転、ヒータ、磁性材用カソード、他 ◉ na...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

コールドカソードゲージ コントローラ　CG-20

堅牢な冷陰極型電離真空計

帯域（4.0×10-7Pa）?（3.0×10-2Pa）の圧力を１レンジで測定できる、コールドカソードゲージコントローラです。...

メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社

工業用ホットプレート　PA3015

カートリッジヒーター内臓の、超小型・薄型ホットプレートです。300℃ま…

カートリッジヒーター内臓の、超小型・薄型ホットプレートです。別売りの温度コントローラで幅広い温度設定が可能です。小型部品、半導体部品の加熱プロセス。温度評価などの評価ステージに。...◎カートリッジヒーター内臓、高精度温度制御（±0.8％） 　　*さらに高精度タイプについても是非ご相談ください。 ◎超小型・薄型ホットプレート ◎温度コントローラー（別売）を使用し、幅広い温度設定が可能（室温-...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社MSAファクトリー

ロードロック方式スパッタリング装置 「SPH-2500-II」

膜厚分布：トレー内 ±1.2％、トレー間 ±1.5％を達成しました。

【性能】 ○膜厚分布　トレイ内 ±1.2%　トレイ間 ±1.5% ○ターゲット使用効率　４４％（最大） ○タクト　3分／サイクル　 ※1枚目を除く ○到達圧力　仕込室 1.0×10^-3Pa以下　SP室 1.0×10^-3Pa以下 ○排気時間　仕込室 2.0×10^-2Pa迄　3分以内 　　　　　　SP室 1.2×10^-2Pa迄　10分以内 ○基板加熱温度　150℃以上を確認 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社昭和真空

R＆D用スパッタ装置『QAMシリーズ』※ユーザーボイス進呈中

「サンプル作業時間が1/3になった！」。コンパクト設計で自動化も推進。…

『QAMシリーズ』は研究開発、材料開発等の小規模実験で要求される様々な機能に対して、 アルバックの豊富な成膜技術と経験をもとに、幅広く対応できる低価格のスパッタ装置です。 約1Pa～0.1Paまでの放電維持圧力範囲を持ち、従来より低圧力でスパッタ成膜が可能。 従来に比べ更なる小型化、自動化を実現したうえに、磁性ターゲットにも対応しています。 さらに、20mm角基板対応...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

固体ソースECRプラズマ成膜装置『AFTEX-8000シリーズ』

均一性に優れた多層膜を形成できる！全自動多層膜形成装置

【真空排気系仕様】 ■到達圧力 プロセスモジュール: < 3×10-5Pa トランスファー室: < 3×10-4Pa ロードロック室: < 3×10-4Pa ■真空排気系 プロセスモジュール: ターボ分子ポンプ 1300L/sec ドライポンプ: 600L/mi...

メーカー・取り扱い企業： JSWアフティ株式会社

小型スパッタ装置

対応基板は最大φ1インチまで処理が可能！デュアルガスノズルを備えた装置

【仕様】 ■構成：成膜室および排気系、ガス導入系 ■到達圧力：6.7 x 10^-5Pa以下（排気後3時間） ■基板サイズ：1インチSiウェハ1枚 ■膜圧分布：±5%以下（1インチ基板のφ20mm内） ■ターゲット寸法：φ25.4mm x 3t（非磁性金属材料など） ■RF出力...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社和泉テック

多機能型・真空蒸着装置 「SEC-22C」

リフトオフ・厚膜・低温成膜対応 昭和真空の技術を結集させた最上位モデ…

【仕様】 ○到達圧力 6.7×-5Pa以下 ○排気速度 大気圧より4.0×10-4Pa迄20分以内 ○蒸発源 電子銃270°偏向、電源16kW ○基板加熱 MAX150℃　常用100℃ ○膜厚分布 ±1%以内 (バッチ内、バッチ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社昭和真空

イオンプレーティング装置 「SIP-1600」

装飾・塗装のドライ化や増産をご検討中のお客様向け

【仕様】 ○到達圧力 10-4Pa 台 ○排気速度 大気圧より6.7×10-3Pa 迄20 分以内 ○内部治具 自公転式　6軸（Φ440mm×H1650mm/軸：ワーク搭載エリア） 　　　　　　　　　　 8軸（Φ360mm×H...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社昭和真空

高真空アニール装置 「SAF-52T-II」

生産の効率化、サイクルタイムの短縮が図れます。

寸法　Ｗ1700mm×D900mm×H1700mm ○装置重量　約1200kg [所要諸元] ○所要電力量　3相，200V，22.4KVA (64.7A) ○所要水量　入圧：0.3～0.4MPa　　 差圧：0.2MPa以上 　　　　　　水温：20～25℃ (但し運転中結露無き事) 　　　　　　流量：約0.66m3/hr (11L/min) ○所要空圧　供給圧：0.5～0.7MPa　...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社昭和真空

ECRプラズマ成膜装置『AFTEX-6000シリーズ』

複数材料の多層膜が成膜可能！高品質・高結晶性の薄膜形成ができる成膜装置…

【主な仕様】 ■到達圧力 ・処理室：3x10-5Pa以下 ・ロードロック室：3x10-4Pa以下 ■真空排気系 ・成膜室：ターボ分子ポンプ 1000l/sec ・ロードロック室：ターボ分子ポンプ ■成膜室 ・スパッタ源：ECR 2式、マグ...

メーカー・取り扱い企業： JSWアフティ株式会社

高真空蒸着装置『RD-1230』

サイリスタ制御により蒸着電圧及び、電流値の調整が可能！排気操作は全自動…

【仕様】 ■到達圧力：×10^-5Pa台 ※常温・無負荷・脱ガス時 ■排気速度：大気圧から30分で2.0×10^-4Pa ※常温・無負荷・脱ガス時 ■真空室径：φ230mm×240mmH 硬質ガラス ■蒸着機構：抵抗加熱方式 ・...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社サンバック 本社

受託サービス：デバイスの質量ガス分析

高精度の四重極型質量分析システムによる受託分析サービス。封止デバイス内…

ら受領した サンプルのガス分析（リーク量測定）を行うサービスを提供しております。 分析装置に“低ガス放出”の0.2％BeCu合金製の真空構造材を採用しており、 デバイスの破壊試験による10^-15Pa・m3/s(He)以下という極微小リークの検出が可能。 封止デバイス内部や接合ウェハー界面のガス分析を行います。 半導体デバイスの不良解析、品質改善、品質管理に貢献します。 【測定例】 ■半導体チ...

メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社

アーク放電型イオンプレーティング装置 「SIA-400T」

ドロップレットを減少させるための蒸発源高速回転機構付です。

【仕様】 ○真空槽／φ400×D450 ○到達圧力／10^-3Pa台以下 ○排気速度／6.7×10^-3Paまで15分 ○排気操作方法／自動 ○基板加熱／MAX350℃ ○成膜方法／自動 ○成膜速度／2500Å/min(Tin 100A) ○蒸発電源／...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社昭和真空

小型スパッタ装置『SS-DC・RF301』

小型設計ながら性能はキープ！高温での基板加熱が可能なスパッタ装置

【仕様】 ■到達真空度：1×10^-4 Pa以下 ■リーク量：1×10^-8 Pa・m3/sec以下（Oリング透過分を除く） ■排気系：TMP+ダイヤフラムポンプ（またはロータリーポンプ） ■真空計 　フルレンジ真空計（コールドカソー...

メーカー・取り扱い企業： アリオス株式会社

【デモ実施中！】小型実験用イオンビームエッチング装置

【デモ実施中！】使用ニーズに合わせてカスタマイズできるイオンソースを搭…

【仕様】 ●エッチング用イオンソース 　DC 11cm イオンソース 　SOLUS　POWER　SUPPLY ●真空チャンバー 　到達圧力　6.0×10-5Pa台 　動作圧力　3.0×10-2Pa台 ●シングルステージ 　水冷機構 　3軸動作　自転・入射角度・円弧移動 　不定形基板からMax 6inchiまで選択可能 ●排気系 　主排気　TM...

メーカー・取り扱い企業： アールエムテック株式会社

高真空蒸着装置『KW-030D』

水晶振動式膜厚モニター搭載！コンパクト設計でクリーンな成膜が可能

【仕様(抜粋)】 ■到達圧力：4×10^-5Pa ■排気時間：5×10^-4Paまで10分以内 ■ベルジャー：SUS304　Φ507×H422 ■蒸発源：抵抗加熱蒸発源3対、2kW 3連EBガン(オプション) ■排気系：TMP800L/s...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社片桐エンジニアリング

小型イオンビームエッチング装置

イオンソースを使用し、加工対象物にイオンビーム照射をし、ドライエッチン…

【装置仕様概略】 ○エッチング用イオンソース →DC 11cm ION SOURCE →SOLUS POWER SUPPLY ○真空チャンバー →到達圧力：6.0×10-5Pa台 →動作圧力：3.0×10-2Pa台 ○シングルステージ →水冷機構 →3軸動作 自転・入射角度・円弧移動 →不定形基板～Max 6inchまで選択可能 ○排気系 →主排気：TMP ...

メーカー・取り扱い企業： アールエムテック株式会社

ガス加熱用高効率ヒータ『WEXシリーズ』

小型・軽量で高効率！熱電対、サーモスタットを標準装備し、IN/OUTの…

【仕様】 ■最高使用温度：200℃～300℃に対応 ■定格流量：～100L/minまで対応可能 ■定格容量：130W～1300W ■リークレート：1×10-10Pa・m3/sec以下 ■熱電対：Kタイプ　クラス2 ■電源：AC100　または　AC200 ■サーモスタット：ディスク型　および　ブロック型 ■300℃モデルにつては専用の火傷防止用　パンチン...

メーカー・取り扱い企業： ワッティー株式会社

TMPタイプ　真空蒸着装置

簡単操作のTMP排気システム採用！拡張性に優れたテーブルトップ型真空蒸…

【仕様】 [排気装置：SVC-700TMSG] ○排気操作：全自動 ○到達圧力：2×10⁻⁴Pa以下 ○蒸着用電極：2組 ○ガラスベルジャー：内径φ160mm×215mmH ○寸法(W/D/H)：340/460/544mm [蒸着電源：SVC-7PS80] ○ヒーター電源：12V 4...

メーカー・取り扱い企業： サンユー電子株式会社

BS-80011BPG 高密度プラズマ発生用内蔵形プラズマ銃

学薄膜や保護膜、機能膜などの膜特性を向上させることができます

【仕様】 最大放電出力：6kW (160V, 38A) 動作圧力：1×10-2～1×10-1 Pa (Ar、O2、N2雰囲気中) ※詳細はPDFをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： アズサイエンス株式会社 松本本社

【課題解決事例】通信デバイスメーカーA社

180μmピッチのウエハバンピングに成功！スクリーン印刷による量産ライ…

長である充填圧力制御機能を生かし、以下の内容を提案しました。 「マスク開口内に100％はんだペーストが充填できる加圧条件を提案」 「はんだブリッジ対策として通常の印刷機では対応できない280Pa・s程度の 高粘度はんだペーストの使用を提案」 他社製印刷機による評価実験で苦労していた問題点が、いとも簡単に解消され、 おかげで新製品の量産工程を大幅に見直すことなく、計画通りに量産を ...

メーカー・取り扱い企業： 谷電機工業株式会社

隔膜式真空計（バラトロン真空計）

150℃/200℃対応！バイオ医薬品製造に最適な隔膜式真空計。

造プロセス用真空計としての用途の他、バクテリア増殖を防止する目的で蒸気を用いる、凍結乾燥装置、滅菌装置などのバイオ製薬プロセスに最適です。 特徴 ●最小フルスケールレンジ：133×10E-2Pa　 ●最大フルスケールレンジ：133×10E5Pa ●精度：読み値の0.50％ ●±15VDC入力電源のみで稼動、省電力（最大1.0A) ●外部から調整可能なリレー機能内蔵（オプション）...

メーカー・取り扱い企業： 日本エム・ケー・エス株式会社

【蒸着技術詳細】蒸着のしくみ

分子を基板表面に堆積させ、薄膜を形成させる技術！真空蒸着について解説！

蒸着のしくみについてご紹介いたします。 「真空蒸着」とは、1.0E-3Pa以下の真空中で金属や酸化物等を電子銃などで 加熱し蒸発させ、発生した分子を基板表面に堆積させ、薄膜を形成させる技術です。 河合光学株式会社は、真空蒸着技術で独自の研究開発を進めてきました。 ...

メーカー・取り扱い企業： 河合光学株式会社

【ガススプリングの代替に】パワーアシストヒンジ採用事例

ガススプリングの代替にパワーアシストヒンジを。ガス抜けがなく省スペース…

チップマウンターのカバー開閉部分に パワーアシストヒンジ HG-PA230-25を採用いただきました。 【課題のポイント】 ・ガススプリングを取り付けるスペースが確保できないが、開けるときのアシスト機能が欲しい。 ・積層表示灯を見やすい装置にしたい。 【解決のポイント】 カバーの重量が重いため従来機種ではガススプリングを使用されていましたが、新機種では内部の装置の関係でガススプ...

メーカー・取り扱い企業： スガツネ工業株式会社 テクノフィールド事業部

『表面活性化接合タイプ常温接合装置　量産機』

ウェハーやバルクを熱を加えず接合！

当製品は、超高真空(10^-6Pa台)下で、Arビームにより接合面を活性化し、 常温・無加圧でウェハーやバルクを接合する量産機ベースの装置です。 非加熱で接合するため、生産工程の短縮・効率化に寄与します。 当社が長年培...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ムサシノエンジニアリング

デスクトップクイックコーター「SC-701MkII」

SEM用試料の前処理用として最適！シリーズ最小のコンパクトコーターです…

サイズ：50ｍｍ dia.（T-S間調節範囲 - 20、30、40ｍｍ） ○排気操作：手動式 ○スパッタ方式：DCスパッタ／平行平板型 ○高圧電源：1.2kV／0～9.9mA ○到達圧力：5Pa ○チャンバーサイズ：90(dia.)×90(depth)ｍｍ（SUS製） ○タイマー：0～15min（最長30min） ○ガス導入機構：ニードルバルブ　導入口径外径φ6mm　ワンタッチ継手 ...

メーカー・取り扱い企業： サンユー電子株式会社

コンパクトコーター「SVC-700TMSG/Adexcel」

ターゲットは3種類同時に装着可能！多層膜を作製することが可能です。

○放電形態：直流マグネトロン ○放電制御：定電流 30mA ○圧力制御：ニードルバルブによる手動制御 ○プロセス時間：最大15min/タイマー制御 ○プロセスガス：Ar（導入圧力 0.1MPa以下） ○プロセスガス導入口：φ6mmワンタッチ継手（シンフレックスチューブ用） ○ターゲットサイズ：φ49mm、t0.5mm（最大） ○ターゲット装着数：3種類 ○適用可能ターゲット →...

メーカー・取り扱い企業： サンユー電子株式会社

デスクトップ全自動コーター

走査電子顕微鏡用試料作製に最適！　試料作製の煩わしさを解消します。

20／60ｍｍ） ○排気操作：全自動 ○スパッタ方式：DCスパッタ／平行平板型 ○膜厚設定方式：オートプリセット方式（デジタル表示膜厚モニター付） ○高圧電源：1kV／0～20mA ○到達圧力：10Pa ○チャンバーサイズ：120(dia.)×120(depth)ｍｍ（ステンレス製） ○ガス導入機構：ニードルバルブ ○排気装置：直結型ロータリーポンプ　20L／min（自動リーク付） ○設置電源：単...

メーカー・取り扱い企業： サンユー電子株式会社

デスクトップRFスパッタ装置『SVC-700RFIII』

コンパクトな卓上サイズで3源のカソードを搭載。絶縁薄膜、酸化物・窒化物…

グネトロンスパッタ方式 カソード：φ2インチ×3源/水冷式 スパッタアップ スパッタ電源：RF電源 13.56MHz Max. 200W(手動式マッチングユニット付) 到達真空度：10^-4 Pa台 寸法： 　SVC-700RFIII(制御ユニット)：W370×D310×H195mm 　RF CONTROL UNIT：W370×D310×H158mm 　チャンバーユニット：W370×...

メーカー・取り扱い企業： サンユー電子株式会社

小型真空蒸着装置『HVE-100』【クリーンな成膜を実現！】

クリーンな成膜が可能な小型真空蒸着装置！シャッタを具備しているので安定…

板成膜面は下向きで 設置、抵抗加熱源からの蒸発で上向きに成膜する配置（デポアップ）です。 シャッタを具備しているので安定した状態で蒸着が可能です。 【特長】 ■高真空排気系：<10^-4Paの到達真空度でクリーンな成膜が可能 ■チャンバはメンテナンスしやすいようにSUS製で内部に防着板を配置 ■省スペース/小型化：W500×D395mmサイズで卓上型 ■お手持ちの排気系、膜厚計を...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイブリッジ 東京営業所

樹脂、プラスチックの原料検査『ペレット・パウダ異物検査装置』

樹脂、プラスチックの原料検査に最適！　独自開発の検査機構でペレットやパ…

『ペレット・パウダ異物検査装置』は樹脂、プラスチックの原料検査に最適です！ 独自に開発したターンテーブル方式に自社開発の画像ユニットを組込み、ペレットで難しい透明品種の気泡・中空孔・凹凸等を 誤検査することなく、異物だけを判別する装置です。 【注目ポイント】 ●驚異の検出能力（検出精度　標準16.6μｍ／高精度9μm）で、 　なおかつ検査ボックスと制御盤を組み合せたコンパクトタイプ！...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ヒューブレイン

BS-60610BDS ボンバード蒸着源

ハイレート対応、厚膜成膜、大型装置対応

BS-60610BDS:ボンバード蒸着源　本体 6点ライナータイプ 出力：最大 4.8 kW 冷却水：4～5 L / min, 水温 10 ～ 25°C 動作圧力：5×10-5 ～ 1×10-2 Pa ...

メーカー・取り扱い企業： アズサイエンス株式会社 松本本社

極高真空用フッ素グリース『ロゲネストラムダZLVP』

極高真空下（10-8Pa以下 ）にてアウトガスが発生しにくいグリースで…

【特徴】 • あらゆるグリースの中で、最高レベルの長寿命性を有します • 低発塵グリースとしても活用可能です • 市販グリースで、最高の蒸気圧特性を持つフッ素グリースです • 酸化安定性、耐薬品性、電気絶縁性にも優れています • RoHS指令に対応製品...【用途】 極高真空下で使用されるベアリング、ポンプ、バルブ摺動部位など • 半導体製造装置 • 有機EL・ソーラーパネル製造装...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ニッペコ 本社

真空はんだ付け装置（真空リフロー装置）

インターネプコンにも出展！大型製品にも対応した新製品のご紹介 ＜サン…

インナップ 【主仕様】 処理寸法：W310×D320×H150mm（バッチ式） 処理温度：100℃〜450℃　MAX500℃ 雰囲気：N2・H2・蟻酸　もしくは真空 真空系：到達圧力１Pa ◎より詳しい掲載内容につきましては、 　カタログをご覧頂くか、直接弊社営業所までお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

受託サービス：質量ガス分析＜分析システムの解説付き資料進呈＞

高精度の四重極型質量分析システムによる受託分析サービス。極微小リークも…

た サンプルのガス分析（リーク量測定）を行うサービスを提供しております。 分析装置に“低ガス放出”の0.2％BeCu合金製の真空構造材を採用しており、 デバイスの破壊試験による10^-15Pa・m3/s(He)以下という極微小リークの検出が可能。 半導体デバイスの不良解析、品質改善、品質管理に貢献します。 【測定例】 ■半導体チップの各積層間の残留・放出ガス測定 ■半導体ウェ...

メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社

真空対応 位置決めテーブル ＜VT＞

真空対応 位置決めテーブル ＜VT＞

真空度（：到達 5×10-5Pa）対応の汎用型ＸＹ位置決めステージです。 【特長】 　◇真空対応ステッピングモータを採用（自社製） 　◇真空対応フォトセンサを採用（自社製） 　◇真空グリースの銘柄指定可、ノングリースも...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社メガトラスト MEGA-TECH Formations 豊玉事業所

可動真空チャンバー ＜ボディフレーム＞

ご使用の開放プレス機に装着、低コストで真空プレス機に転用します。

ハウス型の約1/20）で真空加熱成形を実現します。プレス機は改造不要です。 　既存の加熱プレス機に取り付けるだけで、真空プレス機に転用できます。 ■気密性 　確実な気密性で133〜1.33Pa（1.0〜0.01Torr）の真空度を実現します。 　製品の酸化不良を防止、高品質化を実現し歩留まりも向上します。 ■耐熱性 　BFS（角形）では最高260℃まで使用可能です。BFC（丸形...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社タンケンシールセーコウ

小型・大流量PTFEガスフィルター「メガフロー」

最大1,000lpmまでの流量を確保

濾過精度 0.003μm 常用圧力 1MPa未満 最大許容正差圧 0.7MPa(20℃) 最大許容逆差圧 0.3MPa(20℃) 最高許容温度 120℃(不活性ガス) 外部漏量 2×10-11Pa・m3/sec以下 構成部材 ハウジ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ピー・ジェイ

【フィルタ(FERENA)の特徴・仕様　興研KOACH】興研

◆HEPAフィルタなみの低圧損で、ULPAフィルタなみの捕集効率を誇る

トフィルタを組み合わせたフィルタ素材を用いたユニットです。 寸法(mm)：610×610×65(縦×横×奥行き) 質量(kg)：約3.6 定格風量(m3/min)：12.0 圧力損失(Pa)：初期136　最終280 捕集効率(%)：0.15μm　99.9998 【オープンクリーンシステムKOACH用途例】 ◆精密機器のクリーン梱包 ◆工程改善、局所クリーン化、コンタミ対策...

メーカー・取り扱い企業： 泉州機工株式会社

真空対応 マイクロリニアアクチュエータ ＜MLA＞

真空対応 マイクロリニアアクチュエータ ＜MLA＞

真空度（：到達 5×10-4Pa）対応の超小型アクチュエータです。 【特長】 　◇ステッピングモータ駆動でパルスによる簡単な位置決め 　◇超小型！ボールペンや単４電池よりも小さい [仕様]　 　外形サイズ：　Φ８...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社メガトラスト MEGA-TECH Formations 豊玉事業所

LEMO■半導体製造装置用コネクタ

「過酷な環境下の使用」にも耐えるLEMOコネクタ。その信頼と実績により…

高電圧シールドコネクタ：最大50kVDC対応 ・信頼性の高い真空気密レセプタクルと真空フィールドスルーカプラ 　真空(気密) 　He漏れ率：1x10＾-7 mbar.ℓ/s (1x10＾-8 Pa. ㎥ /s). 以下まで対応可能 ・耐高温/耐熱性 　(非防水モデル：~250℃、防水モデル：～200℃動作可能) ...

メーカー・取り扱い企業： 丸紅エレネクスト株式会社

幅広ロールコーター『FRC-500VT』

幅600mmまで対応！フィルムにスパッタにより成膜するウェブコーター

【仕様】 ○到達圧力：10-5Paオーダー ○機材収容サイズ：500mm巾×200m（100μmの場合）最大外径φ250 ○送り速度：0.01～10ｍ/min程度（CW、CCW可能） →最低設定速度：0.01m/min ○テ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社富士アールアンドディー

半導体カーブトレーサ　「CS-5400」

1500A/5kVにローコストで対応！最新のパワーデバイスに対応した「…

半導体カーブトレーサは、半導体デバイスの単体試験・評価に使われる電気計測器です。 岩通計測では、8000A/10kVを頂点とする世界最高峰の半導体カーブトレーサをラインアップ。 高速鉄道、工場用産業機器、自動車に使用されるIGBTや次世代のハイパワーデバイスであるSiC、GaNなどの特性評価に対応するため、シリーズの中間に位置する「 CS-5000シリーズ」のバリエーションの充実を図りました。...

メーカー・取り扱い企業： 岩崎通信機株式会社

R&D用スパッタ装置 QAMシリーズ

各種研究開発、材料開発等に幅広く対応できる成膜装置。多様性・拡張性を持…

ド（磁性体、非磁性体共用）　Max.4台まで搭載可能 ・搭載電源：　DC500W　1台　※DC500W、RF300Wを選択でき、Max.2台まで搭載可能　※オプション ・到達圧力：　1×10-4Pa　以下 ・対応基板サイズ：　Max.φ4インチ×1枚 ・膜厚分布：　±5％以内（Al成膜時、基板回転併用） ・基板加熱機構：　●ランプヒータ　常用400°C　※オプション ・排気系： 　1...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

射出成形機連動型高速スパッタ・重合システムSPP-SERIES

樹脂基板への金属膜、保護膜が全自動で成膜可能！

新しく開発された射出成形機連動型高速スパッタ・重合システムSPP-SERIESは、自動車・装飾部品などで用いられる樹脂基板への金属膜、保護膜の自動成膜が可能です。 射出成形された基板を全自動で真空成膜（スパッタリング及び重合）することが可能です。 【特徴】 ○全自動 ○サイクルタイム： 80sec（Al：100nm＋SiOx：20nm） ○高い密着度 →アンダーコート無しでも高密着...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社昭和真空

メタルプラズマコーター「AT-ET」【導電性薄膜を作製！】

省スペース&低コストで導電性薄膜を作製！電子顕微鏡観察時に金属被膜のコ…

別売)：φ30、0.1mm厚のAu、Pt、Ag、Au(8)-Pd(2) 及びφ30、0.5mm厚のInが使用可能 ○使用ガス ：Air、Ar（ArはAT-ETAのみ） ○到達真空圧：2～10Pa以下 ○チャンバー内寸：φ87mm ○試料ホルダー：φ70mm ○真空排気：ロータリーポンプ(10L/min)※内蔵 ○寸法：本体 250W × 370D × 325H ○重量：...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エーティーエー

自公転式真空撹拌脱泡ミキサー　V-mini300

小さなボディに「撹拌」「脱泡」「充填」の３機能

小型・軽量の卓上型で研究・開発から少量生産に最適な １台で３つの高機能を有する自公転式真空撹拌脱泡ミキサー １．高粘度や高チクソなど、撹拌が難しい材料も短時間で均一に撹拌 ２．サブミクロン以下の泡も完全脱泡 ３．泡が再混入しないシリンジへの充填 更に メインテナンスフリー(ドライポンプの採用によりOILの補充及び交換が不要)...●最大容量：300g ●真空圧：1000pa以下 ●...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社EME